JPH01166699A - 複合圧電板の製造方法 - Google Patents
複合圧電板の製造方法Info
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- JPH01166699A JPH01166699A JP62326553A JP32655387A JPH01166699A JP H01166699 A JPH01166699 A JP H01166699A JP 62326553 A JP62326553 A JP 62326553A JP 32655387 A JP32655387 A JP 32655387A JP H01166699 A JPH01166699 A JP H01166699A
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Landscapes
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- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は例えば超音波探触子の送受波源としての複合圧
電板を利用分野とし、特に不要振動を抑＃Ｉ、て作業性
を高める複合圧電板の製造方法に関する。
電板を利用分野とし、特に不要振動を抑＃Ｉ、て作業性
を高める複合圧電板の製造方法に関する。
（発明の背景）
超音波探触子は、医用、鉱工業及び水産業等の各分野で
、超音波診断、探傷及び探査装置の送受波源として利用
される。例えば、超音波診断装置では生体を被検出体と
し、複数個の圧電片を並べて駆動するセクタ方式用やリ
ニア方式用の配列形の超音波探触子が有用される。近年
では、圧電板の幅と厚みの比に基づく不要振動の発生を
防止して振動特性を維持するものとして複合圧電材料が
注目を浴びている（参照公報：特開昭８２−１３１７０
０号「超音波探触子及びその製造方法Ｊ等）。
、超音波診断、探傷及び探査装置の送受波源として利用
される。例えば、超音波診断装置では生体を被検出体と
し、複数個の圧電片を並べて駆動するセクタ方式用やリ
ニア方式用の配列形の超音波探触子が有用される。近年
では、圧電板の幅と厚みの比に基づく不要振動の発生を
防止して振動特性を維持するものとして複合圧電材料が
注目を浴びている（参照公報：特開昭８２−１３１７０
０号「超音波探触子及びその製造方法Ｊ等）。
（従来技術）
第３図はこの踵の複合圧電板を使用した超音波探触子を
説明する断面図である。
説明する断面図である。
超音波探触子は、例えばバッキング材１上に厚みをｔと
して両主面に電５ｉｉ２の形成された複合圧電板３を固
着し「第１図（ａ）１、複数の矩形状の圧電片４に分割
して配列される「同図（ｂ）Ｊ。
して両主面に電５ｉｉ２の形成された複合圧電板３を固
着し「第１図（ａ）１、複数の矩形状の圧電片４に分割
して配列される「同図（ｂ）Ｊ。
バッキング材１に取着した一方の主面からは独立して、
他方の主面からは共通接続してリードｌｌｌ５．６を導
出する。
他方の主面からは共通接続してリードｌｌｌ５．６を導
出する。
複合圧電板３は、第４図の平面図に示したまうに例えば
ジルコン酸チタン酸鉛（以下ＰＺＴとする）からなる圧
電板７を図示しない基台に取着する。そして、圧電板７
を縦横に切断分割して微小圧電片８と分割溝９を形成し
「同図（ａ）Ｊ、例えばシリコン樹脂等の充填材１０を
埋めて微小圧電片８を結合する「同図（ｂ）但し、同図
（ａ）の矢印イで示す部分の拡大図」。微小圧電片８は
略正方形として厚みｔと幅Ｗとの比ｗ／ｌ（以下ｗｔ比
とする）は０．３〜０．７に設定される。
ジルコン酸チタン酸鉛（以下ＰＺＴとする）からなる圧
電板７を図示しない基台に取着する。そして、圧電板７
を縦横に切断分割して微小圧電片８と分割溝９を形成し
「同図（ａ）Ｊ、例えばシリコン樹脂等の充填材１０を
埋めて微小圧電片８を結合する「同図（ｂ）但し、同図
（ａ）の矢印イで示す部分の拡大図」。微小圧電片８は
略正方形として厚みｔと幅Ｗとの比ｗ／ｌ（以下ｗｔ比
とする）は０．３〜０．７に設定される。
そして、他方の主面側に図示しない音響整合層や音響レ
ンズを取着し、各圧電片４を例えばリニア駆動して被検
出体の疾患部等を診断するようにｉノでいる。
ンズを取着し、各圧電片４を例えばリニア駆動して被検
出体の疾患部等を診断するようにｉノでいる。
このようなものでは複合圧電板３は、ｗｔ比を０．３〜
０．７とした微小圧電片８から構成されるので、各圧電
片４の振動特性を維持して解像度等を良好にする。従っ
て、例えば第５図の断面図に示したようにｗｔ比を維持
するために圧電片４を複数の圧電エレメント１ｌａ１１
１ｂに分割してこれを共通接続する必要がないので、複
合圧電板３を使用した超音波探触子ではその作業性を向
上する乙とができる。
０．７とした微小圧電片８から構成されるので、各圧電
片４の振動特性を維持して解像度等を良好にする。従っ
て、例えば第５図の断面図に示したようにｗｔ比を維持
するために圧電片４を複数の圧電エレメント１ｌａ１１
１ｂに分割してこれを共通接続する必要がないので、複
合圧電板３を使用した超音波探触子ではその作業性を向
上する乙とができる。
（従来技術の欠点）
しかしながら、上記構成の超音波探触子では、複合圧電
板３を１枚の圧電板７の分割後、充填材１０により再び
結合して製作する。このため、例えば第６図の断面図に
示したように、分割後に微小圧電片８が基台１２上で傾
斜して結合され両生面の水平度が損なわれて振動特性を
阻害する虞があるとともに作業性を低下させろ問題が想
定される。
板３を１枚の圧電板７の分割後、充填材１０により再び
結合して製作する。このため、例えば第６図の断面図に
示したように、分割後に微小圧電片８が基台１２上で傾
斜して結合され両生面の水平度が損なわれて振動特性を
阻害する虞があるとともに作業性を低下させろ問題が想
定される。
（発明の目的）
本発明は作業性に優れて振動特性の良好な複合圧電板の
製造方法を提供することを目的とする。
製造方法を提供することを目的とする。
（解決手段及び作用）
本発明の第１発明は、複数の棒状圧電体を充填材により
外周方向に結合して複合圧電体とし、該複合圧電体を前
記棒の延出方向と交差する方向に切断して形成すること
を解決手段とする。
外周方向に結合して複合圧電体とし、該複合圧電体を前
記棒の延出方向と交差する方向に切断して形成すること
を解決手段とする。
第２発明は、複数の平板状圧電体を充填材により板面方
向に結合して複合圧電体とし、該複合圧電体を板面方向
と交差する方向に切断して形成することを解決手段とす
る。
向に結合して複合圧電体とし、該複合圧電体を板面方向
と交差する方向に切断して形成することを解決手段とす
る。
従って、予め形成された複合圧電体を切断すればよいの
で、圧電板の水平度を維持する作用を持つ。以下、本発
明の詳細な説明する。
で、圧電板の水平度を維持する作用を持つ。以下、本発
明の詳細な説明する。
（第１発明の実施例）
第１図（ａｌ （ｂ）（ｃ）（ｄ）は本発明の複合圧
電板を説明する工程図である。
電板を説明する工程図である。
先ず、ＰＺＴから棒状圧電体１５を焼結により多数形成
する「同図（ａ）」。棒状圧電体１５は断面を例えば正
方形としてその一辺を幅Ｗとする。
する「同図（ａ）」。棒状圧電体１５は断面を例えば正
方形としてその一辺を幅Ｗとする。
次に、多数の棒状圧電体１５を束ねて例えばシリコン４
！１膳液等の充填材液１６中に投入する「同図（ｂ）」
。そして、充填材［１６を固化して各棒状圧電体１５を
外周方向に結合し、複合圧電体１７を形成する「同図（
Ｃ）」。なお、固化した充填材液を充填材１８とする。
！１膳液等の充填材液１６中に投入する「同図（ｂ）」
。そして、充填材［１６を固化して各棒状圧電体１５を
外周方向に結合し、複合圧電体１７を形成する「同図（
Ｃ）」。なお、固化した充填材液を充填材１８とする。
次に、複合圧電体１７を棒状圧電体１５の延出方向と交
差する例えば直交する方向に厚みｔとして順次切断し、
これを複合圧電板１９とする。厚みｔは使用する超音波
周波数に応じて設定され、幅Ｗはｗｔ比を０．３〜０．
７にするように設定される。超音波周波数を例えば４
Ｍ Ｈｚとすると、厚みｔは０．３〜０゜５１１幅Ｗは
０．１〜０．４ｍｍになる。なお、分極は複合圧電体１
７又はび複合圧電板１９の時点で行なわれる。
差する例えば直交する方向に厚みｔとして順次切断し、
これを複合圧電板１９とする。厚みｔは使用する超音波
周波数に応じて設定され、幅Ｗはｗｔ比を０．３〜０．
７にするように設定される。超音波周波数を例えば４
Ｍ Ｈｚとすると、厚みｔは０．３〜０゜５１１幅Ｗは
０．１〜０．４ｍｍになる。なお、分極は複合圧電体１
７又はび複合圧電板１９の時点で行なわれる。
従って、このような製造方法では、超音波周波数に基づ
き、棒状圧電体１５の幅Ｗを決定して複合圧電体１７を
形成することによや、容易に複合圧電板１９を形成する
ことができる。そして、複合圧電板１９は所定の厚みで
複合圧電体１７を切断すればよいので、水平度を損なう
ことがなく振動特性を維持する。
き、棒状圧電体１５の幅Ｗを決定して複合圧電体１７を
形成することによや、容易に複合圧電板１９を形成する
ことができる。そして、複合圧電板１９は所定の厚みで
複合圧電体１７を切断すればよいので、水平度を損なう
ことがなく振動特性を維持する。
（第２発明の実施例）
第２図（ａ）乃至（ｄ）は本発明の第２発明の詳細な説
明する工程図である。
明する工程図である。
すなわち、この実施例では前述の棒状圧電体１５を平板
状圧電体２０とする。平板状圧電体２０は幅をＷとし、
長ざを１として幅Ｗより充分太きくする「同図（ａ）」
。次に、複数の平板状圧電体２０の板面を対向して前述
の充填材液１６中に投入する「同図（ｂ）」。そして、
充填材１８により各平板状圧電体２０を対面方向に結合
し、複合圧電体２１を形成する「（同図（Ｃ）」。次に
、複合圧電体２１を平板状圧電体２０の対面方向と交差
する例えば直交する面方向に厚みｔとして順次切断し、
これを複合圧電板２２とする「同図（ｄ）」。厚みｔは
前述同様に超音波周波数に応じて設定され、幅Ｗはｗｔ
比を０．３〜０．７にするように設定される。
状圧電体２０とする。平板状圧電体２０は幅をＷとし、
長ざを１として幅Ｗより充分太きくする「同図（ａ）」
。次に、複数の平板状圧電体２０の板面を対向して前述
の充填材液１６中に投入する「同図（ｂ）」。そして、
充填材１８により各平板状圧電体２０を対面方向に結合
し、複合圧電体２１を形成する「（同図（Ｃ）」。次に
、複合圧電体２１を平板状圧電体２０の対面方向と交差
する例えば直交する面方向に厚みｔとして順次切断し、
これを複合圧電板２２とする「同図（ｄ）」。厚みｔは
前述同様に超音波周波数に応じて設定され、幅Ｗはｗｔ
比を０．３〜０．７にするように設定される。
従って、この実施例でも前述同様に、超音波周波数に基
づき、平板状圧電体２０の４ｔ１ｗを決定して複合圧電
体２１を形成することによゆ、容易に複合圧電板２２を
形成することができる。なお、平板状圧電体２０の長さ
ｌは厚みｔに対して充分大きいので周波数的に無視でき
る。そして、複合圧電体２１を所定の厚みｔで切断すれ
ばよいので、水平度を損なうことがなく振動特性を維持
する。
づき、平板状圧電体２０の４ｔ１ｗを決定して複合圧電
体２１を形成することによゆ、容易に複合圧電板２２を
形成することができる。なお、平板状圧電体２０の長さ
ｌは厚みｔに対して充分大きいので周波数的に無視でき
る。そして、複合圧電体２１を所定の厚みｔで切断すれ
ばよいので、水平度を損なうことがなく振動特性を維持
する。
（他の事項）
なお、上記第１実施例では棒状圧電体としてその断面は
正方形としたが、例えば細線状でもまた断面が円、三角
、長方形等としてもよくその断面形状には制限を受けな
い。また、第２実施例では複合圧電体２１を板面と直交
方向に切断して複合圧電板２２を形成したが、例えばそ
の後、長さ１方向を再分割したとしてもこれを排除する
ものではない。また、各実施例ともに棒状及び平板状圧
電体の延出方向に直交方向に切断したが、その用途に応
じて斜交して切断してもよい。要は、本発明は圧電体の
断面形状に拘らず圧電体を束ねて結合した後、断面方向
に切断して複合圧電板を形成したものは本件技術的範囲
内にあり、その趣旨を逸脱しない範囲内で適宜自在に変
更可能である。
正方形としたが、例えば細線状でもまた断面が円、三角
、長方形等としてもよくその断面形状には制限を受けな
い。また、第２実施例では複合圧電体２１を板面と直交
方向に切断して複合圧電板２２を形成したが、例えばそ
の後、長さ１方向を再分割したとしてもこれを排除する
ものではない。また、各実施例ともに棒状及び平板状圧
電体の延出方向に直交方向に切断したが、その用途に応
じて斜交して切断してもよい。要は、本発明は圧電体の
断面形状に拘らず圧電体を束ねて結合した後、断面方向
に切断して複合圧電板を形成したものは本件技術的範囲
内にあり、その趣旨を逸脱しない範囲内で適宜自在に変
更可能である。
（発明の効果）
本発明の第１発明は、複数の棒状圧電体を充填材により
外周方向に結合して複合圧電体とし、該複合圧電体を前
記環の延出方向と交差する方向に切断して、第２発明は
、複数の平板状圧電体を充填材によ咋板面方向に結合し
て複合圧電体とし、該複合圧電体を板面方向と交差する
方向に切断して形成するので、作業性に優れて振動特性
の良好な複合圧電板の製造方法を提供できて実用的価値
は高い。
外周方向に結合して複合圧電体とし、該複合圧電体を前
記環の延出方向と交差する方向に切断して、第２発明は
、複数の平板状圧電体を充填材によ咋板面方向に結合し
て複合圧電体とし、該複合圧電体を板面方向と交差する
方向に切断して形成するので、作業性に優れて振動特性
の良好な複合圧電板の製造方法を提供できて実用的価値
は高い。
第１図（７１）乃至（ｄ）は本発明の複合圧電板の製造
方法の一実施例を説明する工程図、第２図（ａ）乃至（
ｄ）は本発明の他の実施例を説明する工程図である。 第３図（ａ）（ｂ）は従来例を説明する超音波探触子の
製造工程の断面図、第４図（ａ）（ｂ）は複合圧電板の
製造工程を示す平面図、第５図は超音波探触子の従来例
の断面図、第６図は従来の複合圧電板の断面図である。 １・・・バッキング材、２・・・電極、３．１９．２２
・・・複合圧電板、４・・・圧電片、５．６・・・リー
ド線、７・・・圧電板、８・・・微小圧電片、９・・・
分割溝、１０・・・充填材、１１・・・圧電エレメント
、１２・・・基台、１５・・・棒状圧電体、１６・・・
充填材液、１７．２１・・・複合圧電体、１８・・・充
填材、２０・・・平板状圧電第１図 第２図 図 面 ｓ６図
方法の一実施例を説明する工程図、第２図（ａ）乃至（
ｄ）は本発明の他の実施例を説明する工程図である。 第３図（ａ）（ｂ）は従来例を説明する超音波探触子の
製造工程の断面図、第４図（ａ）（ｂ）は複合圧電板の
製造工程を示す平面図、第５図は超音波探触子の従来例
の断面図、第６図は従来の複合圧電板の断面図である。 １・・・バッキング材、２・・・電極、３．１９．２２
・・・複合圧電板、４・・・圧電片、５．６・・・リー
ド線、７・・・圧電板、８・・・微小圧電片、９・・・
分割溝、１０・・・充填材、１１・・・圧電エレメント
、１２・・・基台、１５・・・棒状圧電体、１６・・・
充填材液、１７．２１・・・複合圧電体、１８・・・充
填材、２０・・・平板状圧電第１図 第２図 図 面 ｓ６図
Claims (2)
- （１）複数の棒状圧電体を充填材により外周方向に結合
して複合圧電体とし、該複合圧電体を前記棒の延出方向
と交差する方向に切断して形成したことを特徴とする複
合圧電板。 - （２）複数の平板状圧電体を充填材により板面の対面方
向に結合して複合圧電体とし、該複合圧電体を対面方向
と交差する面方向に切断して形成することを特徴とする
複合圧電板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62326553A JPH01166699A (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 | 複合圧電板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62326553A JPH01166699A (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 | 複合圧電板の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01166699A true JPH01166699A (ja) | 1989-06-30 |
Family
ID=18189113
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62326553A Pending JPH01166699A (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 | 複合圧電板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01166699A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08275285A (ja) * | 1995-03-30 | 1996-10-18 | Nec Corp | 複合型振動子及びアレイ |
| EP0906791A2 (de) * | 1997-10-04 | 1999-04-07 | STN ATLAS Elektronik GmbH | Verfahren zur Herstellung eines Verbund-Ultraschallwandlers |
| JP2003516620A (ja) * | 1999-11-10 | 2003-05-13 | フラウンホーファ−ゲゼルシャフト ツァー フォルデルング デア アンゲバンデン フォルシュンク エー． ファオ． | 圧電トランスデューサの製造方法 |
| KR200458230Y1 (ko) * | 2011-06-21 | 2012-01-30 | 조성식 | 승강 작업대 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6153900A (ja) * | 1984-08-24 | 1986-03-17 | Hitachi Ltd | 超音波探触子 |
| JPS61195000A (ja) * | 1985-02-23 | 1986-08-29 | Toshiba Corp | 複合圧電体の製造方法 |
-
1987
- 1987-12-22 JP JP62326553A patent/JPH01166699A/ja active Pending
Patent Citations (2)
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| JPS6153900A (ja) * | 1984-08-24 | 1986-03-17 | Hitachi Ltd | 超音波探触子 |
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| EP0906791A3 (de) * | 1997-10-04 | 2001-07-18 | STN ATLAS Elektronik GmbH | Verfahren zur Herstellung eines Verbund-Ultraschallwandlers |
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| JP4896331B2 (ja) * | 1999-11-10 | 2012-03-14 | フラウンホーファ−ゲゼルシャフト ツァー フォルデルング デア アンゲバンデン フォルシュンク エー． ファオ． | 圧電トランスデューサの製造方法 |
| KR200458230Y1 (ko) * | 2011-06-21 | 2012-01-30 | 조성식 | 승강 작업대 |
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