JPS62229153A - ピンボ−ド式整合装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、写真印刷に関し、より詳しくいうと、コンタ
ク１〜印刷フレームとともに用いられる改良されたピン
ボード式整合装置に関する。

（従来の技術およびその問題点） 米国特許第４，５０４．］４２号明細書には、コンタク
ト写真印刷を行う改良型真空プリンティングフレームが
開示されている。この発明によると、膨張性ブラダ（ｂ
ｌａｄｄｅｒ）をフレームのブランケットに結合して、
順次制御要領で、マスク・フィルムサンドイッチをフレ
ーム頂部のガラスに押し当てる。

−Ｉ−記発明の利点は、マスク・フィルム間の空気を完
全に押し出して、フィルムとマスクとを密着させること
ができる点にある。また、整合ピンから始め、マスク・
フィルムサンドインチ全体にわたって徐々に真空密着さ
せるように、ブラダアセンブリを構成できる。

本発明は、コンタクト写真印刷において、既存＝７− のマスク・フィルム整合方法を改良するために成された
ものであり、前記２者間を正確に整合させるとともに、
特に、ブラダの空気押出しを利用するその独自さの点で
、本願発明者による改良型真空プリントフレームと共に
用いると有益であるが、［ガラスダウン（ｇｌ、ａｓｓ
　ｄｏｗｎ）Ｊ真空フレームを含む従来の真空フレーム
と組み合わせることもできる。

特に、色分解のコンタクト写真印刷では、マスクと、焼
付けられる感光フィルムの種々切片との高精度整合が要
求される。これは、一般に、マスクとフィルムとに穿孔
し、これに整合ピンを通すことによって行われていたが
、マスク・フィルム間の相対位置を完全に限定するには
、２個の整合ピンが必要である。

ピン整合法としては、２つの方法が一般的であるが、双
方とも、精密な２ホール穿孔器を用いて、マスクとフィ
ルムとに同一の離間孔を形成する。

旧い方法では、精密２ホール穿孔器の穿孔部として、等
間離間された固定ピンを備えるピンボードを用いている
。まず、固定ピンボードに穿孔フィルムを貿き、その１
；にマスクをのせ、ボードのピンをフィルムとマスクと
に通して整合の目安にするが、整合孔とピンとを追加し
て、制御を高めることも可能である。

露光を行い、フィルムを現像してからは、フィルムとマ
スクとをピンボードに置けば、両者を再び精密整合させ
ることができる。また、穿孔、整合および露光済みの全
フィルム片を、自動的に整合させることができる。

しかし、−に記の従来ピンボード構成には、２つの技術
的難点がある。

第４に、熱および湿度が変化すると、フィルムが、ピン
ボードの伸縮量とけ異なる量だけ伸縮するため、通常の
作業状況に見られる条件下では、マスク・フィルム間の
整合を保ちにくくなる。

第２に、整合ピン−１一部が、マスクシー１〜のＩＺ面
に突出しているため、真空コンタク１−フＩノームに適
しない。

すなわち、コンタク１〜印刷では、マスクとフォ１へフ
ィルムとを、真空フレームのガラス板下面と圧着させる
必要があるが、ピン端部が突出していると、圧着させる
ことができない。

−１；理由由により、浮動ピンを用いる新方式が開発さ
れ、現在、真空コンタクトフレームとともに、一般的に
使用されている。この方式では、ピンボードは、マスク
・フィルムサンドインチの平形支持体の役目をするだけ
であり、ボードには、固定ピンの代わりに、孔があけら
れている。この孔の直径は、整合ピンより若干大きいた
め、ピンは、孔の中で自由に浮動する。ピンは、後部か
ら挿入され、定置にテープ付けされている。

新方式で用いられるピンは、キャップの役［１をする薄
い平板に溶接された平形端部型金属筒から成っている。

キャップとなる平板は、約２．５４ｃｍ（１インチ）平
方の大きさであり、ピンを相合わせると、逆Ｔ字形にな
る。この平板によって、適宜平面にピンをテープ止めで
きる。

使用時、同一の精密パンチでフィルムとマスクシー１−
とに穿孔し、各シー１〜に少なくとも２つの整合孔をあ
ける。両シートの隣接孔にピンを押し通すと、各シー１
〜が他方の整合「１安の役［１をするため、ピンボード
が位首「ｊ安の役１１をする必要がなくなり、ピンは、
ピンボード孔内を浮動することができる。

この方法の利点は、マスクとフィル１１とが同一材料で
形成されているため、双方の膨張係数が同一であり、広
域の周囲条件にわたって、相対整合を保てる点にある。

マスク・フィルノ、サンドイッチと、浮動ピンボードと
のアセンブリを真空フレームに設置して、真空フレーノ
、の小室から排気すると、アセンブリは、）１ノーム」
〕部のガラス面にｖＦ！着される。マスク・フィル１１
サンドイツチから突出するピンは、ガラス下面に圧接し
収縮して押し下げられるため、その平形−１−面が、マ
スクシー１〜に而と同一平面になり、マスク・フィルム
サンドイッチを真空フｊノーム上部のガラス板底部に密
着できる。

ピンの収縮により、ピンシリンダ底部に接合された小型
金属板け、押し下げられて、フ１／−ノ、の真空室の底
壁を形成する可とう性の真空プランケラ１〜になる。

上記浮動ピンボードの欠点は、真空フレームに使用した
場合の扱いにくさにある。すなわち、整合ピンが、ピン
ボード後部に接着テープ止めされているため、ボードア
センブリを使用する度に、接着保持テープがずれ、整合
ピンがぐらつく。

そのため、ピンを設定する毎に、再度テープ止めしなけ
ればならず、時間のむだになる。」〕記理由により、こ
れに代わるピンボードの開発が進められている。

使用の簡便性を備えつつ、所望の整合安定性を達成する
ことは容易ではない。

本発明に先行する最良の方法は、ステラセル（Ｓｔｏｅ
ｓｓｅｒ）式ピンボードである。この装置は、ばね付き
の同心円筒から成る精密製造された入れ子式ピンを使用
している。

これらの入れ子式ピンは、薄いピンボードに精密穿設さ
れた小公差のウェル（ｗｅ３．１）に永久固定される。

そのため、この種のピンボードは、前記の固定ピンボー
ドと類似するが、伸縮性であるため、真空フレームに使
用できる。

しかし、ステラセル式ボードには２つの欠点がある。第
１に、製造時に精度が要求されるため、高価になる。第
２に、ボードが厚く剛質であるため、米国特許第４，５
０４．］、４２号明細書に記載されているクイックプル
アップ型真空フ１ノ一ノ、のブラダ作用を充分に活かす
ことができない。

（問題を解決するための手段） そこで、ある程度の可どう性を持たせることにより、迅
速引き（ｑｕｉｃｋ　ｐｕｌｌ）フレーム内のブラダが
膨張する際に、ボードがこれに順応してどう曲し、マス
ク・フィルムサンドインチから空気を徐々に押し出すよ
うにするピンボードが必要とされ、本発明は、これによ
って上記その他の問題点を解決している。

第２基本型のピンボルド枯成として前述した相対整合型
自由浮動ピン方式を採用することにより。

ピン整合の基本的問題を解決できる。

本発明の新規性は、自由ピンをピンボード後部に保持す
る従来の接着テープの代わりに、弾性シート材を用いろ
点にある。この弾性シー１へを、自由浮動型ピンボード
の後部に付着させるわけであるが、各ピンホールの周り
の領域には接着材を付けないでおく。

これらの「自由領域（ｆｒｅｅ　ｒｅＨ４ｏｎｓ）Ｊが
、整合ピンを収容するボケッ１へを形成するため、ピン
が、大公差孔またはアパーチャ内を自由に、前後に「浮
動」することにより、マスクおよびフィルムは、ＴＩ：
いの整合マスターの役［１をする。

弾性バックシー１〜は、主に、ばね戻り装置として機能
する。ピンは、これによって、その−に部にかかる圧力
に従うようになり、押し下げられて弾性シー１〜に押当
り、これを引き伸ばす。圧力が解放されると、伸びた弾
性シー１〜の復元力により、ピンは、元の場所に戻る。

これにより、ピンは、ばね付ピン様の役目をする。

弾性バックシートは、ピンにかかる下向圧力に屈服する
、二とにより、アセンブリが真空）１ノームのガラス」
１板に押当てられる際に、ピンを押下げて、マスク板」
−面と同一平面につかせるようにする。通常動作では、
ピンの下向き移動は、真空室の底壁を形成する真空プラ
ンケラ１〜の可どう性によって吸収される。この代わり
に、Ｆ％＜復元力に富んだ弾性バックシートを用いて、
ピンの下向きの動きを吸収することができる。

ピンボードアパーチャ軸線と平行する垂直方向にピンを
保持するには、ピンキャッププレートより大きい金属板
を弾性シートに固定して、各ピンの基部にずろ。この金
属板は、ピンを適宜に配向し、弾性シー１〜に対して、
低摩擦または無摩擦状態でピンを側方に移動さぜること
ができる。

ピンボード−１〕面に細粒組織物を敷設して、マスク・
フィルムサンドインチをのせる精密面を形成すると同時
に、溝路を形成して、フィルムとピンボードとの間の空
間から排気できるようにする。

本発明の好適実施例では、通常は、真空フＩノームとの
結合状態にある補助ボー１−を備えている。

該ボードには孔が穿設されており、この孔を通して、真
空フレームの真空出口に結合されている。

そのため、フレー１１内の空気は全てフレーム排気時に
、前記孔を通過する。

真空ボー１〜ボー１〜は、通常、ピンボードに密接し、
整合ピンに隣接して設置される。フレームを排気すると
、真空ポートボードとピンボードとは、共に、−４−ガ
ラスカバーに押当てられる。また、真空ポートボードは
、両ボード−に面と、ガラスカバープレー１−との間か
らの排気を助ける石目織り面を有している。

さらに、好適実施例では、両ボードの各−１−面に溝切
りをして、排気路を形成する。これらの溝は、両ボード
接合点で相対することにより、ピンボードのピン設置場
所からポートボードの真空ポートにいたる空気通路を形
成する。

また、好適実施例では、ガスケツ１〜材シートを設けて
いるが、該シー１〜は、前記両ボードを横に並べたもの
より実質的に大型であり、その余剰部分は、両ボード縁
まわりのガラスカバープレ−１〜に押し当たり、排気時
に真空シールを形成する。

別の実施例では、ガスケットシートをピンボドとの組立
体とするため、真空ポートボー１へを必要としない。ガ
スケツ１〜シー１−は、真空連絡孔を備えている。この
孔の一部を覆うように、ピンボードをガスケツ１−シー
１−　ｌｘに設置すると、孔はピンボード緑の周りでシ
ールされないため、ピンボード上部からその縁に向かっ
て空気が流れ、ガスケツ１〜シート孔に流入する。

そのため、真空ボー１一孔を備えず、かつ別の真空ボー
１〜ボードを必要としない可脱ピンボードと。

ガスケツ１−シートとを絹合せる。

さらに別の実施例では、ピンボードを甲独で使用したり
、ピンボードを真空ポー１へボードとを永久接合して甲
−ボードとしたり、ガスケツ１へシートの代わりにこれ
らの３つのタイプのボードを組立せて用いることができ
る。

（実施例） 以下、添付図面を参照して、本発明の好適実施例を説明
する。

第１図は、本発明の好適実施例としての改良型ピンボー
ド装置の全体構成図である。本装置は。

ピンボード（１０）、隣接配置された真空ポートボード
（１２）、およびガスケツ１−シーｈ（１４）から成っ
ている。

ピンボード（１，０）Ｉ−には、浮動９５合ピン（ＩＧ
）により、マスク／写頁フィルムサンドイッチ（１８）
が装着されている。真空ポートボード（Ｊ２）は、真空
フレーム（図示せず）の真空ポンプに結合された直空ポ
ート孔（２０）を有して才９す、全空気は、真空フレー
ムから該孔（２０）を通って排出される。

真空ポートボード（１２）は、孔（２ｏ）の他に、−Ｌ
面切欠溝（２２）マニホルドを有している。切欠溝（２
２）は、ポート孔（２０）から同様の溝（２２’）にい
たる低抵抗空気路を形成する。この溝（２２’）は、整
合ピン（１６）近くまで延びており、ピン（１６）の設
置場所を排気する役目をする。

このように、マスク・フィルムサンドインチ（１８）は
、ピンボード（１０）の整合ピン（１６）設置場所にい
たるまで吸気され、その結果、マスク・フィルム間の相
対的整合精度が高くなる。

マスク・フィルムサンドイッチ（１８）付近から排気を
促進するため、両ボード（１０）　（＋２）のに面に、
右目織り仕上げを施す。このように、両面を石［１織り
構造にすると、溝（２２）（２２’）を切らなくてもよ
いが、溝切りが、露光前の排気時間を短縮することが実
験的にわかっているため、溝は、好適実施例の一構成要
素を成す。

真空ボード（１２）のポート孔（２０）を通じて、真空
フレームを排気すると、ガスケットシート（１４）は、
吸着されて、第１−図に示すアセンブリを覆うガラスプ
レー１・と密着する。

ガスケットシート（１４）が、ボード（１０）（１２）
の周りに引き寄せられると、両ボードは、シート（１４
）にくぼみ（２６）をつけてめり込む。ガスケツｌ−シ
ート（１４）は、ガラスプレートと全密着すると、真空
フレームの大型室内に、別個の完全真空室を形成する。

このため、真空フレーム内のアセンブリ外側の圧力は、
ガスケットシート（１４）が形成する内室内の圧力より
、若干高くなる。

この場合、真空フレームからは、従来のピンボ−ド装「
ずを使用した場合稈長くの空気が排出されないことは明
らかである。そのため、本ピンボード装置を、既存の真
空フレームに使用した場合に、排気時間が短縮される。

真空ポートボード（１２）が、ガスケットシート（１４
）領域内にあるため、真空ポート孔（２０）と真空フレ
ーノ、の出口との結合手段を設ける必要があるが、これ
は、真空ポーｌ−ボード（１２ＬＩ：、面から、ガスケ
ツ１〜シート（１４）下面を通って真空出口から排気さ
せる適切寸法の孔を、ガスケットシート（１４）に穿設
することによって達成される。

ガスケットシート（１４）材としては、実験から、ネオ
プレンフオームコア合成ゴムが適しており、「ウェット
スーツ」用織物として、一般に使用されている。

ネオプレンシートの」−面すなわちガスケツ１−面は、
（排気時に、細孔が、圧さくされて塞がるに充分程度の
小さいものか、または細孔壁が何いものである場合に限
り、多孔面にすることができるが）、ゴム等の不透過性
材から成る薄い被膜にする。

前記ガスケットシート内に内室を適切形成すると、５０
．８ｃｍＸ５９．１６ｃｍ（２０インチ×２４インチ）
寸法のピンボードでは、底部のゴムブランケットと、上
部のガラスプレ−トとを備える鋼フレーム箱から成る通
常の真空フレームアセンブリ撃必要としない。ガスケッ
ト材ビードは、ブランケット縁の周りに永久付着されて
、ガラスプレートに対する真空シールを形成する。

ブランケットの下側には、剛性ボードを設けて、真空フ
レーム内部が、大気圧下にする場合のプランケラ１〜支
持体とする。実際、ピンボードとともに、マスク・フィ
ルムサンドインチを、露光前にブランケット」二に設置
し、室内から排気すると、ブランケットは、吸い」二げ
られて支持ボードを離れ、ガラスプレートに向かって押
し上げられる。

こうして、ブランケットは、マスク・フィルムサンドイ
ンチをガラスプレートに密着させる。

本発明による新規のピンボードアセンブリを用いると、
ガスケットシートは、従来のプランケッ１へとガスケツ
１−ビードに代わって、小型真空フレームに対して有効
に作用する。

ただし、ガスケットシートを充分程度厚くし、加圧縮性
を持たせるともに、上面を、支持ボード１一方に充分程
度高くすることにより、ガラスジ１ノー１〜を下げた時
に、ピンボー１へと真空ボー１〜ボードとをガスケツ１
〜シートに押し当て、両ボードの自由縁の周りで、ガス
ケットシートと少なくとも軽く接触させるとともに、ガ
スケツ１〜シー１〜に適切孔を穿設することにより、真
空ポートボード上部からガスケツ１−シート下方に設け
られた真空吐出線にいたる空気路を形成ずろ必要がある
。大半の構成では、真幸線は、ガスケツ１〜シー１へ孔
を通り、真空ボー１−ボー１よと直結する。

大型の７１ノー！１、およびピンボードアセンブリを用
いろと、プランケラ１へが、ガラスジ１ノー１〜に対し
てピンボードアセンブリを持−にげ、ガスケツ１〜シー
１へが、その周辺部で確実に接触できるようにするため
、従来の真空ブランケットの保持に有利である。

第２図は、好適実施例におけるピンボード（１０）の断
面図である。図示のピンボーＦ（１０）については、０
．７９ｍ１１１（１／３２インチ）乃至１．５９ｍｍ（
］／１６インチ）厚のプラスチックシー１−で構成でき
る。このＪ’ｌさのプラスチックは、ピンボードに装着
されるマスク・フィルムサン１−インチ（１８）を固定
支持するに充分なこわさを有するとともに、真空フレー
ムプランケラ１〜を押し−１−げ、ピンボードアセンブ
リ底部に当てる際に、曲がるだけの可どう性を有してい
る。

ピンボードは、このように曲がって、米国特許第４，５
０５，１４２号明細書に記載されている順次膨張するブ
ラダの漸進的圧さく作用を、マスク・フィルムサン１く
インチ（１８）に効果的に伝える。

この代わりに、かたさ、および可どう性の点で匹敵する
軽い金属「ボー１〜」を用いても良い。

ピンボード（１０）には、整合ピン（１６）が浮動する
開口部（３０）が穿設されている。−実施例では、該開
口部は、ピン（］６）の円筒部直径より、実質的に太き
いため、ピンは、マスクとフィルムとを適切整合させる
に充分な距離にわたって、横移動できる。

ピンボード（１０）底部には、通常は接着剤によって、
弾性バックシート（３２）が締結されている。実験によ
ると、該シー１〜材としては、ゴムが優れている。バッ
クシーｈ（３２）は、開口部（３０）近接領域を除き、
全底部にわたって、ピンボード（１０）に取付けられる
が、前記領域には、整合ピン（１６）が充分に横移動で
きる程度の開口部（３０）から離間された距離にわたっ
て、接着剤を塗布しない。

整合ピンが適切に開口部（３０）に嵌入すると、ピン（
１６）の平形キャッププレート（３１）は、バックシー
ト（３２）を若干伸展させるのに充分な程度、ピンボー
１（底部から突出して、整合ピン（１６）の近接部にポ
ケッ１〜（３３）を形成する。バックプレート（３４）
は、ピン（１６）を直立位置に保持し、バックシート（
３２）の上向き力をより均等にふりわける。

別の実施例として、開口部（３０）を、キャッププレー
ト（３１）より小さく、かつピン（１６）を限定移動さ
せうるスロワ１−１その他の形状にし、かつピン（１６
）の直径とほぼ等しい少なくとも１個の開「１部を設け
、マスク・フィルムサンドインチ（４４）の定置目安点
にすることができる。

第３図は、充分排気された真空フレームと、ピンボード
アセンブリ（１０）との断面図である。

フレームを排気すると、外気圧が、フレームプランケラ
ｈ（４０）を押上げ、続いて該プランケラ１〜は、ガス
ケットシート（４２）を押上げ、ピンボード（１０）サ
ブアセンブリ底部に力を伝える。

前記の力は、介在するバックシート（３２）とバックプ
レーｈ（３４）とを介して、ピンボード（１０）に伝え
られる。次に、ピンボー１’（１０）は、マスク・フィ
ルムサンドイッチ（４４）を押」二ばて、真空フレーム
のガラスカバープレーｈ（４６）に当てる。

ピンボード（１０）と、マスク・フィル１１サンドイツ
チ（４４）とがガラスジ１ノー！−（４６）に圧着する
と、整合ピン（１６）は、押下げられてバックプ［ノー
１へ（３４）に当り、ポケット（３３）を膨張させると
ともに。

ピン（１６）直下領域で、ガスケットシーｈ（４２）と
真空ブランケット（４０）とを軽く曲げる。

このようにすると、ピン（１６）円筒部が、マスクとフ
ィルムとに穿設された孔（４８）を貫通するため、その
」−面は、カバープレート（４６）底面に当接する。

本発明の好適実施例では、ピンボード（１０）を真空ポ
ートボード（１２）から離間させることにより、ピンボ
ード（１０）を真空フｌノームから外して、フィルム・
マスク着脱位置につかせるようにする。

この実施例では、真空ポートボード（１２）は、真空フ
レー！、出口に取付けられているが、その取付手段とし
ては、種々の早外し機構で構成できる。

ポートボードは、主に、ピンボード上面と真空出口との
連絡を簡便にするものであるため、その結合公差を余り
大きくしてはならない。

別の実施例では、真空ポートとピンボードとを一体化す
ることにより、ピンボードアセンブリに対して、Ｑｆ−
ポートを使用できるようにする。最適構成としては、ピ
ンボードをガスケットシート−１−に置き、真空ポート
孔を、ガスケットシートの真空連絡孔と整合させる。そ
のため、ピンボードを真空フレームに設置した場合、ピ
ンボードが嵌入する浅いくぼみを、ガスケットシートに
形成する。

別の実施例では、ガスケツ１〜シー１〜または真空ポー
トポートを使用せず、ピンボードをｉ１１独使用する。

さらに別の実施例では、ピンボードを完全に剛性にする
ことにより、フｉノームｕ１：気中にブラケッ１〜が押
」−げられて、下面に当っても曲がらないようにする。

以上、浮動整合ピンと、弾性バックシートとを有する、
硬質かつ可どう性のピンボード、真空ポートボード、お
よびガスケットシートの組合せから成る好適実施例を説
明したが、これは限定的なものでなく、本発明の主旨お
よび適用範囲を逸脱することなく、種々の変更修正を加
えることができる。

例えば、１本のピンだけを小公差開口部に保持し、他の
ピンをゆるめに保持することにより、動きにある程度の
余裕をもたせることができる。

また、」１記の例では、２ホ一ル整合方式に関し＝２７
− て説明したが、孔を２個以上設けることもできる。

例えば、２孔を一縁に沿って設け、第３孔を他縁側に設
けて、「尾の振り動き」を防止する。

（効　果） 本発明の装置は、取扱いが筒中で、排気時間を短縮でき
るとともに、マスクとフィルムとを高精度で整合させる
ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明によるピンボード装置の主要素子を示
す斜視図である。 第２図は、ピンの引込状態を示すピンボードの縦断面図
である。 第３図は、ピンボードを排気フレームに装着した状態を
示す縦断面図である。 （］０）ピンボード　　　　　（１２）真空ポートボー
ド（１４）ガスケットシート　　（１，６）整合ピン（
１８）マスク・フィルムサンドインチ（２０）真空ポー
ト孔　　　　（２２）　（２２’　）溝（２４）ボード
上面　　　　　（２６）　＜ぼみ（３０）開口部　　　
　　　　（３１）キャッププレート（３２）バックシー
１−　　　　　（３３）ポケッ１−（３４）バックプレ
ート　　　（４０）フレームプランケラ１−（４ｚ）ガ
スケットシート （４４）マスク・フィルムサンドイッチ（４６）カバー
プレート　　　（４８）孔図面の浄書・、内容に変更な
し） 手続有Ｒ−１−ｒミ（墜（方式） ％式％ ２、発明の名称　　ピンボード式整合装置：３．補正を
する者゛ 事件との関係　　特許出願人 氏　名　　　　　チェスター　エル　リチャーズ、シニ
ア４、代理人 （発送日　昭和６２年　３月３１目） ６、補正の対象　　　図　　面 ７、補１Ｆの内容　　　願書に最初に添付した図面の浄
書・別紙の通り　（内容に変更なし）

Claims (22)

【特許請求の範囲】
1. （１）真空フレームアセンブリとともに使用され、フォ
   トマスクと感光プレートとを繰返し整合できるようにす
   るピンボード式整合装置であって、（ａ）整合ピンをゆ
   るめに収容する少なくとも１個の整合ピンアパーチャを
   有する、実質的に剛性の限定可とう性ピンボード、 （ｂ）本体部、および本体部断面積より広い面積を有す
   るキャッププレート部を有し、前記本体断面積が前記ア
   パーチャより小さく、前記キャッププレート面積が前記
   アパーチャより大きく構成されている、前記アパーチャ
   に嵌入される少なくとも１個の整合ピン、および （ｃ）前記整合ピンを前記アパーチャに保持させるとと
   もに、前記キャッププレートとアパーチャにわたって延
   び、前記キャッププレート付近でピンボード面に締結さ
   れることにより、前記ピンを前記アパーチャにゆるめ保
   持して、軸運動および横移動できるようにした弾性バッ
   クシート から成ることを特徴とするピンボード式整合装置。
2. （２）キャッププレートに隣接して、バックシートに取
   付けられ、前記キャッププレートと密着させることによ
   り、整合ピンの位置決めを助ける支持プレートを含むこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第（１）項に記載のピン
   ボード式整合装置。
3. （３）ピンボードの裏板取付面の対向面を織地状にする
   ことにより、前記面と、隣接する感光フィルム部材との
   間を、通気できるようにしたことを特徴とする特許請求
   の範囲第（１）項に記載のピンボード式整合装置。
4. （４）ピンボードに、真空フレーム排気時の圧力ブラン
   ケットの動きに充分適応しうる可とう性をもたせたこと
   を特徴とする特許請求の範囲第（１）項に記載のピンボ
   ード式整合装置。
5. （５）ピンボードに、真空フレーム排気時の圧力ブラン
   ケットの動きに対抗するだけの不とう性をもたせたこと
   を特徴とする特許請求の範囲第（１）項に記載のピンボ
   ード式整合装置。
6. （６）ピンボードに隣接され、真空フレームの排気シス
   テムと連絡するアパーチャ、および前記ピンボード表面
   から前記アパーチャに至る通気を容易にする織り面を有
   する真空ポートボードから成ることを特徴とする特許請
   求の範囲第（１）項に記載のピンボード式整合装置。
7. （７）真空ポートアパーチャと連絡して、真空フレーム
   内部からの排気を容易にする表面溝を有することを特徴
   とする特許請求の範囲第（６）項に記載のピンボード式
   整合装置。
8. （８）ピンボードと連絡して、前記ピンボード上の空間
   から排気する真空ポートを有することを特徴する特許請
   求の範囲第（１）項に記載のピンボード式整合装置。
9. （９）ピンボードが、一表面に、前記表面と上方の感光
   フィルムとの間から真空ポートに至るまで通気できるよ
   うにした織地組織を備えることを特徴とする特許請求の
   範囲第（８）項に記載のピンボード式整合装置。
10. （１０）ピンボードを包囲するガスケットシート、およ
    び前記ピンボードと前記ガスケットシート外部との間の
    流通手段を含むことを特徴とする特許請求の範囲第（１
    ）項に記載のピンボード式整合装置。
11. （１１）ピンボードの第２整合ピンアパーチャに位置決
    めされた整合ピンと実質的に同一の第２整合ピンを含み
    、バックシートを、前記第２整合ピンキャッププレート
    付近で前記ピンボード表面に締結することにより、前記
    第２整合ピンを前記第２アパーチャにゆるく保持して、
    軸運動および横移動できるようにしたことを特徴とする
    特許請求の範囲第（１）項に記載のピンボード式整合装
    置。
12. （１２）第２ピンキャッププレートに隣接接触して前記
    バックシートに取付けられ、第２ピンの位置決めを助け
    る第２支持プレートを含むことを特徴とする特許請求の
    範囲第（１１）項に記載のピンボード式整合装置。
13. （１３）フォトマスクと感光フィルムとを密着させて、
    繰返し整合できるようにした真空フレームであって、 （ａ）前記フォトマスクとフィルムとの組合せを照射す
    る剛性の透明プレート、 （ｂ）整合ピンをゆるめに収容する少なくとも２つの整
    合ピンアパーチャを有する実質的に剛性の限定可とう性
    ピンボード、 （ｃ）前記整合ピンアパーチャより小さい断面積を有す
    る本体部と、前記本体部断面積、および前記整合ピンア
    パーチャより大きい表面積を有するキャッププレート部
    とを備えるとともに、前記整合ピンアパーチャに位置決
    めされた少なくとも２個の整合ピン、および （ｄ）前記整合ピンを前記アパーチャに保持するととも
    に、前記整合ピンキャップ付近で前記ピンボード表面に
    締結され、前記整合ピンを前記アパーチャにゆるめに保
    持して、軸運動および横移動できるようにした弾性バッ
    クシートから成ることを特徴とする真空フレーム。
14. （１４）それぞれ、前記整合ピンキャッププレートに隣
    接接触してバックシートに取付けられ、整合ピン位置決
    めを助ける第１および第２支持プレートを含むことを特
    徴とする特許請求の範囲第（１３）項に記載の真空フレ
    ーム。
15. （１５）ピンボードが、バックシート締結面の対向面に
    、前記対向面と、隣接する感光フィルムとの間で充分通
    気できるようにした織地状組織を備えることを特徴とす
    る特許請求の範囲第（１３）項に記載の真空フレーム。
16. （１６）ピンボードが、真空フレーム内部からの排気中
    、圧力ブランケットの動きに適応するに充分な可とう性
    を有することを特徴とする特許請求の範囲第（１３）項
    に記載の真空フレーム。
17. （１７）ピンボードが、真空フレーム内部からの排気中
    、圧力ブランケットの動きに対抗するだけの不とう性を
    有することを特徴とする特許請求の範囲第（１３）項に
    記載の真空フレーム。
18. （１８）ピンボードに隣接設置されるとともに、前記真
    空フレームの排気装置と連絡するアパーチャ、および前
    記ピンボード表面から前記アパーチャに至る通気を容易
    にする織地状表面を有する真空ポートボードを備えるこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第（１３）項に記載の真
    空フレーム。
19. （１９）真空ポートアパーチャと連絡して、真空フレー
    ム内部からの排気を容易にする表面溝を有することを特
    徴とする特許請求の範囲第（１８）項に記載の真空フレ
    ーム。
20. （２０）ピンボードと連絡して、前記ピンボード上の空
    間から排気する真空ポートを有することを特徴とする特
    許請求の範囲第（１３）項に記載の真空フレーム。
21. （２１）ピンボードが、その一表面に、前記表面とその
    上の感光フィルムとの間から、真空ポートに通気できる
    ようにする織地状組織を有することを特徴とする特許請
    求の範囲第（２０）項に記載の真空フレーム。
22. （２２）ピンボードを包囲するガスケットシート、およ
    び前記ピンボードと前記ガスケットシート外部との間の
    流通手段を備えることを特徴とする特許請求の範囲第（
    １３）項に記載の真空フレーム。