JPS62177364A - 真空容器用シ−ル機構 - Google Patents

真空容器用シ−ル機構

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Publication number
JPS62177364A
JPS62177364A JP61019579A JP1957986A JPS62177364A JP S62177364 A JPS62177364 A JP S62177364A JP 61019579 A JP61019579 A JP 61019579A JP 1957986 A JP1957986 A JP 1957986A JP S62177364 A JPS62177364 A JP S62177364A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gasket
flanges
pair
vacuum
seal plug
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP61019579A
Other languages
English (en)
Inventor
Masanori Onozuka
小野塚 正紀
Takashi Uchikawa
内川 高志
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Heavy Industries Ltd filed Critical Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority to JP61019579A priority Critical patent/JPS62177364A/ja
Publication of JPS62177364A publication Critical patent/JPS62177364A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16JPISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00Sealings
    • F16J15/02Sealings between relatively-stationary surfaces
    • F16J15/06Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces
    • F16J15/062Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces characterised by the geometry of the seat
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E30/00Energy generation of nuclear origin
    • Y02E30/10Nuclear fusion reactors

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Geometry (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Gasket Seals (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、たとえば核融合装置のプラズマ閉じ込め用真
空容器等の真空容器に適用される真空容器用シール機構
に関する。
〔従来の技術〕
第4図は核融合装置のプラズマ閉じ込め用真空容器の一
例を示す斜視図であり、第5図は同じく核融合装置のプ
ラズマ閉じ込め用真空容器の他の例を示す斜視図である
。第4図および第5図に示すように、一般にこの種の真
空容器10.20は、装置および容器の製作2組立て上
の要請あるいは電気絶縁の必要性等から、T学会割部A
や十字分割部Bを有しており、各分割部とその周辺にお
ける接合用フランジ11.21の接合面を、締付はボル
ト12.22にて締結することにより、複数個に分割さ
れた真空容器構成部材13.23を、気密に接合して一
体化したものとなっている。したがって接合用フランジ
11.21の接合部には真空シールは構が必ず必要であ
る。
第6図は従来のT7分割部AI、:おける真空シール数
構の一例を示寸断面図であり、第7図は従来の十字分割
部Bにおける真空シール機構の一例を示す断面図である
。第6図および第7図において31.32.33および
34.35は真空容器のフランジであり、36.37お
よび38は真空シール用ないし電気絶縁・真空シール用
のガスケットである。さらに39a、39b、39c。
39d、39eは締付はボルトである。
第6図に示すように、T7分割部Aの場合には、フラン
ジ31と32との閂にガスケット36を介在させると共
に、フランジ31.32とフランジ33との間にガスケ
ット37を介在させて、締付はボルト398〜39Cに
より締付は操作することにより真空シールを行なってい
る。この場合、ガスケット36と37との結合部のシー
ルは、締付はボルト39aの締付けによりガスケット3
6の端部Mがフランジ31.32の間からはみ出すこと
を利用し、このはみ出し端部Mをガスケット37の一側
面に密接させることにより行なわれている。
第7図に示すように、十字分割部Bの場合には、フラン
ジ31とフランジ32との間、フランジ31.32とフ
ランジ34.35との間、フランジ34とフランジ35
との間に、それぞれガスケツ+−36,37,38を介
在させて、締付はボルト39a〜39eにより締付は操
作することにより真空シールを行なっている。この場合
、ガスケット36と37との結合部およびガスケット3
7と38との結合部の各シールは、締付はボルト39a
の締付けによりガスケット36の端部Mがフランジ31
.32の間からはみ出すと共に、締付はボルト39d、
39eの締付けによりガスケット38の端部Nがフラン
ジ34.35の間からはみ出すことを利用し、このはみ
出し端部M、 Nをガスケット37の両側面に密接させ
ることにより行なわれている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
第6図あるいは第7図に示した構成のものでは、王時分
割部Aあるいは十字分割部Bにおけるガスケットどうし
の結合部のシールを、ガスケット36.38等のはみ出
し端部M、Nをガスケット37の側面に密接させること
により行なわれているため、十分な接触面積および接触
圧が得られず、確実な真空シールを行なえない場合があ
る。その結果、ガスケットどうしおよび各ガスケットと
フランジ面との間等にリークが生じ、十分信頼性の高い
真空シールを行なえない難点があった。特に組立て時に
おいて十分な真空シールがなされても、使用期間中にガ
スケットの僅かな塑性変形等が起こると、これに起因す
るリークが発生するおそれが多分にあった。
そこで本発明は、十分信頼性の高い確実な真空シールを
行なえ、たとえ使用期間中にガスケットに塑性変形等が
起きても、リーク発生のおそれがなく、真空容器として
の機能を長期に亙り安定に保持することのできる真空容
器用シール機構を提供することを目的とする。
〔80点を解決するための手段〕 本発明は上記問題点を解決し目的を達成するために、次
のような手段を講じた。すなわち、少なくともT学会割
部およびまたは十字分割部を有する真空容器の各分割部
とその周辺部位における接合用フランジの接合面を、気
密にシールする真空容器用シール機構において、前記T
学会割部およびまたは十字分割部における丁字部形成用
フランジ対の相互の接合面である第1接合面間にガスケ
ットを設けると共に、このガスケットの端部に例えば樹
脂製のシールプラグの一端部を接続し、このシールプラ
グの他端部を、前記1字部形成用フランジ対の他のフラ
ンジ等との接合面である第2接合面と面一状態となるよ
うに、上記第2接合面に埋設固定する。
なお1字部形成用フランジ対としては、真空容器中心部
からみて第1接合面間における内方部位と外方部位とに
ガスケットを二重に設け、この二重のガスケットとシー
ルプラグとにより囲まれた領域に中間排気室を設けたも
のを用いてもよい。
〔作用〕
1字部形成用フランジ対のガスケットの端部にシールプ
ラグが取付けられているので、少なくともガスケットど
うしの結合が上記シールプラグを介してを行なわれ、ガ
スケット端部に比べて十分大きな接触面積および接触圧
をもって両者を結合させ得ることになる。
なお1字部形成用フランジ対に中間排気室を設けた場合
には、この中間排気室を用いて組立て未完成品である1
字部形成用フランジ対を、単体のままでリーク検査を行
なえることになる。
〔実施例〕
第1図(a)(b)は第6図に対応させて示した本発明
の第1実施例を示す図であり、同図(b)は同図(a)
のP−P線矢視断面図である。なお第6図と同一部分に
は同一符号を付し詳細な説明は省略する。
第1図(a)(b)に示すように、1字部形成用フラン
ジ対を構成しているフランジ31.32の相互の接合面
である第1接合面間には、ゴムあるいは樹脂にて形成し
たガスケット36が介在しており、このガスケット36
の端部Mには、例えば樹脂製のシールプラグ41の一端
部が接続されている。このシールプラグ41の他端部は
、前記1字部形成用フランジ対の他のフランジ等(絶縁
部材が介在する場合を含む)との接合面である第2接合
面と面一状態となるように、上記第2接合面に埋設固定
されている。上記シールプラグ41の形成手段としては
、第2接合面に設けた凹部に対して樹脂を流し込み、硬
化させたのら面一状態に仕上げ加工するといった手段を
採用すればよい。
なお第1図(b)に示すように、1字部形成用フランジ
対の第2接合面と他のフランジ33との間には、樹脂あ
るいはセラミックスなどの絶縁部材51.52がガスケ
ット37を両側から挟み込むように介挿され、フランジ
間の絶縁をはかつている。
このように構成された本実施例によれば、T字部形成用
フランジ対におけるガスケット36の端部にシールプラ
グ41が取付けられているので、ガスケット36とガス
ケット37とを結合させる際、ガスケット36の端部に
比べて十分大きな接触面積をもって、かつ十分な接触圧
をもって両者を結合させ得る。したがって安定な接触状
態が得られ、確実なシール機能を発揮できる。
第2図(a>(b)は第7図に対応させて示した本発明
の第2実施例を示す図であり、同図(b)は同図(a>
のQ−Q線矢視断面図である。なお第7図と同一部分に
は同一符号を付し詳細な説明は省略する。
第2図(a)(b)に示すように、1字部形成用フラン
ジ対を構成しているフランジ34.35の相互の接合面
である第2接合面間には、ゴムあるいは樹脂にて形成し
たガスケット38が介在しており、このガスケット38
の端部Nには、前記シールプラグ41と同様に形成され
たシールプラグ42が取付けられている。
このように構成された本実施例においても、1字部形成
用フランジ対のガスケット36.38の各端部にはシー
ルプラグ41.42がそれぞれ取付けられているので、
前記実施例と同様に安定な接触状態が得られ、確実なシ
ール機能を発揮できる。
第3図(a)(b)(c)は本発明の第3実浦例を示す
図であり、同図(b)は同図(a)のR−R線矢視断面
図、同図(C)は同図(a)の5−5mm矢視面図であ
る。
第3図(a)(b)(c)に示すように、本実施例にお
いては、丁字部形成用フランジ対として、真空容器中心
部からみて第1接合面間における内方部位には第1のガ
スケット36aを設け、外方部位には第2のガスケット
36bを設け、この二重に設けた第1.第2のガスケッ
ト36a。
36bの各端部にシールプラグ43を共通に取付け、第
1.第2のガスケット36a、36bおよびシールプラ
グ43により囲まれた領域を、中間排気室61とし、こ
れに排気孔62を設けたものとなっている。− このように構成された本実施例によれば、前記実施例と
同様の作用効果を発揮するのは勿論、フランジ31と3
2とを締付はボルト39aで締結しただけの組立て未完
成品である1字部形成用フランジ対を、単体のままでリ
ーク検査を行なえることになる。すなわち、排気孔62
を通じて中間排気室61の内部の真空排気を行い、しか
るのち丁字部形成用フランジ対を例えばヘリウムガス雰
囲気中に置いて、外部から中間排気室61内へのヘリウ
ムガスの漏れ込み状態をチェックする等の方法により、
フランジ31.32問および各フランジ31.32とシ
ールプラグ43との間のリークの有無を検査することが
できる。したがって真空容器の組立て完了時における歩
留りを向上でき、コスト低減等をはかれる。
なお本発明は前記各実施例に限定されるものではない。
たとえば第3実施例においては、第1゜第2のガスケッ
ト36a、36bおよびシールプラグ43により囲まれ
た領域を、そのまま中間排気室61とした場合を例示し
たが、上記領域内の所定箇所に限定的に中間排気室を設
けるようにしてもよい。また前記実施例では本発明を核
融合装置の真空容器に適用した場合を例示したが、その
他の真空容器にも適用可能であるのは勿論である。
このほか本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施
可能であるのは勿論である。
〔発明の効果〕
本発明は、少なくともT7分割部およびまたは十字分割
部を有する真空容器の各分割部とその周辺部位における
接合用フランジの接合面を、気密にシールする真空容器
用シール機構において、前記T7分割部およびまたは十
字分割部における1字部形成用フランジ対の相互の接合
面である第1接合面間にガスケットを設けると共に、こ
のガスケットの端部に例えば樹脂製のシールプラグの一
端部を接続し、このシールプラグの他端部を、前記1字
部形成用フランジ対の他のフランジ等との接合面である
第2接合面と面一状態となるように、上記第2接合面に
埋設固定するようにしたものである。
したがって本発明によれば、1字部形成用フランジ対の
ガスケットの端部にシールプラグが取付けられているの
で、少なくともガスケットどうしの結合が上記シールプ
ラグを介してを行なわれ、ガスケット端部に比べて十分
大きな接触面積および接触圧をもって両者を結合させ得
ることになる。
その結果、十分信頼性の高い確実な真空シールを行なえ
、たとえ使用期間中にガスケットに塑性変形等が起きて
も、リーク発生のおそれがなく、真空容器として・の機
能を長期に亙り安定に保持することのできる真空容器用
シール機構を提供できる。
【図面の簡単な説明】
第1図(a)(b)は本発明の第1実施例を示す断面図
、第2図(a)(b)は本発明の第2実施例を示す断面
図、第3図(a>(b)(c)は本発明の第3実施例を
示す断面図、第4図および第5図はそれぞれ核融合装置
用の真空容器の異なる例を示す斜視図、第6図および第
7図はそれぞれ従来の工時分割部および十字分割部にお
ける真空シール機構を示す断面図である。 A・・・工時分割部、B・・・十字分割部、10.20
・・・真空容器、11.21・・・接合用フランジ、1
2゜22・・・締付はボルト、13.23・・・真空容
器構成部材、31,32.33.34.35・・・フラ
ンジ、36.36a、36b、37.38−・・ガスケ
ット、39a〜39e・・・締付はボルト、41.42
゜43・・・シールプラグ、51.52・・・絶縁部材
、61・・・中間排気室、62・・・排気孔。 出願人復代理人  弁理士 鈴江武彦 (a) (C) 第 3図 第4図 第5図 第60 お 第7 図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)少なくともT字分割部およびまたは十字分割部を
    有する真空容器の各分割部とその周辺部位における接合
    用フランジの接合面を、気密にシールする真空容器用シ
    ール機構において、前記T字分割部およびまたは十字分
    割部におけるT字部形成用フランジ対の相互の接合面で
    ある第1接合面間に設けられたガスケットと、このガス
    ケットの端部に一端部を接続され他端部が前記T字部形
    成用フランジ対の他のフランジ等との接合面である第2
    接合面と面一状態となるように上記第2接合面に埋設固
    定されるシールプラグとを具備したことを特徴とする真
    空容器用シール機構。
  2. (2)T字部形成用フランジ対は、真空容器中心部から
    みて第1接合面間における内方部位と外方部位とにガス
    ケットを二重に設け、この二重のガスケットとシールプ
    ラグとにより囲まれた領域に中間排気室を設けたもので
    ある特許請求の範囲第1項記載の真空容器用シール機構
JP61019579A 1986-01-31 1986-01-31 真空容器用シ−ル機構 Pending JPS62177364A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61019579A JPS62177364A (ja) 1986-01-31 1986-01-31 真空容器用シ−ル機構

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JP61019579A JPS62177364A (ja) 1986-01-31 1986-01-31 真空容器用シ−ル機構

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Publication Number Publication Date
JPS62177364A true JPS62177364A (ja) 1987-08-04

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ID=12003184

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP61019579A Pending JPS62177364A (ja) 1986-01-31 1986-01-31 真空容器用シ−ル機構

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JP (1) JPS62177364A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005325973A (ja) * 2004-05-17 2005-11-24 Sigma Meltec Ltd 処理チャンバ装置のシール構造
JP2013204530A (ja) * 2012-03-29 2013-10-07 Kubota Corp ポンプ

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JP2005325973A (ja) * 2004-05-17 2005-11-24 Sigma Meltec Ltd 処理チャンバ装置のシール構造
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