DE2437596A1 - Vorrichtung zum positionieren eines halbzeuges gegenueber einem filmdruckwerkzeug in einem belichtungsautomaten - Google Patents

Vorrichtung zum positionieren eines halbzeuges gegenueber einem filmdruckwerkzeug in einem belichtungsautomaten

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DE2437596A1
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    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03BAPPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
    • G03B27/00Photographic printing apparatus
    • G03B27/02Exposure apparatus for contact printing
    • G03B27/14Details
    • G03B27/18Maintaining or producing contact pressure between original and light-sensitive material
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F9/00Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically

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  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Description

  • Vorrichtung zum Positionieren eines Halbzeuges gegenüber einem Filmdruckwerkzeug in einem Belichtungsautomaten.
  • Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Posi--tionieren eines Halbzeuges gegenüber einem Filrndruckwerkzeug in einem Belichtungsautomaten, in dem zwischen einer den Boden eines Belichtungsrahmens bildenden Glasplatte und dem durch eine Gummimatte abgedeckten Halbzeug das durch die Glasplatte hindurch beleuchtete und gegenüber dem Halbzeug exakt ausgerichtete Druckwerkzeug angeordnet ist.
  • In der Druckereitechnik und auf verwandten Gebieten, insbesondere der Ätztechnik, werden bekanntlich Druckbilder durch Kontaktkopieren von Glas oder auch Filmdruckarerkzeugen auf metallkaschierte, mit einer lichtempfindlichen Schicht abgedeckte Folien, die hinfort als Halbzeug bezeichnet werden, durcn Belichten übertragen. In vielen Anwendungsfällen wird dabei eine exakte Maßhaltigkeit des auf diese Weise erzeugten Bildmusters auf dem Halbzeug gefordert.
  • Den Grund für diese Forderung verdeutlicht einer der möglichen Anwendungsfälle, bei dem auf diese Weise Ätzbilder für Konfigurationen von Leiterbahnen elektrischer Leiterplatten auf dem Halbzeug erzeugt werdcn. Bei der heute weit fortgeschrittenen Technologie auf vielen Gebieten der Elektrotechnik und der damit erreichten hohen Packungsdichte elektronischer Bauelemente auf Leiterplatten müssen diese Anordnungen von Leiterbahnen exakt angeordnet und ausgerichtet sein, um die Funktionsfähigkeit der Leiterplatte zu gehrleisten. Insbesondere gilt dies auch für die Herstellung von Mehrlagenplatten, bei denen eine hohe Packungsdichte der Regelfall ist. Die einzelnen Lagen einer Mehrlagenplatte miissen zueinander exakt positioniert sein, damit die einzelnen Fester der verschiedenen Lagen genau aufeinander ausgerichtet sind und dann auch jeweils eindeutig in einem Rasterschnittpunkt liegende Verbindungsbohrungen hergestellt werden können.
  • Deswegen ist es beim Belichtungsvorgang notwendig, das Halbzeug gegenüber dem Druckwerkzeug exakt zu positionieren. Bei Druckwerkzeugen aus Glas ist es bekannt, in das Druckwerkzeug und das Halbzeug Paßbohrungen einzulassen, die in einem dem Kopiervorgang vorgeschalteten Positioniervorgang durch Paßstifte zueinander ausgerichtet werden. Mit dieser Art des Positionierenqlwird eine hohe Paßgenauigkeit erreicht, jedoch haben Glasdruckwerkzeuge den Nachteil, daß ihre Herstellung teuer und ihre Handhabung umständlich ist, da die Glasdruckwerkzeuge üblicher Abmessungen bereits ein beträchtliches Gewicht besitzen. Darüber hinaus besteht beim Umgang mit Glasscheiben dieser Größe und diesem Gewicht stets eine gewisse Unfallgefahr.
  • Man ist deshalb bereits auch dazu übergegangen, Filmdruckwerkzeuge zum Kontaktkopieren zu verwenden. Das dünne und auch verhältnismäßig spröde Filmmaterial läßt ein direktes Verstiften mit dem Halbzeug'wie bei Glasdruckwerkzeugen üblich, nicht zu. Bei Filmdruckwerkzeugen verwendet man deshalb gebleichtes Filmmaterial, das auf einem Leuchttisch mit Hilfe von Kennmarken zu dem Halbzeug ausgerichtet und dann mit diesem durch handelsübliche einseitig klebende und wieder lösbare Klebestreifen verklebt wird.
  • Bei einer kostengünstigeren Herstellung des Fimdruckwerkzeuges und Vorteilen seiner Handhabbarkeit muß dabei der Nachteil in Kauf genommen werden' gebleichtes Filmmaterial zu verwenden. In der Praxis ist es jedoch schwierig, den Bleichgrad dieses Filmmaterials konstant zu halten. Schwankungen des Bleichgrads erschweren das optische Ausrichten und den Belichtungsvorgang, bei dem außerdem mit ultraviolettem Licht belichtet werden muß. Dies zieht den weiteren Nachteil nach sich, daß die belichteten Halbzeuge noch nachdunkeln können, wenn nicht Vorsorge gegen jeglichen Lichteinfall vor dem Fixieren des belichteten Musters getroffen wird.
  • Wesentlich ist schließlich aber auch noch, daß mit Glasdruckwerkzeugen in einem einfacheren Ausrichtvorgang eine höhere Paßgenauigkeit erreicht wird.
  • Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, mit möglichst einfachen technischen Mitteln eine bei hoher Standzeit exakt arbeitende Vorrichtung zum Positionieren eines Halbzeuges gegenüber einem Filmdruckwerkzeug in einem Belichtungsautomaten zu schaffen, mit der es möglich ist, die an sich gegebenen Vorteile von Filmdruckwerkzeugen gegenüber Glasdruckwerkzeugen voll auszunutzen und insbesondere die bei Glasdruckwerkzeugen bereits übliche hohe Paßgenauigkeit auch bei Filmdruckwerkzeugen zu erreichen.
  • Bei einer Vorrichtung der eingangs genannten Art wird diese Aufgabe erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß das Filmdruckwerkzeug ebenso wie das Halbzeug eng tolerierte Paßbohrungen aufweist und Paßstifte vorgesehen sind, mit denen die zueinander zuzuordnenden Paßbohrungen im Filmdruckwerkzeug bzw.
  • dem Halbzeug zueinander zentrierbar sind und daß dazu in das Filmdruckwerkzeug an den Stellen des Paßsystemes Freilochungen eingelassen sind, die auf der Glanzseite des Filmdruckwerkzeuges mit metallischen Paßscheiben hinterlegt sind, die Paßbohrungen tragen.
  • Beim heutigen Stande der Technologie ist es möglich, zwischen elastischen Kunststoffolien, wie Filmmaterial, und metallischen Werkstoffen gcit haftende Verbindungen herzustellen, die für diesen Zweck ausreichend widerstandsfähig gegenüber einer scherenden Beanspruchung sind. Die Paßscheiben können also mit engen Toleranzen in bezug auf ihre Paßbohrungen kostengünstig vorgefertigt werden und lassen sich in einem eirirnaligen Ausrichtvorgang gegenüber dem Filmdruckwerkzeug positionieren und dann mit diesem starr verbinden. Ein derartig ausgebildetes Filmdruckwerk zeug läßt sich wie ein Glasdruckwerkzeug verwenden.
  • Dabei wird in einem einfachen Ausrichtvorgang eine hohe Paßgenauigkeit erreicht, es ist also nicht mehr notwendig, gebleichtes Filmmaterial mit seinen nachteiligen Eigenschaften zu verwenden.
  • Dies wirkt sich z. B. bei einem in der Leiterplattenfertigung verwendeten Fotodruckverfahren insbesondere sehr vorteilhaft aus, da dort vielfach auch nur kleine Serien hergestellt werden, das Druckwerkzeug also häufig ausgewechselt werden muß und immer wieder verwendbar sein soll, wenn eine neue Serie aufgelegt wird. Neben der verbesserten Qualität von Erzeugnissen ergibt sich dabei auch noch eine höhere Standzeit der Filmdruckwerkzeuge, die außerdem eine gegenüber Glasdruckwerkzeugen einfachere Lagerhaltung ermöglichen.
  • Weiterbildungen der Erfindung sind in Unteransprüchen gekennzeichnet und in einer nachstehenden Beschreibung eines Ausführungsbeispiels ausführlich dargestellt.
  • Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird im folgenden anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigt: Fig. 1 in schematischer Darstellung eine Draufsicht uf ein erfindungsgemäß ausgebildetes Filmdruckwerkzeug, Fig. 2 eine entsprechende Seitenansicht dieses Filmdruckwerkzeugs, Fig. 3 eine in Fig. 2 mit III bezeichnete Einzelheit in vergrößertem Maßstab und Fig. 4 in schematischer Darstellung ein für den Belichtungsvorgang gegenüber einem Halbzeug ausgerichtetes Filmdruckwer#tzeug.
  • In Fig. 1 und Fig. 2 ist mit 1 ein Filmdruckwerkzeug bezeichnet, auf dem - wie in Fig. 1 durch strichpunktierte Linien schematisch angedeutet - eine Leiterbildfläche 100 angeordnet ist. AußerhaLb dieser Leiterbildfläche besitzt es zwei mittig algeordnete Paßscheiben 2 und 3, die als Paßbohbungell ein und bzw. ein Langloch aufweisen.
  • In Fig. 2 ist mit III eine Einzelheit dieses Filmdruckwerk zeuges bezeichnet, die in Fig. 3 in vergrößerter Darstellung wiedergegeben ist. Daraus ist zu erkennen, daß das Filmdruckwerkzeug 1 an den Stellen des Paßsystemes jeweils eine Freilochung 101 besitzt, die mit jeweils einer der Paßscheiben, in diesem Fall der Paßscheibe 2 mit Rundlochpassung hinterlegt ist. Der in Fig. 3 dargestellte Teilschnitt durch das Filmdruckwerkzeug zeigt deutlich den gegenüber der Rundlochpassung 200 größeren Durchmesser der Freilochung 101.
  • Hergeftellt wird ein derartiges Filmdruckwerkzeug derart, daß der Planfilm zunächst an den Stellen des Paß systems gelocht wird und dann auf seiner Glanzseite im Bereich der Freilochungen 101 mechanisch aufgerauht und entfettet wird. Anschließend werden die gereinigten Filmflächen und die ebenso vorbereiteten vorgefertigten Paßscheiben aus verschleißfestem Material, z. B. Neusilber, jeweils einseitig mit Kontaktkleber 4 beschichtet und dann mit Hilfe einer Meßvorrichtung, z. B. einer Meßmaschine oder einer Meßplatte zueinander positioniert und miteinander verklebt.
  • Zur Erläuterung des Ausrichtvorganges und des anschließenden Belichtungsvorganges ist in Fig. 4 eine schematische Darstellung des Belichtungsrahmens eines Belichtungsautomaten in einem Ausschnitt wiedergegeben. Eine vollständige Darstellung eines derartigen Belichtungsrahmens erübrigt sich, da Belichtungsautomaten an sich bereits hinlänglich bekannt sind.
  • Die schematische Darstellung zeigt das Filmdruckwerkzeug 1 mit einer seiner beiden Paßscheiben 2, das mit seiner Glanzseite plan auf einer Ausrichtplatte 5 aus Glas aufliegt, die zu diesem Zweck im Bereich der Paß scheiben 2 bzw. 3 je eine Einsenkung 51 besitzt. In die Ausrichtplatte 5 sind außerdem an den Stellen des Paßsystemes Paßstifte 6 eingesetzt, die durch eine aushärtende Vergußmasse 7 in entsprechenden Durchbrüchen festgelegt sind.
  • Auf dem Filmdruckwerkzeug 1 liegt ein Halbzeug 8, das zu dem Filmdruckwerkzeug mit Hilfe der Paßstifte 6 zentriert ist.
  • In diesem Zusammenhang ist auf die unterschiedlichen Paßbohrungen in den beiden Paßscheiben 2 bzw. 3 hinzuweisen.
  • Die Rundlochpassung in der ersten Paßscheibe 2 fixiert das Filmdruckwerkzeug 1 in einem Punkt exakt zu der Ausrichtplatte 5 und damit auch zu dem Halbzeug 8, das an dieser Stelle einebensolce Passung besitzt. Abstandstoleranzen zwischen den beiden Paßscheiben 2 und 3 werden nun durch das Langloch in der Paßscheibe 3 ausgeglichen, dessen längere Achse in Richtung der Verbindungslinie beider Paßscheiben verläuft. Das Filmdruckwerkzeug 1 und das Halbzeug 8, das eine entsprechende Passung besitzt, sind damit eindeutig bezüglich eines Punktes und einer Richtung gegenüber der Ausrichtplatte 5 festzulegen.
  • Beim Belichtungsvorgang ist diese bisher geschilderte Anordnung zwischen einer den Boden des Belichtungsrahmens bildcnden Glasplatte 9 und einer den Belichtungsrahmen nach oben abschließenden Gummimätte 10 angeordnet. Beim Belichtungsvorgang stelbst steht der Raum zwischen dieser Gummimatte 10 und der den Boden des Belichtungsrahmens bildenden Glasplatte 9 unter Unterdruck, so daß sich die Gummimatte an die darunterliegende Anordnung anschmiegt und dabei das Halbzeug 8 mit seiner lichtempfindlichen Schicht 81 plan an das Filmdruckwerkzeug 1 andrückt. Schließlich ist in Fig.
  • 4 noch schematisch eine parallel zu dem geschilderten Aufbau verfahrbare Lichtquelle 11 angedeutet, deren Licht durch die Glasplatte 9, die Ausrichtplatte 5 und das Filmdruckwerkzeug 1 hindurch auf die fotoempfindliche Schicht 81 des Halbzeuges 8 gelangt.
  • 4 Figuren 4 Patentansprüche

Claims (4)

  1. Patentansprüche j; Vorrichtung zum Positionieren eines Halbzeuges gegenüber einem Fiimdruckwerkzeug in einem Belichtungsautomaten, in dern zwischen einer den Boden eines Belichtungsrahmens bildenden Glasplatte und dem durch eine Gummimatte abgedeckten Halbzeug das durch die Glasplatte hindurch beleuchtete und gegenüber dem Halbzeug exakt ausgerichtete Druckwerkzeug angeordnet ist, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß das Filmdn#ckwerkzeug (1) ebenso wie das Halbzeug (8) eng tolerierte Paßbohrungen aufweist und Paßstifte (6) vorgesehen sind, mit denen die einander zuzuordnenden Paßbohrungen (200) im Filmdruckwerkzeug bzw. dem Halbzeug zueinander zentrierbar sind und daß dazu in das Filmdruckwerkzeug an den Stellen des Paßsystems Freilochungen (101) eingelassen sind, die auf der Glanzseite des Filmdruckwerk#e#ug#es mit metallischen Paßscheiben (2, 3) hinterlegt sind, /Paßbohrungen tragen.
  2. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n nz e i c h n e t, daß die erste mit dem Filmdruckwerkzeug (1) starr verbundene Paßscheibe (2) eine entsprechend dem Durchmesser der Paßstifte (6) eng tolerierte runde Bohrung und die rixeite Paßscheibe (3) eine Toleranzen ausgleichende Langlochung aufweist, deren längere Achse in Richtung der Verbindungslinie beider Paßscheiben ausgerichtet ist.
  3. 3. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 2, d a -d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß eine lichtdurchlässige Ausrichtplatte (5) vorgesehen ist, die zwei in Durchbrüchen angeordnete und mit einer aushärtenden Eingeßmasse (7) in vorgegebenem Abstand festgelegte Paßstifte (6) und konzentrisch zu diesen Durchbrüchen auf der Oberseite je eine Paßscheibe (2 bzw. 3) des Filmdruckwerkzeuges (1) aufnehmende Einsenkungen (51) aiafweist und damit das Filmdruckwerkzeug beim Kopieren im Belichtungsautomaten mit einer Glanzseite plan auf der Ausrichtplatte aufliegt, während seine Emulsionsseite durch das ihm die fotoemp£indliche Schicht (81) zukehrende Halbzeug (8) abgedeckt ist.
  4. 4. Verfahren zum Herstellen eines Filmdruckwerkzeuges nach einem der Ansprüche 1 und 2, d a d u r c h g e k e n n -z e i c h n e t, daß die Paßscheiben (2, 3) aus einem verschleißfesten Material vorgefertigt werden, daß das Filmdruckwerkzeug an den Stellen des Paßsystems vorgelocht im Bereich dieser Freilochungen (101) auf seiner Glanzseite aufgerauht wird, daß die aufgerauhten Filmflächen und die Paßscheiben entfettet, gereinigt und anschließend jeweils einseitig mit einem Kontaktkleber (4) beschichtet werden und daß die Paßscheiben und das Filmdruckwerkzeug mit einer Meßvorrichtung, insbesondere einer Meßplatte, zueinander ausgerichtet und anschließend miteinander unter Druck verklebt werden.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0231067A2 (de) * 1986-01-30 1987-08-05 Chester L. Richards Photographischer Kopierrahmen mit Stiften
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