JPS62213741A - 複合型超音波探触子用振動子の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、超音波診断装置において被検体に超音波を送
受信してセクタ電子走査を行うフェーズドアレイ振動子
部とドツプラ血流速の検出を行う単片振動子部とを併有
する複合型超音波探触子の振動子の製造方法に関し、特
に音響的な特性を一致させることができると共に、製造
が容易でかつ精度を向上することができる振動子の製造
方法に関する。

従来の技術 従来の複合型超音波探触子用振動子１は、第４図、に示
すように、所定間隔で多数の振動子素子２ａ、２ｂ、・
・・２ｎを配列したフェーズドアレイ振動子部３と、一
枚の板状に形成された単片振動子部４とを、それぞれ異
なる振動子基材（振動子素材の対向する両面に共通電極
と信号電極とを形成したもの）から別々に加工した後、
これらフェーズドアレイ振動子部３と単片振動子部４と
をパッキング材５の止着面に上記両振動子部３，４間に
所要のギャップ６をおいて貼り付けることにより製造し
ていた。

発明が解決しようとする間層点 しかし、このような振動子の製造方法においては、フェ
ーズドアレイ振動子部３と、単片振動子部４とをそれぞ
れ異なる振動子基材から別々に加エするので、上記面振
動部３，４において音響的な特性が一致しないことがあ
った。これは、それぞれの振動子基材の材質、形状、寸
法等を全く同一に指定したとしても、全く同一の振動子
基材は作れず、実際には微妙な相違が生ずるからである
。

そして、上記フェーズドアレイ振動子部３と単片振動子
部４の前面には、人体の音響インピーダンスとマツチン
グさせる樹脂膜などの整合層を形成するが、上記のよう
にそれぞれの音響的な特性が一致しないことから、整合
層をそれぞれの音響的特性に合せて別々に形成しなけれ
ばならなかった。

従って、上記整合層の加工が難しいものであった。

また、上記フェーズドアレイ振動子部３と単片振動子部
４とをパッキング材５の止着面に貼り付けるときには、
それぞれの振動子部３，４を各別にパッキング材５の止
着面に位置合せしなければならないと共に、各振動子部
３と４との間のギャップ６が所要の間隔になるように位
置合せをしなければならなかった。従って、上記それぞ
れの位置合せが難しく作業性が低下すると共に、製造の
精度も低下するものであった。そこで、本発明はこのよ
うな問題点を解決することを目的とする６問題点を解決
するための手段 上記の問題点を解決する本発明の手段は、長手方向の一
半部にフェーズドアレイ振動子部を加工し且つ他学部に
は単片振動子部を加工する一枚の振動子基材をパッキン
グ材の止着面に貼り付け。

その後上記フェーズドアレイ振動子部と単片振動子部と
の間に位置する振動子基材を適宜の幅で切除してギャッ
プを形成することにより、所定間隔で多数の振動子素子
を配列するフェーズドアレイ振動子部と単片振動子部と
を形成することによってなされる。

実施例 以下、本発明の実施例を添付図面を参照して詳細に説明
する。

第１図ないし第３図は本発明による複合型超音波探触子
用振動子の製造方法の工程を示す斜視説明図である。ま
ず、第１図に示すように、ゴム等でできたパッキング材
５の止着面に、連続する一枚の振動子基材７を位置合せ
して貼り付ける。ここで、上記振動子基材７は、図には
明示しないが。

水晶、チタン酸バリウムあるいはチタン酸ジルコン酸鉛
などの誘電体からなる振動子素材の対向する両面に共通
電極と信号電極とを形成して成り、その長手方向の一半
部にフェーズドアレイ振動子部を加工すると共に、他学
部には単片振動子部を加工するようになっている。また
、上記パッキング材５は、振動子が出来上がった状態で
、上記振動子の背面から出る超音波を吸収するものであ
る。

次に、第２図に示すように、上記のようにパッキング材
５に貼り付けられた振動子基材７の一半部７ａを、その
長手方向に直交する方向で一側端から所定の間隔で短冊
状に順次切断してゆき、多数の振動子素子となるものを
加工する。このとき、上記振動子基材７の他学部７ｂは
そのまま残っている。ここで、上記振動子基材７の一半
部７ａがフェーズドアレイ振動子部となる部分であり、
他学部７ｂが単片振動子部となる部分である。

次に、このような状態で、第２図に示す一半部７ａと他
学部７ｂとの間に位置する振動子基材７Ｃを適宜の幅で
切除し、第３図に示すように振動子基材７の存在しない
所要幅のギャップ８を形成する。これにより、第３図に
示すように、パッキング材５の上面に、所定間隔で多数
の振動子素子９ａ、９ｂ、・・・９ｎが配列されたフェ
ーズドアレイ振動子部１０と、一枚の板状に形成された
単片振動子部１１とが形成されると共に、これらフェー
ズドアレイ振動子部１０と単片振動子部１１との間に所
要幅のギャップ８が形成されて、複合型超音波探触子用
振動子１２が完成する。そして。

上記フェーズドアレイ振動子部１０は、複合型超音波探
触子においてセクタ電子走査のための超音波を送受信す
る部分となり、単片振動子部１１はドツプラ血流速の検
出のための超音波を送受信する部分となる。

なお、第１図及び第２図においては、パッキング材５の
止着面に振動子基材７を貼り付けた後に、上記振動子基
材７の一半部７ａを所定の間隔で短冊状に順次切断して
ゆくものとして説明したが、本発明はこれに限らず、上
記順序を逆転して、まず一枚の振動子基材７の一半部７
ａを所定の間隔で短冊状に切断し、その後でこれをパッ
キング材５の止着面に貼り付けてもよい。このとき、上
記−半部７ａを短冊状に切断しても、共通電極または他
のテープ状基材等により上記振動子基材７は連続する一
枚物に保たれているとする。

発明の効果 本発明は以上説明したように、フェーズドアレイ振動子
部１０と単片振動子部１１とを加工する一枚の振動子基
材７をパッキング材５の止着面に貼り付けた後に、上記
フェーズドアレイ振動子部１０と単片振動子部１１との
間に位置する振動子基材７Ｃを適宜の幅で切除してギャ
ップ８を形成することにより、同一の振動子基材７から
フェーズドアレイ振動子部１ｏ及び単片振動子部１１を
形成することができる。従って、上記フェーズドアレイ
振動子部１０と単片振動子部１１との音響的な特性は完
全に一致することとなる。このことから、それぞれの振
動子部１０．１１の前面に形成する整合層も全く同一の
ものでよく、一種類の樹脂膜などを用いて容易に整合層
の加工を行うことができる。また、パッキング材５の止
着面には、連続する一枚の振動子基材７を貼り付けるだ
けであると共に、ギャップ８が所要幅になるように位置
合せする必要もないので、上記パッキング材５への振動
子基材７の位置合わせは一回ですみ、位置合せが容易と
なり作業性を向上することができる。さらに、上記のよ
うに位置合せが容易となることから、振動子の製造の精
度も向上することができ、複合型超音波探触子の性能向
上を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第３図は本発明による複合型超音波探触子
用振動子の製造方法の工程を示す斜視説明図、第４図は
従来の複合型超音波探触子用振動子の製造方法を説明す
るための斜視図である。 ５・・・パッキング材 ７・・・一枚の振動子基材 ７ａ・・・−半部 ７ｂ・・・他半部 ８・・・ギャップ ９ａ〜９ｎ・・・振動子素子 １０・・・フェーズドアレイ振動子部 １１・・・単片振動子部

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　長手方向の一半部にフェーズドアレイ振動子部を加工
   し且つ他半部には単片振動子部を加工する一枚の振動子
   基材をパッキング材の止着面に貼り付け、その後上記フ
   ェーズドアレイ振動子部と単片振動子部との間に位置す
   る振動子基材を適宜の幅で切除してギャップを形成する
   ことにより、所定間隔で多数の振動子素子を配列するフ
   ェーズドアレイ振動子部と単片振動子部とを形成するこ
   とを特徴とする複合型超音波探触子用振動子の製造方法
   。