JPS62223652A

JPS62223652A - 欠陥検査装置

Info

Publication number: JPS62223652A
Application number: JP6596086A
Authority: JP
Inventors: Minoru Tanaka; 稔田中; Mitsuyoshi Koizumi; 小泉　光義; Yoshimasa Oshima; 良正大島
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1986-03-26
Filing date: 1986-03-26
Publication date: 1987-10-01
Also published as: JPH0543265B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、被検査試料、特に磁気ディスク塗膜、　　等
の傷、突起等の欠陥を光電変換素子等の検出器で検出し
て検査する欠陥検査装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、鋼板あるいは磁気ディスク塗膜等の被検査試料の
上に存在する傷、突起などの欠陥を検査する方法として
、被検査試料をテレビカメラ等で撮像し、得られた映像
信号を閾値で２値化することにより傷、突起等の欠陥の
認識を行なう方法が用いられている。

上記の方法において、検査面の状態が安定な場合には、
正常面からの検出信号は一定であるため。

固定の閾値で２値化して欠陥を抽出することが可能であ
る。

しかし検査面の状態が不安定な場合、例えば磁気ディス
ク塗膜面の塗膜厚さが変化している場合には、検出信号
Ｓは第７図に示すように変化し、固定閾値で欠陥を認識
することが不可能である。

これに対処する方法としては、例えば特開昭５４−３６
３８号公報に示されているような浮動形２値化法がある
。

この方法は、検出信号Ｓを縮小、平滑し、更に一定レベ
ルを加減算したものを閾値として２値化するものである
。この方法によれば、例えばプリント板の欠陥検査等の
場合には、パターンおよび微小欠陥の検出が可能である
。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし、上記従来技術では、第７図に示したような検出
信号Ｓの場合において、微小欠陥イ〜ホを弁別しようと
すると背景の変化まで２値化することになり、欠陥検出
を行なうことができないという問題がある。

すなわち、第７図に示すように、信号の縮小平滑信号Ｌ
□、Ｌ２を小さくし、固定レベルを加減することにより
、欠陥イ、口、二を弁別することができるが、この場合
には欠陥ハ、ホは検出することができない。

欠陥ハ、ホも検出するためには閾値Ｌ　、／、（Ｌ、’
）を第８図のようにしなければならないが、この場合に
はハ、ホの２値化の他に、背景も２値化してしまうので
、誤検出となってしまう。

また、一般に浮動閾値法は電気回路の動的応答を利用し
ているので、検査速度を大幅に変化させたい場合や、背
景の変動周期（周波数）が異なる試料を検査したい場合
には、電気的時定数を変更せねばならないので、手間を
要するという問題もある。

又、外観不良欠陥の中には、正常部とのコントラストは
低いが、面積が比較的大きい為、目視検査では容易に検
出可能であるが、光学的な自動検出が困難なものがある
。

このような欠陥の検出信号は第７図のへの如き波形とな
り、出力レベルの変化だけで欠陥判定しようとする場合
、ノイズレベルと全く区別できなくなり、欠陥を見逃し
てしまうという問題もある。

本発明の目的は、上記のごとき従来の問題点に鑑みて、
検出信号のレベルが欠陥信号の変化に比べて緩やかに大
きく変動し、更に面積は比較的大きいが、正常部とのコ
ントラストが低い為、出力変化がノイズレベルと同等で
あるような欠陥信号も感度よく抽出することができるよ
うにした欠陥検査装置δを提供することにある。

〔問題を解決するための手段〕

上記の目的を達成するため本発明においては、検出信号
から検出信号の低周波成分の信号を減算して両者の差信
号を求め、上記検出信号に現れる欠陥信号の時間幅と略
同等の値に予め設定した所定時間幅のゲート信号を次々
にオーバラップして発生し、上記の各ゲート信号の時間
幅内において上記差信号を積分して絶対値に変換し、そ
の積分値の絶対値を予め設定した所定の閾値と比較しそ
の絶対値が閾値以上のとき欠陥と判定する（特許請求の
範囲第１項）か、若しくは、上記差信号を先ず絶対値に
変換し、上記の各ゲート信号の時間幅内において上記差
信号の絶対値を積分し、その積分値を予め設定した所定
の閾値と比較しその積分値が閾値以上のとき欠陥と判定
する（特許請求の範囲第２項）ように構成している。

〔作用〕

欠陥信号やノイズ信号を含む検出信号から該検出信号の
低周波成分を減算した差信号を求め、上記検出信号に現
れる欠陥信号の時間幅と略同等の値に予め設定した所定
時間幅毎に積分すると、欠陥部の積分値は、正常部の積
分値に比べて著しく大きな値になる。

すなわち、上記の積分する時間幅を欠陥信号の継続時間
幅と略同等にすることにより、検出信号の緩やかで大き
な変動を受けないようにすることが出来る。

また、差信号の積分値の絶対値を求めることにより、コ
ントラストが低くて大きさが比較的大きな欠陥も確実に
検出することが出来る。

また、特許請求の範囲第２項に記載するごとく、差信号
を先ず絶対値に変換したのち、その積分値を求めるもの
においては、差信号の振幅が正負にほぼ均等に分布して
いるような欠陥の場合でも欠陥を適確に抽出するするこ
とが出来る。

したがって、前記のごとく構成することにより、ノイズ
成分を含む検出信号から、欠陥部を感度良く、かつ、正
確に検出することが出来る。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を第１図がら第６図により具体的
に説明する。

第１図は本発明の一実施例の全体構成を示したもので、
磁気ディスク塗膜面等の被検査試料の面を螺旋状に走査
して光電素子により欠陥検出を行なう外観検査装置の例
である。

第１図において、１は磁気ディスク、２は直進テーブル
、３はスピンドル、４．５は駆動用のモータ、６は光電
素子、７はリニアエンコーダ、８はロータリエンコーダ
、９は増幅器、１０はＡ／Ｄ変換器、１１．１２はカウ
ンタ、１３は分周回路、１４はｏｄｄ　（奇数）回路、
１５はｅｖａｎ　（偶数）回路、１６及び１７は信号処
理器、１８は閾値設定器、１９はＯＲ回路、２０はメモ
リである。

欠陥検出は、磁気ディスク１を直進テーブル２上に設け
たスピンドル３に取付け、駆動モータ４及び５により光
電素子６に対して螺旋状に走査して行なう（第２図）。

この検出動作により、光電素子６からは塗膜面の明るさ
に応じて第５図（Ａ）の如き検出信号Ｓが増幅器９に、
リニアエンコーダ７からは直進テーブル２のＲ座標がカ
ウンタ１１に、ロータリエンコーダ８からはスピンドル
３（磁気ディスク１）のＯ座標がカウンタ１２に出力さ
れる。

第５図（Ｂ）は第５図（Ａ）に示すへの部分を拡大して
示した図である。なお、第５図において、（Ａ）のみは
時間軸を縮小して示してあり、（Ｂ）〜（Ｋ）は同一時
間軸で示しである。

上記の光電素子６からの検出信号は増幅器９で増幅され
た後、Ａ／Ｄ変換器１０に入力する。Ａ／Ｄ変換器１０
においては、ロータリエンコーダ８がらの出力信号（第
５図（Ｇ））をクロックとして用い、検出信号をＡ／Ｄ
変換して信号処理器１６及び信号処理器１７に出力する
。

信号処理器１６．１７では、Ａ／Ｄ変換器１０からのＥ
ＯＣ信号（第５図（Ｈ））が入力する毎に、検出信号Ｓ
の低周波成分（第５図（Ａ）（Ｂ）のＭ）の抽出及び検
出信号Ｓと低周波信号Ｍとの差の演算を行ない、該差信
号（第５図（Ｃ）のＲ）を基に、分周回路１３、ｏｄｄ
回路１４、ｅｖｅｎ回路１５によって創成したゲート信
号時間内における差信号Ｒの積分値の絶対値と閾値設定
器１８により設定した閾値とを比較し、閾値より大きい
場合のみ書き込み命令２１によりメモリ２０に差信号Ｒ
の積分値の絶対値を書き込む。この時カウンタ１１．１
２からのＲ座標、０座標を欠陥の位置情報として用いる
。

分周回路１３からの出力信号を第５図（Ｉ）に、ｏｄｄ
回路１４からの出力信号を第５図（Ｊ）に。

ｅＶＱｎ回路１５からの出力信号を第５図（Ｋ）に示す
。

上記の各信号は、第５図（Ｄ）に示したゲート信号を創
成するための信号で、ｏｄｄ　（奇数）信号により第５
図（Ｄ）に示すｉ、にのゲート信号を、ｅｖｅｎ　（偶
数）信号により第５図ＣＤ）に示す、ｊ、ａのゲート信
号を割成する。

本実施例においては、分周クロックの周期をＷ／２、ｏ
ｄｄ信号、　ｅｖｅｎ信号の周期をＷ、ｏｄｄ信号とｅ
ｖｅｎ信号との位相差をＷ／２とした。

第５図（Ｈ）にはＡ／Ｄ変換器１０から出力されるＥＯ
Ｃ信号を示す。この信号は、検出信号のＡ／Ｄ変換が終
了する毎に出力される信号で、第５図（Ｇ）に示すエン
コーダ出力よりΔｔだけ遅れて出力される。

次に、第３図により、第１図の信号処理器１６．１７の
構成及び動作を詳述する。なお、信号処理器１６と信号
処理器１７はゲート信号が１／２周期ずれて動作する以
外は、構成、動作共全く同一であるため、信号処理器１
６についてのみ説明する。

第３図において、２２．２３はＮ／２ビツトのシフトレ
ジスタ、　２４．２５．３０は加算器、２６．２７．３
２は減算器、　２８．２９．３４．３５はラッチ回路、
３１は除算器、３３は加減算を行なう演算器、３６は絶
対値交換器、３７は比較器、３８はＡＮＤ回路である。

まず検査開始前にシフトレジスタ２２．２３及びラッチ
回路２８．２９．３４．３５の内容をクリアする。

次に、シフトレジスタ２２．２３、加算器３０、除算器
３１により検出信号Ｓの低周波成分（第５図（Ａ）（Ｂ
）のＭ）の抽出を行なう。この低周波成分の抽出は、検
出信号Ｓの一定範囲を順次平均化していくことにより行
なう６すなわち第３図の如く。

シフトレジスタ２２とシフトレジスタ２３とは直列に接
続されており、Ａ／Ｄ変換器１０からＥＯＣ信号が出力
される毎にＡ／Ｄ変換器１０からのＡ／Ｄ変換された検
出信号（以後Ａ／Ｄ信号と記述する）はシフ１−レジス
タ２２と加算器２４に、シフトレジスタ２２から出力さ
れたＡ／Ｄ信号はシフトレジスタ２３と加算器２５に入
力する。

加算器２４ではＡ／Ｄ変換器１０からのＡ／Ｄ信号とラ
ッチ回路２８にラッチしたデータとを加算し、減算器２
６に出力する。

減算器２６では、加算器２４の加算データからシフトレ
ジスタ２２から出力されたＡ／Ｄ信号を減算してラッチ
回路２８に出力する。

以上の動作をＡ／Ｄ変換器１０からＥＯＣ信号が出力さ
れる毎に行なうことにより、シフトレジスタ２２にスト
アしたデータの積分値を常にラッチ回路２８にラッチす
ることができる。

同様に加算器２５、減算器２７、ラッチ回路２９により
、シフトレジスタ２３にストアしたデータの積分値をラ
ッチ回路２９にラッチすることができる。

ラッチ回路２８．２９にラッチしたデータは加算器３０
により加算し、この加算結果を除算器３１により１／Ｎ
に除算することにより、シフトレジスタ２２と２３にス
トアされているＮ個のＡ／Ｄ信号の平均値を求めること
ができる。

また減算器３２では、シフトレジスタ２２から出力され
た（Ｎ／２）＋１番目のＡ／Ｄ信号から除算器３１から
出力された平均値を減算して演算器３３に出力する。

この信号処理は、第５図（Ｂ）、（Ｃ）において検出信
号Ｓから低周波信号Ｍを減算して差信号Ｒを求める動作
に相当する。

次に演算器３３．ラッチ回路３４．３５により、分周回
路１３．　ｏｄｄ回路１４によって創成したゲート信号
時間内における前記差信号Ｒの積分値を求める。

すなわち演算器３３では、減算器３２から順次出力され
る差信号Ｒと、ラッチ回路３４にラッチしたデータとの
加減算を行ない、演算結果をＥＯＣ信号が入力する毎に
ラッチ回路３４に出力し、ラッチ回路３４のデータを更
新する。

ラッチ回路３４では１次のｏｄｄ信号が入力するまでデ
ータの更新を続け、ｏｄｄ信号が入力されたらラッチ回
路３５にデータを出力する。

上記の動作により、ラッチ回路３５には、ゲート信号時
間内における差信号Ｒの積分値が、　ｏｄｄ信号が入力
される毎に更新されてラッチされる。

ラッチ回路３５から出力されたデータは、絶対値変換器
３６によって絶対値に変換され、比較器３７に送られる
。

比較器３７では、絶対値変換器３６から出力されたゲー
ト信号時間内における差信号Ｒの積分絶対値と閾値設定
器１８で設定した閾値とを比較し、絶対値変換器３６か
ら出力された差信号Ｒの積分絶対値が大きい場合のみ“
１″の信号をＡＮＤ回路３８に出力し、ｏｄｄの“１″
信号とのＡＮＤを取り、ＯＲ回路１９を介してメモリ２
０に書き込む。

この時、同時にリニアエンコーダ７及びロータリエンコ
ーダ８のカウンタ１１．１２から検出位置のＲ座標、θ
座標も取込み、欠陥の位置情報として用いる。

メモリ２０へのデータの書込みは、ＡＮＤ回路３８によ
り、比較器３７からの書込み信号とｏｄｄ回路１４かの
ｏｄｄ信号（第５図（Ｊ））の論理積をとって書込み命
令２１により行なう。

以上の説明では、ｏｄｄ信号によって信号処理を行なう
信号処理器１６についてのみ説明したが１本実施例にお
いては、第１図に示した如（ｅｖｅｎ信号によって信号
処理を行なう信号処理器１７が併設しである。

上記の信号処理器１６と信号処理器１７の違いは、前述
した如（ｏｄｄ信号（第５図（Ｊ））とｅｖｅｎ信号（
第５図（Ｋ））の位相が１７２周期ずれていることであ
る。これは、ゲート信号を互いにオーバラップさせて欠
陥信号の見落としを防止したもので、オーバラップ量は
ゲート幅Ｗの１／２以外でもよい。要は、ｏｄｄ、　ｅ
ｖｅｎの処理が時間的に交差していればよい。

第５図は、第１図〜第３図に示した実施例の各部におけ
る信号を示したものである。

第５図において１、（Ａ）は欠陥信号イ〜へを含む検出
信号Ｓ及び低周波信号Ｍを示し、検出信号Ｓは、磁気デ
ィスク塗膜面等の被検査試料１の反射率の変化を光電素
子６により検出した場合の例である。

検出信号Ｓは欠陥信号イ〜への変化に比べて緩やかに大
きく変動しており、更に欠陥信号と同程度の周期で変化
するノイズ成分を含んでいる。

これらの検出信号の変動は、塗膜の塗布むらや照明光の
明るさ変動、塗膜面の表面粗さ等が原因である。

次に、（Ｂ）は（Ａ）における欠陥信号への周辺を時間
ｔの範囲に渡って拡大した検出信号Ｓと低周波信号Ｍを
示したもので、コントラストが低くて大きさが比較的大
きい欠陥の検出信号例である。なお、（Ａ）のみは時間
軸を縮小して示してあり、（Ｂ）〜（Ｋ）は同一時間軸
で示しである。

る。

また（Ｃ）は（Ｂ）におけろ検出信号Ｓと低周波信号Ｍ
との差信号Ｒを示したものである。

また（Ｄ）は時間Ｗのゲート幅を有するゲート信号をｉ
、ｊ、に、Ｑの順に走査していく様子を示しており、ゲ
ート幅時間は欠陥信号の時間幅、すなわち欠陥信号への
継続時間幅と同等、もしくは僅かに大きい値に設定しで
ある。

また１次々と発生するゲート信号は、欠陥信号の見落と
しをなくすため互いにオーバラップさせることが肝要で
ある。（Ｄ）の例では、オーバラップ時間がＷ／２の場
合を示す。

上記のように、ゲート幅Ｗ時間内の検出信号Ｓと低周波
信号Ｍとの差信号Ｒの積分絶対値を順次抽出していくこ
とにより、欠陥信号イ〜へを容易に抽出することが本発
明の要点である。すなわち。

ゲート幅Ｗの時間幅を欠陥信号の時間幅と略同等にした
ことにより、検出信号Ｓの緩やかで大きな変動を受けな
いようにし、更に差信号Ｒの積分絶対値を抽出すること
により、コントラストが低くて、大きさが比較的大きい
欠陥も容易に抽出できるわけである。

次に、（Ｅ）はゲート信号ｉ、ｊ、に、Ｑに対応した差
信号Ｒの積分値ΣＲ，、ΣＲＪ、ΣＲｋ。

ΣＲ１を示したものであり、（Ｆ）はこの積分値の絶対
値１ΣＲ＋１．ＩΣＲｊｌ、１ΣＲｈ　ｌ、１ΣＲａｌ
と閾値りを示している。

図示のごとく、上記の欠陥信号への部分を走査したｊ、
にのゲート信号においては、閾値りを超える差信号Ｒの
積分値の絶対値１ΣＲＪ１．　ＩΣＲｋｌが抽出され、
他のノイズ成分のみの積分値の絶対値１ΣＲｉ１．１Σ
Ｒａｔとはっきり区別できることが判る。

また、（Ｇ）はロータリエンコーダ８がらの出力信号、
（Ｈ）はＡ／Ｄ変換器１０から出力されるＥＯＣ信号、
（Ｉ）は分周回路１３から出力される分周信号、　（Ｊ
）はｏｄｄ回路１４から出力されるｏｄｄ信号、（Ｋ）
はｅｖｅｎ回路１５から出力されるＱＶＯｎ信号を示し
ている。

以上の原理及び構成により、検出信号のレベルが欠陥信
号の変化に比べて緩やかに大きく変動し、欠陥信号と同
程度の周期で変化するノイズ成分を含む場合において、
コントラストが低くて大きさが比較的大きい欠陥があっ
た場合でも、欠陥信号のみを感度よく安定に抽出できる
ようになった。

次に、第４図は本発明の他の実施例図であり、第６図は
第４図の実施例の信号波形図である。

第４図は、信号処理器１６のうちで第３図の内容と異な
る部分のみを示したものであり、その他の部分は前記第
１〜３図と同様である。

本実施例の特徴は、検出信号Ｓと低周波信号Ｍとの差信
号に対して絶対値変換を行なった後、ゲート時間内にお
ける積分値を演算する点にある（前記第３図の実施例で
は、差信号を積分した後、絶対値変換を行なっている）
。

このため回路は第４図の如く構成した。すなわち減算器
３２で検出信号Ｓと低周波信号Ｍとの減算を行なった後
、この差信号をまず絶対値変換器３９に入力して絶対値
に変換する。

次に、絶対値変換器３９から出力される差信号の絶対値
を、加算器４０、ラッチ回路３４．３５から成る積分手
段に入力し、この積分値と閾値設定器１８に設定した閾
値を比較器３７で比較する。

比較の結果、ラッチ回路３５から出力されるゲート時間
内の積分値が大きい場合のみ１７１１＃なる信号をＡＮ
Ｄ回路３８に出力し、ｏｄｄの（ｔ　Ｉ　ＩＩなる信号
とＡＮＤを取り、ＯＲ回路１９を介してメモリ２゜に書
き込む。

本実施例による欠陥検査装置は、検出信号Ｓと低周波信
号Ｍとの差信号が第６図（Ｃ′）のＲ′の如き場合に特
に有効である。

以下１本実施例の効果を第６図により説明する。

第６図において、（Ｃ′）は、検出信号Ｓと低周波信号
Ｍとの欠陥部の差信号Ｒ′の一例を示したので、前記第
５図（Ｃ）の例とは異なり、出力が正、負にほぼ均等に
分布した例である。

このような差信号Ｒ′を前記第３図の実施例で示した検
査装置で処理すると、（Ｄ）に示したｉ、ｊ、　ｋ、ｎ
のゲート時間内の積分値は、（Ｅ′）のΣＲ′！、ΣＲ
′ｊ、ΣＲ／ｋ、ΣＲ／２となり、その絶対値は（Ｆ′
）の如くいずれも閾値り以下となるので欠陥として抽出
できない。この理由は、欠陥部の差信号Ｒ′の出力が正
、負にほぼ均等に分布しているため、ゲート時間内で積
分した時、正、負の出力が互いにキャンセルして小さな
積分値しか得られなくなるためである。

そこで本実施例では、先に差信号Ｒ′を絶対値に変換し
、その後ゲート内の積分値を求めることにした。

第６図（Ｃ“）は差信号の絶対値Ｒ“を示し、その出力
値は全て正の値である。

この差信号の絶対値Ｒ“を（Ｄ）に示したｉ、ｊ、ｋ、
Ωのゲート時間内で積分した結果が（Ｆ”）のΣＲ′′
＋、ΣＲ″ｊ、ΣＲ″転、ΣＲ＃Ｑである。

図示の如、く、上記の欠陥部を走査したｊ、にのゲート
信号において、閾値りを超える積分値ΣＲ″ｊ、ΣＲ／
／ｋが抽出され、他のノイズ成分のみの積分値ΣＲ＃ｉ
、ΣＲ”ｌとはっきり区別できることが判る。

なお、これまでの実施例では、磁気ディスクを例として
、検査方法を説明したが、本発明は磁気ディスク以外の
試料の検査にも適用できることは明白である。

更に、前記の実施例では、Ａ／Ｄ変換を用いて検出信号
の低周波成分の抽出、検出信号と低周波信号の差の演算
、ゲート信号内の差信号の積分等を行なっているが、ロ
ーパスフィルタ等を使用したアナログ的な方法により行
なうこともできる。

又、前記の実施例では、エンコーダクロックを基本にし
てゲートの発生を行なっているが、必ずしもこれを用い
る必要はない。すなわち、回転速度が一定のモータを用
いた場合には、水晶発振器などを用いて非同期なりロッ
クによりＡ／Ｄ変換、ゲート発生等を行なっても構わな
い。このような構成にすればより安価な構成となるが、
欠陥の位置情報は前記実施例に比べて多少不正確になる
。

〔発明の効果〕以上説明したように本発明によれば、検出信号に現れる
欠陥信号の時間幅と略同等の時間幅を有するゲート信号
を互いにオーバラップするように実時間で発生させ、該
ゲート幅内での検出信号と低周波信号との差信号の積分
値の絶対値、あるいは差信号の絶対値の積分値が、設定
した閾値を超えた時、欠陥信号と判定するようにしたの
で、検出器より得られる検出信号のレベルが欠陥信号の
変化に比べて緩やかに大きく変動し、欠陥信号と同程度
の周期で変化するノイズ成分を含み、更にコントラスト
が低くて大きさが比較的大きい欠陥の場合でも、欠陥信
号を見落しなく感度よく抽出できる効果を奏する。

特に、差信号の絶対値の積分値と所定の閾値とを比較す
るもの（第４図の実施例）においては、検出信号が正負
にほぼ均等に分布した差信号の場合でも、欠陥を適確に
抽出することが出来る。

また本発明によれば簡単な回路構成でもって欠陥を感度
よく検査できる効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の欠陥検査装置の一実施例の全体構成図
、第２図は被検査試料の走査方法を説明するための平面
図、第３図は第１図における信号処理器の内部構成及び
動作を説明するための図、第４図は本発明の他の実施例
図、第５図は第１図〜第３図に示した実施例の各部にお
ける信号を示した図、第６図は第４図の実施例の各部に
おける信号を示した図、第７図及び第８図は従来例を説
明するための信号波形図である。〈符号の説明〉１・・・磁気ディスク　　　２・・・直進テーブル３・
・・スピンドル　　　　４．５・・・モータ６・・・光
ｆ！！素子　　　　　７・・・リニアエンコーダ８・・
・ロータリエンコーダ９・・・アンプ　　　　　　ＩＯ・・・Ａ／Ｄ変換器１
１．１２・・・カウンタ　　　１３・・・分周回路１４
−＝　ｏｄｄ回路　　　　　　１５−ｅｖｅｎ回路１６
．１７・・・信号処理器　　１８・・・閾値設定器１９
・・・ＯＲ回路　　　　　２ｏ・・・メモリ２１・・・
書込み命令　　　　２２．２３・・・シフトレジスタ２
４、２５．３０．４０・・・加算器２６．２７．３２・・・減算器２８．２９．３４．３５・・・ラッチ回路３１・・・除
算器　　　　　　３３・・・演算器３６．３９・・・絶
対値変換器　３７・・・比較器３８・・・ＡＮＤ回路代理人弁理士　　中　村　純之助ｔ２図　　　　１’１　　図才３図？−４列才５図才６図

Claims

【特許請求の範囲】１、被検査試料を相対的に走査して物理的な変化を検出
する検出器と、該検出器から出力される検出信号の低周
波成分の信号のみを抽出する低周波信号抽出手段と、上
記検出信号から低周波信号を減算して両者の差信号を出
力する減算手段と、上記検出信号に現れる欠陥信号の時
間幅と略同等の値に予め設定した所定時間幅のゲート信
号を次々にオーバラップして発生するゲート発生手段と
、上記の各ゲート信号の時間幅内において上記差信号を
積分する積分手段と、該積分手段で積分した値を絶対値
に変換する変換手段と、該変換手段から出力される積分
値の絶対値を予め設定した所定の閾値と比較しその絶対
値が閾値以上のとき欠陥と判定する比較判定手段とを備
えたことを特徴とする欠陥検査装置。２、被検査試料を相対的に走査して物理的な変化を検出
する検出器と、該検出器から出力される検出信号の低周
波成分の信号のみを抽出する低周波信号抽出手段と、上
記検出信号から低周波信号を減算して両者の差信号を出
力する減算手段と、上記差信号を絶対値に変換する変換
手段と、上記検出信号に現れる欠陥信号の時間幅と略同
等の値に予め設定した所定時間幅のゲート信号を次々に
オーバラップして発生するゲート発生手段と、上記の各
ゲート信号の時間幅内において上記変換手段から出力さ
れる差信号の絶対値を積分する積分手段と、該積分手段
から出力される積分値を予め設定した所定の閾値と比較
しその積分値が閾値以上のとき欠陥と判定する比較判定
手段とを備えたことを特徴とする欠陥検査装置。