JPS59160755A - 音波顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は一般に顕微鏡、特にへ周波音波エネルギーを用
いる顕微鏡に関連する。

従来型顕微鏡は２種の放射線、即ち光学顕微鏡では電磁
波、電子顕微鏡では電子波を使用する。

光学顕微鏡は長年にわたって改良され、これで生物細胞
のような微小対象物の正確な像が得られる。この改良に
も拘らず、光学ｉ　Ｉｆｌｌｌは結像される試料の誘電
特性を基本的に感知するものであるから固有の限界が１
ある。従っである種の対象物は光学的に透明なため像が
現われず、他の対象物は光学的に不透明なため内部の詳
細が現われない。

又組織切片及び細胞懸濁液のようなある種の生物試料で
は固有の光学的コントラストが少ないのでコントラスト
感度に限界がある。このコントラストの限弄は生物学的
試料を着色する非常に手のかかる技術によりある程度改
善できる。

勿論、電子顕微鏡は製作も使用法も技術的にはるかに困
難である。文士きている細胞のようなある種の対象物は
、真空中に支持する必要があること、及び細胞を破壊す
る電子ボンバードのために検査できない。

周波数的１．ＯＯＯＭＨｚの音波が比較的最近の開発で
発生できるようになったため水中の音波波長約１ミクロ
ンが得られ、従って高分解像が得られる優れた機構の可
能性が示唆されるようになった。又音波エネルギーの走
査９反射及び吸収を決めるのは試料の誘電特性ではなく
弾性特性の変化である。このため、光学的又は電子的に
不透明のある種の試料の表面下の細部の研究が可能にな
った。更に最も重要なことは弾性特性の変化は文具なる
細部を表示し、特に大きな固有音波コントラストを与ふ
ることである。

従って本発明の一般目的は高度の分解能、感度及びコン
トラストを有し、しかも構造も使用法も簡単な音波顕微
鏡を提供することにある。

この目的を達成するため、マイクロ波領域の無線周波数
（ＲＦ）エネルギーが圧電トランスデユーサに印加され
て音波伝搬媒質内に規準、即ちコリメートされたビーム
形式の強力な音波を発生し、このビームは音波レンズに
送られ、このレンズは上記伝搬媒質内で簡単ではあるが
有効な凹面形を形成し、かつ隣接する流体媒質内の焦点
に音波エネルギーを集束するため焦面に支持された試料
又は対象物と音波接触する。この音波レンズは最小球面
収差を有するように設計されているので顕微鏡の分解能
は回折だけに限定されることが本発明の重要特徴である
。対象物の走゛査は集束音波ビームと対象物との相対運
動、例えば焦面内における対象物自体の単純な機械的並
進運動で行われる。

対象物の佐賀、特にその弾性によって音波エネルギーは
吸収１反射及び／又は散乱されるので、射出音波エネル
ギーの強さ又は位相変化としてのしよう乱を生じ、この
しよう乱は圧電トランスデユーサで検出される。じよう
乱は送信音波エネルギーにも反射音波エネルギーにも存
在するので、観察される特定試料によって送信エネルギ
ー又は反射エネルギーで検出される。

検出された音波信号は可視表示のためオシロスコープに
印加され、又音波エネルギーの焦面内の１５１械的走査
による対象物の運動は表示オシロスコープの電子ビーム
の走査と同期される。又このビームの強さは、電子ビー
ムが螢光板に衝突した吋良好な可視像が得られるように
、対象物で送られる音波エネルギーに比例させる。

正確な選択周波数によって非常に高い分解能が１ｑられ
る。例えば、４００　Ｍ　Ｈｚの周波数を用いると分解
能は約３ミクロンになり、又１．５ＧＨ２を用いると１
ミクロン以下の最終分解能が得られる。前述の音波レン
ズ設計により球面収差はこの分解能に対して何の制限も
与えない。

全音波ビームか利用されるから最小量の音波エネルギー
で優れたコントラストを有する像が得られる。又１りれ
だＳＮ（信号対雑音）特性が平均エネルギーレベル１０
−７ワツト、／’Ｃｍ２で容易に得られる。従って必要
なエネルギーは生物試料の損傷レベルよりも十分に低い
。

種々の検出装置が使用できる。伝送された音波エネルギ
ーは類似の音波レンズで再規準された後、感度の大きい
圧電トランスデユーサ、即ち圧電変′Ｌ 換器で検出される。音波レンズ自体は媒質に適当な凹面
を形成することによって簡単に得られ、又は“不遊レン
ズ゛′のような一層複雑なレンズを使用して、球面収差
特にビーム軸外の領域の球面収差を低下できる。本発明
ではレンズの断面を透過する音波エネルギーの伝送は最
狭部のビーム断面が最適形状になるように制即すること
か可能である。これはビームｌＩｉ面が最大の位相分解
能を与えることを考慮したものである。

透過音波エネルギーではない反射音波エネルギーは伝送
用変換器、又は分離されかつ適当な位置に配置された第
２レンズと変換器で検出される。

又横方向一定間隔に配置された複数の変換器とレンズを
、顕微鏡内を連続的に運動する対象物に対して使用する
ことができ、検出された出力は、）順当な遅延時間後、
結合して最終的に非常に高いＳＮ比を得ることがＣ゛き
る。種々の信号処理技術がこの方法に使用できる。

又音波エネルギーに曝露される対象物又は試料は位相変
化を１しるので、位相しょう乱晋波は又あとの表示のた
め位相基準信号と比較できる。

入力エネルギーは又現用レーダ装置のように大幅に変え
ることができ対象物の更に詳細な情報を与える。例えば
入力信号は゛チャーブ”　（ｃｈｉｒｐ　：線形掃引周
波数）形式とすることができ、文具なる周波数の各種入
力信号を対象物に連続的に印加した後再結合することも
できる。最終可視像のコントラストを改善する異なる色
彩表示を有するカラー表示オシロス］−ブはその一例で
ある。

更に対象物は音波エネルギーの方向に沿って運動できる
ように支持され、対象物の各断面を焦面内に移動するこ
とによって対象物の内部変化等を検出づることかできる
。

又基準波を音波ホログラフィ方式で与えて三次元像を得
ることもできる。

上記本発明の目的とそれを達成する方法は添付図面に示
す実施例による下記の詳細な説明から明らかであろう。

第１図の無線周波数発振器１０は同軸線１２を通して、
例えば４００ＭＨｚの周波数の電Ｅｆｔ波エネルギーを
供給するよう配置され、この同軸線の末端はＢ１で示す
規準ビームとして強力な音波を発生ずるため音波伝搬媒
質１６の端部の薄膜又は板状の圧電変換器１４にエネル
ギーを供給する。

変換器１４は図示の実施例では酸化亜鉛の薄膜であるが
、ニオブ酸リチウム、硫化カドミウム。

硫化亜鉛その他種々の圧電材料が使用できる。又この実
施例の音波伝搬媒質１６はサファイアであるが、融解石
英、イツトリウム−アルミニウムざくろ石のような他の
媒質、硫化カドミウムのような圧電半導体、又は他の公
知の伝搬媒質も使用される。しかし本発明の目的には後
述のようにかなり高い音波伝搬速度を有する媒質を使用
するのが好適である。

音波レンズ１８は、圧電変換器１４と反対側で伝搬媒質
１６の端部に形成され、図示のようにサファイア材料の
端部を研磨して凹面を形成する。

詳記すれば上記レンズはｆ数は０．６５を有する曲率半
径０１４ｍｍに研磨する。従って音波の規準ビーｌいＢ
＋は、図示実施例では例えば、上記音波レンズ１８を形
成した音波伝搬媒質１Ｇ端部と、後述の音波レンズを形
成した別の音波伝搬媒質端部との間に表面張力によって
保持される水を使用する流体媒質２０丙に集束される。

水はサファイアと比較して音波伝搬速度が低い媒質であ
るから、上記音波レンズは正レンズを構成し音波ビーム
を焦点Ｆに集束する。

サファイアは水よりもはるかに音波伝搬速度が大きく、
これらの音速比Ｃ１／’Ｃ２は約７．４５であるから、
第２図に示す通り、音波エネルギーの屈折線とレンズ１
８の交差半径Ｒとの間の角θ２１Ｊ小さな値になる。勿
論この値はスネルの法則、即チｓｉｎθ２　＝Ｃ２／’
ＣＩ　ＳｉｎＢ１で決り、このＢ１は第２図に示す通り
音波エネルギーの入射線と曲率半径の延長線との間の角
である。従って、サファイアと水を媒質として使用する
と最小錯乱円直径は１ミクロン以下に減少され、レンズ
１８のこの球面収差のため音波顕微鏡の分解能を１ミク
ロン以下にできる。図示の実施例では周波数４００ＭＨ
ｚを使用すると水中音波の波長は約３゜７５ミクロンに
なるから音波レンズのこの最小球面収差のため分解能に
は実際の制限はない。像の最小錯乱円を更に小さくする
ため音波レンズに特別のコーチ゛ングを施してもよい。

上記のように、観察すべき対象物又は試料○は焦点Ｆの
位置で流体媒質２０内に支持され、又この実施例では試
料に簡単な機械的運動を与えて走査する装置が設けられ
る。第１図に略本されるように、マイクロメータを有す
る調整可能な支持体２２によって゛試料ＯはＺ方向で焦
面に一致させるように調整できる。又焦面内では第１図
のＸ方向の迅速な走査はスピーカ２４を上記支持体２２
上に装着することによって行われ、このスピーカコーン
は試料又は対象物に接続される。支持体２２は更にラム
２３でＹ方向に油圧で往復運動する載吻合２６上に装着
される。スピーカ２４の駆動電圧と同一電圧が電源２５
からオシロスコープ２８の水平偏向制御部に供給され、
又往復する載物台２６はポテンシオメータ３ｏに接続さ
れ、ポテンシオメータの出力電圧はオシロスコープ２８
の垂直偏向制御部に供給されるので対象物の位置とオシ
ロスコープビーム位置との間には１対１の対応が１ｑら
れる。事実、走査速度３００ＩＩ／秒で３ｍｒの視野が
得られるから１秒以内に完全な像がオシロスコープ上に
形成される。

公知のように、任意の時期に対象物０に投射される音波
エネルギーはじよう乱をうけるから、観察試料の弾性特
性によって音波の強さ及び７／又は位相に変動が起こり
、このしよう乱音波エネルギーは水を通して別の音波レ
ンズ３２に伝送され、このレンズは通常前記音波レンズ
１８と同じもので、又これらの２個のレンズ１８と３２
は焦点が一致するように配置される。音波伝搬媒体３４
の端部には音波レンズ３２が形成されこの媒質を通って
伝送される音波エネルギーを８２で示されるように再び
規準し、この音波エネルギーは、酸化亜鉛又は他の適当
な圧電材料で作られ、従ってじよう乱音波エネルギー検
出器として動作する圧電変換器３６に供給される。この
音波エネルギーは変換器で電磁エネルギーに変換された
後オシロスコープに供給され、表示ビームの強さを変え
、試料像の最終的可視表示を与える。

上記試料物点から発散するすべてのエネルギーが利用さ
れるのでこの音波顕微鏡では低密度の音波エネルギーが
用いられる。事実、平均エネルギーレベル１Ｏ−７Ｗ／
ｃｍ２で優れたコントラストを示す生物試料像が得られ
た。このエネルギーレベルは生物試料の損傷限界値以下
である。又実験の結果、観察試料の弾性特性によって優
れたコントラストが得られ、又前記のように４００〜ｌ
　’Ｈｚの周波数で約３ミクロンの分解能が得られた。

周波数が１．０００ＭＨｚ以上に増加すると約１ミクロ
ンの分解能が得られることは明らかで、又音波レンズの
球面収差のためこの優れた分解能には殆ど制限がないこ
とを重ねて強調したい。

対象物の位置がマ、イクロメータｍ整支持体２２でＺ方
向に変位されると、焦面に対する対染物の位置が変わり
、従って対象物の異なる部分が焦面、即ち音波ビームの
挟小部（１ミクロン）に移動することは明らかであろう
。第３図に示されるように、１ミクロンの対象物Ｏが焦
点Ｆ゛にあると、殆ど全部の音波ビームが遮断されて最
大のしよう乱が現われる。しかし対象物Ｏが点線位置ま
で７方向に僅かに移動してもビーム遮断とこれに伴うし
よう乱は大幅に減少し、従って変位が大きくなるとじよ
う乱は観察できない。しかし対象物（まＺ方向にかなり
の大きさを有する場合には、上記の変位によって異なる
深さの対象物局部、又は断面が焦面に一致するから特定
検査が可能になる。従って対象物の内部の詳細を容易に
研究できる。

前記の通り、対象物又は試料による音波ビームの遮断は
反射、及び透過エネルギーの強さと位相にしよう乱を生
じ、本発明の原理によるとこの反射エネルギーが可視＆
の形成に利用される。勿論、この反射エネルギーの一部
は第１図の圧電変換器に戻された後表示用オシロスコー
プに供給される。

第４図に略本された変形装置は入射エネルギーと反射エ
ネルギーとを分離する利点がある。詳記すると、可変無
線周波数発振器３８はプリズム状伝搬媒質４２の一面上
の第１圧電変換器４０に音波入力エネルギーを供給して
規準ビームＢ３を生じ、このビームは音波レンズ４４で
焦点Ｆに集束され、この焦点に試料又は対象物０が流体
媒質４８内の適当な支持体４６で支持され、この媒質は
第１実施例のように水でもよく、又更に音波伝搬速度が
低く、かつ波長と球面収差を減少する液体ヘリウムのよ
うな他の流体でもよい。対象物Ｏで反射されたエネルギ
ーは前記プリズム状伝搬媒質４２内に適当に配置された
第２音波レンズ５０で反射ビームＢ４として再び規準さ
れ、このエネルギーは第２圧電変換器５２で検出され、
第１実施例と同様に表示オシロスコープに供給される。

しかし可変無線周波数発振器３８は複雑なレーダー動作
で″チャープ″と一般に呼ばれる線形掃引入力信号を発
生し、レーダーと同様に対象物の細部の像が形成される
。

又、上記発振器３８又は異なる周波数で動作する数個の
分離した発振器は、圧電変換器４ｏに供給される信号、
及びオシロスコープ５４に供給される信号を有すること
もでき、このオシロスローブは異なる周波数信号の各色
表示及びそれらの組合せからなる表示縁が得られる多色
ユニット形式のオシロスコープでもよく、従っである場
合には対象物に関するより多くの情報が得られる。

上記実施例では単一の入力音波ビームを用いるが、例え
ばＳＮ比の著しい改ｍ等の利点は対象物を適当な順序で
一連のビームに曝露することにより１テられる。例えば
第５図に示されるように無ｉ周波数発振器５６からの入
力エネルギーは、１個の伝Ｉ２媒買６４上で通常横方向
に一定間隔離し・て１１［、ｆｉｔ　Ｌ　タ３　ｍ　（
１）　入力変換器５８．６０．６２１：印加され、３本
の平行なビーム８ｓ　、　Ｂｓ及びＢ７を形成し、これ
らのビームば３個の同じレンズ６６．６８．７０で共通
の焦面上の３焦点に集束される。適当な支持体７２上の
対象物０は３本の集束ビームによって機械的に走査され
、所定の時間順序でビームをじょう乱する。じょう乱入
力信号は単一の出力伝搬媒質８０に形成された音波レン
ズ７４，７６．７８によって３本の出力ビーム８８、Ｂ
ｓ及びＢ　＋ｏに再び規準される。第５図に示されるよ
うに対象物Ｏが下方に機械的に動かされると仮定すると
、可変時間遅延装置８８と９０は第１及び第２出力信号
の供給を遅延するようにセットされているから、３個の
出力はすべて電４式加算器９２に供給され、組合せ出力
が表示用オシロスコープ９４に送られる。上記の３個の
遅延装置に発生する゛雑音′°は非干渉的に集められる
が、各装置の対象物信号は加算されるので、使用する遅
延装置の数に比例してＳＮ比が改善される。

対象物０は流体媒質９６内で連続的に動かされるが、共
通焦面内の正確な位置を保持するため偏平な内面を有す
る案内部材９８か伝搬媒質６４と８０上に装着される。

これらの案内部材９８はエポキシ又は音波低損失特性を
有する他の材料で作られ、又この低損失材料の挿入物は
勿論他の実施例にも有効である。

前記実施例において、検出と性成像は、主として音波エ
ネルギーの通路にある試料又は対象物のため生じた透過
エネルギー又は反射エネルギーの種々の強度によるもの
として説明した。前述のように位相変化も生じこれらの
変化は最終的に可視像を形成するのに利用される。例え
ば、第６図の１個のＲＦ発振器１００からのＲＦエネル
ギーはニオブ酸リチウムの伝搬媒質１０６の同一平面上
の２個の変換器１０２．１０４に同時に伝送され２個の
類似の音波ビームＢＩ１．Ｂ１２を生じ、これらのビー
ムは類似の音波レンズ１０８，１１０で集束され、これ
らのレンズ゛はニオブ酸リチウム内の単純な凹面で形成
されるが、図示のように各レンズは、公知のように球面
収差をゼロにするためカリウム１゛１４の中間層を有し
、かつ適当に研磨した融解石英１１２を含む複合不遊レ
ンズである。

対象物Ｏは一方のビームＢ　ｕの焦点でこのビームに＠
露さ、れ、位相がしよう乱された出力は検出用変換器１
２０に伝送するため伝媒結晶１１８に隣接した他のレン
ズ１１６で再び規準される。他のビームＢ　１２は集束
後、類似レンズ１２２で再び規準された後、対応する変
換器１２４で検出され、この両出力は標準位相比較器１
２６に送られ、次いでその出力は可視像を現わす表示用
オシロスコープ１２８に供給される。

以上説明したように本発明によれば、光学顕微鏡及び電
子顕微鏡では不可能であった透明物の細部、又は不透明
物内部の細部等をそのまま、例えば生物学的試料を着色
する手段等を用いることなく表示でき、又、高度の分解
能、感度及びコントラストを有し、しかも構造も使用も
簡単であるといった効果がある。更に、音波エネルギー
に曝露される対象物は位相変化を生じるので、位相じよ
う乱音波を比較できる利点を有する。

本発明の実施態様を列挙すれば下記の通りである。

１、　特許請求範囲記載の顕微鏡で、該音波伝搬媒質が
流体媒質よりも本質的に速い音波速度を有する音波顕微
鏡。

２、　特許請求範囲記載の顕微鏡で、該音波損失媒質が
その一端部に音波レンズを形成するため球状凹面を有す
る固１本からなる音波顕微鏡。

３、　第２項記載の顕微鏡で、音波ビーム発生装置か、
音波レンズと整列した固体の伝搬媒質の他端部に圧電を
利用した音波変換器を含む音波顕微鏡。

４、　第２項記載の顕微鏡で、流体媒質の反対側に上記
音波レンズと焦点が一致する第２音波レンズを形成する
凹面を有する第２個体音波伝搬媒質を含み、かつ検出装
置が第２音波レンズの反対側の第２音波伝搬媒質端部に
圧電変換器を含む音波顕微鏡。

５、　特許請求範囲記載の顕微鏡で、音波ビームに直角
な平面内で移動できるように対象物を支持する装置を含
む音波顕微鏡。

６、　第５項記載の顕微鏡で、対象物支持装置が平面内
の直角２方向に移動できるように対象物を支持する音波
顕微鏡。

７、　特許請求の範囲記載の顕微鏡で、音波ビームの方
向に沿って移動できるように対象物を支持する装置を含
む音波顕微鏡。

８、　特許請求範囲記載の顕微鏡で、音波レンズが不遊
レンズである音波顕微鏡。

９、　特許請求範囲記載の顕ａ２鏡で、対象物を透過し
た音波エネルギーを検出するため検出装置が配置された
音波顕微鏡。

１０、　　特許請求範囲記載の顕微鏡で、対象物で反射
された音波エネルギーを検出するため検出装置か配置さ
れた音波顕微鏡。

１１、　特許請求範囲記載の顕微鏡で、音波ビーム発生
装置かマイクロ周波数範囲で動作するＲＦ発振器を含む
音波顕微鏡。

１２、　第１１９項記載の顕微鏡で、ＲＦ周波数発振器
がチャープ出力を発生する音波類ｍｍ。

１３、　第１１項記載の顕微鏡で、ＲＦ周波数発振器の
出力と、対象物でしょう乱された検出音波信号との位相
を比較する装置を含む音波顕微鏡。

１４、　特許請求範囲記載の顕微鏡で、対象物から反射
された音波エネルギーを受信する位置で伝搬媒質内に第
２音波レンズを形成する装置を含む音波顕微鏡。

１５、　特許Δｎ求ｔ５囲記載の顕微鏡で、音波伝搬媒
質と流体媒質どの間に挿入された低い音波損失媒質を含
む音波顕微鏡。

１６、　特許請求範囲記載の顕微鏡で、横方向に一定間
隔に離れた位置で伝搬媒質端部に少くとも１個の別の音
波レンズを形成する装置：該音波レンズに対する音波ビ
ームを発生する装置：該音波ビームを通して順次対象物
を移動する装置；上記各ビームからのしよう乱音波エネ
ルギーを検出する装置；検出間隔に関連して検出音波信
号を遅延する時間遅延装置；及び上記全音波ビームから
の検出信号を組合わせる装置、を含む音波顕微鏡。

１７、　特許請求範囲記載の顕微鏡で、伝搬媒質内に第
２音波レンズを形成する装置：第１音波レンズどの共通
平面内に焦点を有する該第２音波レンズに向けて上記伝
搬媒質内に第２音波ビームを発生ずる装置；第１音波ビ
ームと交差するように対象物を支持する装置；Ｍｌ及び
第２音波ビームから生じる音波信号を検出する装置；及
び第１及び第２検出音波信号の位相を比較する装置、を
含む音波顕微鏡。

１８、　特許請求範囲記載の顕微鏡で検出音波信号を可
視表示する装置を含む音波顕微鏡。

１９、　第１８項記載の顕微鏡で、可視表示装置がオシ
ロスコープを含む音波顕微鏡。

２０、　第１９項記載の顕微鏡で、オシロスコープは数
種の色彩表示を与えるように動作し、この顕微鏡が、異
なる周波数の数種の音波ビームを発生する装置；異なる
周波数の種々の音波ビームから生じた異なるしよう乱音
波信号を検出する装置；及び異なる色彩の可視表示をす
るため上記オシロスコープに異なる音波信号を供給する
装置、を含む音波顕微鏡。

２１、　第２項記載の顕微鏡で、伝搬媒質と流体媒質の
音波伝搬速度の比は十分に大きく、レンズの分解能は屈
折によってのみ限定される音波顕微鏡。

【図面の簡単な説明】 第′１図は、ブロック図で示される関連電子式入力装置
と出力装置とを有する本発明の一実施例の音波顕微鏡の
中央断面略本図、第２図は第１図の装置に用いられる音
波レンズの動作を説明する線図、第３図は第１図の装置
で得られる対象物の内部の細部情報の音波検出を説明す
る概略図、第４図は反射音波エネルギーが検出される一
変形実施例の断面略本図、第５図は複数検出を行う他の
実施例の断面略本図で、第６図は音波エネルギーの位相
じよう乱か検出かつ表示される他の一実施例の断面略本
図である。 １４．３６・・・圧電変換器 １６．３．４・・・音波伝搬媒質 １８．３２・・・音波レンズ ２０・・・流体媒質　　２２・・・支持体′−へ１１、 代理人　　弁理士　　伊　藤　　進（ｊゝ＼？′−′ 第２図 第３図 第４図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 音波伝搬媒質の端部に形成された所定の焦点を有（る第
   １の音波レンズと、該音波レンズに向けて上記音波伝搬
   ｉ質的に音波ビームを発生する第１の音波ビーム発生装
   置と、音波エネルギーの減衰を抑制するため該音波エネ
   ルギーの伝搬方向に設ける流体媒質と、上記焦点に位置
   する対象物によってじよう乱された音波エネルギーを検
   出する第１の検出装置と、上記音波伝搬媒質又は別の音
   波伝搬媒質、の端部に形成された所定焦点を有する第２
   の音波レンズと、該第２の音波レンズに向【プて上記音
   波伝搬媒質又は別の音波伝搬媒質内に音波ビームを発生
   する第２の音波ビーム発生装置と、音波エネルギーの減
   衰を抑制するため該音波エネルギーの伝搬方向に設ける
   上記流体媒質又は別の流体媒質と、上記流体媒質又は別
   の流体媒質内を伝搬する音波エネルギーを検出する第２
   の検出装置と、上記第１の検出装置で検出された音波エ
   ネルギーの位相と上記第２の検出装置で検出された音波
   エネルギーの位相とを比較する位相比較器と、該位相比
   較器の出力を表示する表示器とを具煤したことを特徴と
   する音波顕微鏡。