JPS62219218A - 薄膜磁気ヘツドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　要〕 本発明による薄膜磁気ヘッドの製造方法は、基板上にス
ライダの空気流入端側となる第１磁極を形成してその上
に無機ギャップ層を形成した後、第１磁極の先端部上の
無機ギャップ層の両側に該無機ギャップ層の上面と等し
い高さの平滑部を有する平滑化用有機絶縁層を形成し、
その後、第２磁極の先端部が第１磁極の先端部上の無機
ギャップ層の上面及びその両側の平滑化用有機絶縁層の
平滑部上面を被覆するように、第１磁極の先端部よりも
広い幅の先端部を有する第２磁極を形成することにより
、第２磁極の先端部下面を第１磁極の先端部上面に対し
平行に形成するものである。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、磁気記録媒体に対する浮揚面を有するスライ
ダに設置される一対の磁極のうちスライダの空気流出端
側に配置される磁極の幅がスライダの空気流入端側に配
置される磁極の幅よりも広い薄膜磁気ヘッドの製造方法
に関する。

〔従来の技術〕

近年、磁気記録の高密度化に伴い、小型で高精度の薄膜
磁気ヘッドが要望されているが、特に、トラック密度を
向上させるためには、隣接するトラックからの雑音の混
入（サイドクロストーク）が少なく、且つ、薄膜磁気ヘ
ッドがオフトラックした場合の再生信号出力の低下が少
ないことが必要となる。

第５図は一般の磁気ディスク装置における磁気記録媒体
とスライダとの関係を示している。図において、１は磁
気記録媒体（例えば磁気ディスク）、２はスライダ、２
ａはスライダの浮揚面である。

Ｐは磁気記録媒体１の走行方向を示しており、３は磁気
記録媒体ｌの走行に伴うスライダ２の空気流入端、４は
同じく空気流出端である。５はスライダ２に装着された
薄膜磁気ヘッドである。薄膜磁気ヘッド５は一対の磁極
６．７を有している。

磁極６，７は磁気記録媒体ｌに対向する端部を有してお
り、磁極６．７の端部間には無機ギャップ層８が設けら
れている。９は絶縁層、１０は薄膜コイルである。

第６図は従来の薄膜磁気ヘッドにおける第１磁極の先端
部と第２磁極の先端部との配置関係を示すものである。

この図から判るように、従来の薄膜磁気ヘッドでは、ス
ライダの空気流入端側の磁極６の先端部幅Ｗ１がスライ
ダの空気流出端側の磁極７の先端部幅Ｗ２よりも広くな
っている。

このような従来構造の薄膜磁気ヘッドを用いて磁気記録
媒体１への信号の記録を行うと、空気流出端側の磁極７
の先端部の幅方向両端部から漏れる漏洩磁束Ｂの影響に
より、磁気記録媒体１には、第６図に示すように、記録
ビン）ｌａ、ｌｂに対し、磁極６，７の先端部間のギャ
ップを垂直に横断しない斜め方向の磁化が記録される。

このため、信号再生の際に磁極７の先端部の幅方向両端
はアジマス角を持つこととなり、薄膜磁気ヘッド５にオ
フトラックが発生した場合に再生出力の低下及び雑音の
混入等を招くこととなる。

上述した欠点を解決するための改良型薄膜磁気ヘッドが
本出願人による特願昭６０−２３３８５６号明細書に開
示されている。この改良型薄膜磁気ヘッドにおいては、
スライダに設置される一対の磁極のうちスライダの空気
流出端側に配置される磁極の先端部幅がスライダの空気
流入端側に配置される磁極の先端部幅よりも広く設定さ
れている。

このような磁極構造の改良型薄膜磁気ヘッドで磁気記録
媒体への記録を行なった場合、空気流出端側の磁極の先
端部の幅方向両端部から漏れる漏洩（８束の影響により
、磁気記録媒体には磁極の先端部間のギャップに対して
垂直に横断する方向の磁化が記録される。何故なら、磁
気記録媒体に記録される残留磁化の方向は１ビツトごと
に磁化過程の終了時点での磁束の方向、すなわち、空気
流出端側磁極近傍の磁束の方向に記録されるからである
。この結果、磁気記録媒体には空気流出端側磁極の先端
部幅に対応した領域全体にわたって磁極間のギャップに
対し垂直に横断する方向の磁化が記録される。一方、信
号の再生幅は空気流入端側磁極の幅に対応するので、ワ
イドライト／ナローリードが実現され、薄膜磁気ヘッド
のオフトラックが発生した場合であっても、再生出力の
低下や雑音の混入を防止できることとなる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記改良型薄膜磁気ヘッドにおいては、空気流出端側の
磁極の幅が空気流入端例の磁極の幅よりも広いので、基
板上に形成した空気流入端側磁極層の表面に無機ギャッ
プ層を形成した後、無機ギャップ層の表面上に空気流出
端側の上記層を蒸着等の手段で形成する場合に、空気流
出端側の磁極層の両端がだれないように空気流出端側磁
極層を形成することが困難であった。

このため、空気流入端側磁極層よりも幅の広い空気流出
端側磁極層が空気流入端側磁極層に対して平行度を保つ
ように空気流出端側磁極層を形成することができる薄膜
磁気ヘッドの製造方法が要望されていた。

〔問題点を解決するための手段〕

上記要望に鑑み、本発明は、スライダの空気流入端側に
配置されるべき第１磁極の先端部の幅よりもスライダの
空気流出端側に配置されるべき第２磁極の先端部の幅が
広い薄膜磁気ヘッドの製造方法であって、基板上に第１
磁極を形成する工程と、第１ｉｆｔ極の後部の一部が露
出するように第１磁極の表面に無機ギャップ層を形成す
る工程と、第１磁極の先端部上の無機ギャップ層の上面
と等しい高さの平滑部を有する平滑化用有機絶縁層を第
１磁極の先端部上の無機ギャップ層の両側に形成する工
程と、第１　＋ｆｆ極の後部の一部が露出するように第
１磁極の後部上に絶縁層で絶縁されたコイル層を形成す
る工程と、第１磁極の先端部の幅よりも広い所定幅の先
端部を有する第２磁極を該第２磁極の先端部が第１磁極
の先端部上の無機ギャップ層の上面及び平滑化用有機絶
縁層の平滑部の上面を被覆し且つ第２磁極の一部が第１
磁極の露出部を被覆するようにコイル層上に絶縁層を介
して形成する工程とを有していることを特徴とする薄膜
磁気ヘッドの製造方法を提供する。

〔作　用〕

本発明による上記手段によれば、第１磁極の先端部上の
無機ギャップ層の両側に該無機ギャップ層の上面と等し
い高さの平滑部を有する平滑化用有機絶縁層が形成され
た後、第２磁極の先端部が第１磁極の先端部上の無機ギ
ャップ層の上面及びその両側の平滑化用有機絶縁層の平
滑部上面を被覆するように形成されるので、第１磁極の
先端部よりも広い幅の先端部を有する第２　ｒＪｉ１極
を容易に形成することができるとともに、第２磁極の先
端部下面が第１磁極の先端部上面に対し平行度を保つよ
うに第２磁極を形成できることとなる。

〔実施例〕

以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する。

第１図（ａｌ〜（ｈ）及び第２図（ａｌ〜（ｆ）は本発
明による薄膜磁気ヘッドの製造方法の一実施例を示すも
のである。第１図（ａｌ〜（ｈｌはそれぞれ製造中の薄
膜磁気ヘッドの先端部断面図であり、第２図（ａ）〜ｉ
ｆ）はそれぞれ製造中の薄膜磁気ヘッドを基板の上方か
ら見た図である。これらの図を参照すると、本発明によ
る薄膜磁気ヘッドの製造方法においては、まず、基板ｚ
ｌ上にスライダの空気流入端側に配置されるべき第１磁
極２２が磁性金属のスパッタリング、真空蒸着、メッキ
等のような手段により所定厚さに形成される（第１図（
ａ）、第２図（ａ））。

第１磁極２２は磁気記録媒体の記録面に対向すべき先端
部２２ａと先端部２２ａの後方に拡がった後部２２ｂと
からなっている。先端部２２ａは所定幅Ｗ、を有してい
る。

次に、第１磁極２２の後部２２ｂの一部２２ｃが露出す
るように、第１磁極２２の表面にＳ　ｉ　０２　。

ＡＩ！２０３等のような無機ギャップ層２３がスパッタ
リング、真空蒸着等の手段によって所定厚さに形成され
る（第１図（ｂ）、第２図（ｂ））。

次に、この実施例では、第１磁極２２の一部２２ｃが露
出するように、第１磁極２２の後部２２ｂ上に層間絶縁
層２４及びコイル層２５が交互に積層形成される（第２
図（Ｃ））。これにより、コイル層２５は層間絶縁層２
４により被覆される。

次に、感光性樹脂等のような平滑化用有機絶縁層２６が
スピンコード法等により第１磁極２２の先端部２２ａ上
の無機ギャップ層２３の上面を覆うように第１磁極２２
の周りに塗布される（第１図（Ｃ）、第２図（Ｃ））。

このとき、平滑化用有機絶縁層２６は第１６ｆｉ極２２
の先端部２２ａ上で僅かな厚みを有し、第１磁極２２の
先端部２２ａ上からその両側に向かうに従って徐々に薄
肉となるように調整される。

次に、第１磁極２２の先端部２２ａの両側に平滑化用を
機絶縁層２６が残存するように、例えば、紫外線露光法
により、選択的に平滑化用有機絶縁層２６の残りの部分
を除去する（第１図（ｄ）、第２図（ｄ））。このとき
、第１図（ｄ）に示すように、第１磁極２２先端部２２
ａ上の無機ギャップ層２３の両側で平滑化用有機絶縁層
２６が上方に僅かに突出するように無機ギャップ層２３
上の平滑化用有機絶縁層２６を除去することが重要であ
る。

次に、平滑化用有機絶縁層２６を例えば２００℃でアニ
ールすることにより熱変形させ、第１磁極２２の先端部
２２ａの両側の平滑化用有機絶縁層２６の突出部分を平
滑化させて第１６ｆｆ極２２の先端部２２ａ上の無機ギ
ャップ層２３の上面と同じ高さの平滑部２６ａを形成す
る（第１図（ｅ））。

次に、眉間絶縁層２４で被覆されたコイル層２５の上に
第２磁極２７が磁性金属のスパッタリング、真空蒸着、
メッキ等の手段により所定厚さに形成される（第１図（
ｆ）、第２図（ｅ））。このとき、第２磁極２７の先端
部２７ａは第１磁極２２の先端部２２ａ上の無機ギャッ
プ層２３の上面及びその両側の平滑化用有機絶縁層２６
の平滑部２６ａの上面を覆うように所定幅Ｗ２　（Ｗ２
〉Ｗｌ）に形成される。また、第２磁極２７の後部２７
ｂは第１磁極の露出部２２ｃを介して第１磁極２２と接
続される。

次に、この実施例では、平滑化用有機絶縁層２６以外の
部分が金属膜等のマスク材料で保護され、平滑化用有機
絶縁層２６のみが酸素プラズマ処理等により除去される
（第１図（ｇ）、第２図（ｆ））。

マスク材料は、その後、イオンエツチング等により除去
される。そして、その後、第１磁極２２及び第２磁極２
７の周りを５ｉ０２．Ａ２２０３等のような無機絶縁層
２８で被覆する（第１図（ｈ））。

これにより、強固な絶縁保護構造を得ることができる。

その後、基板２１を加工してスライダとするか、或いは
スライダ材に基板２１を接着する等の処理を行う。なお
、薄膜磁気ヘッドの先端面、すなわち、磁気記録媒体に
対向する端面ば平滑に仕上げ加工される。

第３図は上記方法により製造された薄膜磁気ヘッドの基
板２１をスライダ２９に取り付けた状態を示している。

この図において、矢印Ｐは磁気記録媒体３０の走行方向
を示している。薄膜磁気ヘッドの第１磁極２２はスライ
ダ２９の空気流入端側に位置しており、第２磁極２７は
スライダ２９の空気流出端側に位置している。

第４図は上記方法により製造された薄膜磁気ヘッドの第
１磁極２２の先端部２２ａと第２磁極２７の先端部２７
ａとの配置関係を示すものである。

この図から判るように、この薄膜磁気ヘッドでは、スラ
イダ２９の空気流入端側に位置する第１磁極２２の先端
部２２ａの幅Ｗ１がスライダ２９の空気流出端側に位置
する第２磁極２７の先端部２７ａのＷ２よりも狭くなっ
ている。

このような構造の薄膜磁気ヘッドを用いて磁気記録媒体
３０への信号の記録を行うと、第２磁極２７の先端部２
７ａの幅方向両端部から漏れる漏洩磁束Ｂの影響により
、磁気記録媒体３０には、記録ビット３０ａ、３０ｂに
対し、磁極２２゜２７の先端部２２ａ、２７ａ間のギヤ
・ノブ（無機ギャップ層２３の厚みに相当する）を垂直
に横断する方向の磁化が記録される。何故なら、磁気記
録媒体３０に記録される残留磁化の方向は１ビ・ノドご
とに磁化過程の終了時点での磁束の方向、すなわち、空
気流出端側の第２磁極２７の先端部２７ａ近傍の磁束の
方向に記録されるからである。

この結果、磁気記録媒体３０には空気流出端側の第２［
極２７の先端部２７ａの幅Ｗ２に対応した領域全体にわ
たって磁極２２．２７の先端部２２ａ、２７ａ間のギャ
ップに対し垂直に横断する方向の磁化が記録される。一
方、信号の再生幅は空気流入端側に配置される第１６ｆ
ｆ極２２の先端部２２ａの幅Ｗ１に対応するので、ワイ
ドライト／ナローリードが実現され、薄膜磁気へ・ノド
のオフトラックが発生した場合であっても、再生出力の
低下や雑音の混入を防止できることとなる。

以上、図示実施例につき説明したが、本発明は上記実施
例の態様のみに限定されるものではない。

例えば、層間絶縁Ｊｉ２４は平滑化用有機絶縁層２６と
同一材料で形成してもよく、この場合、眉間絶縁層を形
成する際にその一部を利用して第１磁極２２の先端部２
２ａの周りに平滑化用有機絶縁層２６を同時に形成し、
次いでコイル層２５を形成することができる。

〔発明の効果〕

以上の説明から明らかなように、本発明によれば、第１
磁極の先端部上の無機ギャップ層の両側に該無機ギャッ
プ層の上面と等しい高さの平滑部を有する平滑化用有機
絶縁層が形成された後、第２磁極の先端部が第１磁極の
先端部上の無機ギャップ層の上面及びその両側の平滑化
用有機絶縁層の平滑部上面を被覆するように形成される
ので、第１磁極の先端部よりも広い幅の先端部を有する
第２磁極を容易に形成することができるとともに、第２
磁極の先端部下面が第１磁極の先端部上面に対し平行度
を保つように第２磁極を形成できることとなる。したが
って、隣接するトラックからの雑音の混入（サイドクロ
ストーク）やオフトラック時における再生信号出力の低
下を防止できる薄膜磁気ヘッドを容易に製造できること
となる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）〜（ｈ）は本発明による薄膜磁気へ・ノド
の製造方法の一実施例を示す製造途中の薄膜磁気ヘッド
の先端部断面図、 第２図（ａｌ〜（ｆ）は第１図に示す製造方法の途中工
程を示す平面図、 第３図は第１図に示す方法で製造した薄膜磁気ヘッドの
縦断面図、 第４図は第１図に示す方法で製造した薄膜磁気ヘッドの
磁極先端部の配置構造を示す図、第５図は従来のＰｔ１
ｌ！磁気ヘツドをスライダに装着した状態を示す断面図
、 第６図は第５図に示す薄膜磁気ヘッドの磁極先端部の配
置構造を示す図である。 図において、２１は基板、２２は第１磁極、２２ａは第
１磁極の先端部、２２ｂは第１磁極の後部、２２ｃは第
１磁極の露出部、２３は無機ギャップ層、２４は層間絶
縁層、２５はコイル層、２６は平滑化用有機絶縁層、２
７は第２磁極、２７ａは第２磁極の先端部、２８は無機
絶縁層、２９はスライダ、３０は磁気記録媒体である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、スライダ（２９）の空気流入端側に配置されるべき
   第１磁極（２２）の先端部（２２ａ）の幅よりもスライ
   ダの空気流出端側に配置されるべき第２磁極（２７）の
   先端部（２７ａ）の幅が広い薄膜磁気ヘッドの製造方法
   であって、 基板（２１）上に第１磁極（２２）を形成する工程と、
   第１磁極（２２）の後部（２２ｂ）の一部が露出するよ
   うに第１磁極（２２）の表面に無機ギャップ層（２３）
   を形成する工程と、 第１磁極（２２）の先端部（２２ａ）上の無機ギャップ
   層（２３）の両側に該無機ギャップ層の上面と等しい高
   さの平滑部（２６ａ）を有する平滑化用有機絶縁層（２
   ６）を形成する工程と、 第１磁極（２２）の後部（２２ｂ）の一部が露出するよ
   うに第１磁極（２２）の後部（２２ｂ）上に絶縁層（２
   ４）で絶縁されたコイル層（２５）を形成する工程と、
   第１磁極（２２）の先端部（２２ａ）の幅よりも広い所
   定幅の先端部（２７ａ）を有する第２磁極（２７）を該
   第２磁極の先端部（２７ａ）が第１磁極の先端部（２２
   ａ）上の無機ギャップ層（２３）の上面及び平滑化用有
   機絶縁層（２６）の平滑部（２６ａ）の上面を被覆し且
   つ第２磁極の一部が第１磁極（２２）の露出部（２２ｃ
   ）を被覆するようにコイル層（２５）の上に絶縁層（２
   ４）を介して形成する工程と、 を有していることを特徴とする薄膜磁気ヘッドの製造方
   法。 ２、第２磁極（２７）の形成後、第１磁極（２２）の先
   端部（２２ａ）の周辺の平滑化用有機絶縁層（２６）を
   除去して第１磁極（２２）及び第［２］」磁極（２７）
   の周りを無機絶縁層（２８）で被覆することを特徴とす
   る特許請求の範囲第１項に記載の薄膜磁気ヘッドの製造
   方法。 ３、平滑化用有機絶縁層（２６）が第１磁極（２２）の
   先端部（２２ａ）上の無機ギャップ層（２３）の上面を
   僅かに被覆し且つ該無機ギャップ層の上面からその両側
   に向かって徐々に薄肉となるように平滑化用有機絶縁層
   （２６）を形成した後、第１磁極の先端部上の無機ギャ
   ップ層（２３）の上に位置する平滑化用有機絶縁層（２
   ６）を除去し、その後、第１磁極の先端部上の無機ギャ
   ップ層（２３）の両側の平滑化用有機絶縁層（２６）を
   加熱により平滑化して第１磁極の先端部上の無機ギャッ
   プ層（２３）の上面と等しい高さの平滑部（２６ａ）を
   無機ギャップ層（２３）の両側に形成することを特徴と
   する特許請求の範囲第１項に記載の薄膜磁気ヘッドの製
   造方法。 ４、平滑化用有機絶縁層（２６）を感光性樹脂により形
   成することを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の
   薄膜磁気ヘッドの製造方法。