JPS62179670A - 半導体装置の特性測定装置 - Google Patents

半導体装置の特性測定装置

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Publication number
JPS62179670A
JPS62179670A JP61022629A JP2262986A JPS62179670A JP S62179670 A JPS62179670 A JP S62179670A JP 61022629 A JP61022629 A JP 61022629A JP 2262986 A JP2262986 A JP 2262986A JP S62179670 A JPS62179670 A JP S62179670A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
test
semiconductor device
circuit
counter
clock
Prior art date
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Pending
Application number
JP61022629A
Other languages
English (en)
Inventor
Masami Mori
雅美 森
Noriyoshi Ishitsuki
石突 知徳
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Sharp Corp filed Critical Sharp Corp
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Publication of JPS62179670A publication Critical patent/JPS62179670A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は半導体装置の特性測定装置に関し、特には半導
体チップにおける機能試験に併せてスイッチング特性を
も自動測定するための特性測定装置に関する。
〈従来の技術〉 マイクロプロセッサ等の各種半導体装置においては、機
器に搭載するに際してその特性が予め確認されねばなら
ない。特にスイッチング特性は半導体装置の各端子毎に
異なり、少なくともその装置が示す最大遅延時間が装置
の特性を示す夏つの指標として必要とされる。
処で半導体装置における出力遅延時間のスイッチング特
性は、従来からLSIテストシステムにてスイッチング
特性を測定するための専用プログラムが組まれ、他の特
性試験とは独立に、ストローブをスイープすることによ
ってスイッチング時間を測定することによって求められ
ている。
〈発明が解決しようとする問題点〉 上記従来の特性測定システムによれば、ストローブをス
イープする際の設定値により多大な評価時間を必要とし
、半導体装置の特性試験の面で大きな障害になっていた
〈問題点を解決するための手段〉 本発明は上記従来のテストシステムの問題点に鑑みてな
されたものでストローブをテストプログラムにてスイー
プすることなく、半導体装置が本来必要とする機能試験
を有効に利用して、スイッチング時間を自動的に測定す
る。
本発明は、半導体装置を機能試験するテストシステムに
次の要素を付加して構成する。即ち、所定周波数をもつ
クロックを発生するクロック発生回路、該クロック発生
回路のクロック出力が与えられて計数するカウンタ、及
び半導体装置の機能試験に伴って半導体装置から出力さ
れる信号に対して、その出力遅延時間を上記クロックの
計数時間を規制して測定するための制御信号を形成する
制御回路部付加して構成する。
く作 用〉 半導体装置の機能を試験するためのテストシステムに付
加して、機能試験に伴って導出された出力信号の遅延時
間を測定するクロック発生回路、カウンタ及び制御回路
が設けられるため、機能試験を実行しながらスイッチン
グ時間を測定することができる。
〈実施例〉 第1図において、集積回路を内蔵したマイクロプロセッ
サ等の各種半導体装置1は、従来公知のテストシステム
2にセットされ、該テストシステム2から機能試験に必
要となるテスト信号3が形成されて上記半導体装置1に
与えられる。半導体装置1では与えられたテスト信号3
に応答して出力信号4を形成し、該出力信号4はテスト
システム2に入力されて、予め設定された機能試験期待
値と必要に応じて比較され、各半導体装置1における特
性が求められる。
上記テストシステム2に加えて、上記半導体装置1の出
力信号4が入力された制御回路5が設けられる。該制御
回路5には、スイッチング特性を測定するための基準レ
ベル七なる高電圧VOH及び低電圧VOtが、上記テス
トシステム2からライン6.7を介して与えられ、次段
に接続されるクロック発生回路■1の動作を規制するた
めの制御信号を形成する。上記高電圧VOH及び低電圧
voLは、被測定対象の半導体装置■の特性に応じて設
定される。
上記制御回路5で形成された制御信号が入力されたクロ
ック発生回路IIは、所定周波数のクロックを発生して
次段のカウンタ10に出力する。
カウンタ10は入力されたクロックを計数し、その計数
値をバス8を介して上記テストシステム2に転送し、遅
延時間々して表示する。
上記特性測定装置において、テストシステム2から半導
体装置1に機能試験のための信号3を与えると、該信号
3の入力に伴って半導体装置1から出力信号4が形成さ
れてテストシステム2に与えられる。このような半導体
装置■の機能試験時に形成された出力信号4は制御回路
5へ与えられ、一方間制御回路5にはテストシステム2
より出力判定時の基準となる高及び低電圧vOH+ ”
OLが与えられている。
第2図は出力信号4と基準レベルvoH1VOLとの関
係を示し、本実施例では出力信号のレベルに対して例え
ば90%、10%のレベルが高電圧voH1低電圧VO
t、とじて設定されている。従っておいてクロック発生
を指令するための制御信号+2がクロック発生回路II
に与えられる。クロック発生回路11では入力された指
令に応答してクロックを出力し、カウンター0に入力す
る。カラン5からクロック発生停止を指示する信号がク
ロッ:り発生回路11に与えられ、クロックの発生は停
止する。その結果カウンター0における計数値の上昇は
止まり、出力信号4のレベルが低電圧VORから高電圧
VOLに達するまでに要した期間tのクロック数が計数
され、遅延時間が算定される。
尚上記カウンター0け、特性試験を実施するに際しては
、テストシステム2からのリセット信号9によって予め
内容がクリアされる。
〈発明の効果〉 以上本発明によれば、簡単な構成を付加することによっ
て、半導体装置の機能試験を実行しなからその半導体装
置のスイッチング特性を測定することができ、従来のよ
うに別途にテストプログラムを組む必要がなく、テスト
時間の短縮が図れるだけでなく、効率的なテストを実施
することができ、またシステムを稼動するためのプログ
ラムに ′及ぼす負担も著しく軽減することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による一実施例を示すためのブロック図
、第2図は同実施例の動作を説明するためのタイムチャ
ートである。 I:半導体装置 2:テストシステム 5:制御回路1
0 :カウンタ 11:クロック発生回路 代理人 弁理士 杉 山 毅 至(他1名)ジ))2図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)入力されたテスト信号に基づく出力信号から半導体
    チップの機能を試験する装置において、所定周波数のク
    ロックを発生するクロック発生回路と、 上記クロックが与えられて入力クロック数を計数するカ
    ウンタと、 上記半導体チップのテスト信号に基づく出力信号が与え
    られて上記クロックの計数期間を制御する信号を形成す
    る制御回路とを備えてなることを特徴とする半導体装置
    の特性測定装置。
JP61022629A 1986-02-03 1986-02-03 半導体装置の特性測定装置 Pending JPS62179670A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61022629A JPS62179670A (ja) 1986-02-03 1986-02-03 半導体装置の特性測定装置

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61022629A JPS62179670A (ja) 1986-02-03 1986-02-03 半導体装置の特性測定装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS62179670A true JPS62179670A (ja) 1987-08-06

Family

ID=12088117

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP61022629A Pending JPS62179670A (ja) 1986-02-03 1986-02-03 半導体装置の特性測定装置

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JP (1) JPS62179670A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102809723A (zh) * 2012-05-22 2012-12-05 湖北东光电子股份有限公司 通信接口电路模块幅频特性自动测量系统

Cited By (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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