JPS62230749A - フエニルα−クロロアクリラ−トの製造法 - Google Patents
フエニルα−クロロアクリラ−トの製造法Info
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、フェニルα−クロロアクリラートの製造法に
関するものである。さらに詳しくは、ホモポリマーまた
はコポリマーとして、ドライエツチング耐性のある感放
射線レジストの製造に用いられるフェニルα−クロロア
クリラートの製造法に関するものである。
関するものである。さらに詳しくは、ホモポリマーまた
はコポリマーとして、ドライエツチング耐性のある感放
射線レジストの製造に用いられるフェニルα−クロロア
クリラートの製造法に関するものである。
フェニルα−クロロアクリラートの製造法としては。
C00C6H6(J、Am、 Chem、 Soc、、
62. 3495(1940)、)が知られている
。
62. 3495(1940)、)が知られている
。
しかし、上記従来のフェニルα−クロロアクリラートの
製造法は、工程が長く、経済的に目的物を得るのが困難
であるという問題点を有している。
製造法は、工程が長く、経済的に目的物を得るのが困難
であるという問題点を有している。
また収率もたかだか25チと低いという問題がある。
本発明は、かかる問題点を改善し、短い工程で経済的に
収率良くフェニルα−クロロアクリラートを製造する方
法を提供することを目的とする。
収率良くフェニルα−クロロアクリラートを製造する方
法を提供することを目的とする。
本発明は、α−クロロアクリル酸と五塩化リンを反応さ
せた後、フェノールを反応させ2次いで無機アルカリ水
溶液で処理した後、抽出、減圧蒸留を行ない、続いて無
機アルカリ水溶液で処理することを特徴とするフェニル
α−クロロアクリラートの製造法に関するものである。
せた後、フェノールを反応させ2次いで無機アルカリ水
溶液で処理した後、抽出、減圧蒸留を行ない、続いて無
機アルカリ水溶液で処理することを特徴とするフェニル
α−クロロアクリラートの製造法に関するものである。
本発明の第一段階は、α−クロロアクリル酸と五塩化リ
ンの反応よりなる。反応は通常、五塩化リンを反応容器
に仕込んだ後、α−クロロアクリル酸を有機溶媒に溶解
して加えるという方法により行なわれる。
ンの反応よりなる。反応は通常、五塩化リンを反応容器
に仕込んだ後、α−クロロアクリル酸を有機溶媒に溶解
して加えるという方法により行なわれる。
用いる五塩化リンの量は、α−クロロアクリル酸に対し
て好ましくは0.7〜1.3倍モル、よシ好ましくは0
.8〜1.2倍モルである。
て好ましくは0.7〜1.3倍モル、よシ好ましくは0
.8〜1.2倍モルである。
用いる有機溶媒としては、α−クロロアクリル酸を溶解
し2反応に悪影響を及ぼさないものであれば特に制限は
ないが、塩化メチレン、クロロホルム、四塩化炭素、1
,2−ジクロロエタン、トリクレン等のハロゲン化炭化
水素、ベンゼン、キシレン等の芳香族炭化水素が好まし
く用いられる。
し2反応に悪影響を及ぼさないものであれば特に制限は
ないが、塩化メチレン、クロロホルム、四塩化炭素、1
,2−ジクロロエタン、トリクレン等のハロゲン化炭化
水素、ベンゼン、キシレン等の芳香族炭化水素が好まし
く用いられる。
用イる溶媒の量はα−クロロアクリル酸に対し。
好ましくは1〜10倍量、より好ましくは2〜6倍量で
ある。反応は溶媒の沸点で0.5〜3時間行なうのが好
ましい。
ある。反応は溶媒の沸点で0.5〜3時間行なうのが好
ましい。
本発明の第二段階は、第一段階で得られた反応混合物に
フェノールを反応させることよりなるOフェノールはそ
のまま、あるいは有機溶媒に溶解して加える。ここで用
いる有機溶媒は、第一段階で用いたものと同種類のもの
が好ましく用いられるが、第一段階と第二段階で同一の
ものを用いることは必ずしも必要ではない。用いる溶媒
の量はフェノールに対し、好ましくは1〜10倍量。
フェノールを反応させることよりなるOフェノールはそ
のまま、あるいは有機溶媒に溶解して加える。ここで用
いる有機溶媒は、第一段階で用いたものと同種類のもの
が好ましく用いられるが、第一段階と第二段階で同一の
ものを用いることは必ずしも必要ではない。用いる溶媒
の量はフェノールに対し、好ましくは1〜10倍量。
より好ましくは2〜6倍量である。
フェノールを加えた後、溶媒の沸点で加熱還流させ2反
応を行なう。反応時間は用いる溶媒により異なるが1通
常10〜60時間である。
応を行なう。反応時間は用いる溶媒により異なるが1通
常10〜60時間である。
上記のごとく、α−クロロアクリル酸と五塩化リンを反
応させた後、フェノールを加えるということは極めて重
要である。すなわち、王者を同時に加えた場合には、五
塩化リンとフェノールが反応してリン酸フェニルを生成
し、目的とするエステルはほとんど得ることは出来ない
。
応させた後、フェノールを加えるということは極めて重
要である。すなわち、王者を同時に加えた場合には、五
塩化リンとフェノールが反応してリン酸フェニルを生成
し、目的とするエステルはほとんど得ることは出来ない
。
反応後2反応混合物を室温まで冷却し、無機アルカリ存
在下に氷水中に注ぐ。
在下に氷水中に注ぐ。
用いる無機アルカリとしては、水酸化ナトリウム、水酸
化カリウム等のアルカリ金属水酸化物。
化カリウム等のアルカリ金属水酸化物。
炭酸ナトリウム、炭酸カリウム等のアルカリ金属炭酸塩
、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム等のアルカリ
金属炭酸水素塩が好ましく用いられる。
、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム等のアルカリ
金属炭酸水素塩が好ましく用いられる。
用いる無機アルカリの量としては、用いた五塩化リンの
6〜10倍モルが好ましい。
6〜10倍モルが好ましい。
この後、0〜30℃で、好ましくは0.5〜3時間、よ
り好ましくは0.5〜2時間攪拌することにより1回目
の無機アルカリ処理を行なう。
り好ましくは0.5〜2時間攪拌することにより1回目
の無機アルカリ処理を行なう。
この1回目の無機アルカリ水溶液による処理の後、有機
溶媒により抽出を行なう。用いる溶媒については特に制
限はないが2反応に用いた溶媒と同種のものが好ましく
用いられる。
溶媒により抽出を行なう。用いる溶媒については特に制
限はないが2反応に用いた溶媒と同種のものが好ましく
用いられる。
この後、乾燥剤によシ脱水し、溶媒を減圧留去後9通常
の減圧蒸留により生成物を分離する。
の減圧蒸留により生成物を分離する。
この後、2回目の無機アルカリ処理を行なう。
炭酸カリウム等のアルカリ金属炭酸塩、炭酸水素ナトリ
ウム、炭酸水素カリウム等のアルカリ金属炭酸水素塩が
好ましく用いられる。
ウム、炭酸水素カリウム等のアルカリ金属炭酸水素塩が
好ましく用いられる。
用いる無機アルカリの量としては1反応に用いた五塩化
リンの1〜3倍モルが好ましい。処理温度は0〜30℃
、処理時間は通常2時間以上、好ましくは2〜20時間
である。
リンの1〜3倍モルが好ましい。処理温度は0〜30℃
、処理時間は通常2時間以上、好ましくは2〜20時間
である。
アルカリ処理は2通常の攪拌下すなわちマグネチツクス
タラー又はモーターによる攪拌羽根により行なわれる。
タラー又はモーターによる攪拌羽根により行なわれる。
処理後、有機溶媒により抽出を行なう。用いる溶媒につ
いては特に制限はないがt反応に用いた溶媒と同種のも
のが好ましく用いられる。
いては特に制限はないがt反応に用いた溶媒と同種のも
のが好ましく用いられる。
この後、乾燥剤により脱水し、溶媒を減圧留去後9通常
の減圧蒸留等の精製手段によシ精製する。
の減圧蒸留等の精製手段によシ精製する。
この方法によれば、特に無機アルカリ水溶液による2段
処理を採用したので、フェニルα−クロロアクリラート
が加水分解することなく2反応で副生ずるリン化合物を
確実に除去出来るものであすなわち、1回目の減圧蒸留
により除くことが出来なかった無機リン化合物を、2回
目の処理により、フェニルα−クロロアクリラートの収
率を下げることなく除くことが出来る。
処理を採用したので、フェニルα−クロロアクリラート
が加水分解することなく2反応で副生ずるリン化合物を
確実に除去出来るものであすなわち、1回目の減圧蒸留
により除くことが出来なかった無機リン化合物を、2回
目の処理により、フェニルα−クロロアクリラートの収
率を下げることなく除くことが出来る。
この方法によるフェニルα−クロロアクリラートの収率
は、用いたα−クロロアクリル酸に対し。
は、用いたα−クロロアクリル酸に対し。
40〜50係で、従来の方法の約2倍の収率を達成出来
る利点がある。
る利点がある。
かくして得られたフェニルα−クロロアクリラートは9
例えば、2,2.2−トリフルオロエチルα−クロロア
クリラートとコポリマーを作ることにより、高感度で、
ドライエツチング耐性のある感放射線レジストとするこ
とができる。
例えば、2,2.2−トリフルオロエチルα−クロロア
クリラートとコポリマーを作ることにより、高感度で、
ドライエツチング耐性のある感放射線レジストとするこ
とができる。
また、ホモポリマーとすることにより、耐熱性のあるエ
ンジニアリングプラスチックとすることもできる。
ンジニアリングプラスチックとすることもできる。
本発明を実施例に基づいて説明する。
実施例1
五塩化リン206gを3I!三ツロフラスコに仕込んだ
後、30係α−クロロアクリル酸の塩化メチレン溶液8
19g(α−クロロアクリル酸は五塩化リンの1.05
倍モル)を滴下し、50℃湯浴中。
後、30係α−クロロアクリル酸の塩化メチレン溶液8
19g(α−クロロアクリル酸は五塩化リンの1.05
倍モル)を滴下し、50℃湯浴中。
1.5時間反応させる。フェノール93g(五塩化リン
の等倍モル)をベンゼンの60チ溶液にして。
の等倍モル)をベンゼンの60チ溶液にして。
この反応溶液中に加え、70°C湯浴中17時間反応さ
せる。炭酸水素ナトリウム664g (五塩化リンの8
倍モル)を氷水約3.51!に溶かし、ここに反応液を
注ぐ。室温で1時間攪拌し、エーテル/塩化メチレン=
1/1混合物300mI!で抽出した後、水700mI
!で6回洗う。この後、無水硫酸ナトリウムで脱水し、
溶媒を減圧留去後、減圧蒸留により4Torr、64〜
90℃の範囲の留出物を取る。
せる。炭酸水素ナトリウム664g (五塩化リンの8
倍モル)を氷水約3.51!に溶かし、ここに反応液を
注ぐ。室温で1時間攪拌し、エーテル/塩化メチレン=
1/1混合物300mI!で抽出した後、水700mI
!で6回洗う。この後、無水硫酸ナトリウムで脱水し、
溶媒を減圧留去後、減圧蒸留により4Torr、64〜
90℃の範囲の留出物を取る。
この1回目の蒸留で得られた留分を、炭酸水素ナトリウ
ム83g(五塩化リンの等倍モル)よりなる10チ水溶
液に注ぎ、20℃で5時間攪拌する。塩化メチレン20
0 m/で抽出した後、1N水酸化す) IJウム水溶
i150ml!で2回、さらに水20010/で5回洗
う。この後、無水硫酸ナトリウムで脱水し、溶媒を減圧
留去後、減圧蒸留する。
ム83g(五塩化リンの等倍モル)よりなる10チ水溶
液に注ぎ、20℃で5時間攪拌する。塩化メチレン20
0 m/で抽出した後、1N水酸化す) IJウム水溶
i150ml!で2回、さらに水20010/で5回洗
う。この後、無水硫酸ナトリウムで脱水し、溶媒を減圧
留去後、減圧蒸留する。
ITorr、72〜74℃で目的物であるフェニルα−
クロロアクリラートが90g(収率50%)得られた。
クロロアクリラートが90g(収率50%)得られた。
比較例
五塩化リン28.0gを21!三ツロフラスコに仕込ん
だ後、30%α−クロロアクリル酸の塩化メチレン溶液
50.1g(α−クロロアクリル酸は五塩化リンの1.
05倍モル)を滴下し、50℃湯浴中。
だ後、30%α−クロロアクリル酸の塩化メチレン溶液
50.1g(α−クロロアクリル酸は五塩化リンの1.
05倍モル)を滴下し、50℃湯浴中。
1.5時間反応させる。フェノール13g(五塩化リン
の等倍モル)をベンゼンの60%溶液にして。
の等倍モル)をベンゼンの60%溶液にして。
この反応溶液中に加え、70℃湯浴中、17時間反応さ
せる。炭酸水素ナトリウム67.8g(五塩化ν)の6
倍モル)を氷水約2.51に溶かし、ここに反応液を注
ぐ。3時間攪拌し、酢酸エチル150m1!で抽出した
後、IN水酸化ナトリウム水溶液で3回洗い、さらに水
100mj’で8回洗う。この後。
せる。炭酸水素ナトリウム67.8g(五塩化ν)の6
倍モル)を氷水約2.51に溶かし、ここに反応液を注
ぐ。3時間攪拌し、酢酸エチル150m1!で抽出した
後、IN水酸化ナトリウム水溶液で3回洗い、さらに水
100mj’で8回洗う。この後。
無水硫酸す) IJウムで脱水し、溶媒を減圧留去後。
減圧蒸留する。ITorr、72〜74℃で目的物であ
るフェニルα−クロロアクリラートが74g(収率60
チ)得られた。
るフェニルα−クロロアクリラートが74g(収率60
チ)得られた。
本発明は、かくのごとく構成したので、フェニルα−ク
ロロアクリラートを収率良く、かつ、経済的に製造する
ことができる。
ロロアクリラートを収率良く、かつ、経済的に製造する
ことができる。
Claims (1)
- α−クロロアクリル酸と五塩化リンを反応させた後、フ
ェノールを反応させ、次いで無機アルカリ水溶液で処理
した後、抽出、減圧蒸留を行ない、続いて無機アルカリ
水溶液で処理することを特徴とするフェニルα−クロロ
アクリラートの製造法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7119086A JPS62230749A (ja) | 1986-03-31 | 1986-03-31 | フエニルα−クロロアクリラ−トの製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7119086A JPS62230749A (ja) | 1986-03-31 | 1986-03-31 | フエニルα−クロロアクリラ−トの製造法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62230749A true JPS62230749A (ja) | 1987-10-09 |
Family
ID=13453494
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7119086A Pending JPS62230749A (ja) | 1986-03-31 | 1986-03-31 | フエニルα−クロロアクリラ−トの製造法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62230749A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5415629A (en) * | 1993-09-15 | 1995-05-16 | Henley; Julian L. | Programmable apparatus for the transdermal delivery of drugs and method |
-
1986
- 1986-03-31 JP JP7119086A patent/JPS62230749A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5415629A (en) * | 1993-09-15 | 1995-05-16 | Henley; Julian L. | Programmable apparatus for the transdermal delivery of drugs and method |
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