JPS62205907A - ウエハ−カセツトの収納装置 - Google Patents
ウエハ−カセツトの収納装置Info
- Publication number
- JPS62205907A JPS62205907A JP4730686A JP4730686A JPS62205907A JP S62205907 A JPS62205907 A JP S62205907A JP 4730686 A JP4730686 A JP 4730686A JP 4730686 A JP4730686 A JP 4730686A JP S62205907 A JPS62205907 A JP S62205907A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cassette
- outside
- storage
- storage device
- receiving fixture
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
この発明は、半導体工場のクリーンルーム内に設置され
るウェハーカセットの収納装置に関するものである。
るウェハーカセットの収納装置に関するものである。
［従来の技術］
従来のこの種の収納装置として第４図に示すものがある
。図において、（１）は装置の枠体、（２）、（３）は
上下に対向配設されたスプロケット、（４）はこのスプ
ロケット間に装着されたチェーン、（５）はこのチェー
ン（４）に等間隔に取り付けられた複数個のカセット（
６）の格納台であり、この格納台（５）はチェーン（４
）の駆動につれて常に水平状態を保持しながら上下方向
に周回移動する。（７）はスプロケット（３）および電
動機（８）に係合するタイミングベルトである（類似の
装置として実開昭６０−９３６０４号に公報に開示され
た考案がある）。
。図において、（１）は装置の枠体、（２）、（３）は
上下に対向配設されたスプロケット、（４）はこのスプ
ロケット間に装着されたチェーン、（５）はこのチェー
ン（４）に等間隔に取り付けられた複数個のカセット（
６）の格納台であり、この格納台（５）はチェーン（４
）の駆動につれて常に水平状態を保持しながら上下方向
に周回移動する。（７）はスプロケット（３）および電
動機（８）に係合するタイミングベルトである（類似の
装置として実開昭６０−９３６０４号に公報に開示され
た考案がある）。
［発明が解決しようとする問題点］
ここで、上記格納装置におけるカセット（６）の載置は
、切欠部（ｌａ） 、 （ｌｂ）より（Ａ）側とＣＢ）
側からそれぞれ行うことができるけれども、（８）側で
は格納台（５）が装置の奥側になるため、カセット（６
）の移載時にカセットがうまく格納台（５）に乗せられ
ないことがあり、また移載時間が長くなるという問題が
あった。
、切欠部（ｌａ） 、 （ｌｂ）より（Ａ）側とＣＢ）
側からそれぞれ行うことができるけれども、（８）側で
は格納台（５）が装置の奥側になるため、カセット（６
）の移載時にカセットがうまく格納台（５）に乗せられ
ないことがあり、また移載時間が長くなるという問題が
あった。
この発明は、上記のような問題点を解決するためになさ
れたもので、カセットを容易かつ短時間に格納台に載置
できる収納装置を得ることを目的とするものである。
れたもので、カセットを容易かつ短時間に格納台に載置
できる収納装置を得ることを目的とするものである。
Ｌ問題点を解決するための手段］
この発明は、上記の目的を達成するためになされたもの
で、カセット格納台上に設けられたガイドレール上を前
後に移動するカセット受け具およびこのカセット受け具
を移動させるための移動機構を設けたものである。
で、カセット格納台上に設けられたガイドレール上を前
後に移動するカセット受け具およびこのカセット受け具
を移動させるための移動機構を設けたものである。
［作用］
この発明の実施例によれば、移動機構によりカセット受
け具を移動させることにより、カセットの載置が効率よ
〈実施できる。
け具を移動させることにより、カセットの載置が効率よ
〈実施できる。
し発明の実７＋ζ例］
第１図はこの発明の一実施例によるカセット収納装置を
示す側面図で、第４図に示した符号と同一の部分はこれ
と同一または相当部分であるから、その説明は省略する
。また、第２図は第１図における要部（Ｄ）の拡大側面
図、第３図はその要部の側面図である。これらの図にお
いて、格納台（５）はヂエーン（３）の両側にカセット
（６）を載置しうる長さに形成されている。０口は格納
台（５）の上に装着したカセット受け具で、ローラを有
する台車ａつ上に取付けられている。（ｌυは台車ａツ
が載置されたガイドレール、θのはガイドレール（１０
の両側端部に設けたストッパー、α４）、 （１４ａ
）はチェーン（４）に装着されたカセット（６）の格納
台（５）の間で枠体（１）に装着され、ガイドレール（
１１）に沿って格納台（５）上の受け具叫を（八）側か
ら（Ｉｔ）側に、またはその逆方向に移動させる空気圧
シリンダーである。
示す側面図で、第４図に示した符号と同一の部分はこれ
と同一または相当部分であるから、その説明は省略する
。また、第２図は第１図における要部（Ｄ）の拡大側面
図、第３図はその要部の側面図である。これらの図にお
いて、格納台（５）はヂエーン（３）の両側にカセット
（６）を載置しうる長さに形成されている。０口は格納
台（５）の上に装着したカセット受け具で、ローラを有
する台車ａつ上に取付けられている。（ｌυは台車ａツ
が載置されたガイドレール、θのはガイドレール（１０
の両側端部に設けたストッパー、α４）、 （１４ａ
）はチェーン（４）に装着されたカセット（６）の格納
台（５）の間で枠体（１）に装着され、ガイドレール（
１１）に沿って格納台（５）上の受け具叫を（八）側か
ら（Ｉｔ）側に、またはその逆方向に移動させる空気圧
シリンダーである。
次にその動作を説明する。まず、第２図のｃＡ）側にお
いて、受け具Ｑｌは空気圧シリンダ（１４ｂ）のアクチ
ェータに押されて外側にあり、カセット（６）を短時間
かつ容易に受け具ＱＣｌｌ上に載置することができる。
いて、受け具Ｑｌは空気圧シリンダ（１４ｂ）のアクチ
ェータに押されて外側にあり、カセット（６）を短時間
かつ容易に受け具ＱＣｌｌ上に載置することができる。
格納台（５）がチェーン（４）により周回移動して反対
側ＦＢ）側に達したときは、受け具叫はＡ側の状態を維
持して図の右側にあるので、空気シリンダ（１４ａ）を
作動させて受け具ＯＱを図の如く左側へ押出す。これに
より受け具ＱＧは格納台（５）の外側に位置するためＢ
側からカセット（６）を容易かつ短時間に載置する。こ
のように、格納台（５）かＡ側又はＢ側にあるとき、空
気圧シリンダ（１４ａ） 、 （１４ｂ）により受け具
０■を押出して外側に位置させるようにしたので、カセ
ット（６）を容易かつ短時間で受け具（ＩｃＩ＋を上に
載置することができる。
側ＦＢ）側に達したときは、受け具叫はＡ側の状態を維
持して図の右側にあるので、空気シリンダ（１４ａ）を
作動させて受け具ＯＱを図の如く左側へ押出す。これに
より受け具ＱＧは格納台（５）の外側に位置するためＢ
側からカセット（６）を容易かつ短時間に載置する。こ
のように、格納台（５）かＡ側又はＢ側にあるとき、空
気圧シリンダ（１４ａ） 、 （１４ｂ）により受け具
０■を押出して外側に位置させるようにしたので、カセ
ット（６）を容易かつ短時間で受け具（ＩｃＩ＋を上に
載置することができる。
上記の説明ではカセット受け具を移動させるために空気
圧シリンダを用いた場合を示したが、油圧シリンダ、ソ
レノイド等その他の機構を用いてもよい。
圧シリンダを用いた場合を示したが、油圧シリンダ、ソ
レノイド等その他の機構を用いてもよい。
［発明の効果］
以上、この発明の一実施例によれば、カセットを載置す
る際受り台を常に外側に位置させるようにしたので、装
置の両側のどちらからでも、作業性を損なわずにカセッ
トの移載が可能となり、そのため半導体製造プロセスに
おけるカセット収納作業の効率が大幅に向上した。
る際受り台を常に外側に位置させるようにしたので、装
置の両側のどちらからでも、作業性を損なわずにカセッ
トの移載が可能となり、そのため半導体製造プロセスに
おけるカセット収納作業の効率が大幅に向上した。
第１図はこの発明の一実施例によるカセット収納装置を
示す側断面図、第２図はその要部を示す拡大側断面図、
第３図はその要部の側面図、第４図は従来装置の側断面
図である。 図中、（１）は枠体、（２）ｉ３）はスプロケット、（
４）はチェーン、（５）は格納台、（６）はカセット、
θＱはカセット受け具、（１１）はガイドレール、θ■
は台車、α・１）。 （１４ａ）は空気圧シリンダーである。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 第１図
示す側断面図、第２図はその要部を示す拡大側断面図、
第３図はその要部の側面図、第４図は従来装置の側断面
図である。 図中、（１）は枠体、（２）ｉ３）はスプロケット、（
４）はチェーン、（５）は格納台、（６）はカセット、
θＱはカセット受け具、（１１）はガイドレール、θ■
は台車、α・１）。 （１４ａ）は空気圧シリンダーである。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 第１図
Claims (1)
- 一対のスプロケット間に装着されたチェーンに等間隔で
複数のカセット格納台を取り付けるとともに、前記チェ
ーンを周回移動させる駆動手段を含む移動式格納装置に
おいて、前記周回するチェーンの間にカセット受け具の
移動機構を設け、前記格納台の位置に応じて該格納台に
摺動可能に載置されたカセット受け具を、前記移動機構
により移動するようにしたことを特徴とするウェハーカ
セット収納装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4730686A JPS62205907A (ja) | 1986-03-06 | 1986-03-06 | ウエハ−カセツトの収納装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4730686A JPS62205907A (ja) | 1986-03-06 | 1986-03-06 | ウエハ−カセツトの収納装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62205907A true JPS62205907A (ja) | 1987-09-10 |
Family
ID=12771602
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4730686A Pending JPS62205907A (ja) | 1986-03-06 | 1986-03-06 | ウエハ−カセツトの収納装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62205907A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6469408A (en) * | 1987-09-11 | 1989-03-15 | Okamura Corp | Vertical rotary rack device provided with load pusher |
| JPH0540206U (ja) * | 1992-09-02 | 1993-05-28 | 株式会社岡村製作所 | 縦型回転棚装置 |
-
1986
- 1986-03-06 JP JP4730686A patent/JPS62205907A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6469408A (en) * | 1987-09-11 | 1989-03-15 | Okamura Corp | Vertical rotary rack device provided with load pusher |
| JPH0540206U (ja) * | 1992-09-02 | 1993-05-28 | 株式会社岡村製作所 | 縦型回転棚装置 |
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