JPH0456479B2 - - Google Patents
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- JPH0456479B2 JPH0456479B2 JP58160656A JP16065683A JPH0456479B2 JP H0456479 B2 JPH0456479 B2 JP H0456479B2 JP 58160656 A JP58160656 A JP 58160656A JP 16065683 A JP16065683 A JP 16065683A JP H0456479 B2 JPH0456479 B2 JP H0456479B2
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- laser
- laser beam
- output
- photodetector
- integrating sphere
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
- H01S3/131—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation
- H01S3/134—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation in gas lasers
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- Electromagnetism (AREA)
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、レーザ装置から出力するレーザ光
を高速度応答で制御するレーザ出力制御装置に関
するものである。
を高速度応答で制御するレーザ出力制御装置に関
するものである。
従来この種のレーザ装置のレーザ光検出器とし
ては、第１図に示すものがあつた。第１図は従来
のレーザ光検出器を示す概略構成図である。図に
示す様なレーザ光検出器１６において、放熱器１
とレーザ光吸収板３との間に熱電対（サーマパイ
ル）２が密着して配設されており、レーザ光４を
レーザ光吸収板３を当てると、このレーザ光吸収
板３の温度が上昇し、熱電対２を通つて放熱器１
に熱が流れる。このため、レーザ光吸収板３と放
熱器１との間には温度差が生じ、熱電対２はこの
温度差に比例した熱起電力を発生することになる
ので、熱電対２の出力電圧を増幅器５によつて増
幅し、レーザ光４の強度を示す出力信号６を得る
ことにより、レーザ光４の強度を測定することが
できる。
ては、第１図に示すものがあつた。第１図は従来
のレーザ光検出器を示す概略構成図である。図に
示す様なレーザ光検出器１６において、放熱器１
とレーザ光吸収板３との間に熱電対（サーマパイ
ル）２が密着して配設されており、レーザ光４を
レーザ光吸収板３を当てると、このレーザ光吸収
板３の温度が上昇し、熱電対２を通つて放熱器１
に熱が流れる。このため、レーザ光吸収板３と放
熱器１との間には温度差が生じ、熱電対２はこの
温度差に比例した熱起電力を発生することになる
ので、熱電対２の出力電圧を増幅器５によつて増
幅し、レーザ光４の強度を示す出力信号６を得る
ことにより、レーザ光４の強度を測定することが
できる。
従来のレーザ光検出器１６は以上の様に構成さ
れているので、レーザ光４を受けてレーザ光吸収
板３の温度が上昇するのに時間を要し、また、レ
ーザ光吸収板３から熱電対２を通り放熱器１に熱
が流れる時、熱平衡状態になるまでさらに時間を
要していた。したがつて、レーザ光４がレーザ光
吸収板３に当たつてから、増幅器５の出力信号６
が安定した一定値に達するのに、通常約１〜10秒
程度の時間がかかり、その応答速度が遅いもので
あつた。
れているので、レーザ光４を受けてレーザ光吸収
板３の温度が上昇するのに時間を要し、また、レ
ーザ光吸収板３から熱電対２を通り放熱器１に熱
が流れる時、熱平衡状態になるまでさらに時間を
要していた。したがつて、レーザ光４がレーザ光
吸収板３に当たつてから、増幅器５の出力信号６
が安定した一定値に達するのに、通常約１〜10秒
程度の時間がかかり、その応答速度が遅いもので
あつた。
第２図は従来の炭酸ガスレーザ装置におけるレ
ーザ出力制御装置の一例を示す概略構成図であ
る。図に示す様に、容器７内には炭酸ガスを含む
レーザ媒質ガス８を満し、１対の電極９Ａ，９Ｂ
に電源１０より高電圧を印加し、放電１１を生成
してレーザ媒質ガス８を励起する。また、全反射
鏡１２と部分透過鏡１３を放電１１をはさんで対
向して設置することによりレーザ発振を発生さ
せ、部分透過鏡１３側よりレーザ光１４を外部に
出力する。一方、全反射鏡１２はレーザ光１４の
ほとんどを反射するが、約１％程度は透過する性
質を有する。そして、全反射鏡１２側より出力さ
れる検出レーザ光１５はレーザ光１４の強度に比
例するため、検出レーザ光１５をレーザ光検出器
１６により電気信号に変換し、このレーザ光検出
器１６の出力と所定のレーザ光の出力指令値１７
とを比較して、その誤差信号を増幅器１８により
増幅し、電源１０の出力電圧又は出力電流を制御
することにより、レーザ媒質ガス８の励起強度を
制御し、これにより、レーザ光１４の強度をほぼ
一定に保持することができる。
ーザ出力制御装置の一例を示す概略構成図であ
る。図に示す様に、容器７内には炭酸ガスを含む
レーザ媒質ガス８を満し、１対の電極９Ａ，９Ｂ
に電源１０より高電圧を印加し、放電１１を生成
してレーザ媒質ガス８を励起する。また、全反射
鏡１２と部分透過鏡１３を放電１１をはさんで対
向して設置することによりレーザ発振を発生さ
せ、部分透過鏡１３側よりレーザ光１４を外部に
出力する。一方、全反射鏡１２はレーザ光１４の
ほとんどを反射するが、約１％程度は透過する性
質を有する。そして、全反射鏡１２側より出力さ
れる検出レーザ光１５はレーザ光１４の強度に比
例するため、検出レーザ光１５をレーザ光検出器
１６により電気信号に変換し、このレーザ光検出
器１６の出力と所定のレーザ光の出力指令値１７
とを比較して、その誤差信号を増幅器１８により
増幅し、電源１０の出力電圧又は出力電流を制御
することにより、レーザ媒質ガス８の励起強度を
制御し、これにより、レーザ光１４の強度をほぼ
一定に保持することができる。
上記した従来のレーザ出力制御装置において、
レーザ光１４の出力が約1000ワツト（Ｗ）のもの
では、全反射鏡１２側の検出レーザ光１５の出力
は約20〜50ワツト程度である。また、炭酸ガスレ
ーザ装置におけるレーザ光の波長は10.6μｍの遠
赤外光であり、この波長を直接に検出するものと
しては、上記第１図に示す様な熱電対２を使用し
たレーザ光検出器１６が一般的であつて、その検
出精度も高い。しかるに、上記第１図に示すレー
ザ光検出器１６は、熱平衡状態になるまでに約１
〜10秒程度の時間の時間がかかり、その応答速度
が非常に遅かつた。この様な応答速度の遅いレー
ザ装置では、切断、焼入れ、溶接などのレーザ加
工において、所定のレーザ光の出力指令値１７に
対するレーザ光１４の出力応答性が悪く、このた
め、加工不良となる事故の発生することが多いと
いう欠点があつた。また、所定のレーザ光の出力
指令値１７が急に高くなり、レーザ光１４の出力
が十分に強く増大されても、レーザ光検出器１６
の応答速度が遅いために、レーザ光１４が十分に
強く出力されていないと判断し、増幅器１８を通
じて電源１０の出力をさらに高くする様に作用す
るため、電源１０を過負荷にしたり、各電極９
Ａ，９Ｂを劣化させたり、全反射鏡１２又は部分
透過鏡１３を破損したりするなどの重大な欠点が
あつた。
レーザ光１４の出力が約1000ワツト（Ｗ）のもの
では、全反射鏡１２側の検出レーザ光１５の出力
は約20〜50ワツト程度である。また、炭酸ガスレ
ーザ装置におけるレーザ光の波長は10.6μｍの遠
赤外光であり、この波長を直接に検出するものと
しては、上記第１図に示す様な熱電対２を使用し
たレーザ光検出器１６が一般的であつて、その検
出精度も高い。しかるに、上記第１図に示すレー
ザ光検出器１６は、熱平衡状態になるまでに約１
〜10秒程度の時間の時間がかかり、その応答速度
が非常に遅かつた。この様な応答速度の遅いレー
ザ装置では、切断、焼入れ、溶接などのレーザ加
工において、所定のレーザ光の出力指令値１７に
対するレーザ光１４の出力応答性が悪く、このた
め、加工不良となる事故の発生することが多いと
いう欠点があつた。また、所定のレーザ光の出力
指令値１７が急に高くなり、レーザ光１４の出力
が十分に強く増大されても、レーザ光検出器１６
の応答速度が遅いために、レーザ光１４が十分に
強く出力されていないと判断し、増幅器１８を通
じて電源１０の出力をさらに高くする様に作用す
るため、電源１０を過負荷にしたり、各電極９
Ａ，９Ｂを劣化させたり、全反射鏡１２又は部分
透過鏡１３を破損したりするなどの重大な欠点が
あつた。
この発明は、上記の様な従来のものの欠点を改
善する目的でなされたもので、レーザ光の一部を
取り出す手段と、この手段により取り出されたレ
ーザ光を均一に減光されたレーザ光とするため、
入射されたレーザ光を乱反射させるように内面が
凹凸形状に形成され、この内面で入射されたレー
ザ光を多数の反射を繰り返して均一に拡散する積
分球と、この積分球からのレーザ光の出力を検出
する、レーザ光吸収体、熱電対、及び放熱器から
なるレーザ光検出器と、このレーザ光検出器の出
力に基づき、レーザ光の強度を制御するレーザ出
力制御手段とを備えることにより、レーザ光の出
力を高速度で応答制御できるレーザ出力制御装置
を提供するものである。
善する目的でなされたもので、レーザ光の一部を
取り出す手段と、この手段により取り出されたレ
ーザ光を均一に減光されたレーザ光とするため、
入射されたレーザ光を乱反射させるように内面が
凹凸形状に形成され、この内面で入射されたレー
ザ光を多数の反射を繰り返して均一に拡散する積
分球と、この積分球からのレーザ光の出力を検出
する、レーザ光吸収体、熱電対、及び放熱器から
なるレーザ光検出器と、このレーザ光検出器の出
力に基づき、レーザ光の強度を制御するレーザ出
力制御手段とを備えることにより、レーザ光の出
力を高速度で応答制御できるレーザ出力制御装置
を提供するものである。
以下、この発明の実施例を図について説明す
る。第３図はこの発明の一実施例であるレーザ出
力制御装置に適用されるレーザ光検出器を示す概
略構成図である。図に示す様なレーザ光検出器１
９において、放熱器２０にはレーザ光吸収膜２１
を設けた微小な熱電対２２が密着して配設されて
いる。熱電対２２は微小であるため、レーザ光２
３はレンズ２４により集光してレーザ光吸収膜２
１に入射する。レーザ光吸収膜２１と放熱器２０
との間には温度差が生じ、熱電対２２はこの温度
差に比例した熱起電力を発生することになるの
で、出力端子２５に信号を出力する。ここで、微
小な熱電対２２の寸法は、約１mm以下の大きさと
することにより、熱平衡時定数は約10〜100ミリ
秒程度にすることができ、このため、高速度で応
答することが可能となる。ただし、許容されるレ
ーザ光２３の強度は、約10〜100ミリワツトと非
常に低い値である。
る。第３図はこの発明の一実施例であるレーザ出
力制御装置に適用されるレーザ光検出器を示す概
略構成図である。図に示す様なレーザ光検出器１
９において、放熱器２０にはレーザ光吸収膜２１
を設けた微小な熱電対２２が密着して配設されて
いる。熱電対２２は微小であるため、レーザ光２
３はレンズ２４により集光してレーザ光吸収膜２
１に入射する。レーザ光吸収膜２１と放熱器２０
との間には温度差が生じ、熱電対２２はこの温度
差に比例した熱起電力を発生することになるの
で、出力端子２５に信号を出力する。ここで、微
小な熱電対２２の寸法は、約１mm以下の大きさと
することにより、熱平衡時定数は約10〜100ミリ
秒程度にすることができ、このため、高速度で応
答することが可能となる。ただし、許容されるレ
ーザ光２３の強度は、約10〜100ミリワツトと非
常に低い値である。
第４図はこの発明の一実施例であるレーザ出力
制御装置に適用される積分球の動作を示す説明図
である。図に示す様に、レーザ光２７は積分球２
６の入力ポート２８から入射される。積分球２６
の内面は、入射されたレーザ光２７を乱反射させ
る様に凹凸形状に形成されており、金メツキ等の
全反射膜がコーテイングされているので、入射さ
れたレーザ光２７は積分球２６の内面で多数の反
射を繰り返して均一に拡散されるため、積分球２
６に微小な孔の出力ポート２９を設けることによ
り、入射されたレーザ光２７に比例し、かつ十分
に均一に減光されたレーザ光３０を外部に出力す
ることができる。例えば、積分球２６の内径を約
120mm、内面の反射率を約95％とし入射されたレ
ーザ光２７のビーム径を約12.5mm、出力ポート２
９の径を約１mmとすれば、出力ポート２９には入
射されたレーザ光２７の約1/1000に均一に減光さ
れたレーザ光３０が得られる。この均一に減光さ
れたレーザ光３０は、入射されたレーザ光２７の
ビーム径、ビームモード、入射角度、偏光方向等
には無関係であるという特長を有している。
制御装置に適用される積分球の動作を示す説明図
である。図に示す様に、レーザ光２７は積分球２
６の入力ポート２８から入射される。積分球２６
の内面は、入射されたレーザ光２７を乱反射させ
る様に凹凸形状に形成されており、金メツキ等の
全反射膜がコーテイングされているので、入射さ
れたレーザ光２７は積分球２６の内面で多数の反
射を繰り返して均一に拡散されるため、積分球２
６に微小な孔の出力ポート２９を設けることによ
り、入射されたレーザ光２７に比例し、かつ十分
に均一に減光されたレーザ光３０を外部に出力す
ることができる。例えば、積分球２６の内径を約
120mm、内面の反射率を約95％とし入射されたレ
ーザ光２７のビーム径を約12.5mm、出力ポート２
９の径を約１mmとすれば、出力ポート２９には入
射されたレーザ光２７の約1/1000に均一に減光さ
れたレーザ光３０が得られる。この均一に減光さ
れたレーザ光３０は、入射されたレーザ光２７の
ビーム径、ビームモード、入射角度、偏光方向等
には無関係であるという特長を有している。
第５図はこの発明の一実施例であるレーザ出力
制御装置を示す概略構成図で、第２図と同一部分
は同一符号を用いて表示してあり、その詳細な説
明は省略する。図に示す様に、全反射鏡１２側よ
り出力される検出レーザ光１５は、積分球２６の
入力ポート２８から内部に入射させる。また、積
分球２６の出力ポート２９にはレーザ光検出器１
９を設置する。この様な構成において、例えば検
出レーザ光１５が約20〜50ワツトであるとする
と、レーザ光検出器１９には約1/1000に均一に減
光された約20〜50ミリワツトのレーザ光３０が入
力される。このレーザ光３０の強度は、レーザ光
検出器１９に適したものであるので、レーザ光検
出器１９を焼損する様なことが無い。さて、レー
ザ光検出器１９の出力と所定のレーザ光の出力指
令値１７とを比較して、その誤差信号を増幅器１
８により増幅し、電源１０の出力電圧又は出力電
流を制御することにより、レーザ媒質ガス８の励
起強度を制御し、これにより、レーザ光１４の強
度を高速度応答によつてほぼ一定に保持すること
ができる。
制御装置を示す概略構成図で、第２図と同一部分
は同一符号を用いて表示してあり、その詳細な説
明は省略する。図に示す様に、全反射鏡１２側よ
り出力される検出レーザ光１５は、積分球２６の
入力ポート２８から内部に入射させる。また、積
分球２６の出力ポート２９にはレーザ光検出器１
９を設置する。この様な構成において、例えば検
出レーザ光１５が約20〜50ワツトであるとする
と、レーザ光検出器１９には約1/1000に均一に減
光された約20〜50ミリワツトのレーザ光３０が入
力される。このレーザ光３０の強度は、レーザ光
検出器１９に適したものであるので、レーザ光検
出器１９を焼損する様なことが無い。さて、レー
ザ光検出器１９の出力と所定のレーザ光の出力指
令値１７とを比較して、その誤差信号を増幅器１
８により増幅し、電源１０の出力電圧又は出力電
流を制御することにより、レーザ媒質ガス８の励
起強度を制御し、これにより、レーザ光１４の強
度を高速度応答によつてほぼ一定に保持すること
ができる。
第６図はこの発明の他の実施例であるレーザ出
力制御装置の主要部を示す概略構成図である。第
６図に示されるレーザ出力制御装置では、部分透
過鏡１３側から出力されるレーザ光１４の１部を
ビームスプリツタ３１により取り出し、これを積
分球２６の入力ポート２８に入射させ、積分球２
６の出力ポート２９にはレーザ光検出器１９を設
置する様に構成したものである。その他の構成
は、上記第５図に示されるものと同様に構成され
ており、上記実施例と同様の効果を奏する。
力制御装置の主要部を示す概略構成図である。第
６図に示されるレーザ出力制御装置では、部分透
過鏡１３側から出力されるレーザ光１４の１部を
ビームスプリツタ３１により取り出し、これを積
分球２６の入力ポート２８に入射させ、積分球２
６の出力ポート２９にはレーザ光検出器１９を設
置する様に構成したものである。その他の構成
は、上記第５図に示されるものと同様に構成され
ており、上記実施例と同様の効果を奏する。
また、上記各実施例のレーザ光検出器１９とし
ては、金ゲルマ素子、水銀・カドミウム・テルラ
イド素子、焦電効果素子等の高速度応答素子を使
用すれば、さらに高速度応答で制御することがで
きる。
ては、金ゲルマ素子、水銀・カドミウム・テルラ
イド素子、焦電効果素子等の高速度応答素子を使
用すれば、さらに高速度応答で制御することがで
きる。
この発明は以上説明した様に、レーザ出力制御
装置において、レーザ光吸収体、熱電対、及び放
熱器により構成されるレーザ光検出器を用いてレ
ーザ出力制御を行うものにおいて、上記レーザ光
検出器へのレーザ光の入射を積分球を介して行う
ようにしたので、均一に減光されたレーザ光は、
積分球に入射されたレーザ光のビーム径、ビーム
モード、入射角度、偏光方向等に無関係となるた
め、レーザ光検出器の光軸合わせ等は不必要で、
無調整とすることができると共に、レーザ光検出
器を焼損させることが無い効果がある。また、レ
ーザ光の出力を高速度で応答制御することが可能
となるので、特に、レーザ加工に好適な高性能な
レーザ装置におけるレーザ出力制御装置が得られ
るという優れた効果を奏するものである。
装置において、レーザ光吸収体、熱電対、及び放
熱器により構成されるレーザ光検出器を用いてレ
ーザ出力制御を行うものにおいて、上記レーザ光
検出器へのレーザ光の入射を積分球を介して行う
ようにしたので、均一に減光されたレーザ光は、
積分球に入射されたレーザ光のビーム径、ビーム
モード、入射角度、偏光方向等に無関係となるた
め、レーザ光検出器の光軸合わせ等は不必要で、
無調整とすることができると共に、レーザ光検出
器を焼損させることが無い効果がある。また、レ
ーザ光の出力を高速度で応答制御することが可能
となるので、特に、レーザ加工に好適な高性能な
レーザ装置におけるレーザ出力制御装置が得られ
るという優れた効果を奏するものである。
第１図は従来のレーザ光検出器を示す概略構成
図、第２図は従来の炭酸ガスレーザ装置における
レーザ出力制御装置の一例を示す概略構成図、第
３図はこの発明の一実施例であるレーザ出力制御
装置に適用されるレーザ光検出器を示す概略構成
図、第４図はこの発明の一実施例であるレーザ出
力制御装置に適用される積分球の動作を示す説明
図、第５図はこの発明の一実施例であるレーザ出
力制御装置を示す概略構成図、第６図はこの発明
の他の実施例であるレーザ出力制御装置の主要部
を示す概略構成図である。 図において、１，２０……放熱器、２，２２…
…熱電対、３……レーザ光吸収板、４，１４，２
３，２７，３０……レーザ光、５，１８……増幅
器、６……出力信号、７……容器、８……レーザ
媒質ガス、９Ａ，９Ｂ……電極、１０……電源、
１１……放電、１２……全反射鏡、１３……部分
透過鏡、１５……検出レーザ光、１６，１９……
レーザ光検出器、１７……出力指令値、２１……
レーザ光吸収膜、２４……レンズ、２５……出力
端子、２６……積分球、２８……入力ポート、２
９……出力ポート、３１……ビームスプリツタで
ある。なお、各図中、同一符号は同一、又は相当
部分を示す。
図、第２図は従来の炭酸ガスレーザ装置における
レーザ出力制御装置の一例を示す概略構成図、第
３図はこの発明の一実施例であるレーザ出力制御
装置に適用されるレーザ光検出器を示す概略構成
図、第４図はこの発明の一実施例であるレーザ出
力制御装置に適用される積分球の動作を示す説明
図、第５図はこの発明の一実施例であるレーザ出
力制御装置を示す概略構成図、第６図はこの発明
の他の実施例であるレーザ出力制御装置の主要部
を示す概略構成図である。 図において、１，２０……放熱器、２，２２…
…熱電対、３……レーザ光吸収板、４，１４，２
３，２７，３０……レーザ光、５，１８……増幅
器、６……出力信号、７……容器、８……レーザ
媒質ガス、９Ａ，９Ｂ……電極、１０……電源、
１１……放電、１２……全反射鏡、１３……部分
透過鏡、１５……検出レーザ光、１６，１９……
レーザ光検出器、１７……出力指令値、２１……
レーザ光吸収膜、２４……レンズ、２５……出力
端子、２６……積分球、２８……入力ポート、２
９……出力ポート、３１……ビームスプリツタで
ある。なお、各図中、同一符号は同一、又は相当
部分を示す。
Claims (1)
- １ レーザ光の一部を取り出す手段と、この手段
により取り出されたレーザ光を均一に減光された
レーザ光とするため、入射されたレーザ光を乱反
射させるように内面が凹凸形状に形成され、この
内面で入射されたレーザ光を多数の反射を繰り返
して均一に拡散する積分球と、この積分球からの
レーザ光の出力を検出する、レーザ光吸収体、熱
電対、及び放熱器からなるレーザ光検出器と、こ
のレーザ光検出器の出力に基づき、レーザ光の強
度を制御するレーザ出力制御手段とを備えたこと
を特徴とするレーザ出力制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16065683A JPS6052072A (ja) | 1983-09-01 | 1983-09-01 | レ−ザ出力制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16065683A JPS6052072A (ja) | 1983-09-01 | 1983-09-01 | レ−ザ出力制御装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20314785A Division JPS6175224A (ja) | 1985-09-13 | 1985-09-13 | 輻射熱エネルギー検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6052072A JPS6052072A (ja) | 1985-03-23 |
| JPH0456479B2 true JPH0456479B2 (ja) | 1992-09-08 |
Family
ID=15719647
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16065683A Granted JPS6052072A (ja) | 1983-09-01 | 1983-09-01 | レ−ザ出力制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6052072A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0760912B2 (ja) * | 1986-03-28 | 1995-06-28 | 三菱電機株式会社 | レ−ザ出力制御装置 |
| JPH02145486U (ja) * | 1989-05-11 | 1990-12-10 | ||
| JP5361814B2 (ja) * | 2010-07-07 | 2013-12-04 | 三菱電機株式会社 | レーザ加工装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS552012A (en) * | 1978-06-21 | 1980-01-09 | Hitachi Ltd | Printing machine |
| JPS57202794A (en) * | 1981-06-09 | 1982-12-11 | Mitsubishi Electric Corp | Controlling device for laser output |
-
1983
- 1983-09-01 JP JP16065683A patent/JPS6052072A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS552012A (en) * | 1978-06-21 | 1980-01-09 | Hitachi Ltd | Printing machine |
| JPS57202794A (en) * | 1981-06-09 | 1982-12-11 | Mitsubishi Electric Corp | Controlling device for laser output |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6052072A (ja) | 1985-03-23 |
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