JPS6035255A - 走査型音波顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は一般に顕微鏡、特にへ周波音波エネルギーを用
いる走査型音波顕微鏡にｒ！！！連する。

従来型顕微鏡は２ｆＪの放射線、即ち光学！Ｔｉ　（；
を鏡では電磁波、電子顕微鏡では電子波を使用する。

光学顕微鏡は長年にわたって改良され、これで生物綱胞
のような微小対象物の正確な西が１！７られる。この改
良にも拘らず、光学ｍ　ｔｇｔ　鏡は結像される試料の
誘電特性を基本的に感知ブるものであるから固有の限界
がある。従っである秒の対象物は光学的に透明なため像
が現われず、他の対象物は光学的に不透明なため内部の
詳細が現われない。

又組織切片及び細胞０円液のようなある秤の生物試料で
は固有の光学的コントラストが少ないのでコントラスｔ
−ｇ　ｒ！ｃに限界がある。このコントラストの限界は
生物学的試料を着色する非常に手のかかる技術によりあ
る程度改善できる。

勿論、電子顕微鏡は製作も使用法も技術的にはるかに困
難である。又生きている１１１１１１のようなある種の
対象物は、真空中に支持する必要があること、及びＩＩ
Ｉ胞を破填する電子ボンバードのために検査できない。

周波数的１，０００Ｍｌ−１ｚの音波が比較的最近の開
発で発生できるようになったため水中の音波波長約１ミ
クロンが得られ、従って高分Ｗｌ浄が１７られる優れた
ｎｒＲの可能性が示唆されるようになった。又音波エネ
ルギーの走査１反射及び吸収を決めるのは試料の誘電特
性ではなく弾性特性の変化である。このため、光学的又
は電子的に不透明のある種の試料の表面下の細部の研究
が可能になった。更に最も重要なことは弾性特性の変化
は又異なる細部を表示し、特に大きな固有音波コントラ
ストを与えることである。

従って本発明の一般目的は高度の分解能、感度及びコン
トラストを有し、しかも栴造も使用法も簡単な音波顕微
鏡を提供することにある。

この目的を達成するため、マイク０波領域の無線周波数
（ＲＦ）エネルギーが圧電トランスデユーサに印加され
て音波伝ｍｔｓ質内にＦＡ準、即ちコリメートされたビ
ーム形式の強力な音波を光生し、このビームは音波レン
ズに送られ、このレンズは上記伝搬媒質内で簡単ではあ
るが有効な凹面形を形成し、かつ隣接する流体媒質内の
焦点に音波エネルギーを集束するため焦面に支持された
試料又は対象物と音波接触する。この音波レンズは最小
球面収差を有するように設置１されているので顕微鏡の
分解能は回折だけに限定されることが本発明の重要特徴
である。対象物の走査は集束音波ビームと対象物との相
対１ｉ！Ｊ　？ｌ、例えば焦面内における対色物自体の
単純な門械的並進運動で行われる。

対象物のす１質、特にその弾１１によって音波エネルギ
ーは吸収１反射及び／又は散乱されるので、創出音波エ
ネルギーの強さ又は位相変化としてのしよう乱を生じ、
このしよう乱は圧電トランスデユーサで検出される。じ
よう乱は送信音波エネルギーにも反則音波エネルギーに
も存在づるので、観察される特定試料によって送信エネ
ルギー又は反射エネルギーで検出される。

検出された音波信号は可視表示のためオシロスコープに
印加され、又音波エネルギーの焦面内の樋械的走査によ
る対象物の運動は表示オシロスコープの電子ビームの走
査と同期される。又このビームの強さは、電子ビームが
螢光板に百突した助良好な可視員が臂られるように、対
象物で送られる音波エネルギーに比例させる。

正確な選択周波数によって非常に高い分解能が冑られる
。例えば、４００ＭＨｚの周波数を用いると分解能は約
３ミクロンになり、又１．５Ｇｌ−１２を用いると１ミ
クロン以下のＲｎ分解能が行られる。前述の音波レンズ
設計により球面収差はこの分解能に対して何の制限も与
えない。

全音波ビームが利用されるから最小前の音波エネルギー
で優れたコントラストを有する像が１ワられる。又侵れ
たＳＮ（借り対雑音）特性が平均エネルギーレベル１０
−７ワツト／　ｃｍ’で容易に１７られる。従って必要
なエネルギーは生物試Ｉｔの１１例レベルよりも十分に
低い。

種々の検出装置が使用できる。伝送された音波エネルギ
ーは類似の音波レンズで再ＰＡ準された後、感度の大き
い圧電トランスデユーサ、即ち圧電変換器で検出される
。音波レンズ自体はｔｓ質に適当な凹面を形成すること
によって簡単に１りられ、又は″“不遊レンズ″のよう
な−ｒＭ　７Ｍ　Ｇ’ｆｔなレンズをＲ用して、球面収
差特にビーム軸外のｆｉｒｔ域の球面収差を低下できる
。本発明ではレンズのＩｇｉ面を透過する音波エネルギ
ーの伝送は最狭部のビーム断面が最適形−状になるよう
に制御することが可能である。これはビーム断面が最大
の位相分解能を与えることを考虚したものである。

透過音波エネルギーではない反射音波エネルギーは伝送
用変換器、又は分熱されかつ５へ当な位置に前面された
第２レンズと変換器で検出される。

又横方向一定間隔に配阿された？！を数の変換器とレン
ズを、省微鏡内を連続的に運動する対象物に対して使用
することができ、検出された出力は、適当な遅延時間後
、結合して最終的に非常に高いＳＮ比を（りることがで
きる。種々の信号処理技術がこの方法に使用できる。

又音波エネルギーに曝露される対象物又は試料は位相変
化を生じるので、位相じよう包合波は又あとの表示のた
め位相基準信号と比較できる。

入力エネルギーは又現用レーダ装置のように大幅に変え
ることができ対象物の更に詳朝な情報を与える。例えば
入力信号は゛チャーブ′″　（ｃｈｉｒｐ　：線形掃引
周波数）形式とすることができ、又異なる周波数の各種
入力信号を対象物に連続的に印加した後再結合すること
もできる。最終可視像のコントラストを改善づる異なる
色彩表示を右マるカラー表示オシロスコープ（ｊその一
例である。

更に対象物は音波エネルギーの方向に沿って運動できる
ように支持され、対象物の各断面を焦面内に移動するこ
とによって対象物の内部変化等を検出することができる
。

又基準波を音波ボログラフィ方式で与えて三次元像を冑
ることもできる。

上記本発明の目的とてれを達成する方法は添付図面に示
す実施例による下記の詳細な説明から明らかであろう。

第１図の無線周波数発振器１０は同軸線１２を通して、
例えば４００ＭＨｚの周波数の電磁波１ネルギーを供給
するよう配置され、この同軸線の末端はＢ１で示す規準
ビームどして強力な音波を発生するため音波伝１１ｆｌ
ｆｉ＊１６の端部の薄膜又は板状の圧電変換器１４にエ
ネルギーを供給する。

変換器１４は図示の実施例では酸化亜鉛の薄膜であるが
、ニオプロリチウム、硫化カドミウム。

硫化亜鉛その他ｌ々の圧電材料が使用できる。又この実
施例の音波伝ｍｆｉ′ｊ！ｔ１６はサファイアであるが
、ＷｊｌｆｆＦ石英、イツトリウム−アルミニウムざく
ろ石のような他のＷ、質、硫化カドミウムのような圧１
１り休、又は他の公知の伝１■１も使用される。しかし
本発明の目的には後述のようにかなり高い音波伝搬３１
１度を有する媒質を使用するのが好適である。

音波レンズ１８は、圧電変り器１４と反対側で伝搬媒質
１６の端部に形成され、図示のようにサファイア材料の
端部を研磨して凹面を形成する。

詳記すれば上記レンズはｆ数は０．６５を有する曲率半
径０．４１に研磨する。従って音波の規準ビームＢ１は
、図示実施例では例えば、上記音波レンズ１８を形成し
た音波伝搬媒質１６端郡と、後述の音波レンズを形成し
た別の音波伝ｎｔＲ質端部とのｔｉｌｌに表面張力によ
って保持される水を使用する流体！１２０内に集束され
る。水はサファイアと比較して音波伝搬速度が低い媒質
であるから、上記音波レンズは正レンズを措成し音波ビ
ームを焦点Ｆに集束する。

サファイアは水よりもはるかに音波伝搬速度が大きく、
これらの音速比ＣＩ／Ｃ２は約７．４５であるから、第
２図に示す通り、音波エネルギーの屈折線とレンズ１８
の交差半径Ｒとの間の角θ２は小さな値になる。勿論こ
の値はスネルの法則、即ちｓｉｎθ２　＝Ｃ２／Ｃ＋　
ｓｉｎθ１で決り、このＢ１は第２図に示す通り音波エ
ネルギーの入射線と曲率半径の延長線との間の角である
。従って、サファイアと水をｔｓ、質として使用すると
最小錯乱円直径は１ミクロン以下に減少され、レンズ１
８のこの球面収差のため音波顕微鏡の分解能を１ミクロ
ン以下にできる。図示の実施例では周波数４００ＭＨｚ
を使用すると水中音波の波長は約３゜７５ミクロンにな
るから音波レンズのこの最小球面収差のため分解能には
実際の制限はない。浄の最小錯乱円を更に小さくするた
め音波レンズに特別のコーチングを施してもよい。

上記のように、観察すべき対象物又は試料０は焦点Ｆの
位置で流体媒質２ｏ内に支持され、又この実施例では試
料に簡単な１３械的運動を与えて走査する装置が設けら
れる。第１図に暗示されるように、マイクロメータを有
するｉ１１整可能な支持係２２によって試料ＯはＺ方向
で焦面に一致させるように調整できる。又焦面内では第
１図のＸ方向の迅速な走査はスピーカ２４を上記支持体
２２上に装着することによって行われ、このスピーカコ
ーンは試料又は対象物に接続される。支持係２２は更に
ラム２３でＹ方向に油圧で往復運−Ｖする載物台２６上
に１着される。スピーカ２４の駆動電圧と同一電圧がＮ
源２５からオシロスコープ２８の水平閂向制曲部に供給
され、又往盲する載物台２６はポテンシオメータ３ｏに
接続され、ポテンシオメータの出力電圧はオシロスコー
プ２８の垂直鍋内制御部に供給されるので対象物の位置
とオシロスコープビーム位置との間には１対１の対応が
得られる。事実、走査速度３０Ｃ１／秒で３ｍｍの視野
が１１られるから１秒以内に完全な内がオシロスコープ
上に形成される。

公知のように、任意の時期に対象物Ｏに投射される音波
エネルギーはじよう乱をうけるから、観察試料の弾性特
性によって音波の強さ及び７．／又は位相に変動が起こ
り、このしよう包合波エネルギーは水を通して別の音波
レンズ３２に伝送され、このレンズは通常前記音波レン
ズ１８と同じもので、又これらの２＠Ｉのレンズ１８ど
３２は焦点が一致づるように配置される。音波伝搬媒体
３４の端部には音波レンズ３２が形成されこの媒質を通
って伝送される音波エネルギーを８２で示されるように
再び規準し、この音波エネルギーは、間化亜鉛又は伯の
適当な圧電材料で作られ、従ってしよう包合波エネルギ
ー検出器として動作する圧電変換器３６に供給される。

この音波エネルギーは変換器で１！磁エネルギーに変換
された後オシロスコープに供給され、表示ビームの強さ
を変え、試料像の最終的可視表示を与える。

上記試料物点から発散プるすべてのエネルギーが利用さ
れるのでこの音波Ｆｔ微ｎでは低密度の音波エネルギー
が用いられる。１！実、平均エネルギーレベル１０−’
　Ｗ／Ｃ１１ｌ’で優れたコントラス］−を示す生物試
料像が冑られた。このエネルギーレベルは生物試料の損
傷限界値以下である。又実験の結果、観察試料の弾性特
性によって優れたコントラストが得られ、又前記のよう
に４００　ｔｖｌ　Ｈｚの周波数で約３ミクロンの分解
能が得られた。周波数が１．ＣＬＯＯＭＨｚ以上に増加
すると約１ミクロンの分解能が得られることは明らかで
、又音波レンズの球面収差のためこのうれた分１ｌＩ７
能には殆ど制限がないことを重ねて強ｉ！！シたい。

対象物の位置がマイクロメータ岡整支持休２２で７方向
に変位されると、焦面に対する対象物の位置が変わり、
従って対飢物の異なる部分が焦面、即ち音波ビームの挟
小部（１ミクロン）に移動することは明らかであろう。

Ｗ′１３図に示されるように、１ミクロンの対象物Ｏが
焦点Ｆにあると、殆ど全部の音波ビームが遮断されて最
大のしよう乱が現われる。しかし対象物Ｏが点線位置ま
で２方向に僅かに移動してもビーム遮断とこれに伴うじ
よう乱は大幅に減少し、従って変位が大きくなるとじよ
う乱はＩ！察できない。しかし対象物はＺ方向にかなり
の大きさを有する場合には、上記の変位によって異なる
深さの対象物局部、又は断面が焦面に一致するから特定
検査が可能になる。従って対象物の内部の詳細を容易に
研究できる。

前記の通り、対象物又は試料による音波ビームの遮断は
反射、及び透過エネルギーの強さと位相にじよう乱を生
じ、本発明の原理によるとこの反射エネルギーが可視像
の形成に利用される。勿論、この反射エネルギーの一部
は第１図の圧電変換器に戻された後表示用オシロスコー
プに供給される。

第４図に暗示された変形装置は入射エネルギーと反射エ
ネルギーとを分離する利点がある。詳記すると、可変無
線周波数発振器３８はプリズム状伝搬媒質４２の一面上
の第１圧電変挽器４０に音波入力エネルギーを供給して
？！準ビームＢ３を生じ、このビームは音波レンズ４４
で焦点Ｆに整束され、この焦点に試料又は対象物０が流
体Ｗｆｆ４８内の適当な支持係４６で支持され、この媒
質は第１実施例のように水でもよく、又更に音波伝１１
′！２速度が低く、かつ波長ど球面収差を減少づる液体
ヘリウムのような他の流体でもよい。対象物。で反射さ
れたエネルギーは前記プリズム状伝順媒賀４２内に適当
に配置された第２音波レンズ５ｏで反射ビームＢ４とし
て再び７１　ｆＰされ、このエネルギーは第２圧電変換
器５２で検出され、第１実施例と同様に表示オシロスコ
ープに供給される。

しかし可変無線周波数発振器３８はｒｉ雑なレーダー動
作で゛′ヂャープ″ど一般に呼ばれる線形抑引入力信丹
を発生し、レーダーと同様に対勺物の細部のりが形成さ
れる。

又、上記発振器３８又は異なる周波数で動作する数個の
９罰した発振器は、圧電変換器４ｏに供給される信号、
及びオシロスコープ５４に供給される信号を有すること
もでき、このオシロスコープは異なる周波数信号の各色
表示及びそれらの組合せからなる表示像が１りられる多
色ユニツ１−形式のオシロスコープでもよく、従っであ
るｊり合には対ｇ′！物に門ツるより多くの情報が得ら
れる。

上記実施例では単一の入ツノ音波ビームを用いるが、例
えばＳＮ比の著しい改良等の１点は対象物を適当な順庄
で一連のビームに曝露することによりｉｑられる。例え
ば第５図に示されるように無線周波数発振器５６からの
入力エネルギーは、１Ｒの伝搬媒質６４上で通常横方向
に一定間隔離して配置した３個の入力変換器５８，６０
．６２に印加され、３本の平行なビームＢｓ　、Ｂ６及
びＢ７を形成し、これらのビームは３個の同じレンズ６
６．６８．７０で共通の焦面上の３焦点に集束される。

適当な支持係７２上の対象物Ｏは３本の集束ビームによ
って機械的に走査され、所定の荷量順序でビームをじょ
う乱する。じょう乱入力信号は単一の出力伝ｌ！１１ｔ
ｓ質８０に形成された音波レンズ７４．７６．７８によ
って３本の出力ビームＢ８、Ｂ９及びＢ＋ｏに再び？１
単される。第５図に示されるように対象物０が下方にｅ
１械的に動がされると仮定すると、可変同量遅延賛同８
８ど９０は第１及び第２出力信号の供給を遅延するよう
にセットされているから、３ｇの出力はすべて電子式加
ｎＮ９２に供給され、組合せ出ノＪ　ｆｆｉ表示用オシ
ロスコープ９４に送られる。上記の３個の遅延装置に発
生する゛雑音”は非干渉的に集められるが、各装置の対
象物信号は加律されるので、使用する遅延装置の数に比
例してＳＮ比が取付される。

対象物Ｏは流体媒質９６内で３！！！続的に動かされる
が、共通焦面内の正確な位置を保持するため例平な内面
を有する案内部材９８が伝１１ＷＷ　６４と８０上に装
着される。これらの案内部材９８はエポキシ又は音波低
損失特性を右Ｊる他の材料で作られ、又この低損失材料
の挿入物は勿論他の実施例にも有効である。

前記実茄例において、検出と生成性は、主として音波エ
ネルギーの通路にある試料又は対象物のため生じた透過
エネルギー又は反射エネルギーの種々の強度によるもの
として説明した。前述のように位相変化も生じこれらの
変化は爪乎瞥的に可視像を形成するのに利用される。例
えば、第６図の１個のＲＦ発振器１００からのＲＦエネ
ルギーはニオブ酸リチウムの伝ｍ媒質１０６の同一平面
上の２個の変換器１０２．１０４に同曲に伝送され２個
の類似の音波ビームＢｎ、Ｂ＋２を生じ、これらのビー
ムは類似の音波レンズ１０８．１１０で集束され、これ
らのレンズ゛はニオブ耐すヂウム内の単純な凹面で形成
されるが、図示のように各レンズは、公知のように球面
収差を１口にＪるためガリウム１１４の中間層を有し、
かつ適当に研磨した融解石英１１２を含む複合不ｈレン
ズである。

対象物０は一方のビームＢ　ｎの焦点でこのビームに曝
露され、位相がじょう乱された出力は検出用変換器１２
０に伝送するため伝１１．！ｉ晶１１８に隣接した他の
レンズ１１Ｇで再び規準される。他のビームＢ　１２は
集束後、類似レンズ１２２で再び規準された後、対応す
る変換器１２４で検出され、この両出力は標準位相比較
器１２Ｇに送られ、次いでその出力は可視像を現わす表
示用オシロスコープ１２８に供給される。

以上説明したように本光明によれば、次のような効果が
ある。光学顕微鏡及び電子顕微鏡では不可能であった透
明物の細部、又は不ｊ１明物内部の綱部等をそのまま、
例えば生物学的試料を着色する手段等を用いることなく
表示できる。又、対象物と焦点とをｎ械的に相対的に走
査しじよう乱音波エネルギーの検出信号から対象物の作
；を表示する構成なので、高度の分解能、感度及びコン
トラス］〜を有し、しかも（音道も使用も簡単である。

更に、じよう乱された音波エネルギーは一旦電気借りに
変換されて表示されるので増幅等秤々の電気的処理が行
える。更に又、対象物の厚さ方向と音波レンズの焦面ど
を相対的に変位できるので、対象物の表面のみならず内
部の任意位置に焦面を設定でき、その結果対象物の内部
像を検出できる。

本発明の実施態様を列挙すれば下記の通りである。

１、　音波顕微鏡は、音波伝搬ｔｌ！ｔ、買が流体媒質
よりも本質的に速い音波速度を有する走査型音波顕微鏡
。

２、　音波ｆｉ顕微鏡、音波伝搬媒質がその一端部に音
波レンズを形成するため球状凹面を有する固体からなる
走査型音波顕微鏡。

３、　実施前１！第２項記載の顕微鏡で、音波ビーム発
生Ｆｉｌが、音波レンスと整列した固体の伝搬ｔｓ質の
他端部に圧電を利用した音波変ｍＮを含む走査型６波顕
微鏡。

４、　実施態様第２項記載の顕微鏡で、流体ｔ！４質の
反対側に上記音波レンズと焦点が一致する第２音波レン
ズを形成する凹面を有する＠２音波伝皿媒質を含み、か
つ検出装置が第２音波レンズの反対側の第２＠波伝ｍ媒
賀ｇ６郡に圧電変換器を含む走査型音波顕微鏡。

５、　音波顕微鏡は、音波ビームに直角な平面内で移動
できるように対象物を支持’ｊ　８　ｎ　Ｒを含む走査
型音波顕微鏡。

６、　実施態様第５項記載の顕微鏡で、対象物支持装置
が平面内の直角２方向に移動できるように対象物を支持
する走査型音波顕微鏡。

７、　音波顕微鏡は、音波ビームの方向に治って移動で
きるように対ＩＩＡ物を支持する装置を含む走査型音波
顕微鏡。

８、　音波顕微鏡は、音波レンズが不遊レンズである走
査型音波顕微鏡。

９、　音波顕微鏡は、対象物を透過した音波エネルギー
を検出するため検出装置が配置された走査型音波顕微鏡
。

１０、音波顕微鏡は、対象物で反射された音波エネルギ
ーを検出するため検出装置が配置された走査型音波顕微
鏡。

１１、　音波顕微鏡は、音波ビーム発生装置がマイク０
′Ａ波数範囲で動作するＲＦ発振恭を含む走査型音波顕
微鏡。

１２、　実施態様第１１項記載の顕微鏡で、ＲＦ周波数
発振器がチャープ出力を発生する走査型音波顕微鏡。

１３、　実施態様第１１項記載の顕＋ａ　ｔｒｙで、ｒ
（Ｆ周波数発振器の出力と、対象物でしよう乱された検
出音波信号との位相を比較する装置を含む走査型音波顕
微鏡。

１４、　音波′ｌｔ１微鏡は、対染物から反射された音
波エネルギーを受信する位置で伝ｍＷ、質内に第２音波
レンズを形成する装置を含む走査型音波顕微鏡。

１５、　音波ＰＩ’（微鏡は、音波伝搬媒質と流体媒質
との間に挿入された低い音波損失９ＭＭを含む走査型音
波顕微鏡。

１Ｇ、　音波顕Ｉｙ！！、鏡は、横方向に一定間隔に門
れた位置で伝搬＊＊端部に少くとも１個の別の音波レン
ズを形成する装置：該音波レンズに対する音波ビームを
発生する装置：該音波ビームを通して順次対象物を移動
する装置；上記各ビームからのしよう乱音波エネルギー
を検出する装置：検出間Ｆ１％【こ関連して検出音波信
号を遅延する峙間遅延１１胃；及び上記全音波ビームか
らの検出信号を組合わせる装置、を含む走査型音波顕微
鏡。

１７、　音波顕微鏡は、伝ＷＩｆｉＭ内に第２音波レン
ズを形成する＠置；第１音波レンズとの共通平面内に焦
点を有する該第２音波レンズに向けて上記伝Ｉ媒質内に
第２音波ビームを発生する装置：第１音波ビームと交差
するように対象物を支持する装置；第１及び第２音波ビ
ームから生じる音波信号を検出する装置；及び第１及び
第２検出音波信号の位相を比較する装置、を含む走査型
音波顕微鏡。

１８、　音波顕微鏡は検出音波信号を可視表示する装置
を含む走査型音波顕微ｍ。

１９、　実７ＪＩ態様第１８項記載の顕微鏡で、可？ｎ
表示装置がオシロスコープを含む走査型音波顕微鏡。

２０、実施態様第１９項記載の類１ｐｉ鏡で、オシロス
コープは数種の色彩表示を与えるＪ：うに０作し、この
顕微鏡が、異なる周波数の数種の音）皮ビームを発生す
る装置：異なる周波数の種々σン音波ビームから生じた
異なるしよう包合波信号を検出する装置；及び異なる色
彩の可視表示をする！＝め上記オシロスコープに異なる
音波信号３供給する装置、を含む走査型音波顕微鏡。

２１、　実施Ｉ′ｉ！１様第２項記載の顕微鏡で、伝搬
媒質と流体媒質の音波伝搬速度の比は十分に大きく、レ
ンズの分解能は屈折によってのみ限定される走査型音波
Ｎ微ｔ１゜

【図面の簡単な説明】

第１図は、ブロック図で示される開運電子式入力装置と
出力装置とを有する本発明の一実施例の音波顕微鏡の中
央断面明示図、第２図は第１図の装置に用いられる音波
レンズの動イヤを説明する線図、第３図は第１図の装置
で１りられる対象物の内部の細部情報の音波検出を説明
する概略図、第４図は反射音波エネルギーが検出される
一変形実施例の断面明示図、第５図は複数検出を行う他
の実施例の断面明示図で、第６図は音波エネルギーの位
相じよう乱が検出かつ表示される他の一実施例の断面明
示図である。 １４．３６・・・圧電変換器 １６．３４・・・音波伝搬媒質 １８．３２・・・音波レンズ ２０・・・流体媒質　２２・・・支持体、′”で”　・
ゝ、・ 代理人　弁理士　伊　藤　進（′・　パ１第２図 第３図 第４図 第１頁の続き ｏ発　明　者　ロス・ニー拳しモンズ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）音波伝ｍｔｓ貿の端部に形成された所定の焦点を
   右する音波レンズと、該音波レンズに向けて上記音波伝
   所媒質内に音波ビームを発生させる装置と、音波エネル
   ギーの減衰を抑制するため該音波エネルギーの伝搬方向
   に設ける液体媒質と、上記焦点に位置する対象物によっ
   てじよう乱された音波エネルギーを検出する装置と、上
   記対象物の厚さ方向と音波レンズの焦面とを相対的に変
   位して音波レンズの焦面を対象物の浮さ方向の任意位置
   に設定する変位装置と、上記対象物と音波レンズの焦点
   とを相対的に走査する走査装置とを具備したことを特徴
   とする走査型音波顕微鏡。
2. （２）じよう乱された音波エネルギーを検出する装置は
   、端部に音波レンズを形成した上記音波伝ｍｔｓ質とは
   別に設けられて上記音波レンズと対峙した音波レンズを
   有する音波伝ＷｉＩｓｊｌｆの他端に配設されて、上記
   しよう乱された透過音波エネルギーを検出するものであ
   ることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の走査
   型音波顕微鏡。
3. （３）じよう乱された音波エネルギーを検出する装置は
   、上記音波レンズに向けて音波伝ｖｆ４ｔｓ質内に音波
   ビームを発生させる装置が兼用し、上記しよう乱された
   反射音波エネルギーを検出するものであることを特徴と
   する特許請求の＃ｌ！囲第１項に記載の走査型音波顕微
   鏡。
4. （４）じよう乱された音波エネルギーを検出する装置は
   、上記音波エネルギーの伝１９方向に対し所定の傾斜角
   度を有する対象物によって反射されじよう乱された反射
   音波エネルギーの伝搬方向に設けられ、この反射音波エ
   ネルギーを検出するものであることを特徴とする特許請
   求の範囲第１項に記載の走査型音波Ｊ！Ｉｒａ鏡。