JPS62209746A - ニツケルスタンパの製造方法 - Google Patents
ニツケルスタンパの製造方法Info
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- JPS62209746A JPS62209746A JP5164686A JP5164686A JPS62209746A JP S62209746 A JPS62209746 A JP S62209746A JP 5164686 A JP5164686 A JP 5164686A JP 5164686 A JP5164686 A JP 5164686A JP S62209746 A JPS62209746 A JP S62209746A
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Landscapes
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ＣＤ用スタンパ等に係わる、ニッケルスタン
パの製造方法に関する。
パの製造方法に関する。
本発明は、ＣＤ用スタンパ等に係わるニッケルスタンパ
の製造方法において、電鋳作業時における通電治具跡を
、紫外線硬化せしめることによりシールし・電鋳層とガ
ラス原板面、さらにはスパッタ面を密着させることによ
り、ガラス原板つきのままで裏面研磨をし、研磨時にお
ける研磨剤の浸入および浸水を防ぎ、さらには、記録部
のスレを防止したものである。
の製造方法において、電鋳作業時における通電治具跡を
、紫外線硬化せしめることによりシールし・電鋳層とガ
ラス原板面、さらにはスパッタ面を密着させることによ
り、ガラス原板つきのままで裏面研磨をし、研磨時にお
ける研磨剤の浸入および浸水を防ぎ、さらには、記録部
のスレを防止したものである。
従来のニッケルスタンパの製造方法は、公知のごとくガ
ラス原板に、フォトレジストをコートし、レーザー光に
より記録を行ない、現像の後、導電化処理を施こし・さ
らにニッケル電鋳をし、裏面研磨を行ない・洗浄後、内
外径加工をし、スタンパとする製造方法であった〇 裏面研磨の方法は・ ■ ガラス原板つきのままでの研磨 ■ スタンパ単体での研磨 ０２通りがあるが、ガラス原板つきのままでの研磨では
、研磨時において研磨剤及び水洗水のしみ込みがあり、
一方のスタンパ単体での研磨では、スタンパの貼りつけ
技術が高度なものが要求されスタンパの厚み管理が難か
しいものであった。
ラス原板に、フォトレジストをコートし、レーザー光に
より記録を行ない、現像の後、導電化処理を施こし・さ
らにニッケル電鋳をし、裏面研磨を行ない・洗浄後、内
外径加工をし、スタンパとする製造方法であった〇 裏面研磨の方法は・ ■ ガラス原板つきのままでの研磨 ■ スタンパ単体での研磨 ０２通りがあるが、ガラス原板つきのままでの研磨では
、研磨時において研磨剤及び水洗水のしみ込みがあり、
一方のスタンパ単体での研磨では、スタンパの貼りつけ
技術が高度なものが要求されスタンパの厚み管理が難か
しいものであった。
しかし、前述の従来技術では、ガラス原板つきのままで
の研磨方法は、研磨時において研磨剤及び水焼水のしみ
込みがあり、しみ込みが激しい場合には、記録面との共
ズレを生じるため、あるいは研磨剤による記録面の浸蝕
を起こし、またはレジストコートの変質忙よる洗浄不足
を起こすことにより、スタンパの品質低下を引き起こし
、一方のスタンパ単体での研磨方法では、スタンパ貼り
つけ技術において高度な技術を要求され、かつ、スタン
パのうねり等を引き起こすために厚みの管理が難かしく
、熟練を要するという問題点を有するＯ そこで本発明は、このような問題点を解決するもので、
その目的とするところは、高い貼りつけ技術を必要とせ
ず、ガラス原板つきのまま研磨でき、しかも電鋳におけ
る厚みバラツキもカバーできるものであり、厚みの均一
性の良い高品質のニッケルスタンパを提供するところに
ある。
の研磨方法は、研磨時において研磨剤及び水焼水のしみ
込みがあり、しみ込みが激しい場合には、記録面との共
ズレを生じるため、あるいは研磨剤による記録面の浸蝕
を起こし、またはレジストコートの変質忙よる洗浄不足
を起こすことにより、スタンパの品質低下を引き起こし
、一方のスタンパ単体での研磨方法では、スタンパ貼り
つけ技術において高度な技術を要求され、かつ、スタン
パのうねり等を引き起こすために厚みの管理が難かしく
、熟練を要するという問題点を有するＯ そこで本発明は、このような問題点を解決するもので、
その目的とするところは、高い貼りつけ技術を必要とせ
ず、ガラス原板つきのまま研磨でき、しかも電鋳におけ
る厚みバラツキもカバーできるものであり、厚みの均一
性の良い高品質のニッケルスタンパを提供するところに
ある。
本発明の上記構成によれば、紫外線硬化タイプの樹脂、
以後ＵＶ樹脂と呼ぶ・を、アルコール等を用いて清浄と
した電鋳面、およびガラス原板面さらには、導電化膜面
、以後スパッタ膜と仮称する、に塗布し、紫外線、以後
Ｕ’Ｖと呼ぶ、を照射せしめ、電鋳面と樹脂、ガラス原
板面と樹脂、スパッタ面と樹脂を、互に密着させること
により橋かけ作用をもって相互が強く固まるために、ガ
ラス原板と電鋳層とのスレを防ぐものである。
以後ＵＶ樹脂と呼ぶ・を、アルコール等を用いて清浄と
した電鋳面、およびガラス原板面さらには、導電化膜面
、以後スパッタ膜と仮称する、に塗布し、紫外線、以後
Ｕ’Ｖと呼ぶ、を照射せしめ、電鋳面と樹脂、ガラス原
板面と樹脂、スパッタ面と樹脂を、互に密着させること
により橋かけ作用をもって相互が強く固まるために、ガ
ラス原板と電鋳層とのスレを防ぐものである。
第１図は１本発明の実施例におけるフローチャート図で
あって、清浄に保たれたガラス原板Ｋ、ＡＺ７＃トレジ
ストを用いてコーティングし、さらに、ソフトベークを
行なった０ベ一ク条件は、８０℃で２０分間である。さ
らにレーザーカッティングマシンによりカッティングの
後、現像を行なった。次にポストベーキングを行ない・
ニッケルスペックを７００Ｘ析出させ、導電化膜とした
＠さらに電鋳装置によりニッケルめっきを、３００μ悟
析出させた０乾燥後、旭化成発売のＵＶ樹脂Ａ７０５・
５Ｂを用いて通電治具の跡の部分をシールした。シール
方法は、電鋳面、ガラス面、スパッタ面を、先ずエチル
アルコールにて洗浄シ、清浄化したのち、ＡｌＯ２・５
Ｂを均一に、塗布した。ＡｌＯ２・５Ｂの塗布厚みは・
２００μ惰〜４００μ情程度とした。次に、ＵＶ照射機
によりＵＶ照射を６分間行ない、ＡｌＯ２・５Ｂを硬化
せしめ、研磨準備完了とした０次に裏面研磨機により研
磨し、スタンパ厚みを、２９０μ包とした。さらに、ガ
ラス原板からスタンパをはがした後、洗浄を行ない、レ
ジストはくりを行なった。
あって、清浄に保たれたガラス原板Ｋ、ＡＺ７＃トレジ
ストを用いてコーティングし、さらに、ソフトベークを
行なった０ベ一ク条件は、８０℃で２０分間である。さ
らにレーザーカッティングマシンによりカッティングの
後、現像を行なった。次にポストベーキングを行ない・
ニッケルスペックを７００Ｘ析出させ、導電化膜とした
＠さらに電鋳装置によりニッケルめっきを、３００μ悟
析出させた０乾燥後、旭化成発売のＵＶ樹脂Ａ７０５・
５Ｂを用いて通電治具の跡の部分をシールした。シール
方法は、電鋳面、ガラス面、スパッタ面を、先ずエチル
アルコールにて洗浄シ、清浄化したのち、ＡｌＯ２・５
Ｂを均一に、塗布した。ＡｌＯ２・５Ｂの塗布厚みは・
２００μ惰〜４００μ情程度とした。次に、ＵＶ照射機
によりＵＶ照射を６分間行ない、ＡｌＯ２・５Ｂを硬化
せしめ、研磨準備完了とした０次に裏面研磨機により研
磨し、スタンパ厚みを、２９０μ包とした。さらに、ガ
ラス原板からスタンパをはがした後、洗浄を行ない、レ
ジストはくりを行なった。
次に内外径加工を行ない、スタンパとして供した。
以上述べたように、発明によれば、スタンパのニッケル
電鋳後の裏面研磨において電鋳時の通電治具跡を、ＵＶ
樹脂によりシールし研磨剤のしみ込みを防ぎ、ガラス原
板つきのままで裏面を研磨することにより、 ■ ガラス原板とスタンパ面との共ズレを防ぐことが出
来る。
電鋳後の裏面研磨において電鋳時の通電治具跡を、ＵＶ
樹脂によりシールし研磨剤のしみ込みを防ぎ、ガラス原
板つきのままで裏面を研磨することにより、 ■ ガラス原板とスタンパ面との共ズレを防ぐことが出
来る。
■ 記録面の浸蝕のない高品質スタンパを得ることが出
来る。
来る。
■ 高度の貼りつけ技術が不要であり、厚みも均一なも
のを得ることが出来る。
のを得ることが出来る。
という効果を有する。
第１図は、本発明のニッケルスタンパ製造方法の実施例
を示すフローチャート図。 第２図は、従来のニッケルスタンパ製造方法のフローチ
ャート図。 以 上 ヌクンバ喫パしフ１−伽斗印 第１１男
を示すフローチャート図。 第２図は、従来のニッケルスタンパ製造方法のフローチ
ャート図。 以 上 ヌクンバ喫パしフ１−伽斗印 第１１男
Claims (1)
- スタンパのニッケル電鋳後の裏面研磨において、電鋳
時の通電治具跡を、紫外線硬化タイプの樹脂によりシー
ルし、研磨剤等のしみ込みを防ぎ、ガラス原板つきのま
まで裏面を、研磨することを特徴とする、ニッケルスタ
ンパの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5164686A JPS62209746A (ja) | 1986-03-10 | 1986-03-10 | ニツケルスタンパの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5164686A JPS62209746A (ja) | 1986-03-10 | 1986-03-10 | ニツケルスタンパの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62209746A true JPS62209746A (ja) | 1987-09-14 |
Family
ID=12892617
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5164686A Pending JPS62209746A (ja) | 1986-03-10 | 1986-03-10 | ニツケルスタンパの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62209746A (ja) |
-
1986
- 1986-03-10 JP JP5164686A patent/JPS62209746A/ja active Pending
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