JPS6224741B2 - - Google Patents
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- JPS6224741B2 JPS6224741B2 JP58243131A JP24313183A JPS6224741B2 JP S6224741 B2 JPS6224741 B2 JP S6224741B2 JP 58243131 A JP58243131 A JP 58243131A JP 24313183 A JP24313183 A JP 24313183A JP S6224741 B2 JPS6224741 B2 JP S6224741B2
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- G—PHYSICS
- G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
- G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
- G10K11/18—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound
- G10K11/26—Sound-focusing or directing, e.g. scanning
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- G—PHYSICS
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-
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- G—PHYSICS
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は一般に顕微鏡、特に高周波音波エネル
ギーを用いる走査型音波顕微鏡に関連する。
ギーを用いる走査型音波顕微鏡に関連する。
従来型顕微鏡は２種の放射線、即ち光学顕微鏡
では電磁波、電子顕微鏡では電子波を使用する。
では電磁波、電子顕微鏡では電子波を使用する。
光学顕微鏡は長年にわたつて改良され、これで
生物細胞のような微小対象物の正確な像が得られ
る。この改良にも拘らず、光学顕微鏡は結像され
る試料の誘電特性を基本的に感知するものである
から固有の限界がある。従つてある種の対象物は
光学的に透明なため像が現われず、他の対象物は
光学的に不透明なため内部の詳細が現われない。
又組織切片及び細胞懸濁液のようなある種の生物
試料では固有の光学的コントラストが少ないので
コントラスト感度に限界がある。このコントラス
トの限界は生物学的試料を着色する非常に手のか
かる技術によりある程度改善できる。
生物細胞のような微小対象物の正確な像が得られ
る。この改良にも拘らず、光学顕微鏡は結像され
る試料の誘電特性を基本的に感知するものである
から固有の限界がある。従つてある種の対象物は
光学的に透明なため像が現われず、他の対象物は
光学的に不透明なため内部の詳細が現われない。
又組織切片及び細胞懸濁液のようなある種の生物
試料では固有の光学的コントラストが少ないので
コントラスト感度に限界がある。このコントラス
トの限界は生物学的試料を着色する非常に手のか
かる技術によりある程度改善できる。
勿論、電子顕微鏡は製作も使用法も技術的には
るかに困難である。又生きている細胞のようなあ
る種の対象物は、真空中に支持する必要があるこ
と、及び細胞を破壊する電子ボンバードのために
検査できない。
るかに困難である。又生きている細胞のようなあ
る種の対象物は、真空中に支持する必要があるこ
と、及び細胞を破壊する電子ボンバードのために
検査できない。
周波数約1.000MHzの音波が比較的最近の間発
で発生できるようになつたため水中の音波波長約
１ミクロンが得られ、従つて高分解像が得られる
優れた機構の可能性が示唆されるようになつた。
又音波エネルギーの走査、反射及び吸収を決める
のは試料の誘電特性ではなく弾性特性の変化であ
る。このため、光学的又は電子的に不透明のある
種の試料の表面下の細部の研究が可能になつた。
更に最も重要なことは弾性特性の変化は又異なる
細部を表示し、特に大きな固有音波コントラスト
を与えることである。
で発生できるようになつたため水中の音波波長約
１ミクロンが得られ、従つて高分解像が得られる
優れた機構の可能性が示唆されるようになつた。
又音波エネルギーの走査、反射及び吸収を決める
のは試料の誘電特性ではなく弾性特性の変化であ
る。このため、光学的又は電子的に不透明のある
種の試料の表面下の細部の研究が可能になつた。
更に最も重要なことは弾性特性の変化は又異なる
細部を表示し、特に大きな固有音波コントラスト
を与えることである。
従つて本発明の一般目的は高度の分解能、感度
及びコントラストを有し、しかも構造も使用法も
簡単な走査型音波顕微鏡を提供することにある。
及びコントラストを有し、しかも構造も使用法も
簡単な走査型音波顕微鏡を提供することにある。
この目的を達成するため、マイクロ波領域の無
線周波数（RF）エネルギーが圧電トランスデユ
ーサに印加されて音波伝搬媒質内に視準、即ちコ
リメートされたビーム形式の強力な音波を発生
し、このビームは音波レンズに送られ、このレン
ズは上記伝搬媒質内で簡単ではあるが有効な凹面
形を形成し、かつ隣接する流体媒質内の焦点に音
波エネルギーを集束するため焦面に支持された試
料又は対象物と音波接触する。この音波レンズは
最小球面収差を有するように設計されているので
顕微鏡の分解能は回折だけに限定されることが本
発明の重要特徴である。対象物の走査は集束音波
ビームと対象物との相対運動、例えば焦面内にお
ける対象物自体の単純な機械的並進運動で行われ
る。
線周波数（RF）エネルギーが圧電トランスデユ
ーサに印加されて音波伝搬媒質内に視準、即ちコ
リメートされたビーム形式の強力な音波を発生
し、このビームは音波レンズに送られ、このレン
ズは上記伝搬媒質内で簡単ではあるが有効な凹面
形を形成し、かつ隣接する流体媒質内の焦点に音
波エネルギーを集束するため焦面に支持された試
料又は対象物と音波接触する。この音波レンズは
最小球面収差を有するように設計されているので
顕微鏡の分解能は回折だけに限定されることが本
発明の重要特徴である。対象物の走査は集束音波
ビームと対象物との相対運動、例えば焦面内にお
ける対象物自体の単純な機械的並進運動で行われ
る。
対象物の性質、特にその弾性によつて音波エネ
ルギーは吸収、反射及び／又は散乱されるので、
射出音波エネルギーの強さとしてのじよう乱を生
じ、このじよう乱は圧電トランスデユーサで検出
される。じよう乱は送信音波エネルギーにも反射
音波エネルギーにも存在するが本発明では、観察
される特定試料によつて反射される反射エネルギ
ーで検出される。
ルギーは吸収、反射及び／又は散乱されるので、
射出音波エネルギーの強さとしてのじよう乱を生
じ、このじよう乱は圧電トランスデユーサで検出
される。じよう乱は送信音波エネルギーにも反射
音波エネルギーにも存在するが本発明では、観察
される特定試料によつて反射される反射エネルギ
ーで検出される。
検出された音波信号は可視表示のためオシロス
コープに印加され、又音波エネルギーの焦面内の
機械的走査による対象物の運動は表示オシロスコ
ープの電子ビームの走査と同期される。又このビ
ームの強さは、電子ビームが螢光板に衝突した時
良好な可視像が得られるように、対象物で送られ
る音波エネルギーに比例させる。
コープに印加され、又音波エネルギーの焦面内の
機械的走査による対象物の運動は表示オシロスコ
ープの電子ビームの走査と同期される。又このビ
ームの強さは、電子ビームが螢光板に衝突した時
良好な可視像が得られるように、対象物で送られ
る音波エネルギーに比例させる。
正確な選択周波数によつて非常に高い分解能が
得られる。例えば、400MHzの周波数を用いると
分解能は約３ミクロンになり、又1.5GHzを用い
ると１ミクロン以下の最終分解能が得られる。前
述の音波レンズ設計により球面収差はこの分解能
に対して何の制限も与えない。
得られる。例えば、400MHzの周波数を用いると
分解能は約３ミクロンになり、又1.5GHzを用い
ると１ミクロン以下の最終分解能が得られる。前
述の音波レンズ設計により球面収差はこの分解能
に対して何の制限も与えない。
全音波ビームが利用されるから最小量の音波エ
ネルギーで優れたコントラストを有する像が得ら
れる。又優れたSN（信号対雑音）特性が平均エ
ネルギーレベル10-7ワツト／cm2で容易に得られ
る。従つて必要なエネルギーは生物試料の損傷レ
ベルよりも十分に低い。
ネルギーで優れたコントラストを有する像が得ら
れる。又優れたSN（信号対雑音）特性が平均エ
ネルギーレベル10-7ワツト／cm2で容易に得られ
る。従つて必要なエネルギーは生物試料の損傷レ
ベルよりも十分に低い。
音波レンズ自体は媒質に適当な凹面を形成する
ことによつて簡単に得られ、又は“不遊レンズ”
のような一層複雑なレンズを使用して、球面収差
特にビーム軸外の領域の球面収差を低下できる。
本発明ではレンズの断面を透過する音波エネルギ
ーの伝送は最狭部のビーム断面が最適形状になる
ように制御することが可能である。これはビーム
断面が最大の位相分解能を与えることを考慮した
ものである。
ことによつて簡単に得られ、又は“不遊レンズ”
のような一層複雑なレンズを使用して、球面収差
特にビーム軸外の領域の球面収差を低下できる。
本発明ではレンズの断面を透過する音波エネルギ
ーの伝送は最狭部のビーム断面が最適形状になる
ように制御することが可能である。これはビーム
断面が最大の位相分解能を与えることを考慮した
ものである。
本発明は、透過音波エネルギーではない反射音
波エネルギーを検出するので送受を兼用する圧電
変換器、即ち、音波送受兼用圧電変換器で検出さ
れる。
波エネルギーを検出するので送受を兼用する圧電
変換器、即ち、音波送受兼用圧電変換器で検出さ
れる。
更に対象物は音波エネルギーの方向に沿つて運
動できるように支持され、対象物の各断面を焦面
内に移動することによつて対象物の内部変化等を
検出することができる。
動できるように支持され、対象物の各断面を焦面
内に移動することによつて対象物の内部変化等を
検出することができる。
又基準波を音波ホログラフイ方式で与えて三次
元像を得ることもできる。
元像を得ることもできる。
上記本発明の目的とそれを達成する方法は添付
図面に示す実施例による下記の詳細な説明から明
らかであろう。
図面に示す実施例による下記の詳細な説明から明
らかであろう。
第１図では本発明の特徴である対象物又は試料
よりの反射音波エルギーを検出する方式以外に、
説明上透過音波エネルギーを検出する方式も併せ
記載している。
よりの反射音波エルギーを検出する方式以外に、
説明上透過音波エネルギーを検出する方式も併せ
記載している。
第１図の無線周波数発振器１０は同軸線１２を
通して、例えば400MHzの周波数の電磁波エネル
ギーを供給するよう配置され、この同軸線の末端
はB1で示す視準ビームとして強力な音波を発生
するため音波伝搬媒質１６の端部の薄膜又は板状
の圧電変換器１４にエネルギーを供給する。
通して、例えば400MHzの周波数の電磁波エネル
ギーを供給するよう配置され、この同軸線の末端
はB1で示す視準ビームとして強力な音波を発生
するため音波伝搬媒質１６の端部の薄膜又は板状
の圧電変換器１４にエネルギーを供給する。
変換器１４は図示の実施例では酸化亜鉛の薄膜
であるが、ニオブ酸リチウム、硫酸カドミウム、
硫化亜鉛その他種々の圧電材料が使用できる。又
この実施例の音波伝搬媒質１６はサフアイアであ
るが、融解石英、イツトリウム―アルミニウムざ
くろ石のような他の媒質、硫化カドミウムのよう
な圧電半導体、又は他の公知の伝搬媒質も使用さ
れる。しかし本発明の目的には後述のようにかな
り高い音波伝搬速度を有する媒質を使用するのが
好適である。
であるが、ニオブ酸リチウム、硫酸カドミウム、
硫化亜鉛その他種々の圧電材料が使用できる。又
この実施例の音波伝搬媒質１６はサフアイアであ
るが、融解石英、イツトリウム―アルミニウムざ
くろ石のような他の媒質、硫化カドミウムのよう
な圧電半導体、又は他の公知の伝搬媒質も使用さ
れる。しかし本発明の目的には後述のようにかな
り高い音波伝搬速度を有する媒質を使用するのが
好適である。
音波レンズ１８は、圧電変換器１４と反対側で
伝搬媒質１６の端部に形成され、図示のようにサ
フアイア材料の端部を研磨して凹面を形成する。
詳記すれば上記レンズはｆ数は0.65を有する曲率
半径0.4mmに研磨する。従つて音波の視準ビーム
B1は、図示実施例では例えば、上記音波レンズ
１８を形成した音波伝搬媒質１６端部と、試料Ｏ
を支持する部材との間に表面張力によつて保持さ
れる水を使用する流体媒質２０内に集束される。
水はサフアイアと比較して音波伝搬速度が低い媒
質であるから、上記音波レンズは正レンズを構成
し音波ビームを焦点Ｆに集束する。
伝搬媒質１６の端部に形成され、図示のようにサ
フアイア材料の端部を研磨して凹面を形成する。
詳記すれば上記レンズはｆ数は0.65を有する曲率
半径0.4mmに研磨する。従つて音波の視準ビーム
B1は、図示実施例では例えば、上記音波レンズ
１８を形成した音波伝搬媒質１６端部と、試料Ｏ
を支持する部材との間に表面張力によつて保持さ
れる水を使用する流体媒質２０内に集束される。
水はサフアイアと比較して音波伝搬速度が低い媒
質であるから、上記音波レンズは正レンズを構成
し音波ビームを焦点Ｆに集束する。
サフアイアは水よりもはるかに音波伝搬速度が
大きく、これらの音速比C1／C2は約7.45であるか
ら、第２図に示す通り、音波エネルギーの屈折線
とレンズ１８の交差半径Ｒとの間の角θ２は小さ
な値になる。勿論この値はスネルの法則、即ち
sinθ２＝C2／C1sinθ１で決り、このθ１は第２
図に示す通り音波エネルギーの入射線と曲率半径
の延長線との間の角である。従つて、サフアイア
と水を媒質として使用すると最小錯乱円直径は１
ミクロン以下に減少され、レンズ１８のこの球面
収差のため音波顕微鏡の分解能を１ミクロン以下
にできる。図示の実施例では周波数400MHzを使
用すると水中音波の波長は約3.75ミクロンになる
から音波レンズのこの最小球面収差のため分解能
には実際の制限はない。像の最小錯乱円を更に小
さくするため音波レンズに特別のコーチングを施
してもよい。
大きく、これらの音速比C1／C2は約7.45であるか
ら、第２図に示す通り、音波エネルギーの屈折線
とレンズ１８の交差半径Ｒとの間の角θ２は小さ
な値になる。勿論この値はスネルの法則、即ち
sinθ２＝C2／C1sinθ１で決り、このθ１は第２
図に示す通り音波エネルギーの入射線と曲率半径
の延長線との間の角である。従つて、サフアイア
と水を媒質として使用すると最小錯乱円直径は１
ミクロン以下に減少され、レンズ１８のこの球面
収差のため音波顕微鏡の分解能を１ミクロン以下
にできる。図示の実施例では周波数400MHzを使
用すると水中音波の波長は約3.75ミクロンになる
から音波レンズのこの最小球面収差のため分解能
には実際の制限はない。像の最小錯乱円を更に小
さくするため音波レンズに特別のコーチングを施
してもよい。
上記のように、観察すべき対象物又は試料Ｏは
焦点Ｆの位置で流体媒質２０内に支持され、又こ
の実施例では試料に簡単な機械的運動を与えて走
査する装置が設けられる。第１図に略示されるよ
うに、マイクロメータを有する調整可能な支持体
２２によつて試料ＯはＺ方向で焦面に一致させる
ように調整できる。又焦面内では第１図のＸ方向
の迅速な走査はスピーカ２４を上記支持体２２上
に装着することによつて行われ、このスピーカコ
ーンは試料又は対象物に接続される。支持体２２
は更にラム２３でＹ方向に油圧で往復運動する載
物台２６上に装着される。スピーカ２４の駆動電
圧と同一電圧が電源２５からオシロスコープ２８
の水平偏向制御部に供給され、又往復する載物台
２６はポテンシオメータ３０に接続され、ポテン
シオメータの出力電圧はオシロスコープ２８の垂
直偏向制御部に供給されるので対象物の位置とオ
シロスコープビーム位置との間には１対１の対応
が得られる。事実、走査速度300線／秒で３mmの
視野が得られるから１秒以内に完全な像がオシロ
スコープ上に形成される。
焦点Ｆの位置で流体媒質２０内に支持され、又こ
の実施例では試料に簡単な機械的運動を与えて走
査する装置が設けられる。第１図に略示されるよ
うに、マイクロメータを有する調整可能な支持体
２２によつて試料ＯはＺ方向で焦面に一致させる
ように調整できる。又焦面内では第１図のＸ方向
の迅速な走査はスピーカ２４を上記支持体２２上
に装着することによつて行われ、このスピーカコ
ーンは試料又は対象物に接続される。支持体２２
は更にラム２３でＹ方向に油圧で往復運動する載
物台２６上に装着される。スピーカ２４の駆動電
圧と同一電圧が電源２５からオシロスコープ２８
の水平偏向制御部に供給され、又往復する載物台
２６はポテンシオメータ３０に接続され、ポテン
シオメータの出力電圧はオシロスコープ２８の垂
直偏向制御部に供給されるので対象物の位置とオ
シロスコープビーム位置との間には１対１の対応
が得られる。事実、走査速度300線／秒で３mmの
視野が得られるから１秒以内に完全な像がオシロ
スコープ上に形成される。
公知のように、任意の時期に対象物０に投射さ
れる音波エネルギーは透過じよう乱をうけるか
ら、観察試料が弾性特性によつて音波の強さに変
動が起こり、このじよう乱音波エネルギーは第１
図図示例では水を通して別の音波レンズ３２に伝
送され、このレンズは通常前記音波レンズ１８と
同じもので、又これらの２個のレンズ１８と３２
は焦点が一致するように配置される。音波伝搬媒
体３４の端部には音波レンズ３２が形成されこの
媒質を通つて伝送される音波エネルギーを、B2
で示されるように再び視準し、この音波エネルギ
ーは、酸化亜鉛又は他の適当な圧電材料で作ら
れ、従つてじよう乱音波エネルギー検出器として
動作する圧電変換器３６に供給される。この音波
エネルギーは圧電変換器３６で電磁エネルギーに
変換された後オシロスコープに供給され、表示ビ
ームの強さを変え、試料像の最終的な可視表示を
与える。
れる音波エネルギーは透過じよう乱をうけるか
ら、観察試料が弾性特性によつて音波の強さに変
動が起こり、このじよう乱音波エネルギーは第１
図図示例では水を通して別の音波レンズ３２に伝
送され、このレンズは通常前記音波レンズ１８と
同じもので、又これらの２個のレンズ１８と３２
は焦点が一致するように配置される。音波伝搬媒
体３４の端部には音波レンズ３２が形成されこの
媒質を通つて伝送される音波エネルギーを、B2
で示されるように再び視準し、この音波エネルギ
ーは、酸化亜鉛又は他の適当な圧電材料で作ら
れ、従つてじよう乱音波エネルギー検出器として
動作する圧電変換器３６に供給される。この音波
エネルギーは圧電変換器３６で電磁エネルギーに
変換された後オシロスコープに供給され、表示ビ
ームの強さを変え、試料像の最終的な可視表示を
与える。
前記対象物又は試料による音波ビームの遮断
は、透過エネルギーのみならず反射エネルギーの
強さにじよう乱を生じ、本発明の原理によると、
この反射エネルギーが可視像の形成に利用され
る、即ち、対象物０に投射される音波エネルギー
はじよう乱を受ける観察試料の弾性特性によつて
音波の強さに変動が起こり、このじよう乱音波エ
ネルギーは反射され水を通して再び音波レンズ１
８に反射伝送され、この反射音波エネルギーB1
で示されるように再び視準する。この反射音波エ
ネルギーは、じよう乱音波エネルギー検出器とし
ても動作する圧電変換器１４に供給される。この
音波エネルギーは変換器１４で電磁エネルギーに
変換された後オシロスコープに供給され、表示ビ
ームの強さを変え、試料像の最終的可視表示を与
える。
は、透過エネルギーのみならず反射エネルギーの
強さにじよう乱を生じ、本発明の原理によると、
この反射エネルギーが可視像の形成に利用され
る、即ち、対象物０に投射される音波エネルギー
はじよう乱を受ける観察試料の弾性特性によつて
音波の強さに変動が起こり、このじよう乱音波エ
ネルギーは反射され水を通して再び音波レンズ１
８に反射伝送され、この反射音波エネルギーB1
で示されるように再び視準する。この反射音波エ
ネルギーは、じよう乱音波エネルギー検出器とし
ても動作する圧電変換器１４に供給される。この
音波エネルギーは変換器１４で電磁エネルギーに
変換された後オシロスコープに供給され、表示ビ
ームの強さを変え、試料像の最終的可視表示を与
える。
上記試料物点から発散するすべてのエネルギー
が利用されるのでこの音波顕微鏡では低密度の音
波エネルギーが用いられる。事実、平均エネルギ
ーレベル10-7W／cm2で優れたコントラストを示す
生物試料像が得られた。このエネルギーレベルは
生物試料の損傷限界値以下である。又実験の結
果、観察試料の弾性特性によつて優れたコントラ
ストが得られ、又前記のように400MHzの周波数
で約３ミクロンの分解能が得られた。周波数が
1.000MHz以上に増加すると約１ミクロンの分解
能が得られることは明らかで、又音波レンズの球
面収差のためこの優れた分解能には殆ど制限がな
いことを重ねて強調したい。
が利用されるのでこの音波顕微鏡では低密度の音
波エネルギーが用いられる。事実、平均エネルギ
ーレベル10-7W／cm2で優れたコントラストを示す
生物試料像が得られた。このエネルギーレベルは
生物試料の損傷限界値以下である。又実験の結
果、観察試料の弾性特性によつて優れたコントラ
ストが得られ、又前記のように400MHzの周波数
で約３ミクロンの分解能が得られた。周波数が
1.000MHz以上に増加すると約１ミクロンの分解
能が得られることは明らかで、又音波レンズの球
面収差のためこの優れた分解能には殆ど制限がな
いことを重ねて強調したい。
対象物の位置がマイクロメータ調整支持体２２
でＺ方向に変位されると、焦面に対する対象物の
位置が変わり、従つて対象物の異なる部分が焦
面、即ち音波ビームの狭小部（１ミクロン）に移
動することは明らかであろう。第３図に示される
ように、１ミクロンの対象物０が焦点Ｆにある
と、殆ど全部の音波ビームが遮断されて最大のじ
よう乱が現われる。しかし対象物０が点線位置ま
でＺ方向に僅かに移動してもビーム遮断とこれに
伴うじよう乱は大幅に減少し、従つて変位が大き
くなるとじよう乱は観察できない。しかし対象物
はＺ方向にかなりの大きさを有する場合には、上
記の変位によつて異なる深さの対象物局部、又は
断面が焦面に一致するから特定検査が可能にな
る。従つて対象物の内部の詳細を容易に研究でき
る。
でＺ方向に変位されると、焦面に対する対象物の
位置が変わり、従つて対象物の異なる部分が焦
面、即ち音波ビームの狭小部（１ミクロン）に移
動することは明らかであろう。第３図に示される
ように、１ミクロンの対象物０が焦点Ｆにある
と、殆ど全部の音波ビームが遮断されて最大のじ
よう乱が現われる。しかし対象物０が点線位置ま
でＺ方向に僅かに移動してもビーム遮断とこれに
伴うじよう乱は大幅に減少し、従つて変位が大き
くなるとじよう乱は観察できない。しかし対象物
はＺ方向にかなりの大きさを有する場合には、上
記の変位によつて異なる深さの対象物局部、又は
断面が焦面に一致するから特定検査が可能にな
る。従つて対象物の内部の詳細を容易に研究でき
る。
以上説明したように本発明によれば、光学顕微
鏡及び電子顕微鏡では不可能であつた透明物の細
部、又は不透明物内部の細部等をそのまま、例え
ば生物学的試料を着色する手段等を用いることな
く表示でき、又、高度の分解能、感度及びコント
ラストを有し、しかも構造も使用も簡単であると
いつた効果がある。更に、対象物によつてじよう
乱された反射音波エネルギーを検出し表示するの
で、じよう乱された透過音波エネルギーを検出し
表示するもののように対象物の厚さが限定されな
い利点を有する。
鏡及び電子顕微鏡では不可能であつた透明物の細
部、又は不透明物内部の細部等をそのまま、例え
ば生物学的試料を着色する手段等を用いることな
く表示でき、又、高度の分解能、感度及びコント
ラストを有し、しかも構造も使用も簡単であると
いつた効果がある。更に、対象物によつてじよう
乱された反射音波エネルギーを検出し表示するの
で、じよう乱された透過音波エネルギーを検出し
表示するもののように対象物の厚さが限定されな
い利点を有する。
第１図は、ブロツク図で示される関連電子式入
力装置と出力装置とを有する本発明の一実施例の
音波顕微鏡の中央断面略示図、第２図は第１図の
装置に用いられる音波レンズの動作を説明する線
図、第３図は第１図の装置で得られる対象物の内
部の細部情報の音波検出を説明する概略図であ
る。 １４…音波送受用圧電変換器、１６…音波伝搬
媒質、１８…音波レンズ、２０…流体媒質、２２
…支持体。
力装置と出力装置とを有する本発明の一実施例の
音波顕微鏡の中央断面略示図、第２図は第１図の
装置に用いられる音波レンズの動作を説明する線
図、第３図は第１図の装置で得られる対象物の内
部の細部情報の音波検出を説明する概略図であ
る。 １４…音波送受用圧電変換器、１６…音波伝搬
媒質、１８…音波レンズ、２０…流体媒質、２２
…支持体。
Claims (1)
- １ 音波伝搬媒質の端部に形成された所定の固定
焦点を有する音波レンズと、該音波レンズに向け
て上記音波伝搬媒質内に音波ビームを発生すると
共に、上記焦点に位置する対象物により反射され
じよう乱された反射音波エネルギーを検出する音
波送受兼用装置と、上記入射音波エネルギー及び
反射音波エネルギーの伝搬方向に設ける流体媒質
と、上記対象物と音波レンズの先端との距離を相
対的に変位して音波レンズの焦面を対象物の表面
ないし深さ方向の任意位置に可変設定する深さ方
向変位装置と、上記対象物と音波レンズの焦点と
を水平方向に相対的に走査する走査装置とを具備
したことを特徴とする走査型音波顕微鏡。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US44278274A | 1974-02-15 | 1974-02-15 | |
| US442782 | 1974-02-15 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6035255A JPS6035255A (ja) | 1985-02-23 |
| JPS6224741B2 true JPS6224741B2 (ja) | 1987-05-29 |
Family
ID=23758118
Family Applications (5)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP50018446A Expired JPS5944582B2 (ja) | 1974-02-15 | 1975-02-15 | 走査型音波顕微鏡 |
| JP58223058A Pending JPS59160754A (ja) | 1974-02-15 | 1983-11-26 | 走査型音波顕微鏡 |
| JP58223057A Pending JPS6035254A (ja) | 1974-02-15 | 1983-11-26 | 音波顕微鏡 |
| JP58223059A Pending JPS59160755A (ja) | 1974-02-15 | 1983-11-26 | 音波顕微鏡 |
| JP58243131A Granted JPS6035255A (ja) | 1974-02-15 | 1983-12-24 | 走査型音波顕微鏡 |
Family Applications Before (4)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP50018446A Expired JPS5944582B2 (ja) | 1974-02-15 | 1975-02-15 | 走査型音波顕微鏡 |
| JP58223058A Pending JPS59160754A (ja) | 1974-02-15 | 1983-11-26 | 走査型音波顕微鏡 |
| JP58223057A Pending JPS6035254A (ja) | 1974-02-15 | 1983-11-26 | 音波顕微鏡 |
| JP58223059A Pending JPS59160755A (ja) | 1974-02-15 | 1983-11-26 | 音波顕微鏡 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (5) | JPS5944582B2 (ja) |
| AT (1) | AT351283B (ja) |
| CA (1) | CA1029462A (ja) |
| CH (1) | CH581368A5 (ja) |
| DE (1) | DE2504988C2 (ja) |
| FR (1) | FR2261527B1 (ja) |
| GB (1) | GB1503734A (ja) |
Families Citing this family (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4012950A (en) * | 1974-12-12 | 1977-03-22 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford University | Method of and apparatus for acoustic imaging |
| US4030342A (en) * | 1975-09-18 | 1977-06-21 | The Board Of Trustees Of Leland Stanford Junior University | Acoustic microscope for scanning an object stereo-optically and with dark field imaging |
| JPS6130211Y2 (ja) * | 1977-12-14 | 1986-09-04 | ||
| EP0033751B1 (en) * | 1980-02-08 | 1983-06-22 | Hitachi, Ltd. | Ultrasonic transducer using ultra high frequency |
| JPS6318919Y2 (ja) * | 1980-03-26 | 1988-05-27 | ||
| JPS589063A (ja) * | 1981-07-08 | 1983-01-19 | Noritoshi Nakabachi | 超音波顕微鏡 |
| JPS6254159A (ja) * | 1985-09-03 | 1987-03-09 | Olympus Optical Co Ltd | 位相差型超音波顕微鏡 |
| JPS61280562A (ja) * | 1986-06-20 | 1986-12-11 | Hitachi Ltd | 超音波顕微鏡 |
| JPS6242068U (ja) * | 1986-06-25 | 1987-03-13 | ||
| JP2657949B2 (ja) * | 1987-04-30 | 1997-09-30 | 北海製罐株式会社 | 管状体の成形装置 |
| DE202006020870U1 (de) | 2005-04-11 | 2010-07-29 | Pva Tepla Analytical Systems Gmbh | Akustisches Rastermikroskop |
| DE102006005449B4 (de) | 2005-04-11 | 2010-11-25 | Pva Tepla Analytical Systems Gmbh | Akustisches Rastermikroskop und Autofokus-Verfahren |
| DE102006032431B4 (de) * | 2006-06-22 | 2011-12-01 | Siltronic Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Detektion von mechanischen Defekten in einem aus Halbleitermaterial bestehenden Stabstück |
| SG138524A1 (en) | 2006-06-22 | 2008-01-28 | Siltronic Ag | Method and apparatus for detection of mechanical defects in an ingot piece composed of semiconductor material |
| EP2780726A4 (en) | 2011-11-18 | 2015-07-15 | Sonix Inc | METHOD AND APPARATUS FOR EQUALIZING SIGNAL PATH IN ACOUSTIC SCAN MICROSCOPE |
| CN111208200B (zh) * | 2020-02-28 | 2020-10-20 | 北京理工大学 | 一种Ti-Al系合金药型罩组织一致性检测装置和检测方法 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2912853A (en) * | 1955-04-18 | 1959-11-17 | Gen Motors Corp | Ultrasonic transmission testing method |
| US3024644A (en) * | 1957-01-16 | 1962-03-13 | Univ Illinois | Ultrasonic microscope |
| JPS5237383B2 (ja) * | 1971-08-06 | 1977-09-21 | ||
| US3774717A (en) * | 1971-12-27 | 1973-11-27 | Univ Leland Stanford Junior | Method of and apparatus for particle detection and identification |
| US4295078A (en) * | 1980-05-12 | 1981-10-13 | Rca Corporation | Color television receiver degaussing circuit |
-
1975
- 1975-02-04 DE DE19752504988 patent/DE2504988C2/de not_active Expired
- 1975-02-11 FR FR7504159A patent/FR2261527B1/fr not_active Expired
- 1975-02-11 AT AT100575A patent/AT351283B/de not_active IP Right Cessation
- 1975-02-14 CH CH184075A patent/CH581368A5/xx not_active IP Right Cessation
- 1975-02-14 GB GB638275A patent/GB1503734A/en not_active Expired
- 1975-02-14 CA CA220,144A patent/CA1029462A/en not_active Expired
- 1975-02-15 JP JP50018446A patent/JPS5944582B2/ja not_active Expired
-
1983
- 1983-11-26 JP JP58223058A patent/JPS59160754A/ja active Pending
- 1983-11-26 JP JP58223057A patent/JPS6035254A/ja active Pending
- 1983-11-26 JP JP58223059A patent/JPS59160755A/ja active Pending
- 1983-12-24 JP JP58243131A patent/JPS6035255A/ja active Granted
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| ULTRASONICS SYMPOSIUM PROCEEDINGS=1973 * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5944582B2 (ja) | 1984-10-30 |
| JPS6035255A (ja) | 1985-02-23 |
| FR2261527A1 (ja) | 1975-09-12 |
| DE2504988C2 (de) | 1984-08-23 |
| DE2504988A1 (de) | 1976-01-08 |
| AT351283B (de) | 1979-07-10 |
| CH581368A5 (ja) | 1976-10-29 |
| JPS59160755A (ja) | 1984-09-11 |
| JPS50116058A (ja) | 1975-09-11 |
| CA1029462A (en) | 1978-04-11 |
| GB1503734A (en) | 1978-03-15 |
| JPS59160754A (ja) | 1984-09-11 |
| ATA100575A (de) | 1978-12-15 |
| FR2261527B1 (ja) | 1977-07-08 |
| JPS6035254A (ja) | 1985-02-23 |
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