JPS61173103A - 画像面積測定回路 - Google Patents
画像面積測定回路Info
- Publication number
- JPS61173103A JPS61173103A JP60015977A JP1597785A JPS61173103A JP S61173103 A JPS61173103 A JP S61173103A JP 60015977 A JP60015977 A JP 60015977A JP 1597785 A JP1597785 A JP 1597785A JP S61173103 A JPS61173103 A JP S61173103A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- area
- measured
- edge
- monitor screen
- detecting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
薯
本発明は、被測定物の画像面積を測定する回路に関する
ものである。
ものである。
従来Ω鼓玉
例えば、半導体装置の製造工程において、半導体ウェー
ハをプレイキングして個々の半導体ペレットに分離した
とき、形状の一部が欠けた不良半導体ペレットが生じる
ことがある。このような形状的に不良の半導体ペレット
は、パターン認識技術によって、半導体ペレットの面積
を測定することにより判別する゛ことができる。
ハをプレイキングして個々の半導体ペレットに分離した
とき、形状の一部が欠けた不良半導体ペレットが生じる
ことがある。このような形状的に不良の半導体ペレット
は、パターン認識技術によって、半導体ペレットの面積
を測定することにより判別する゛ことができる。
上記半導体ペレットの面積測定は、従来、第４図に示す
ように、例えば半導体ペレット（１）（１）−−−の並
んでいるウェーハリング（２）のモニタースクリーン（
３）上における画像を半導体ペレット（１）の有無によ
って２値化し、この２値化画像をコンピュータに記憶さ
せた後、メモリー内の画素の２値化信号を１個ずつ読み
とり、特定の半導体ペレット（１）（図の点線内）を認
識してから、そ、の画素数をカウントするか、あるいは
２値化信号によって被測定物の画像面積を測定する回路
により行われる。
ように、例えば半導体ペレット（１）（１）−−−の並
んでいるウェーハリング（２）のモニタースクリーン（
３）上における画像を半導体ペレット（１）の有無によ
って２値化し、この２値化画像をコンピュータに記憶さ
せた後、メモリー内の画素の２値化信号を１個ずつ読み
とり、特定の半導体ペレット（１）（図の点線内）を認
識してから、そ、の画素数をカウントするか、あるいは
２値化信号によって被測定物の画像面積を測定する回路
により行われる。
■ （°シよ゛と る口
ところで、上述のように、コンピュータに記憶された半
導体ペレットの２値化画像によって面積を測定する場合
、モニタースクリーンの全画素に対応する２値化信号を
１個ずつ読み取り、被測定物である半導体ベレフトを認
識した後、その半導体ベレンｌ−の２値化信号をカウン
トすることにより行われる。ところが、モニタースクリ
ーンの全画素数は、通常、１０万個以上あり、それらを
１個ずつ読み取り処理する作業は、非常に煩雑である。
導体ペレットの２値化画像によって面積を測定する場合
、モニタースクリーンの全画素に対応する２値化信号を
１個ずつ読み取り、被測定物である半導体ベレフトを認
識した後、その半導体ベレンｌ−の２値化信号をカウン
トすることにより行われる。ところが、モニタースクリ
ーンの全画素数は、通常、１０万個以上あり、それらを
１個ずつ読み取り処理する作業は、非常に煩雑である。
また、２値化信号によって被測定物の画像面積を測定す
る場合、被測定物の良好な２値化を得るのが難しく、照
明に影響されやすい。
る場合、被測定物の良好な２値化を得るのが難しく、照
明に影響されやすい。
い 占 ′ るための
本発明は、水平同期信号の所定期間内の数、及びｌ水平
走査期間に並ぶ画素の所定期間内の数をそれぞれカウン
トし、モニタースクリーン上の一定領域を被測定物の存
在のみ許容するエリアとして判断する背景エリアマスキ
ング信号発生部と、上記被測定物存在エリアの映像信号
から被測定物のエツジを検出するエツジ検出部と、上記
背景エリアマスキング信号発生部及びエツジ検出部の各
出力の乗算信号からモニタースクリーン上の被測定物の
エツジで囲まれた領域を検知し、その領域内の画素数を
カウントすることにより被測定物の画像面積を測定する
カウント部とを具備したものである。
走査期間に並ぶ画素の所定期間内の数をそれぞれカウン
トし、モニタースクリーン上の一定領域を被測定物の存
在のみ許容するエリアとして判断する背景エリアマスキ
ング信号発生部と、上記被測定物存在エリアの映像信号
から被測定物のエツジを検出するエツジ検出部と、上記
背景エリアマスキング信号発生部及びエツジ検出部の各
出力の乗算信号からモニタースクリーン上の被測定物の
エツジで囲まれた領域を検知し、その領域内の画素数を
カウントすることにより被測定物の画像面積を測定する
カウント部とを具備したものである。
立里
テレビジョン信号から水平同期信号及びｌ水平走査の画
素をカウントしてモニタースクリーン上で被測定物のみ
存在するエリアを判断し、かつ、そのエリア内のエツジ
を検出して被測定物の存在領域を検知し、その領域内の
画素数をカウントする。
素をカウントしてモニタースクリーン上で被測定物のみ
存在するエリアを判断し、かつ、そのエリア内のエツジ
を検出して被測定物の存在領域を検知し、その領域内の
画素数をカウントする。
Ｕ週
本発明の一実施例を第１図乃至第３図を参照して以下説
明する。第１図は本発明に係る画像面積測定Ｎ路の一実
施例のブロック線図を示し、テレビジョン信号（Ｖ）の
映像信号からモニタースクリーン上の被測定物のエツジ
を検出するエツジ検出部（４）と、テレビジョン信号（
ｖ）から水平同期信号を分離して取り出す水平同期分離
部（５）と垂直同期信号を分離して取り出す垂直同期分
離部（１１）と、水平同期信号及び水平走査期間に並ぶ
画素に対応したドツトクロフタ信号（Ｐ）をカウントす
ることによりモニタースクリーン上で被測定物のみ存在
するエリアを判断する背景エリアマスキング信号発生部
（以下、マスキング信号発生部と称す）（６）と、エツ
ジ検出部（４）及びマスキング信号発生部（６）の各出
力を乗算してモニタースクリーン上の被測定物のエツジ
で囲まれた領域を検知し、その領域内のドツトクロック
信号（Ｐ）をカウントするカウント部（７）と、マスキ
ング信号発生部（６）及びカウント部（７）を制御する
ＣＰ・Ｕ（８）とからなる。
明する。第１図は本発明に係る画像面積測定Ｎ路の一実
施例のブロック線図を示し、テレビジョン信号（Ｖ）の
映像信号からモニタースクリーン上の被測定物のエツジ
を検出するエツジ検出部（４）と、テレビジョン信号（
ｖ）から水平同期信号を分離して取り出す水平同期分離
部（５）と垂直同期信号を分離して取り出す垂直同期分
離部（１１）と、水平同期信号及び水平走査期間に並ぶ
画素に対応したドツトクロフタ信号（Ｐ）をカウントす
ることによりモニタースクリーン上で被測定物のみ存在
するエリアを判断する背景エリアマスキング信号発生部
（以下、マスキング信号発生部と称す）（６）と、エツ
ジ検出部（４）及びマスキング信号発生部（６）の各出
力を乗算してモニタースクリーン上の被測定物のエツジ
で囲まれた領域を検知し、その領域内のドツトクロック
信号（Ｐ）をカウントするカウント部（７）と、マスキ
ング信号発生部（６）及びカウント部（７）を制御する
ＣＰ・Ｕ（８）とからなる。
上記構成に基づき本発明を半導体ペレフトの画像面積測
定に通用した場合の測定動作を次に示す。まず、第２図
に示すようにモニタースクリーン（３）上で被測定物で
ある半導体ペレット（１）及び半導体ペレット（１）の
み存在するエリア（９）を除いた背景エリア（１ｏ）を
所定寸法のマスクにて覆う。そして、水平同期信号をカ
ウントすれば、モニタースクリーンの垂直方向の幅が知
られ、又、水平走査期間に並ぶ画素に対応したドツトク
ロック信号（Ｐ）をカウントすれば、モニタースクリー
ンの水平方向の幅が知られるため、マスキング信号発生
部（６）にて背景エリア（１ｏ）の水平同期信号及びド
ツトクロック信号（Ｐ）をカウントすることにより、モ
ニタースクリーン（３）上で半導体ペレット（１）のみ
存在するエリア（９）を判断する。又、テレビジョン信
号（Ｖ）の映像信号からモニタースクリーン（３）上の
エツジをエツジ検出部（４）にて検出し、このエツジの
信号とマスキング信号発生部（６）の出方信号とをカウ
ント部（７）にて論理積にすれば、エリア（９）内の半
導体ペレ・７）（１）の画像のエツジが検出される。そ
こで、半導体ベレ・ノド（１）の画像のエツジで囲まれ
た領域内のドツトクロック信号（Ｐ）をカウントして該
領域内の全画素数を検知すれば、半導体ペレ７）（１）
の画像面積が測定される。
定に通用した場合の測定動作を次に示す。まず、第２図
に示すようにモニタースクリーン（３）上で被測定物で
ある半導体ペレット（１）及び半導体ペレット（１）の
み存在するエリア（９）を除いた背景エリア（１ｏ）を
所定寸法のマスクにて覆う。そして、水平同期信号をカ
ウントすれば、モニタースクリーンの垂直方向の幅が知
られ、又、水平走査期間に並ぶ画素に対応したドツトク
ロック信号（Ｐ）をカウントすれば、モニタースクリー
ンの水平方向の幅が知られるため、マスキング信号発生
部（６）にて背景エリア（１ｏ）の水平同期信号及びド
ツトクロック信号（Ｐ）をカウントすることにより、モ
ニタースクリーン（３）上で半導体ペレット（１）のみ
存在するエリア（９）を判断する。又、テレビジョン信
号（Ｖ）の映像信号からモニタースクリーン（３）上の
エツジをエツジ検出部（４）にて検出し、このエツジの
信号とマスキング信号発生部（６）の出方信号とをカウ
ント部（７）にて論理積にすれば、エリア（９）内の半
導体ペレ・７）（１）の画像のエツジが検出される。そ
こで、半導体ベレ・ノド（１）の画像のエツジで囲まれ
た領域内のドツトクロック信号（Ｐ）をカウントして該
領域内の全画素数を検知すれば、半導体ペレ７）（１）
の画像面積が測定される。
ここで、例えば第２図に示すように半導体ペレット（１
）の表面に汚点や不良マーク（Ｍ）が付いていると、そ
のエツジがエツジ検出部（４）にて検出され、半導体ペ
レット（１）のエツジと不良マーク（Ｍ）のエツジで囲
まれた領域内の画素がカウントされることになり、測定
される画像面積は第３図の斜線部となる。
）の表面に汚点や不良マーク（Ｍ）が付いていると、そ
のエツジがエツジ検出部（４）にて検出され、半導体ペ
レット（１）のエツジと不良マーク（Ｍ）のエツジで囲
まれた領域内の画素がカウントされることになり、測定
される画像面積は第３図の斜線部となる。
即ち、上記実施例によれば、画面を走査しながら、被測
定物の画像面積が測定される。
定物の画像面積が測定される。
尚、上記実施例では、背景エリアマスキング信号発生部
で信号を発生させる場合、電気的に信号を合成していた
が、本発明は、その他に、例えば、機械的にマスク板を
被測定物の背景エリアに当てて、マスキング信号を発生
させるようにしてよい。
で信号を発生させる場合、電気的に信号を合成していた
が、本発明は、その他に、例えば、機械的にマスク板を
被測定物の背景エリアに当てて、マスキング信号を発生
させるようにしてよい。
主班立肱果
本発明によれば、水平同期信号と画素に対応したドツト
クロック信号をカウントして被測定物のみ存在するエリ
アを判断し、かつ、そのエリア内のエツジを検出してエ
ツジで囲まれた領域内の全画素数をカウントすることに
より、被測定物の画像面積を測定するようにしたから、
画面を走査しながら被測定物の画像面積が測定され、面
積測定が照明環境の影響を受けないですむ。
クロック信号をカウントして被測定物のみ存在するエリ
アを判断し、かつ、そのエリア内のエツジを検出してエ
ツジで囲まれた領域内の全画素数をカウントすることに
より、被測定物の画像面積を測定するようにしたから、
画面を走査しながら被測定物の画像面積が測定され、面
積測定が照明環境の影響を受けないですむ。
第１図は本発明に係る画像面積測定回路の一実施例のブ
ロック線図、第２図はモニタースクリーン上で背景エリ
アをマスクで覆った半導体ペレットの画像の平面図、第
３図は第２図の半導体ペレットの面積測定領域の平面図
、第４図はモニタースクリーン上における半導体ペレッ
トの画像の平面図である。 （１） −被測定物、（３１−モニタースクリーン、（
４） −エツジ検出部、（６） −背景エリアマスキン
グ信号発生部、（７） −カウント部。 特 許 出 願 人 二チデン機械株式会社代
理 人 江 原 省 吾第２図
第ａＷＩ １′ し
ロック線図、第２図はモニタースクリーン上で背景エリ
アをマスクで覆った半導体ペレットの画像の平面図、第
３図は第２図の半導体ペレットの面積測定領域の平面図
、第４図はモニタースクリーン上における半導体ペレッ
トの画像の平面図である。 （１） −被測定物、（３１−モニタースクリーン、（
４） −エツジ検出部、（６） −背景エリアマスキン
グ信号発生部、（７） −カウント部。 特 許 出 願 人 二チデン機械株式会社代
理 人 江 原 省 吾第２図
第ａＷＩ １′ し
Claims (1)
- （１）水平同期信号の所定期間内の数、及び１水平走査
期間に並ぶ画素の所定期間内の数をそれぞれカウントし
、モニタースクリーン上の一定領域を被測定物の存在の
み許容するエリアとして判断する背景エリアマスキング
信号発生部と、 上記被測定物存在エリアの映像信号から被測定物のエッ
ジを検出するエッジ検出部と、 上記背景エリアマスキング信号発生部及びエッジ検出部
の各出力の論理積信号からモニタースクリーン上の被測
定物のエッジで囲まれた領域を検知し、その領域内の画
素数をカウントすることにより被測定物の画像面積を測
定するカウント部とを具備したことを特徴とする画像面
積測定回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60015977A JPS61173103A (ja) | 1985-01-29 | 1985-01-29 | 画像面積測定回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60015977A JPS61173103A (ja) | 1985-01-29 | 1985-01-29 | 画像面積測定回路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61173103A true JPS61173103A (ja) | 1986-08-04 |
Family
ID=11903750
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60015977A Pending JPS61173103A (ja) | 1985-01-29 | 1985-01-29 | 画像面積測定回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61173103A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63219086A (ja) * | 1987-03-06 | 1988-09-12 | Ckd Corp | 画像面積計測装置 |
| JPH0210104A (ja) * | 1988-06-28 | 1990-01-12 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 面積測定装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53124470A (en) * | 1977-04-06 | 1978-10-30 | Jeol Ltd | Method and apparatus of analyzing patterns |
| JPS59190609A (ja) * | 1983-04-13 | 1984-10-29 | Nec Corp | 面積計測装置 |
-
1985
- 1985-01-29 JP JP60015977A patent/JPS61173103A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53124470A (en) * | 1977-04-06 | 1978-10-30 | Jeol Ltd | Method and apparatus of analyzing patterns |
| JPS59190609A (ja) * | 1983-04-13 | 1984-10-29 | Nec Corp | 面積計測装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63219086A (ja) * | 1987-03-06 | 1988-09-12 | Ckd Corp | 画像面積計測装置 |
| JPH0210104A (ja) * | 1988-06-28 | 1990-01-12 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 面積測定装置 |
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