JPS62226684A - レ−ザ出力制御装置 - Google Patents
レ−ザ出力制御装置Info
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- JPS62226684A JPS62226684A JP7025786A JP7025786A JPS62226684A JP S62226684 A JPS62226684 A JP S62226684A JP 7025786 A JP7025786 A JP 7025786A JP 7025786 A JP7025786 A JP 7025786A JP S62226684 A JPS62226684 A JP S62226684A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/0014—Monitoring arrangements not otherwise provided for
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- Optics & Photonics (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明はレーザ出力を高速度で制御するレーザ出力制
御装置に関するものである。
御装置に関するものである。
第３図は特開昭６０−５２０７２号公報に示された従来
の炭酸ガスレーザ装置におけるレーザ出力制御装置を示
す概略構成図である。
の炭酸ガスレーザ装置におけるレーザ出力制御装置を示
す概略構成図である。
図においてα）は炭酸ガスを含むレーザ媒質ガスを満た
した容器、０υ、（２Ｂ）は容器（１）内に設けられた
一対の電極、（３）は電極（２Ａ）、（２Ｂ）に高電圧
を印加するための電源、（４）は電極（２Ａ）、（２Ｂ
）に高電圧を印加することによって生成する放電、（５
）はレーザ光のほとんどを反射するが約１％程度は透過
する性質を有する全反射鏡、（６）は部分透過鏡である
。（７）は部分透過鏡（６）から外部に出力するレーザ
光゛、（８）は全反射鏡（５）から出力する検出レーザ
光であり、検出レーザ光（８）の強度はレーザ光（７）
の強度に比例する。（９）は内面を完全拡散面とした積
分球、（１呻は検出レーザ光（８）を積分球（９）内に
入射させる入力ボート、（１Ｎ）は積分球（９）内で拡
散されたレーザ光を出力する出力ボート、（Ｌりは出力
ボートαすに設置した例えばサーモパイルからなる微小
レーザ検出器、（ロ）は不図示の出力設定器から出力す
る出力指令値、α４）は比較器、（１句は増幅器である
。
した容器、０υ、（２Ｂ）は容器（１）内に設けられた
一対の電極、（３）は電極（２Ａ）、（２Ｂ）に高電圧
を印加するための電源、（４）は電極（２Ａ）、（２Ｂ
）に高電圧を印加することによって生成する放電、（５
）はレーザ光のほとんどを反射するが約１％程度は透過
する性質を有する全反射鏡、（６）は部分透過鏡である
。（７）は部分透過鏡（６）から外部に出力するレーザ
光゛、（８）は全反射鏡（５）から出力する検出レーザ
光であり、検出レーザ光（８）の強度はレーザ光（７）
の強度に比例する。（９）は内面を完全拡散面とした積
分球、（１呻は検出レーザ光（８）を積分球（９）内に
入射させる入力ボート、（１Ｎ）は積分球（９）内で拡
散されたレーザ光を出力する出力ボート、（Ｌりは出力
ボートαすに設置した例えばサーモパイルからなる微小
レーザ検出器、（ロ）は不図示の出力設定器から出力す
る出力指令値、α４）は比較器、（１句は増幅器である
。
従来の炭酸ガスレーザ装置におけるレーザ出力制御装置
は上記のように構成され、一対の電極（２Ａ） 、（２
Ｂ）に電源（３）より高電圧を印加し放電（４）を生成
してレーザ媒質ガスを励起し、波長１０．６μｍのレー
ザ光を放出する。この放出されたレーザ光が平行に設け
られた全反射鏡（５）と部分透過鏡（６）間で反射を繰
返すことによりレーザ発振を起こし、部分透過鏡（６）
よりレーザ光（７）を外部に出力する。
は上記のように構成され、一対の電極（２Ａ） 、（２
Ｂ）に電源（３）より高電圧を印加し放電（４）を生成
してレーザ媒質ガスを励起し、波長１０．６μｍのレー
ザ光を放出する。この放出されたレーザ光が平行に設け
られた全反射鏡（５）と部分透過鏡（６）間で反射を繰
返すことによりレーザ発振を起こし、部分透過鏡（６）
よりレーザ光（７）を外部に出力する。
一方、全反射鏡（５）からは部分透過鏡（６）から出力
するレーザ光（７）の強度に比例した約１０〜５０Ｗ程
度の検出レーザ光（８）が出力し、積分球（９）の入力
ボートα０）から積分球（９）内部に入射する。積分球
（９）に入射した検出レーザ光（８）は積分球（９）内
面で多数の反射を繰り返し均一に拡散、減光して、出力
ボートａ１）に設置した微小レーザ検出器（Ｉ２）に入
射する。
するレーザ光（７）の強度に比例した約１０〜５０Ｗ程
度の検出レーザ光（８）が出力し、積分球（９）の入力
ボートα０）から積分球（９）内部に入射する。積分球
（９）に入射した検出レーザ光（８）は積分球（９）内
面で多数の反射を繰り返し均一に拡散、減光して、出力
ボートａ１）に設置した微小レーザ検出器（Ｉ２）に入
射する。
積分球（９）の微小レーザ検出器（１２）に対する減衰
率は積分球（９）の直径を約ＩＱＱａｍとし、微小レー
ザ検出器（Ｉ２）の受光面の径を約１ｍｍとすると約１
／１００００であり、例えば積分球（９）に約５０Ｗの
検出レーザ光（８）の入力があると微小レーザ検出器（
財）の入力は約５ ｍＷとなる。微小レーザ検出器（Ｉ
２）に入力したレーザ光は電気信号に変換され、この１
！気信号と所定のレーザ光の出力指令値−とを比較器（
１４）で比較して、その偏差信号を増幅器（Ｉ５）によ
り増幅して電源（３）の出力電圧又は出力電流を制御す
ること番こよりレーザ媒質ガスの励起強度を制御して、
レーザ光（７）の強度をほぼ一定に保持する。
率は積分球（９）の直径を約ＩＱＱａｍとし、微小レー
ザ検出器（Ｉ２）の受光面の径を約１ｍｍとすると約１
／１００００であり、例えば積分球（９）に約５０Ｗの
検出レーザ光（８）の入力があると微小レーザ検出器（
財）の入力は約５ ｍＷとなる。微小レーザ検出器（Ｉ
２）に入力したレーザ光は電気信号に変換され、この１
！気信号と所定のレーザ光の出力指令値−とを比較器（
１４）で比較して、その偏差信号を増幅器（Ｉ５）によ
り増幅して電源（３）の出力電圧又は出力電流を制御す
ること番こよりレーザ媒質ガスの励起強度を制御して、
レーザ光（７）の強度をほぼ一定に保持する。
しかるに微小レーザ検出器α匂はサーモパイル等で構成
されているため周囲温度が変化すると感度が変わり、こ
のため夏と冬などのように気温が大きく変化するとレー
ザ出力制御が正確に行なわれないという問題点があった
。
されているため周囲温度が変化すると感度が変わり、こ
のため夏と冬などのように気温が大きく変化するとレー
ザ出力制御が正確に行なわれないという問題点があった
。
この発明は上記した問題点を改善する目的でなされたも
ので、積分球と微小レーザ検出器とを有するレーザ出力
制御装置において、機外レーザ検出器に温度補償機能を
有することにより微小レーザ検出器の出力特性の温度変
化による変動を防止したものである。
ので、積分球と微小レーザ検出器とを有するレーザ出力
制御装置において、機外レーザ検出器に温度補償機能を
有することにより微小レーザ検出器の出力特性の温度変
化による変動を防止したものである。
この発明に係るレーザ出力制御装置は、入射したレーザ
光を拡散する積分球と、この積分球で拡散されたレーザ
光を検出する微小レーザ検出器とを備え、上記微小レー
ザ検出器は温度補償機能を有するものである。
光を拡散する積分球と、この積分球で拡散されたレーザ
光を検出する微小レーザ検出器とを備え、上記微小レー
ザ検出器は温度補償機能を有するものである。
この発明においては、微小レーザ検出器が周囲温度変化
の影響を受けず、微小レーザ検出器の出力の変動がなく
なり、レーザ出力の制御を正確に行なうことができる。
の影響を受けず、微小レーザ検出器の出力の変動がなく
なり、レーザ出力の制御を正確に行なうことができる。
第１図はこの発明の一実例を示す概略構成図であり、図
において（１）、（２Ａ） 、（２Ｂ）、及び（４）〜
（２）は上記従来装置と同一のものである。α樽はアル
ミニューム又は銅からなるケースである。ケースα８）
は微小レーザ検出器幹）の側面を密着して収納し、微小
レーザ検出器（Ｌ匂の受光面に開口部（１２Ａ）を設け
、この開口部（１２Ａ）が積分球（９）の出力ボート（
１ηに位置するように設置する。ｅυは微小レーザ検出
器（ロ）の出力線、（１０１ａ）は微小レーザ検出器内
の熱伝対であり、（１０１ｂ）はケース（１１内にもう
けられた熱漬免ｔ （１０１ａ）と同一の温度縣（４−
かＪ、つ執桜先トであｈ、熱伝対（１０１ａ）と（１０
１ｂ）は温度補償が行えるように接続しである。
において（１）、（２Ａ） 、（２Ｂ）、及び（４）〜
（２）は上記従来装置と同一のものである。α樽はアル
ミニューム又は銅からなるケースである。ケースα８）
は微小レーザ検出器幹）の側面を密着して収納し、微小
レーザ検出器（Ｌ匂の受光面に開口部（１２Ａ）を設け
、この開口部（１２Ａ）が積分球（９）の出力ボート（
１ηに位置するように設置する。ｅυは微小レーザ検出
器（ロ）の出力線、（１０１ａ）は微小レーザ検出器内
の熱伝対であり、（１０１ｂ）はケース（１１内にもう
けられた熱漬免ｔ （１０１ａ）と同一の温度縣（４−
かＪ、つ執桜先トであｈ、熱伝対（１０１ａ）と（１０
１ｂ）は温度補償が行えるように接続しである。
上記のように構成したレーザ出力制御回路においては、
周囲温度が変化してホルダ一温度が変化しても、熱伝対
（１０１ａ）と（１０１ｂ）が温度補償を行うので該検
出器（ロ）の出力特性は一定に維持することができ、微
小レーザ検出器α乃の安定した出力信号によりレーザ光
（７）の出力を正確に制御することができる。
周囲温度が変化してホルダ一温度が変化しても、熱伝対
（１０１ａ）と（１０１ｂ）が温度補償を行うので該検
出器（ロ）の出力特性は一定に維持することができ、微
小レーザ検出器α乃の安定した出力信号によりレーザ光
（７）の出力を正確に制御することができる。
第２図はこの発明の他の実施例を示したもので、微小検
出器（２）のみを拡大したものである。図において（１
０４）は微小検出器のケース、（１０１ｂ）は該ケース
（１０４）に熱的に接触するように取付けられた微小レ
ーザ検出用熱伝対（ｌｏｌａ）と同一特性の熱伝対であ
る。
出器（２）のみを拡大したものである。図において（１
０４）は微小検出器のケース、（１０１ｂ）は該ケース
（１０４）に熱的に接触するように取付けられた微小レ
ーザ検出用熱伝対（ｌｏｌａ）と同一特性の熱伝対であ
る。
このように、微小レーザ検出素子内に温度補償の為の熱
伝対があってもよい。
伝対があってもよい。
なお上記説明では微小レーザ検出器としてサーモパイル
を検出素子とした場合について述べたが、炭酸ガスレー
ザでは金・ゲルマニュウム素子、水銀・カドミウム・チ
ルライド素子、焦電効果素子、ＹＡＧレーザではシリコ
ンフォトセンサ等にも利用できることはいうまでもない
。
を検出素子とした場合について述べたが、炭酸ガスレー
ザでは金・ゲルマニュウム素子、水銀・カドミウム・チ
ルライド素子、焦電効果素子、ＹＡＧレーザではシリコ
ンフォトセンサ等にも利用できることはいうまでもない
。
この発明は以上説明したとおり、微小レーザ検出器を温
度補償機能を有するように構成したので微小レーザ検出
器が周囲温度変化の影響を受けず、微小レーザ検出器の
出力の変動がなくなり、レーザ出力の制御を正確に行な
うことができる。
度補償機能を有するように構成したので微小レーザ検出
器が周囲温度変化の影響を受けず、微小レーザ検出器の
出力の変動がなくなり、レーザ出力の制御を正確に行な
うことができる。
第１図はこの発明の実施例を示す概略構成図、第２図は
この発明の他の実施例を示す概略構成図、第３図は従来
のレーザ出力制御装置を示す概略構成図である。 図において（１）は容器、（２人）、（２Ｂ）は電極、
（３）、０１Ｈ；ｔ、電源、（５）ハ全反射鏡、（６Ｈ
１Ｗｌｔ過ｆｍ、（９）ハ積分球、α旧よ微小レーザ検
出器、（Ｌ４）、（財）は比較器、（１５）、伜）、（
至）は増幅器、σ８）はケース、（１９）はヒーター、
（２１は温度センサー、（ハ）はリレー、−は電子冷却
器、（１０１）は熱伝対、（１０４）はケースである。 なお、図中、同一符号は同一または相当部分を示す。
この発明の他の実施例を示す概略構成図、第３図は従来
のレーザ出力制御装置を示す概略構成図である。 図において（１）は容器、（２人）、（２Ｂ）は電極、
（３）、０１Ｈ；ｔ、電源、（５）ハ全反射鏡、（６Ｈ
１Ｗｌｔ過ｆｍ、（９）ハ積分球、α旧よ微小レーザ検
出器、（Ｌ４）、（財）は比較器、（１５）、伜）、（
至）は増幅器、σ８）はケース、（１９）はヒーター、
（２１は温度センサー、（ハ）はリレー、−は電子冷却
器、（１０１）は熱伝対、（１０４）はケースである。 なお、図中、同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (2)
- （１）入射したレーザ光を拡散する積分球と、この積分
球で拡散されたレーザ光を検出する微小レーザ検出器と
を有するレーザ出力制御装置において、上記微小レーザ
検出器は温度補償機能を有することを特徴とするレーザ
出力制御装置。 - （２）微小レーザ検出器は、小容量の熱伝対で構成され
、温度補償機能は上記熱伝対の温接点が多点あることに
より達成されていることを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載のレーザ出力制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61070257A JPH0760912B2 (ja) | 1986-03-28 | 1986-03-28 | レ−ザ出力制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61070257A JPH0760912B2 (ja) | 1986-03-28 | 1986-03-28 | レ−ザ出力制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62226684A true JPS62226684A (ja) | 1987-10-05 |
| JPH0760912B2 JPH0760912B2 (ja) | 1995-06-28 |
Family
ID=13426314
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61070257A Expired - Lifetime JPH0760912B2 (ja) | 1986-03-28 | 1986-03-28 | レ−ザ出力制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0760912B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63311781A (ja) * | 1987-06-12 | 1988-12-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ−ザ発振装置 |
| JPH0637381A (ja) * | 1992-07-16 | 1994-02-10 | Mitsubishi Electric Corp | 導波路型レーザ発振器 |
| WO2019163069A1 (ja) * | 2018-02-22 | 2019-08-29 | 三菱電機株式会社 | レーザ発振装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3282100A (en) * | 1963-04-10 | 1966-11-01 | Westinghouse Electric Corp | Fine wire calorimeter |
| JPS6052072A (ja) * | 1983-09-01 | 1985-03-23 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ出力制御装置 |
| JPS60217679A (ja) * | 1984-04-13 | 1985-10-31 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ出力制御装置 |
-
1986
- 1986-03-28 JP JP61070257A patent/JPH0760912B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3282100A (en) * | 1963-04-10 | 1966-11-01 | Westinghouse Electric Corp | Fine wire calorimeter |
| JPS6052072A (ja) * | 1983-09-01 | 1985-03-23 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ出力制御装置 |
| JPS60217679A (ja) * | 1984-04-13 | 1985-10-31 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ出力制御装置 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63311781A (ja) * | 1987-06-12 | 1988-12-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ−ザ発振装置 |
| JPH0637381A (ja) * | 1992-07-16 | 1994-02-10 | Mitsubishi Electric Corp | 導波路型レーザ発振器 |
| WO2019163069A1 (ja) * | 2018-02-22 | 2019-08-29 | 三菱電機株式会社 | レーザ発振装置 |
| US10998692B2 (en) | 2018-02-22 | 2021-05-04 | Mitsubishi Electric Corporation | Laser oscillation device |
| DE112018006927B4 (de) | 2018-02-22 | 2022-02-10 | Mitsubishi Electric Corporation | Laseroszillationsvorrichtung und Verfahren zum Steuern einer Laseroszillationsvorrichtung |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0760912B2 (ja) | 1995-06-28 |
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