JPS62251886A - ストロボパタ−ン認識装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、例えば半導体製造ライン１ζおいてＩＣ部品
などの被対象物体の形状検査などに使用されるパターン
認識装置に関し、特にストロボ照射ランプによる瞬時点
灯を利用したストロボパターン認識装置に関するもので
ある。

〔従来の技術〕

従来、この種のストロボパターン認識装置は、第２図に
示すように、認識すべき被対象物体としてのＩＣ部品１
に対してストロボ照射ランプ２をトリガ回路３で駆動さ
せて瞬時点灯を行ない、このＩＣ部品１を撮像するテレ
ビカメラ４から出方する映像信号を２値化回路５に入力
する。この２値化回路５は、その映像信号を基準電圧１
ｏによって設定されたしきい値でデジタル変換して２値
化処理を行ない、上記映像信号に対応した「１」、「０
」のデジタル信号をビデオメモリ６に記憶させたうえ、
その映像情報に基づきＣＰＵ　（ブロセツ？）７でＩＣ
部品１の形状などをパターン認識するものとなっている
。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし、このような従来のストロボパターン認識装置は
、ストロボ照明ランプ２が瞬時点灯の都度照射光量が異
なったり、あるいはその照明ランプ２の劣化にともなっ
て光量が減少変化しやすいため、基準電圧１０によって
固定されたしきい値で２値化処理を行なうと、鮮明な映
像デジタル信号を得ることができないという欠点があっ
た。

本発明は上記のような従来の欠点を解消するためになさ
れたもので、その目的はストロボ照明ランプの光量のバ
ラツキや変化に影響されず、安定した映像デジタル信号
を得ることのできるストロボパターン認識装置を提供す
ることにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明に係るストロボパターン認識装置は、認識すべき
被対象物体に対して、ストロボ照射ランプを瞬時点灯す
るとともに、イメージセンサを用いて撮像を行ない、そ
の映像信号を２値化回路でデジタル変換してビデオメモ
リに記憶することにより、被対象物体のパターン認識を
行なうストロボパターン認識装置において、ストロボ照
射光を検知すべき光電変換素子とピークホールド回路を
備え、該ピークホールド回路から得られる瞬時点灯時の
尖頭値電気信号を前記２値化回路の比較基準電圧として
入力するように構成したものである。

〔作用〕

したがって、本発明においてはストロボ照射ランプが瞬
時点灯するごとにその照射光量が異なっても光電変換素
子が検知する尖頭値電気信号に比例して２値化回路のし
きい値電圧が追従することになシ、安定した鮮明な映像
デジタル信号が得られる。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図を参照して説明する。

第１図のストロボパターン認識装置は、　ＩＣ部品１に
対しストロボ照明ランプ２を瞬時点灯して、テレビカメ
ラ４を用いて撮像を行ない、その映像信号を２値化回路
５でデジタル信号してビデオメモ１Ｊ６１ｃ記憶させた
うえ、その映像情報に基づきＣＰＵ７でパターン認識ｔ
識を行なうように構成されている点は、第２図に示す従
来例のものと同様であるが、ストロボ照明ランプ２のス
トロボ照射光を検知する光電変換素子８と、該光電変換
素子８からの検知信号の尖頭値を保持するピークホール
ド回路９を設け、このピークホールド回路９から得られ
る瞬時点灯時の尖頭値電気信号を上記２値化回路５の比
較基準電圧として入力するように構成されている。

しかして、上記実施例の構成によると、ＩＣ部品１に対
して、ストロボ照明ランプ２をトリガ回路３で駆動させ
て瞬時点灯を行なうと、テレビカメラ４からはそのＩＣ
部品１のパターン形状に応じた映像信号を出力し、この
映像信号を２値化回路５に入力する。このとき、光電変
換素子８はストロボ照明ランプ２の瞬時点灯の光を検知
するとともに、ピークホールド回路９は、その光電変換
素子８からの検知信号のうち尖頭値電気信号を保持し、
この保持電圧を比較基準電圧として２値化′　回路５に
入力する。これにより、２値化回路５は、テレビカメラ
４からの映像信号に対して、ピークホールド回路９で保
持した上記尖頭値電気信号の電圧値であるしきい値で２
値化処理を行ない、その２値化の「１」、「０」のデジ
タル信号をビデオメモリ６゛に記憶させることにより、
従来と同様にしてＣＰＵ７でＩＣ部品１の形状などをパ
ターン認識することができる。

このように本発明によるときは、ストロボ照明ランプ２
が瞬時点灯の都度、照射光量が異なっても充電変換素子
８が検知する尖頭値電気信号に比例して２値化回路５の
しきい値電圧が追従するため、映像信号の変動に影響さ
れることなく、鮮明で安定した映像デジタル信号を得る
ことができる。

なお、上述ではイメージセンサとしてテレビカメラ４を
用いた場合であったが、その他の固体撮像デバイスを用
いたυ、あるいは被対象物体としてはＩＣ部品以外の認
識すべき任意のものであっても同様に適用できることは
勿論である。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明のストロボパターン認識装
置によれば、ストロボ照射光を検知してその尖頭値電気
信号に基づき２値化回路のしきい値電圧を追従させるこ
とによυ、映像信号の変動に影響されることなく、鮮明
で安定した映像デジタル信号を得ることができ、装置の
信頼性向上にすぐれた効果例ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるストロボパターン認識装置の一実
施例を示すブロック図、第２図は従来のストロボパター
ン認識装置の一例を示すブロック図である。 １１１１１１１＃　ＩＣ部品、２・・・・ストロボ照明
ランプ、３・・・・トリガ回路、４・・φ・テレビカメ
ラ、５・・・・２値化回路、６・・・・ビデオメモリ、
７・會・・ＣＰＵ、８−・・・光電変換素子、９１１φ
・−ピークホールド回路。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 認識すべき被対象物体に対して、ストロボ照射ランプを
   瞬時点灯するとともに、イメージセンサを用いて撮像を
   行ない、その映像信号を２値化回路でデジタル変換して
   ビデオメモリに記憶することにより、被対象物体のパタ
   ーン認識を行なうストロボパターン認識装置において、
   ストロボ照射光を検知すべき光電変換素子とピークホー
   ルド回路を備え、該ピークホールド回路から得られる瞬
   時点灯時の尖頭値電気信号を前記２値化回路の比較基準
   電圧として入力するように構成したことを特徴とするス
   トロボパターン認識装置。