JPS62225966A - 断線検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、たとえば液晶表示装置のリード電極の断線の
有無を検出するのに最適な断線検出方法に関する。

（従来の技術） 近年、液晶表示装置は、ＣＲＴ等のディスプレイと比較
して消費電力低減化、薄型軽量化等の特徴を有し、ＴＶ
受像機、マイクロコンピュータ、ワードプロセッザ等の
ディスプレイとして実用化されつつある。

このような液晶表示装置は、たとえばアクティブマトリ
クス駆動方式により画像面積が３ＣｍＸ　５ｃｍ程度の
ものが実用化され、ざらに２５ＣＴＩＩＸ３５ＣＴｌｌ
稈度のものが試作化されている。

一般に上記したアクティブ７１〜リクス駆動方式による
液晶表示装置は、透明電極膜が形成された第１のガラス
基板と、縦横の画素ごとに透明表示電極およびＴＰＴ等
のメモリー機能を有した素子が形成された第２のガラス
基板とから構成されている。また第２のガラス基板上に
は、互いに絶縁状態にされたリード電極が縦横に形成さ
れ、これらリード電極は各素子の各端子に接続されてい
る。

そしてこれら第１のガラス基板と第２のガラス基板とが
所定の間隙をもって前記透明電極と前記リード電極とが
対向するように配置され、この間隙に液晶が封入されて
なる。

ところで各リード電極は高解像度、高画質が要求され、
単位面積当り多数のリード電極を形成する必要から線巾
か細くなり非常に繊細なパターンとなり、画素数が増加
するにつれて断線不良が生じ、歩留りが低下する欠点が
ある。

このため従来から製造工程において、このような断線不
良を早期に発見することが必要であり、自動的な検査が
必要とされている。

このような検査方法として、たとえば第１のガラス基板
と第２のガラス基板とを対向配置させた後液晶月入前に
、リード電極の両端に露出された駆動回路との接続用の
接続端子に、作業者がテスター等のプローバピンを当接
させる方法がおる。

（発明が解決しようとする問題点） ところで画像面積が３ＣＴＩＩＸ　５ＣＴＩｌ程度の液
晶表示装置においては、リード電極の数が限られている
ため、上記した検査方法で行なうことができるが、画像
面積が２５ＣｍＸ３５Ｃｍ程度の大画像となった場合、
たとえばリード電極がＸ方向に２０００本、Ｙ方向に１
０００本、合ｉ１３０００本になるため、このような検
査方法では美大な時間を要し、コストアップの要因とな
る。

また近年、画質を向上さ′μることを目的として、画素
密度はさらに高まる傾向にある。この場合、画素が微細
化されるのに伴ない、リード電極は微細化され、このた
め露出する接続端子も微細化され、さらに隣接する接続
端子間の間隔も微細化されるので、作業者による検査方
法では、所定の接続端子にプローバピンを当接さけるこ
とができない。したがって、製品完成後に実際に動作さ
ばてリード電極の断線不良の検査を行なわな（プればな
らず、このため歩留り低下の原因となる。

さらにまた、大画像の液晶表示装置は、実用化された画
像面積が３ｃｍｘ　５ｃｍ程度のものと比較して断線不
良が生じる頻度が非常に高く、実用化にあたり、断線不
良を簡単に検査づることができる方法、装置等の開発が
強く要望されている。

本発明は上記した事情に鑑みて創案されたもので、自動
的に短時間でかつ確実に断線不良を検出することができ
る断線検出方法を提供することを目的としている。

［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） すなわち本発明の断線検出方法は、所定のピッチで多数
列設されたリード電極を備えた電子部品における前記各
リード電極両端に接触子を電気的に接触させて、前記リ
ード電極両端間の断線の有無を検出する方法において、
前記リード電極ピッチの複数倍ピッチで接触子を備えた
接触子保持部材と、前記電子部品および前記接触子保持
手段を前記リード電極の列方向に相対的に移動させる移
動手段と、前記リード電極の一方の端部に沿って配置さ
れた前記各接触子と他方の端部に治って配置された対向
する接触子間の導通状態を検出し断線の有無を検出する
断線検出手段とを備えている。

（作　用） 本発明の断線検出方法において、電子部品の各リード電
極の両端部に所定のピッチで設けられた接触子が同時に
当接され、リード電極両端間の断線の有無が検出され、
つぎに移動手段が、電子部品および接触子保持手段を前
記リード電極の列方向に相対的に所定のピッチで移動さ
せ、しかる後同様に電子部品の移動位置に応じた各リー
ド電極の両端間の断線の有無が検出され、さらに順次こ
のような検出が行なわれることにより、自動的に短時間
でかつ確実に断線不良が検出される。

リード電極数に対応させて接触子を設ければ、−瞬に検
査が終了するが、全数の接触子について電気的接触をと
ることが困難であり、正確な測定は困難である。

（実施例） 以下、本発明方法を７１〜リクス型液晶表示装置の断線
検出に適用した実施例の詳細を図面を基づいて説明する
。

第１図は本発明の一実施例の断線検出方法を実施するた
めの装置を示す図である。

同図に示ずように、この装置は、所定の位置に電子部品
例えば液晶表示装置１が載置されるＸＹテーブル２と、
このＸＹテーブル２を図中矢印Ｘ、Ｙ方向に駆動させる
第１の駆動部３と、ＸＹテーブル２上に所定の間隔をも
って配置されＸＹテーブル２に向けて多数配置されたプ
ローバピンを有するベース４と、このベース４を上下方
向（図中矢印Ｚ方向）に駆動させる第２の駆動部５と、
ベース４をＸ−Ｙ平面上で９０°回動させる第３の駆動
部６と、断線の有無を判定する判定部７と、これら駆動
部３．５．６および判定部７を制御する制御装置（図示
せず）とからその主要部が構成されている。

またＸＹテーブル２上に載置される液晶表示装置１は、
第２図および第３図に示すように、大きさは例えば横３
５０＋ｎ＋＋＋の縦２５０酊であり、透明電極膜（図示
せず〉が形成された矩形状の第１のガラス基板８と、縦
横の画素（図示せず）ごとに透明表示電極（図示せず）
およびＴＰＴ等のメモリー機能を有した素子（図示せず
）が形成された矩形状の第２のガラス基板９とから構成
されている。

また第２のガラス基板９上には、互いに絶縁状態にされ
た透明のリード電極８ａ、９ａが縦横（Ｘ方向、Ｙ方向
）に形成され、これらリード電極８ａ、９ａは各素子の
各端子に接続されている。上記リード電極８ａは所定の
ピッチ例えば８０μｍ、リード線幅８０μｍで位置方向
例えばＹ方向に多数例えば１０００パッド列設され、リ
ード電極９ａは上記リード電極８ａと直交する方向に所
定のピッチ例えば上記したピッチで多数例えば２０００
パッド列設されいる。なお、ＴＦＴ横渭については当業
者において周知であるから説明を省略する。

そして第２のカラス基板９は、表示部と接続部とからな
り、表示部においては、第１のガラス基板８の透明電極
膜とこの第２のガラス基板９のリード電極８ａ、９ａと
が対向しかつスペーサ１０を介して微少な間隙を有する
ように第１のガラス基板８が搭載されており、また接続
部においては、対向する２辺の近傍に各リード電極９ａ
の両端とそれぞれ接続され駆動回路と接続するために露
出されたＸ方向の接続端子１１Ｘが多数列設され、他の
２辺の近傍に各リード電極８ａの両端と接続された同様
のＹ方向の接続端子１１’ｌ／が多数列設されている。

またこれら接続端子’１１Ｘ、１１ｙは長さがＬで、同
一のピッチＬ１５で列設されている。

なお、この液晶表示装置１は、第１のガラス基板８と第
２のガラス基板９との間隙に液晶（図示せず）が封入さ
れて、完成品とされるが、本実施例おいては、液晶封入
前の半製品が用いられる。

一方、上記ベース４は、第４図および第５図に示すよう
に、液晶表示装置１とほぼ同一の矩形状とされ、対向す
る２辺の両端付近に沿ってピッチＬの間隔でＸＹテーブ
ル２に向りてプローバピン４ａが多数埋入固定されてい
る。すなわち液晶表示装置のＸおよびＹ方向のリード電
極８ａ、９ａの電極ピッチに対して複数倍例えば５本の
電極を１ピツチとしたプローバピン４ａを植設する。す
なわち第６図接続端子１１Ｘ、１１ｙの６本の端子毎に
プローバピン４ａを植設した構造にする。

なお、Ｘ方向とＹ方向とで液晶表示装置の接続端子のピ
ッチが異なる場合にはプローバピン４ａを四辺に設ける
必要がある。

また前記判定部７は、各プローバピン４ａとそれぞれ接
続され一方側の各ブローバピン４ａと他方側の対向する
各プローバピン４ａとの導通の有無を判別しその結果を
２値化信号として出力する判別回路７ａと、液晶表示装
置の各リード電極８ａ、９ａに対応して前記２値化信号
を記憶するメモリ回路７ｂと、この結果を表示するＣＲ
Ｔ等のディスプレイを有する表示装置、７ｃとからなる
。

導通の有無の判別はプローバピン４ａ間に電流を流し、
流れるかどうかの検出ににり判断する。

次に、このように構成された装置により断線検出の方法
を第６図に示す液晶表示装置１の一部拡大図に基づいて
説明する。

まず、ＸＹテーブル２上の所定の位置に液晶表示装置１
を載置し、この断線検出方法をＯＮ状態とする。

そして制御部の制御により以下の動作が行なわれる。

第１の駆動部３の駆動によりＸＹテーブル２は、この上
に載置された液晶表示装置１のＸ方向の一方側の接続端
子１１ｘ■、■・・・■および他方側の接続端子１１ｘ
■、■・・・■の位置上にベース４のプローバピン４ａ
が位置するように移動する。

次に、第２の駆動部５の駆動によりベース４は、プロー
バピン４ａの先端が接続端子１１ｘに当接する位置まで
下降し、しかる後、判定部７において断線有無の判定が
行なわれる。

この場合、判定部７において、一方側の各接続端子１１
ｘ■と他方側の対向する各接続端子１１Ｘ■間の各リー
ド電極８ａの断線の有無が判別回路７ａにより判別され
、この結果の２値化信号がメモリ回路７ｂに入力され、
記憶される。

次に、第２の駆動部５の駆動にＪ：リベース４は、所定
の位置まで上昇し、第１の駆動部３の駆動によりＸＹテ
ーブル２は、図中矢印Ｘ方向に接続端子１１Ｘ間のピッ
チＬ１５と同一量つまり接続端子１１Ｘ■の位置上にプ
ローバピン４ａが位置するように移動する。

その後、第２の駆動部５の駆動によりベース４は、プロ
ーバピン４ａの先端が接続端子１１Ｘ■に当接する位置
まで下降し、しかる後、上記した場合と同様に接続端子
１１Ｘ■間のリード電極８ａの断線の有無が判別回路７
ａにより判別され、この結果の２値化信号がメモリ回路
７ｂに入力され、記憶される。

このような動作を順次行ない、Ｘ方向の接続端子１１Ｘ
■〜■間のリード電極８ａの断線の有無の判別が行なわ
れ、メモリ回路７ｂに記憶される。

これでＸ方向接触端子の断線有無のチェックが完了する
。

しかる後、第３の駆動部６の駆動によりベース４は、Ｘ
−Ｙ平面上を９０’回動する。

次に、第１の駆動部３の駆動によりＸＹテープル２は、
この上に載置された液晶表示装置１のＹ方向の一方側の
接続端子１’ｌＶ■、■・・・■および他方側の接続端
子１１Ｖ■、■・・・■の位置上にベース４のプローバ
ピン４ａが位置するように移動する。

そして第２の駆動部５の駆動によりベース４は、プロー
バピン４ａの先端が接続端子１１ｙ■に当接する位置ま
で下降し、接続端子１１Ｖ■間のリード電極９ａの断線
の有無が判別回路７ａにより判別され、この結果の２値
化信号がメモリ回路７ｂに入力され、記憶される。

この後、Ｘ方向の接続端子１１Ｘ■〜■間のリード電極
８ａの断線有無の判別と同様に、Ｙ方向の接続端子１１
ｙ■〜■間のリード電極９ａの断線の有無の判別が行な
われ、これらの結果の２値化信号がメモリ回路７ｂに入
力され、記憶される。

しかる後、全てのリード電極８ａ、９ａについての断線
の有無がメモリ回路７ｂに記憶され、その後、この結果
が表示装置７Ｃにより表示される。

そしてこの液晶表示装置１に断線を有することが表示装
置７Ｃの表示により発見された場合、不良品と処理され
、Ｘ、Ｙ方向の区別、何本目の線かの区別をして表示す
る。またはその断線不良箇所が常法により修復される。

しかして本実施例にＪ：れば、たとえば画像面積が２５
ＣＩＩＩＸ３５ＣＴＩｌでリード電極８ａ、９ａを３０
００本有す６大画像の液晶表示装＠１においても、ＸＹ
テーブル２を所定のピッチＬ１５でＸ方向に５回、ざら
にＹ方向に５回つまり１０回移動させるだけでリード電
極８ａ、９ａの断線の有無を判別することができるので
、測定時間を実用的レベルまで低減することができる。

また画素が微細化され、接続端子１１Ｘ、１１ｙが微細
化されてその間隔も微細化された場合においても、プロ
ーバピン４ａを微細化し、これらの間隔も微細化し、さ
らにＸＹテーブル２の駆動を精密化すれば同様に実施で
きる。

さらにまた、接続端子１１Ｘ、１１Ｖの数やピッチが変
った場合、ベース４をその数やピッチに応じたプローバ
ピン４ａを有するものに交換すれば同様に実施すること
ができ、その汎用性は非常に高い。

なお、本実施例において、プローバピン４ａを導電性ゴ
ムとし、またはベース４とプローバピン４ａとの間にス
プリング等の弾性部材を介挿し、このプローバピン４ａ
を接続端子１１Ｘ、１１ｙに弾性的に当接させることに
より、プローバピン４ａと接続端子１１ｘ、１１Ｖ間の
導通を確実なものとすることができ、さらに精度の良い
断線不良の検出を行なうことができる。

また、本実施例における駆動系は従来から用いられてい
るワイヤーポンドマシン等の駆動系を用いることができ
、特別な設備導入を必要としない。

さらにまた、本実施例によれば、被測定物である液晶表
示装置１は液晶封入前の半製品であったが、本発明はこ
れに限定されることなく、たとえばガラス基板の状態で
検査すれば、修復はさらに簡単であり、また液晶注入後
あるいは封止後においても同様に実施することができる
。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明の断線検出方法によれば、電
極の数が多数になった場合においても、また電極が微細
化され、さらにこれらのピッチが微細化された場合にお
いても、自動的に短時間でかつ確実に断線不良を検出す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明方法の一実施例を説明するための断線検
出方法を示す斜視図、第２図は第１図液晶表示装置の斜
視図、第３図は第２図の平面図、第４図は第１図の接触
子の構成を説明するためのベースを示す斜視図、第５図
は第４図の平面図、第６図は第１図の装置による断線検
出のプロセスを説明するための液晶表示装置の一部拡大
平面図である。 １・・・・・・・・・液晶表示装置、２・・・・・・・
・・ＸＹテーブル、３・・・・・・・・・第１の駆動部
、４・・・・・・・・・ベース、４ａ・・・・・・プロ
ーバピン、５・・・・・・・・・第２の駆動部、６・・
・・・・・・・第３の駆動部、７・・・・・・・・・判
定部、８・・・・・・・・・第１のガラス基板、・・・
・・・・・・第２のガラス基板、８ａ、９ａ・・・・・
・・・・リード電極、１１Ｘ、１１Ｖ・・・接続端子出
願人　　　　　東京エレクトロン株式会社代理人　弁理
士　須　山　佐　− α

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）所定のピッチで多数列設されたリード電極を備え
   た電子部品における前記各リード電極両端に接触子を電
   気的に接触させて、前記リード電極両端間の断線の有無
   を検出する方法において、前記リード電極ピッチの複数
   倍ピッチで接触子を備えた接触子保持部材と、前記電子
   部品および前記接触子保持手段を前記リード電極の列方
   向に相対的に移動させる移動手段と、前記リード電極の
   一方の端部に沿つて配置された前記各接触子と他方の端
   部に沿って配置された対向する接触子間の導通状態を検
   出し断線の有無を検出する断線検出手段とを備えている
   ことを特徴とする断線検出方法。
2. （２）電子部品は、リード電極がマトリクス状に配列さ
   れた液晶表示装置である特許請求の範囲第１項記載の断
   線検出方法。