JPH03205607A - 薄膜磁気ヘッドとその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、磁気記録再生装置のｉｓ磁気ヘッドに係り、
特に高密度磁気記録用のＩＩＩ磁気ヘッドとその製造方
法に関する。

〈従来の技術〉 高密度磁気記録技術は、記録媒体と磁気ヘッドの技術開
発と共に発展してきた。

なかでも、薄験磁気ヘッドは高密度磁気記録に最も適し
た磁気ヘッドとされている。

第４図（ａ）は、従来の薄ｌｌＩ磁気ヘッド１０を示す
一部正面図、同図（ｂ）は同図（ａ，）のＡ一八切断線
に沿った一部概略断面図である。

同図において、１１は絶縁体からなる基板であり、１２
は基板１１の上に形成された下コア、１３は上コアであ
る。

両コアの一端部は非磁性材１４を介して互いに接合され
、記録媒体摺動面１５に磁気ギャップ１６を形成し、他
端部は互いに直接接合され後部接合部１７を形成してい
る。

上コア１３と下コア１２とが対向する空間部には非磁性
材１４、絶縁１１１８を介して螺旋状のコイルパターン
１９が後部接合部１７を取り巻く様に（図示せず〉形成
されている。

なお、この従来の薄膜磁気ヘッド１０にお（Ｘでは、上
コア１３と下コア１２が非磁性材１４を介して接合した
接合部の記録媒体閣動面１５にお＆ナる、水平方向の幅
が、トラックの幅（以後「トラック幅Ｊ）ｔを形成して
いる。

この様な従来のＷＪ膜磁気ヘッド１０の製造方法として
は、前記磁性膜をエッチングして形戒する方法や、リフ
トオフにより形成する方法、有機絶縁物をフレームとし
てメッキにより形或する方法、無機絶縁物をドライエッ
チングして所定の磁気コア形状に形或した溝に磁性膜を
成膜し、不要な磁性膜を除去して無機絶縁物中に磁気コ
アを埋め込むことにより形或する方法など様々な製造方
法が知られている。

また、特にトラック幅を高精度に形成したものとしては
、例えば、特開昭６０−７０５０９号に薄膜磁気ヘッド
が開示されている。このｉｌｌ１！！気ヘッドによれば
、下部磁性層と埋め込み層との界面が、非磁性基板の積
層面に対してほぼ垂直になっていることを特徴としてい
るものであり、ラップ加工の削り量によってトラック幅
の変化がほとんどなく、トラック幅を高精度にすること
ができるものである。

〈発明が解決しようとする課題） この様な、従来の薄膜磁気ヘッドにおいては、第４図に
示した様に媒体摺動面１５において、磁性層をエッチン
グして形或する場合には、どうしてもサイドエッチング
が起りやすく、記録媒体摺動面から見たコア断面は台形
形状となり、特に数μ一　以上の厚い磁性層をエッチン
グするとトラック幅となるべき台形の上面が特に小さく
なり、トラック幅の精度が損なわれやすいものであった
。

また、上下コア間が１８０゜にならず、サイドクロスト
ークが発生しやすいなどの問題点があった。

（課題を解決するための手段〉 本発明は上記課題を解決するためになされたものであり
、磁気回路が少なくとも、一層以上の強磁性薄膜で構成
された下コア、上コアからなり、これら上コアど下コア
の間で磁気ギャップを形或すると共に苗記磁気回路の一
部に巻線部を備えた１１１！気ヘッドであって、前記磁
気ギャップを介して対向した下コアと上コアとの端部が
磁気ギャップ面近傍部において前記磁気ギャップ面に対
して略垂直で、かつ、過不足なく対向するように形或さ
れてなり、かつ、磁気ギャップ面より遠さ力）るにつれ
て前記端部が末広がりに傾斜して形成されていることを
特徴とする薄膜磁気ヘッドとその製造方法を提供するも
のである。

（実施例） 第１図（ａ＞は本発明になる薄膜磁気ヘッド３０を示す
一部正面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＢ−Ｂ切断線に
沿った一部概略断面図である。

同図において、従来の薄膜磁気ヘッド１０の構成要素と
同一構成要素には同一符号を付し説明を省略する。

同図において、基板１１上に形成された下コア３１の磁
気ギャップ１６の形成部近傍部の端部３１ａが磁気ギャ
ップ１６面に対してほぼ垂直に形成され、磁気ギャップ
１６から遠ざかるにつれて前記端部３１ａは傾斜して幅
広になっている。

また、記録媒休摺動面１５における磁気ギャップ１６の
上方には、磁気ギャップ１６に対して略垂直な上コア３
３の下部３２が、その端８ｌｌ３２ａが下コア３１の端
部と過不足なく対向するように形成されている。

同様に、記録媒休摺動面１５の反対側において、別の上
コア３３の下部３２′が下コア３１と接合し、後部接合
部４０を形成している。

さらに、上コア３３が記録媒体摺動面１５上において、
前記上コア３３の下部３２上から末広がりに形或されて
いる。

そして、これらの上、下コアの外側には、非磁性絶縁材
３４や保護膜３５が形戒されている。

上述の様に、本発明になる薄膜磁気ヘッド３０において
は、磁気ギャップ１６面近傍部において、磁気ギャップ
１６面に対して垂直な端部３１ａ及び３２ａを有する下
コア３１及び上コア３３の下部３２を形成してあるので
、磁気ギャップ１６近傍部において前記端部３１ａと３
２ａがなす角度は１８０゜となり、トラック幅の精度が
損なわれることはない。また、サイドクロストークの発
生を防ぐこともできる。

次に、本発明になる薄Ｍ＠気ヘッド３ｏの製造方法を説
明する。

第２図（ａ）〜（ｈ）は、本発明になる薄躾磁気ヘッド
３０の第１実施例を示す製造工程（１）〜（７）を説明
するための一部正面図及び一部概略断面図である。　以
下、同図を用いて、製造方法の説明をする。

■程（１）　基板１１上に磁性層３１−を成膜し、少な
くとも記録媒体に情報を記録再生する為のトラック部（
磁気ギャップ形成予定部〉１６一及び後部接合予定部（
図示せず）を残して磁気ギャップ形成予定部１６−に対
し、側面に垂直部１６′ａが形或されるように浅くエッ
チングする。

この時、垂直部１６′ａの下部はテーパ状となる。

〈同図（ａ）） 工程（２）　次に、レジストマスクを使用して基板１１
上の不要な部分の磁性１１１３１−をエッチングするこ
とにより除去し、下コア３１を形成する。

この時、除去する磁性層が厚いと形成した壁面は末広が
りのテーバ状となる。　　（同図〈ｂ〉）工程（３）　
次に、前記下コアよりも厚く非磁性絶縁材３４を戒膜し
、表面に形或された凹凸を除去して平坦化する。　その
後、下コア３１の磁気ギャップ形或予定部１６一及び後
部接合部（図示せず〉の上部の非磁性絶縁材３４をエッ
チング等により除去し、ＩＩＡを形戒する。この時反応
性エッチング等を用いれば壁面がほぼ垂直の満Ａを形或
することができる。　　　　（同図（Ｃ）〉工程（４〉
　同図（Ｃ）の溝Ａに非磁性材からなる磁気ギャップ１
６、磁性材からなる中間コア３２（上コア３３の下部）
を形成し、前記非磁性絶縁材３４の上面に合わせて平坦
化する。

（同図（ｄ）） 工程《５）　前記非磁性絶縁材３４及び中間コア３２形
成面に新たな非磁性絶縁材３４を所望の厚さだけ成膜し
、ドライエッチング法などにより、非磁性絶縁材３４中
に薄膜コイルを埋め込むための満８を形成する。　　　
　　　（同図（ｅ））工程〈６〉　次に、溝Ｂ中に導体
材を蒸着等の方法により埋め込み、余分な導体材を除去
し、表面を平坦化し、ｉａｍコイル１９を形或し、その
上にさらに非磁性絶縁材３４を形成する。

（同図（ｆ）） 工程（７）　上記非磁性絶縁材３４の前記中間コア３２
、３２一面上からテーパーエッチングを行ない溝Ｃを形
成する。

次に、溝Ｃ及び非磁性絶縁材３４上に磁性層を形成し、
所望の形状の上コア３３を形或する。

最後に、保１１ｌｌ３５を形成した後、所定の形状にし
、本発明になる薄膜磁気ヘッド３０を得る。

この様な、本発明になる薄膜磁気ヘッド３０の製造方法
によれば、磁気ギャップ１６付近の下コア又は上コアの
エッチングを磁気ギャップ面に対してほぼ垂直に形成す
ることが可能となり、他の部分をテーバーエッチングを
行なうことで精度の優れた狭トラック幅の磁気コアを容
易に形成することができる。

第３図（ａ）〜（ｄ）は、本発明になるｉｌｍ磁気ヘッ
ド３０の第２実施例を示す製造工程（１）〜（４）を説
明する為の一部正面図であるが、第２図に示す第１実施
例とほぼ同一工程のため、異なる点のみを説明する。

工程（１）　基板１１上に第１の磁性層４１一非磁性材
からなる磁気ギャップ［１４６、及び第２の磁性層４２
を順次或躾する。（同図（ａ）〉工程（２）　次に、少
なくとも記録媒体に情報を記録再生する為のトラック部
をのこして第２Ｗｉ性層４２、磁気ギャップ４６、及び
第１磁性層４１の一部を同一工程にてエッチングし、磁
気ギャップ近傍の磁気コア端面４６ａ一がほぼ１８０゜
になるように形成する。（同図（ｂ〉〉 工程（３）　次に、，レジストマスクを使用して基板１
１上の不要な部分の磁性層４１′をエッチングすること
により除去し、磁気ギャップ１６を備えた第１磁気コア
４１を形成する。この時、除去する磁性層が厚いと形戒
した壁面は末広がりのテーパー状となる。（同図（Ｃ）
） ■程（４）　次に、前記第１＠気コア４１よりも厚く非
磁性材３４を成膜した表面に形成された凹凸を除去して
平坦化する。（同図（ｄ））以後は第２図の第１実施例
の工程（５）以降と同じ工程で製造することにより本発
明になるｉｌ膜磁気ヘッド３０を得る。

この製造方法によれば、少なくとも記録媒体に情報を記
録再生する為のトラック部４６′を第２磁性層４２、磁
気ギャップ層４６及び第１磁性層４１−の一部を同一工
程でエッチングして形成する為に、磁気ギャップ１６付
近の下コア及び上コア端部が磁気ギャップ面を介して過
不足なく対向するように形戒されている結果、磁気ギャ
ップ近傍の磁気コア端面４６ａ一は、ほぼ１８０゜、す
なわちギャップ面に対して略垂直に形成することが可能
となり、サイドクロストークの少ない優れた磁気ヘッド
を製造することができる。

また、情報を記録再生する為のトラック部が磁気ギャッ
プを備えた態様で同一工程にて形成されるから、下コア
と上コアとのトラック位置合せが不要となり、狭トラッ
ク幅の磁気コアを極めて高精度に形成することができる
。

（発明の効果） 上述の様に、本発明になるＩＮ！磁気ヘッドによれば、
磁気回路が少なくとも、一層以上の強磁性１１で構成さ
れた下コア、上コアからなり、これら上コアと下コアの
間で磁気ギャップを形成すると共に前記磁気回路の一部
に巻線部を備えた薄膜磁気ヘッドであって、前記磁気ギ
ャップを介して対向した下コアと上コアとの＊Ｓが磁気
ギャップ面近傍部において前記磁気ギャップ面に対して
略垂直で、かつ、過不足なく対向するように形成されて
なり、かつ、磁気ギャップ面より遠ざかるにつれて前記
端部が未広がりに傾斜して形成されていることを特徴と
したので、磁気ギャップ面近傍部の磁気ギャップ面を介
した磁気コア端部がほほ１８０゜となっているため、ト
ラック幅の精度が損なわれることはなく、サイドクロス
トークの発生もない。

また、記録媒体摺動面から見た上下コアの断面形状は、
磁気ギャップ面近傍では一定だが遠ざかるにつれ、トラ
ック幅よりも広くなっているので、磁気抵抗が増大する
ことなく挟トラック幅の薄膜磁気ヘッドの提供も可能と
なる。

また、本発明になるｉｓ＠気ヘッドの製造方法によれば
、少なくとも２回以上のエッチングにより、所望のトラ
ック幅を有する下コアを形成することを特徴としたので
、数μ回　以上の厚い磁性層を持った数μ一　の挟トラ
ック幅の下コアを精度良く容易に形成することが可能と
なる。また、記録媒体に情報を記録再生する為のトラッ
ク部が、磁気ギャップを備えた態様で同一工程にて形成
されることから、下コアと上コアとのトラック位置合せ
が不要となり数μｍの狭トラック巾の磁気コアを極めて
高精度に形或することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）は本発明になる薄ＷＡ＠気ヘッドを示す一
部正面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＢ−Ｂ切断線に沿
った一部概略断面図、第２図＜８）〜（ｈ）は本発明に
なる薄膜磁気ヘッドの第１実施例を示す製造工程（１）
〜（７）を説明するための一部正面図及び一部概略断面
図、第３図（ａ）〜（ｄ）は本発明になる薄Ｉ！磁気ヘ
ッドの第２実施例を示す製造工程を説明する為の一部正
面図、第４図（ａ）は、従来のＩＭ磁気ヘッドを示す一
部正面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ切断線に沿
った一部概略断面図である。 １１・・・基板、１５・・・記録媒体摺動面、１６・・
・磁気ギャップ、１９・・・薄躾コイル、３０・・・１
ｌｌ磁気ヘッド、３１・・・下コア、３１ａ・・・端部
、３２、３２−・・・上コアの下部（中間コア）、３２
ａ・・・端部、３３・・・上コア、３４・・・非磁性絶
縁材、３５・・・保！躾、４１・・・第一磁気コア、４
１′・・・第一磁性層、４２・・・第２磁性層、４６・
・・磁気ギャップ層。 ｌ−８

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）磁気回路が少なくとも、一層以上の強磁性薄膜で
   構成された下コア、上コアからなり、これら上コアと下
   コアの間で磁気ギャップを形成すると共に前記磁気回路
   の一部に巻線部を備えた薄膜磁気ヘッドであって、 前記磁気ギャップを介して対向した下コアと上コアとの
   端部が磁気ギャップ面近傍部において前記磁気ギャップ
   面に対して略垂直で、かつ、過不足なく対向するように
   形成されてなり、かつ、磁気ギャップ面より遠ざかるに
   つれて前記端部が末広がりに傾斜して形成されているこ
   とを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
2. （２）少なくとも２回以上のエッチングにより、所望の
   トラック幅を有する下コアを形成することを特徴とする
   請求項第１項記載の薄膜磁気ヘッドの製造方法。