JPS58118028A - 垂直磁気記録用記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は垂直磁気記録用記録媒体に関し、特に、トラッ
キングを容易にし、隣接トラックからの干渉を除き得る
垂直磁気記録用記録媒体に関する。

磁気記録においては、最近、記録媒体の厚み方向ｌこ磁
化して記録・再生を行なう垂直磁気記録方式が注目され
、研究されている。

この記録方式によると、記録の最小ビット長を、理論的
には、記録媒体の結晶粒の太きさまで小さくする事がで
きると考えられている。実際に、記録の綿密度の点では
、従来の面内方向記録をはるかに上まわる記録密度が実
現されている。

そして、今後は、面質ＫをあげるためＪこ、トラックピ
ッチを狭くするような工夫が要求されるものと予想され
る。

第１図に、垂直磁気記録方式の概略を示す。図において
、６は主磁極、７は主磁極と対向し、これから隔離して
配置された補助磁極、８は補助磁極７に巻回された記録
コイル、９は同じく補助磁極７１ζ巻回された再生コイ
ル、１０は、主磁極６および補助磁極７間を、主磁極６
にはソ接触し工、矢印方向に走行する垂直磁気記録媒体
である。

記録過程では補助磁極７に巻回した記録コイル９に記録
電流が供給される。その結果、補助磁極７が磁化され、
該補助磁極７からの磁界で主磁極６が磁化される。

該主磁極６の先端（補助磁極７に対向する側）の、記録
媒体走行方向での幅は極めて狭いので、その近傍には極
めて急峻な垂直磁界が形成され、この磁界によって記録
媒体１０が垂直方向に磁化される。

また、再生過程では、記録媒体１０からの垂直磁界で、
主磁極６が磁化され、該主磁極６の先端からの磁束が補
助磁極７を通る。そして、補助磁極７内の磁束の時間変
化が、再生コイル８に起電力を生じ、これが再生出力と
して外部へ取出される。

このような垂直磁気記録方式では、主磁極６の幅が狭い
ほど、理論的には自己減磁界が減少して記録効率が良く
なる。したがって、狭トラツク化に伴なう再生出力の減
少との関係できまる寸法に、トラック幅を規定する事に
なると予想されている。

前述のトラック幅は、上述した条件の他に、記録媒体の
熱変形、湿度変形あるいはヘッドの位置決め精度からく
るトラッキング能力にも依存して決定されると考えられ
る。

現在、市内磁化方式を用いているフロッピーディスクで
は、様々な条件を考えて５２９μｍ、（１／４８インチ
）のトラックピッチが採用されている。そして、さらに
、トラッキング能力の限界から生じる隣接トラックへの
データの干渉を防ぐ為、トンネルイレーズヘラドラ装備
して記録データのサイドトリミングを行なっている。

これは、良く知られているように、記録ヘッドの両側に
イレーズ用のヘッドを設け、上記のようなデータ干渉及
びノイズの除去をおこなうものである。

ところで、垂直磁気記録においては、第１図にも示した
ように、磁気ヘッドが開磁路構造であるにもかかわらず
、記録再生が可能となっているが、記録媒体として垂直
磁化層のみから成るものを用いた場合は、その感度は十
分とは言えない。

そこで、感度の向上をはかる目的で、垂直磁化　３一 層（例えばＣｏ　−Ｃｒ　）を高透磁率の面内磁化層（
例えばＮｊ−Ｆｅ）で裏打らして、記録媒体を二層構造
とすることが提案されている。

このような二層構造記録媒体への記録においては、面内
磁化層による磁束の集中効果が得られるので、記録に必
要な起磁力は、垂直磁化層のみの単層記録媒体の場合に
比べて１桁低減され、数ＡＴ（アンペアターン）以下に
する事ができるとされている。

また残留磁化状態（すなわち、記録状態）においても、
二層化する事によって、垂直磁化モードを裏面で閉じる
ことができ、自己減磁界が減少するので、残留磁化が増
大するという利点がある。

以上のように、記録媒体を二層化する事により、記録・
再生感度とも向上させる事ができ、また、この二層部を
記録媒体平面内に隔離して配置する事により、記録トラ
ックを構成する事ができる。

しかし、従来のこの様な二Ｊ−化垂直磁化記録媒体によ
る記録方法では、トラック幅を規制するのは、ヘッド送
り装置の制御精度であり、前記制御　４− 精度の向上に制約があるため、トラック幅を十分に狭く
して記録密度を上げる事は、技術的に困難であった。

本発明は、垂直磁気記録の狭トラツク化を実現し、この
時のトラッキングの許容ずれ量を太きくし、安定に記録
・再生を行なうことのできる垂直磁気記録用記録媒体を
提供する事を目的としている。

本発明ｔｒよる垂直磁気記録用記録媒体は、上述した垂
直磁化層と面内磁化層との組み合わせから成る二層部の
みを記録トラックとして利用する事により、記録媒体側
で記録トラックを規定し、トラッキングを安定化し、隣
接トラックからの干渉を排除する事を特徴としている。

以下、本発明に関して、図面を用いて詳細にその内容を
説明する。

第２図は本発明の第１の実施例の断面図である。

図において、１は基体、２は面内磁化層、３は垂直磁化
層であり、面内磁化層２と垂直磁化層３の２層部が記録
トラックを規定する。４は、互いに隣接する記録トラッ
クの間に設けられた非磁性層である。なお、図において
、記録媒体は紙面と垂直方向に走行する。

第２図に示したような記録媒体は、第３図（イ）〜に）
に示したような工程で製造することができる。

すなわち、まず最初に、基体１の上に、スパッタ或いは
蒸着等の方法により、面内磁化膜２を付着坏せる（第３
図イ）。つぎに、その上に垂ｉｕ＠化膜３を設け、二層
構造にする（第３図口）。

その後、上面全面にフォトレジスト膜５を塗布し、フォ
トエツチング等により、ガード部に相轟する部分をエツ
チング除去する（第３図ハ）。残きれたフォトレジスト
５を付着でせたまま、非磁性層４を設け、最後に、フォ
トレジスト５を除去し、表面を研磨する（第３図工）。

また、他の製造法として、マスターパターンを用いて、
基板１上に、始めからパターニングした面内磁化層２お
よび垂直磁化Ｎｉ３を順次形成し、その後、溝の部分に
非磁性層４を設ける方法も可能である。

ここで、非磁性層４を３００μｍのピッチ（第２図のＰ
）で設け、その幅（第２図のＧ）を１００μｍにすると
、トラックピッチが３００μｍ、トラック幅（第２図の
Ｔ）が２００μｍの記録トラックが形成される。

第４図は、本発明による第２の実施例の断面図である。

図中の第２図と同一の符号は同一部分をあられしている
。

基体１の上に、前述した第１冥施例と同様にして、面内
磁化膜２および垂直磁化膜３の二層膜を均一に形成する
。その後、垂直磁化層のうちガードとなる部分だけを選
択的にエツチングし、その部分に非磁性層４（＋：影形
成る。

また、この場合、第５図のように、非磁性層４の部分を
面内磁化層４Ａで置換してもかまわない。

本発明においては、前述のように、垂直磁化膜を面内磁
化膜で裏打ちした二層膜部分だけに、記録が行なわれ、
記録トラックとなる事を利用しているので、第５図の実
施例の逆の配列も当然有効である。

　７− 第６図の実施例はそれを示すもので、図中の第２図と同
一の符号は同一部分をあられしている。

この冥施例は、例えば、（１）基体１の上に設けた面内
磁化膜２の一部（ガード部に相幽する部分）を、フォト
エツチング等を用いて除去し、（２）その後、図に示す
ように、垂直磁化層３を形成して、二層膜から成る記録
トラックを形成することによって、構成することができ
る。

この実施例に於て、面内磁化膜２により裏打された部分
の垂直磁化膜３は、高い起磁力を持つが、裏打ちのない
部分の垂直磁化膜は、磁化効率が低い為、この部分がガ
ード層として働らくことは明らかであろう。

以上の例では、面内磁化層２および垂直磁化層３を、そ
れぞれ０．２５μｍ〜１μｍ程度とするのがよいが、厚
く形成した１−を、すべてエツチングによって取り除こ
うとすると、サイドエッチ等により、パターン精度が不
安定となる欠点を生ずる。

このような欠点を改善するのが、本発明の第７図の実施
例である。この実施例の記録媒体は、つ　８− ぎのような工程で製造することができる。

（１）　　基体１上に、第３図に関して上述した方法で
、面内方向磁化膜２および垂直方向磁化膜３を順次形成
する。

（２）　　その後フォトエツチング等の技術によって垂
直磁化層３のうち、ガードとなる部分を部分的にエツチ
ングする。

或いは、その代りに、マスターパターンを用いて、トラ
ック部となる部分に垂直磁化層を形成してもよい。

その結果、垂直磁化Ｍ３は、第７図（イ）のように、ガ
ードとなるべき部分に溝のある構成になる。

（３）最後に、男７図（ロ）に示す様に、溝の部分に面
内磁化層２人を設ける。

第７図の実施例においても、明らかなように、垂直磁化
層３と面内磁化層２との二層部分が記録トラックとなる
。一方、垂直磁化層３を上下の面内磁化層２，２Ａで狭
んだ三層部は、ガード部となる。

前記三層部分の機能は、次の様に説明される。

すなわち、この三層になったガード部の垂直磁化層は、
上部に面内磁化層２人がある分だけ、磁気ヘッドとの間
隔が太きい。したがって、記録時における記録感度が低
くなる。そこで、二層部分のみが記録トラックとして選
択式れ、強く磁化てれる。

なお、三層部の垂直磁化層が記録時れ、磁化でれたとし
ても、この部分では、上下の面内磁化層２および２Ａに
よって閉ループ磁路が構成されるので、外部に磁束をも
らすことはない。それ故にこの部分は、依然としてガー
ドとして働くことになる。

第８図は、本発明による記録媒体と磁気ヘッドとの関係
を示す一部断面側面図である。なお、この図では、記録
媒体１０とし王、第７図のものが用いられているが、他
の実施例のものを用いても、全く同様である。

また、ここでは、記録媒体１０を主磁極６と補助磁極７
とで挟む、いわゆる補助磁極励磁型ヘッドな用いて説明
を行なうが、磁気ヘッドの構造はこれに限られるもので
はない。

即ち、主磁極に記録コイルを巻いた、いわゆる主磁極励
磁型ヘッドに於ても当然用いる事ができる。

第８図において、記録媒体１０には、上述したように、
トラック幅Ｔの記録トラックが、トラックピッチＰで形
成されている。また、記録媒体ｌＯは、紙面と直角方向
に走行する。ここで、主磁極６の幅をＷとすると、記録
媒体１０の変形および磁気ヘッド位置の、トラック面内
でのずれは、トラックと垂直方向に−　すなわち、第８
図の紙面内で水平方向に− Ｗ ±（Ｇ＋１−ヲ） ・まで許容される事になる。

このことは、第９図を参照すれば明らかである。

すなわち、いま、第９図に示すように、主磁極６のトラ
ッキングがΔだけずれて、その端部がガード４の上へは
み出し、隣接の記録トラックの端部１１− まで変位したと仮定すると、つぎの関係が成立し、これ
から が得られる。

以上に述べたところから明らかなように、本発明によれ
ば、従来の面内磁化方式に於けるサイドトリミング用ヘ
ッドを不要とする事が出来、また、記録トラック幅を媒
体側で規定することが出来る為、ヘッドの送り精度を上
に述べた範囲に収める事により、トラック幅を従来の垂
直磁化方式よりも狭くして、正確なトラッキング制御を
実現する事が出来るという効果を奏する事ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は垂直磁気記録方式を説明するための概略側面図
、第２図は本発明の沫１の実施例の記録媒体を、走行方
向と直角に切断した際の断面図、１２− 第３図は第２図の記録媒体の製作過程を示す断面図、第
４．５．６図は、それぞれ本発明の他の実施例の記録媒
体を、走行方向と直角に切断した際の断面図、第７図は
本発明のてらに他の実施例の製作過程を示す断面図、第
８図は本発明の記録媒体と磁気ヘッドとの関係を示す断
面図、第９図はヘッドのトラックからのずれの許容量を
説明するための図である。 １・・・基体、２・・−面内磁化層、３・・・垂直磁化
層、４・・・非磁性層、６・・・主磁極、７・・・補助
磁極、８・・・記録コイル、９・・・再生コイル、１０
・・・垂直磁気記録媒体 代理人弁理士　平　木　道　人 外１名 才１図 ８ 才８図 第２図 才　４　図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）　　基体の一方の面上に面内磁化膜および垂直磁
   化膜をこの順序に積層し、この様にして形成した積層体
   をトラック毎に分割し、該トラック間に該積層体より低
   い磁化効率をもつ物質を設けた事を特徴とする垂直磁気
   記録用記録媒体。
2. （２）　　特許請求の範囲第１項において、低い磁化効
   率をもつ物質が、非磁性物質、垂直磁化膜単層および上
   下を面内磁化膜ではさまれた垂直磁化膜のいずれかであ
   る事を特徴とする垂直磁気記録用記録媒体。