JPS6222634A - 超音波探触子 - Google Patents
超音波探触子Info
- Publication number
- JPS6222634A JPS6222634A JP16240485A JP16240485A JPS6222634A JP S6222634 A JPS6222634 A JP S6222634A JP 16240485 A JP16240485 A JP 16240485A JP 16240485 A JP16240485 A JP 16240485A JP S6222634 A JPS6222634 A JP S6222634A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric material
- composite piezoelectric
- piezoelectric ceramic
- electrodes
- composite
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/24—Probes
- G01N29/2437—Piezoelectric probes
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、医用超音波診断装置に用いる超音波探触子に
関するものである。
関するものである。
従来の技術
最近、医用超音波診断装置などの分野において複合圧電
材料を使用した超音波探触子が盛んに利用されるように
なってきた。
材料を使用した超音波探触子が盛んに利用されるように
なってきた。
従来、この複合圧電材料を使用した超音波探触子として
は、例えば、Ａ、Ａ、５ｈａｕｌｏｖ ｅｔ、 ａ＋、
著の論文プロシーディングズオブザアイ イーイーイー
ウルトラソニックスシンポジウム（Ｐｒｏｃ。
は、例えば、Ａ、Ａ、５ｈａｕｌｏｖ ｅｔ、 ａ＋、
著の論文プロシーディングズオブザアイ イーイーイー
ウルトラソニックスシンポジウム（Ｐｒｏｃ。
ＩＥＥＥ ＴＪＴ、ＴＲＡＳＯＮＩＣ８ＳＹＭＰＯ８Ｉ
ＵＭ ） １９８４に記載されている構成が知られてい
る。
ＵＭ ） １９８４に記載されている構成が知られてい
る。
以下、第４図及び第５図を参照して従来の複合圧電材料
を使用したアレイ型超音波探触子について説明する。
を使用したアレイ型超音波探触子について説明する。
第４図は要部を示す斜視図、第５図はそのリード線を取
り出す部分の一部拡大断面図である。第４図及び第５図
において、１０１は複合圧電材料で、３ヘ−ノ 一次元方向に延伸する圧電セラミック１０２と圧電セラ
ミック１０２を囲み三次元方向に延伸する有機高分子材
料１０３より構成されている。この複合圧電材料１０１
の一方の面に複数個の電極１０４がマスクなどを介して
蒸着によって設けられ、複合圧電材料１０１の反対側の
面に共通電極１０５が蒸着によって設けられ、共通電極
１０５側（音波放射側）屹音波を能率よく被検体に導く
ために、エポキシ樹脂などの音響整合層１０６が接着に
より設けられている。各電極１０４からはワイヤボンデ
ィングなどによってリード線１０８が取り出され、電気
端子（図示せず）に接続されている。
り出す部分の一部拡大断面図である。第４図及び第５図
において、１０１は複合圧電材料で、３ヘ−ノ 一次元方向に延伸する圧電セラミック１０２と圧電セラ
ミック１０２を囲み三次元方向に延伸する有機高分子材
料１０３より構成されている。この複合圧電材料１０１
の一方の面に複数個の電極１０４がマスクなどを介して
蒸着によって設けられ、複合圧電材料１０１の反対側の
面に共通電極１０５が蒸着によって設けられ、共通電極
１０５側（音波放射側）屹音波を能率よく被検体に導く
ために、エポキシ樹脂などの音響整合層１０６が接着に
より設けられている。各電極１０４からはワイヤボンデ
ィングなどによってリード線１０８が取り出され、電気
端子（図示せず）に接続されている。
而して複合圧電材料１０１の両側の電極１０４，１０５
に外部から制御された電気信号を印加することによって
、超音波を音響整合層１０６側から放射することができ
る。
に外部から制御された電気信号を印加することによって
、超音波を音響整合層１０６側から放射することができ
る。
ここで上記複合圧電材料１０１における圧電セラミック
１０２にはＰＺＴ系のものが用いられ、有機高分子材料
１０３にはエポキシ樹脂などが用いられ、このような複
合圧電材料１０１は電気機械結合係数において圧電セラ
ミック１０２の電気機械結合係数のＲ３３とほぼ同じ値
の特性を得ることができる吉共に、音響インピーダンス
においても圧電セラミック単体（ＰＺＴ系の場合、２０
〜３５ Ｘ １０５ 、鮫軸２．Ｓ）の場合に比べ小さ
くすることができる。例えば、体積比で圧電セラミック
１０２が２５チ、エポキシ樹脂の有機高分子材料１０３
が７５チの場合、約８×１０５、ｊｉｌ／ｃｍ２．ｓと
なるため、水あるいは人体のような被検体（音響インピ
ーダンス１．５〜１．８ Ｘ １．ＣＪ５ｊ；！／ム２
．Ｓ）との整合が圧電セラミック単体の場合に比べてか
なり良くなり、音響整合層１０６が一層のみで良く、送
受信の効率（感度）の向上させることができる。
１０２にはＰＺＴ系のものが用いられ、有機高分子材料
１０３にはエポキシ樹脂などが用いられ、このような複
合圧電材料１０１は電気機械結合係数において圧電セラ
ミック１０２の電気機械結合係数のＲ３３とほぼ同じ値
の特性を得ることができる吉共に、音響インピーダンス
においても圧電セラミック単体（ＰＺＴ系の場合、２０
〜３５ Ｘ １０５ 、鮫軸２．Ｓ）の場合に比べ小さ
くすることができる。例えば、体積比で圧電セラミック
１０２が２５チ、エポキシ樹脂の有機高分子材料１０３
が７５チの場合、約８×１０５、ｊｉｌ／ｃｍ２．ｓと
なるため、水あるいは人体のような被検体（音響インピ
ーダンス１．５〜１．８ Ｘ １．ＣＪ５ｊ；！／ム２
．Ｓ）との整合が圧電セラミック単体の場合に比べてか
なり良くなり、音響整合層１０６が一層のみで良く、送
受信の効率（感度）の向上させることができる。
また圧電セラミック１０２は一次元方向のみであるため
、音波の他の素子へのリーク（音響的なりロストーク）
が少ない。従って方位分解能が良いという特徴を有して
いる。
、音波の他の素子へのリーク（音響的なりロストーク）
が少ない。従って方位分解能が良いという特徴を有して
いる。
以上のようなことから、一層の音響整合層１０６付の複
合圧電材料１０１を使用した超音波探触子の有用性が明
らかになっている。
合圧電材料１０１を使用した超音波探触子の有用性が明
らかになっている。
発明が解決しようとする問題点
５ヘーゾ
しかしながら、上記従来の構成のように複合圧電材料１
０１の一方の面に、マスキングなどによってアレイ状に
電極１０４を構成した後に、リード線を取り出すと、半
導体製造技術を利用することによってアレイ状に電極１
０４を精度良く形成することができるという長所はある
が、電極１０４の形成後にワイヤボンディングなどでリ
ード線１０８を取り出すことが実際かなり困難となる。
０１の一方の面に、マスキングなどによってアレイ状に
電極１０４を構成した後に、リード線を取り出すと、半
導体製造技術を利用することによってアレイ状に電極１
０４を精度良く形成することができるという長所はある
が、電極１０４の形成後にワイヤボンディングなどでリ
ード線１０８を取り出すことが実際かなり困難となる。
すなわち、複合圧電材料１０１は上記のように圧電セラ
ミック１０２とエポキシ樹脂の有機高分子材料１０３で
構成されており、この部分を拡大すると、第４図に示す
ようになっている。これから明らかなように圧電セラミ
ック１０２、有機高分子材料１０３の硬さ及び熱膨張係
数の差などから有機高分子材料１０３が平坦ではなく、
凹凸になるものであり、これを防止することは難しい。
ミック１０２とエポキシ樹脂の有機高分子材料１０３で
構成されており、この部分を拡大すると、第４図に示す
ようになっている。これから明らかなように圧電セラミ
ック１０２、有機高分子材料１０３の硬さ及び熱膨張係
数の差などから有機高分子材料１０３が平坦ではなく、
凹凸になるものであり、これを防止することは難しい。
このような凹凸面に蒸着などで１ミクロン前後の厚みの
電極１０４を形成すると、この電極１０４は複合圧電材
料１０１の凹凸面に沿って凹凸面に形成される。このよ
うに平坦でない凹凸面に均一に強くワイヤボンディング
してす６ ／、’ 一ド線１０８を取り出すことは至難である。特に、有機
高分子材料１０３位置でのワイヤボンディングは困難で
あるため、圧電セラミック１０２位置でワイヤボンディ
ングしてリード線１０８を取り出さなければならない。
電極１０４を形成すると、この電極１０４は複合圧電材
料１０１の凹凸面に沿って凹凸面に形成される。このよ
うに平坦でない凹凸面に均一に強くワイヤボンディング
してす６ ／、’ 一ド線１０８を取り出すことは至難である。特に、有機
高分子材料１０３位置でのワイヤボンディングは困難で
あるため、圧電セラミック１０２位置でワイヤボンディ
ングしてリード線１０８を取り出さなければならない。
しかしながら、高い周波数になると、圧電セラミック１
０２の形状は７０ ミクロン以下になり、殆んどワイヤ
ボンディングは不可能となってくる。従って複数個に配
列した電極１０４にワイヤボンディングによりリード線
１０８を取り出すと、強度的に弱いため、信頼性に欠け
、更には、高い周波数ではリード線１０８を取り出すの
が困難であるなどの問題点を有している。
０２の形状は７０ ミクロン以下になり、殆んどワイヤ
ボンディングは不可能となってくる。従って複数個に配
列した電極１０４にワイヤボンディングによりリード線
１０８を取り出すと、強度的に弱いため、信頼性に欠け
、更には、高い周波数ではリード線１０８を取り出すの
が困難であるなどの問題点を有している。
そこで、本発明は、従来技術の以上のような問題を解決
するもので、電気端子（リード線）の取り出しを容易に
行なうことができ、また信頼性を向上させることができ
るようにした超音波探触子を提供しようとするものであ
る。
するもので、電気端子（リード線）の取り出しを容易に
行なうことができ、また信頼性を向上させることができ
るようにした超音波探触子を提供しようとするものであ
る。
問題点を解決するための手段
そして上記問題点を解決するための本発明の技術的な手
段は、圧電セラミック及び有機高分子材７ ・、 ７ 料よりなり、圧電セラミックに電気端子取出し用部分が
設けられた複合圧電材料と、この複合圧電材料の一方の
面にアレイ状に設けられた電極と、上記複合圧電材料の
他方の面に設けられた共通電極と、上記複合圧電材料に
おける電気端子取出し用部分に相当する個所で上記アレ
イ状の電極より取出された電気端子を備えたものである
。
段は、圧電セラミック及び有機高分子材７ ・、 ７ 料よりなり、圧電セラミックに電気端子取出し用部分が
設けられた複合圧電材料と、この複合圧電材料の一方の
面にアレイ状に設けられた電極と、上記複合圧電材料の
他方の面に設けられた共通電極と、上記複合圧電材料に
おける電気端子取出し用部分に相当する個所で上記アレ
イ状の電極より取出された電気端子を備えたものである
。
作 用
本発明は、上記の構成により、電気端子を圧電セラミッ
ク上でアレイ状の電極より容易に取り出すことができ、
強度的にも強くすることができる。
ク上でアレイ状の電極より容易に取り出すことができ、
強度的にも強くすることができる。
実施例
以下、本発明の実施例について、図面を参照しながら詳
細に説明する。第１図は本発明の一実施例における超音
波探触子の一部斜視図、第２図はその断面図、第３図は
複合圧電材料の一部斜視図である。
細に説明する。第１図は本発明の一実施例における超音
波探触子の一部斜視図、第２図はその断面図、第３図は
複合圧電材料の一部斜視図である。
第３図に示すように複合圧電材料１は一次元方向に延伸
するＰＺＴ系の圧電セラミック２と、この圧電セラミッ
クと隣接し三次元方向に延伸するエポキシ樹脂などの有
機高分子材料３より構成される。圧電セラミック２は電
気端子取り出し用部分４を残してダイシングマシーンな
どにより格子状に分割溝５が形成されて分割され、電気
端子取り出し用部分４も後述するアレイ状の電極４と同
じ間隔となるように分割溝６により分割されている。
するＰＺＴ系の圧電セラミック２と、この圧電セラミッ
クと隣接し三次元方向に延伸するエポキシ樹脂などの有
機高分子材料３より構成される。圧電セラミック２は電
気端子取り出し用部分４を残してダイシングマシーンな
どにより格子状に分割溝５が形成されて分割され、電気
端子取り出し用部分４も後述するアレイ状の電極４と同
じ間隔となるように分割溝６により分割されている。
各分割溝５．６には有機高分子材料３が充填されて硬化
されている。この時、有機高分子材料３は気泡を少なく
均一に充填させるため、真空によりて脱泡すると良い。
されている。この時、有機高分子材料３は気泡を少なく
均一に充填させるため、真空によりて脱泡すると良い。
これら圧電セラミック２及び有機高分子材料３が研摩な
どにより希望する周波数の厚みに加工されて複合圧電材
料１が構成されている。従って電気端子取り出し用部分
４は、殆んど圧電セラミックにより形成されているので
、複合圧電材料としての機能は有しない。第１図及び第
２図に示すように複合圧電材料１の一方の面には、分割
溝６の間隔でマスクなどを介して複数個のアレイ状電極
７が蒸着などによって設けられ、 １他方の面
には、電気端子取り出し用部分４を除いて蒸着などによ
り共通電極８が設けられている。
どにより希望する周波数の厚みに加工されて複合圧電材
料１が構成されている。従って電気端子取り出し用部分
４は、殆んど圧電セラミックにより形成されているので
、複合圧電材料としての機能は有しない。第１図及び第
２図に示すように複合圧電材料１の一方の面には、分割
溝６の間隔でマスクなどを介して複数個のアレイ状電極
７が蒸着などによって設けられ、 １他方の面
には、電気端子取り出し用部分４を除いて蒸着などによ
り共通電極８が設けられている。
９ ヘーゾ
共通電極８の外面には４分の１波長の厚みのエポキシ樹
脂などよりなる音響整合層９が接着、あるいは流し込み
によって設けられている。更に必要に応じて音響整合層
９の外面に超音波を集束するため、シリコーンゴムなど
の音響レンズ１０が接着、あるいは流し込みによって設
けられている。
脂などよりなる音響整合層９が接着、あるいは流し込み
によって設けられている。更に必要に応じて音響整合層
９の外面に超音波を集束するため、シリコーンゴムなど
の音響レンズ１０が接着、あるいは流し込みによって設
けられている。
複数個のアレイ状に配列された各電極７には電気端子取
り出し用部分４に相当する個所からワイヤボンディング
などにより電気端子１１が取り出されている。
り出し用部分４に相当する個所からワイヤボンディング
などにより電気端子１１が取り出されている。
このように複合圧電材料１の製作時に電気端子取り出し
用部分４を殆んど圧電セラミック２により構成している
ので、ワイヤボンディングなどによる電気端子１１の取
り出しを容易に、且つ強度的に強く行なうことができる
。従って信頼性の高い取り出しを行なうことができる。
用部分４を殆んど圧電セラミック２により構成している
ので、ワイヤボンディングなどによる電気端子１１の取
り出しを容易に、且つ強度的に強く行なうことができる
。従って信頼性の高い取り出しを行なうことができる。
また複合圧電材料１におけるアレイ状の電極７の反対側
には電気端子取り出し用部分４に相当する個所に共通電
極８を設けていないので、この部分は振動しないように
なっている。従って電気端子取り出し用部分１０１・−
ン゛ ４以外の複合圧電材料１のみが振動するので、希望する
超音波ビームを得ることができる。しかも圧電セラミッ
ク２の電気端子取り出し用部分４は複数個に配列された
アレイ状の電極７と同じ間隔で分割しているので、隣接
する素子への音響的なりロスト−りも小さくすることが
でき、方位分解能の高い超音波探触子を得ることができ
る。
には電気端子取り出し用部分４に相当する個所に共通電
極８を設けていないので、この部分は振動しないように
なっている。従って電気端子取り出し用部分１０１・−
ン゛ ４以外の複合圧電材料１のみが振動するので、希望する
超音波ビームを得ることができる。しかも圧電セラミッ
ク２の電気端子取り出し用部分４は複数個に配列された
アレイ状の電極７と同じ間隔で分割しているので、隣接
する素子への音響的なりロスト−りも小さくすることが
でき、方位分解能の高い超音波探触子を得ることができ
る。
なお、上記実施例においては、圧電セラミック２の電気
端子取り出し用部分４をアレイ状の電極７と同じ間隔で
分割した後、マスクなどζこよりアレイ状の電極７を蒸
着する場合について説明したが、この他、電気端子取り
出し用部分４を設けた複合圧電材料１の一方の全面にア
レイ状の電極７を構成するための電極を設け、他方の面
に共通電極８を設け、更に共通電極８面上に音響整合層
９、を設けた後、ダイシングマシーンなどで電極及び複
合圧電材料１をアレイ状に分割してアレイ状の電極７を
構成し、その後、電気端子１１をワイヤボンディングな
どで取り出すようにしても良い。
端子取り出し用部分４をアレイ状の電極７と同じ間隔で
分割した後、マスクなどζこよりアレイ状の電極７を蒸
着する場合について説明したが、この他、電気端子取り
出し用部分４を設けた複合圧電材料１の一方の全面にア
レイ状の電極７を構成するための電極を設け、他方の面
に共通電極８を設け、更に共通電極８面上に音響整合層
９、を設けた後、ダイシングマシーンなどで電極及び複
合圧電材料１をアレイ状に分割してアレイ状の電極７を
構成し、その後、電気端子１１をワイヤボンディングな
どで取り出すようにしても良い。
またこの他、電気端子取り出し用部分４を設けた１１ハ
・−−７ 複合圧電材料１の一方の全面にアレイ状の電極７を構成
するための電極を設け、他方の面に共通電極８を設け、
共通電極８面上に音響整合層９を設け、板状の電気端子
】１を半田付け、あるいは導電性接着剤などにより複合
圧電材料１の電気端子取り出し用部分４に相当する個所
で電極上に設けた後、電気端子、電極及び複合圧電材料
１をアレイ状に分割して電気端子１１を取り出すように
しても良い。
・−−７ 複合圧電材料１の一方の全面にアレイ状の電極７を構成
するための電極を設け、他方の面に共通電極８を設け、
共通電極８面上に音響整合層９を設け、板状の電気端子
】１を半田付け、あるいは導電性接着剤などにより複合
圧電材料１の電気端子取り出し用部分４に相当する個所
で電極上に設けた後、電気端子、電極及び複合圧電材料
１をアレイ状に分割して電気端子１１を取り出すように
しても良い。
また上記実施例においては、直線上に配列した、所謂ア
レイ型超音波探触子に適用した場合について説明したが
、本発明は、この他、二次元配列型超音波探触子や弧状
配列型超音波探触子等、種々の形式の超音波探触子に適
用することができることは明らかである。
レイ型超音波探触子に適用した場合について説明したが
、本発明は、この他、二次元配列型超音波探触子や弧状
配列型超音波探触子等、種々の形式の超音波探触子に適
用することができることは明らかである。
発明の効果
以上の説明より明らかなように本発明によれば、複合圧
電材料の圧電セラミックに電気端子取り出し用部分を設
け、この複合圧電材料の一方の面にアレイ状の電極を設
け、他方の面に共通電極を設け、電気端子取り出し用部
分に相当する個所でアレイ状の電極より電気端子を取り
出している。従って高い周波数になることによって複合
圧電材料の圧電セラミックが小さくなった場合、またア
レイ状の電極の間隔が狭くなった場合においても容易に
電気端子を取り出すことができる。また電気端子を取り
出した部分は強度的に強いため、信頼性を向上させるこ
とができる。
電材料の圧電セラミックに電気端子取り出し用部分を設
け、この複合圧電材料の一方の面にアレイ状の電極を設
け、他方の面に共通電極を設け、電気端子取り出し用部
分に相当する個所でアレイ状の電極より電気端子を取り
出している。従って高い周波数になることによって複合
圧電材料の圧電セラミックが小さくなった場合、またア
レイ状の電極の間隔が狭くなった場合においても容易に
電気端子を取り出すことができる。また電気端子を取り
出した部分は強度的に強いため、信頼性を向上させるこ
とができる。
第１図乃至第３図は本発明の一実施例における超音波探
触子を示し、第１図は超音波探触子の一部斜視図、第２
図は第１図の断面図、第３図は複合圧電材料の一部斜視
図、第４図は従来の超音波探触子の一部斜視図、第５図
はその要部の拡大断面図である。 １・・・複合圧電材料、２・・・圧電セラミック、３・
・・有機高分子材料、４・・・電気端子取り出し用部分
、７・・・電極、８・・・共通電極、１１・・・電気端
子。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 はか１名第３
図 第４図 第５図
触子を示し、第１図は超音波探触子の一部斜視図、第２
図は第１図の断面図、第３図は複合圧電材料の一部斜視
図、第４図は従来の超音波探触子の一部斜視図、第５図
はその要部の拡大断面図である。 １・・・複合圧電材料、２・・・圧電セラミック、３・
・・有機高分子材料、４・・・電気端子取り出し用部分
、７・・・電極、８・・・共通電極、１１・・・電気端
子。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 はか１名第３
図 第４図 第５図
Claims (3)
- （１）圧電セラミック及び有機高分子材料よりなり、圧
電セラミックに電気端子取出し用部分が設けられた複合
圧電材料と、この複合圧電材料の一方の面にアレイ状に
設けられた電極と、上記複合圧電材料の他方の面に設け
られた共通電極と、上記複合圧電材料における電気端子
取出し用部分に相当する個所で上記アレイ状の電極より
取出された電気端子を備えていることを特徴とする超音
波探触子。 - （２）電気端子取出し用部分の圧電セラミックがアレイ
状の電極と同じ間隔で分割され、分割溝に有機高分子材
料が充填されている特許請求の範囲第１項記載の超音波
探触子。 - （３）共通電極が複合圧電材料における電気端子取出し
用部分を除いた部分に設けられている特許請求の範囲第
１項記載の超音波探触子。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16240485A JPS6222634A (ja) | 1985-07-23 | 1985-07-23 | 超音波探触子 |
| EP86303833A EP0210723B1 (en) | 1985-05-20 | 1986-05-20 | Ultrasonic probe |
| DE3650004T DE3650004T2 (de) | 1985-05-20 | 1986-05-20 | Ultraschallsonde. |
| DE8686303833T DE3678635D1 (de) | 1985-05-20 | 1986-05-20 | Ultraschallwandler. |
| EP90104329A EP0379229B1 (en) | 1985-05-20 | 1986-05-20 | Ultrasonic probe |
| US07/455,797 US5030874A (en) | 1985-05-20 | 1989-12-28 | Ultrasonic probe |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16240485A JPS6222634A (ja) | 1985-07-23 | 1985-07-23 | 超音波探触子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6222634A true JPS6222634A (ja) | 1987-01-30 |
Family
ID=15753960
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16240485A Pending JPS6222634A (ja) | 1985-05-20 | 1985-07-23 | 超音波探触子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6222634A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0346345U (ja) * | 1989-09-11 | 1991-04-30 | ||
| US7148607B2 (en) * | 2002-07-19 | 2006-12-12 | Aloka Co., Ltd. | Ultrasonic probe and manufacturing method thereof |
| WO2010044382A1 (ja) | 2008-10-14 | 2010-04-22 | オリンパスメディカルシステムズ株式会社 | 超音波プローブ |
| US11679202B2 (en) | 2018-06-21 | 2023-06-20 | Kabushiki Kaisha Shofu | Injector capable of suppressing subsequent dripping of fluid |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5822046A (ja) * | 1981-08-03 | 1983-02-09 | 株式会社日立メディコ | 超音波探触子 |
-
1985
- 1985-07-23 JP JP16240485A patent/JPS6222634A/ja active Pending
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