JPS62220876A - 平面状電極の検出装置 - Google Patents
平面状電極の検出装置Info
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- JPS62220876A JPS62220876A JP61063279A JP6327986A JPS62220876A JP S62220876 A JPS62220876 A JP S62220876A JP 61063279 A JP61063279 A JP 61063279A JP 6327986 A JP6327986 A JP 6327986A JP S62220876 A JPS62220876 A JP S62220876A
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Landscapes
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、千面茎板上に形成された＊極の電気的特性の
検査装置に関する。
検査装置に関する。
エレクトロニクスの活展に伴って、その電子回路として
、平面基板上に金属け〈、金属薄噂等によって電極を形
成しｔものが使われている。特に近年は、電極のパター
ンｈＺ微細になっている。
、平面基板上に金属け〈、金属薄噂等によって電極を形
成しｔものが使われている。特に近年は、電極のパター
ンｈＺ微細になっている。
上記の微細なパターンはプロセス中に欠陥を先じる確立
ｈｔ高いので、電極のゆ査ｈ１必要とされる。
ｈｔ高いので、電極のゆ査ｈ１必要とされる。
電極の検査は、一般に、■一つなｈＺりの電極の両端に
プローブをあてて導通の有無を調べる又は抵抗を調べる
方法、及び■となりあった電極どうしの任意の位置に２
つのプローブをあて、電極間の絶縁性を調べる方法、に
よって良否を判定していた、 〔発明ｈＺ解決しようとする問題点〕 ［極パターンｈ；微細化するに従って、従来の電極検査
方法では、■位置合せが容易にできない。
プローブをあてて導通の有無を調べる又は抵抗を調べる
方法、及び■となりあった電極どうしの任意の位置に２
つのプローブをあて、電極間の絶縁性を調べる方法、に
よって良否を判定していた、 〔発明ｈＺ解決しようとする問題点〕 ［極パターンｈ；微細化するに従って、従来の電極検査
方法では、■位置合せが容易にできない。
特に２つのプローブを同期させるのがむずかしい。
■１本のｆｉ極について、導通性、絶縁性の２つのデー
タをとる必要ｈＳあり、Ｉ）査数／＋’−多い。等の問
題を有していた。
タをとる必要ｈＳあり、Ｉ）査数／＋’−多い。等の問
題を有していた。
木発明け、上記問題点を解決し、平面基板上の電障の電
気的性能を容易ｆ測定しうるゆ査装置を提供することを
目的としている。
気的性能を容易ｆ測定しうるゆ査装置を提供することを
目的としている。
氷見明け、Ｌ記問題を解決する之めに容ｆ検出回路を弔
い、被吻査ＭＬ極に絶縁・卓を介して検出用１！筆を対
向させ、両電極間の容量を検出することによって、被電
極の１５．的特性の検査を可能にし念。
い、被吻査ＭＬ極に絶縁・卓を介して検出用１！筆を対
向させ、両電極間の容量を検出することによって、被電
極の１５．的特性の検査を可能にし念。
第１図に示すよ）に、被検査電極１の大部分を検出Ｎ、
極２で被うよＩ５にし、絶縁１ＩＩ３を介して対向させ
九とき、基板４上の被検査゛電極１のゆ小電極２で被り
れた部分の面積を８．？縁膜の厚さｄ誘電率をεｒとし
ｔとき、被検査電極と検出電極との間の容量Ｃ６け。
極２で被うよＩ５にし、絶縁１ＩＩ３を介して対向させ
九とき、基板４上の被検査゛電極１のゆ小電極２で被り
れた部分の面積を８．？縁膜の厚さｄ誘電率をεｒとし
ｔとき、被検査電極と検出電極との間の容量Ｃ６け。
Ｃｏ＝’ｔｔヤ了
で与えられる。被検査電極との一点にプローブをもてて
検出成極間との容量を容ｔｌｌ＊出装置で測定したとき
、被検出１翫の一部が電気的に切れてい友時検出され定
容ｔｃ＃ｆｉＣ＜ｃｏとなる。士を被検査＊ ｒＡｈ”
−となりの電極と電気的に接続１．た、いわゆるショー
ト状態になっ友場合、検出された容量ｒ′けＣ＞ｃｏと
なる。
検出成極間との容量を容ｔｌｌ＊出装置で測定したとき
、被検出１翫の一部が電気的に切れてい友時検出され定
容ｔｃ＃ｆｉＣ＜ｃｏとなる。士を被検査＊ ｒＡｈ”
−となりの電極と電気的に接続１．た、いわゆるショー
ト状態になっ友場合、検出された容量ｒ′けＣ＞ｃｏと
なる。
上述より、被検査電極のパターンユング時の誤差、絶Ｉ
ｊＩ！嘆の厚さの誤差などを考慮してＣ６の許容範囲を
決め、その範囲内に検出された容量Ｃ力ぐあれば良、範
囲外は不良とすることによって、被検査電極の電気的な
切れ、となりの電極とのショートの不良を検出すること
ができる。
ｊＩ！嘆の厚さの誤差などを考慮してＣ６の許容範囲を
決め、その範囲内に検出された容量Ｃ力ぐあれば良、範
囲外は不良とすることによって、被検査電極の電気的な
切れ、となりの電極とのショートの不良を検出すること
ができる。
本発明の詳細を実施例を用いて説明する。
実施例１
第２図は１本発明の実施例を示す図である。検出電極２
として厚さ約２ｍ諺のガラスの片面全面に形成されたＩ
ｎ、Ｏ，−珈０．透明電翫を用い友。絶縁膜３け厚さ４
０μのＰＦｉＴフィルムを用い、検出電極２上に接着し
た。誉ゆ音電極として、ＬＣＤ用透明電極を用い、ＰＥ
Ｔフィルムを介して、被検査′Ｉｔ極と、検出電極を対
向させ、プローブ５を被検査電極１の端子にあて、検出
電極との容量を容量噴出回路６で測定し友。ゆ音電極の
面積は約５５鶴２であり検出され比容＠Ｊｄ４０７ｙＦ
であっ之。同様の被検査電極の端子、 １０００本を
プローブで調べｔところ、容ｔｈｔ小さく検出されｔも
のは被検査電極が途中から電気的に切れていた。次に、
第２図に示す装置で、被検出電極の面積を変化させて検
出容量／′！を調べ比ところ ｃ（ｐＦ） ＝ Ｌ６７６ ｘ ｓ （ｗ”） ＋ ２
．８の関係があっ７ｔ６２．８ｐＦは装置全体の浮遊容
量と考えられる。容量の測定誤差は、測定面積によらず
１１．＋ｐＦであり之。従って、被検査電極の面積のゆ
出限界は２驕２である。
として厚さ約２ｍ諺のガラスの片面全面に形成されたＩ
ｎ、Ｏ，−珈０．透明電翫を用い友。絶縁膜３け厚さ４
０μのＰＦｉＴフィルムを用い、検出電極２上に接着し
た。誉ゆ音電極として、ＬＣＤ用透明電極を用い、ＰＥ
Ｔフィルムを介して、被検査′Ｉｔ極と、検出電極を対
向させ、プローブ５を被検査電極１の端子にあて、検出
電極との容量を容量噴出回路６で測定し友。ゆ音電極の
面積は約５５鶴２であり検出され比容＠Ｊｄ４０７ｙＦ
であっ之。同様の被検査電極の端子、 １０００本を
プローブで調べｔところ、容ｔｈｔ小さく検出されｔも
のは被検査電極が途中から電気的に切れていた。次に、
第２図に示す装置で、被検出電極の面積を変化させて検
出容量／′！を調べ比ところ ｃ（ｐＦ） ＝ Ｌ６７６ ｘ ｓ （ｗ”） ＋ ２
．８の関係があっ７ｔ６２．８ｐＦは装置全体の浮遊容
量と考えられる。容量の測定誤差は、測定面積によらず
１１．＋ｐＦであり之。従って、被検査電極の面積のゆ
出限界は２驕２である。
実施例２
実施例１において、絶ｌＩ＆膜として検出１１１＠ヒに
８ｉｏ！をスパッタリング法で約５ｏｏｏ ’ｐ、形成
し次。このとき検出容ｌＦに、ｓｉへ１の厚さ及び、ｓ
ｊ Ｏｘ嘆と被ゆ音電極間に存在する薄い空気層の影響
をうけるｈＳ、実施例１と同様の方法によって検出限界
３鶴２であっｔ。
８ｉｏ！をスパッタリング法で約５ｏｏｏ ’ｐ、形成
し次。このとき検出容ｌＦに、ｓｉへ１の厚さ及び、ｓ
ｊ Ｏｘ嘆と被ゆ音電極間に存在する薄い空気層の影響
をうけるｈＳ、実施例１と同様の方法によって検出限界
３鶴２であっｔ。
実施例３
実施例１の吟出電極、絶＃噂を使用し、ガラスエポキシ
基板上のパターン化され之銅電甑の検査を行ない、銅電
極間の電気的ショート、電気的切れを容量を測定するこ
とによって検出で１１〔発明の効果〕 以上のよ５に、本発明による検査装置を甲いることによ
って、従来は非常に手間がかかったり困難であっ友微細
にパターン化された平面状電極を容易に検査できるよう
になっｔｌ、ま几、従来、電気的シ目−トと電気的な切
れは、別々に検査していたｈＺ １本発明による検査ｖ
ｃ＃を使５ことによって、１回の喰葺で済ませることが
できるよ５になった。
基板上のパターン化され之銅電甑の検査を行ない、銅電
極間の電気的ショート、電気的切れを容量を測定するこ
とによって検出で１１〔発明の効果〕 以上のよ５に、本発明による検査装置を甲いることによ
って、従来は非常に手間がかかったり困難であっ友微細
にパターン化された平面状電極を容易に検査できるよう
になっｔｌ、ま几、従来、電気的シ目−トと電気的な切
れは、別々に検査していたｈＺ １本発明による検査ｖ
ｃ＃を使５ことによって、１回の喰葺で済ませることが
できるよ５になった。
電子機器の中に使用される回路パターンｈｔ史に微細化
する傾向にあり１本発明は非常に有用と考える。
する傾向にあり１本発明は非常に有用と考える。
【図面の簡単な説明】
ｌＥＩ図は本発明の構改を示す図。
１・・・・・・被検出電極
２・・・・・・検出電極
３・・・・・・絶縁模
４・・・・・・基板
第２図は本発明の実施例を示す図。
５・・・・・・プローブ
６・・・・・・容量検出回路
以 上
出願人 セイコーエプソン株式会社
第１図
Claims (1)
- 少なくとも、被検査電極上の任意の位置に電気的に接続
されたプローブ、該被検査電極上に絶縁膜を介して配さ
れた検出用電極、該プローブと該検出用電極に接続され
た容量検出回路から成る平面状電極の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61063279A JPS62220876A (ja) | 1986-03-20 | 1986-03-20 | 平面状電極の検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61063279A JPS62220876A (ja) | 1986-03-20 | 1986-03-20 | 平面状電極の検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62220876A true JPS62220876A (ja) | 1987-09-29 |
Family
ID=13224721
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61063279A Pending JPS62220876A (ja) | 1986-03-20 | 1986-03-20 | 平面状電極の検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62220876A (ja) |
-
1986
- 1986-03-20 JP JP61063279A patent/JPS62220876A/ja active Pending
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