JPH0217264Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0217264Y2 JPH0217264Y2 JP1983105250U JP10525083U JPH0217264Y2 JP H0217264 Y2 JPH0217264 Y2 JP H0217264Y2 JP 1983105250 U JP1983105250 U JP 1983105250U JP 10525083 U JP10525083 U JP 10525083U JP H0217264 Y2 JPH0217264 Y2 JP H0217264Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- pipes
- flanges
- nut
- gasket
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 2
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 2
- FGUUSXIOTUKUDN-IBGZPJMESA-N C1(=CC=CC=C1)N1C2=C(NC([C@H](C1)NC=1OC(=NN=1)C1=CC=CC=C1)=O)C=CC=C2 Chemical compound C1(=CC=CC=C1)N1C2=C(NC([C@H](C1)NC=1OC(=NN=1)C1=CC=CC=C1)=O)C=CC=C2 FGUUSXIOTUKUDN-IBGZPJMESA-N 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Flanged Joints, Insulating Joints, And Other Joints (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、各種真空機器の接続等に適用される
真空配管接続装置に関するものである。
真空配管接続装置に関するものである。
従来、この種装置は、第１図示のように、金属
製真空配管ａ，ａの各接続側の端部ｂ，ｂに金属
製フランジｃ，ｃを溶接し、両フランジｃ，ｃ間
にガスケツトｄを介在させてボルトｅで締付けす
るを一般とするが、この場合フランジｃが溶接に
よる歪みを生ずることを防止するために配管ａの
端部ｂが係止される段部ｆを設け、該段部ｆに於
いて溶接されるもので、接続作業が煩わしいう
え、金属製真空配管とセラミツク製或いは合成樹
脂製真空配管との結合が不可能であるなどの欠点
がある。
製真空配管ａ，ａの各接続側の端部ｂ，ｂに金属
製フランジｃ，ｃを溶接し、両フランジｃ，ｃ間
にガスケツトｄを介在させてボルトｅで締付けす
るを一般とするが、この場合フランジｃが溶接に
よる歪みを生ずることを防止するために配管ａの
端部ｂが係止される段部ｆを設け、該段部ｆに於
いて溶接されるもので、接続作業が煩わしいう
え、金属製真空配管とセラミツク製或いは合成樹
脂製真空配管との結合が不可能であるなどの欠点
がある。
本考案は、こうした欠点のない真空配管接続装
置を提供することを目的としたもので、互に接続
されるべき真空配管１，１の各接続側の端部１
ａ，１ａの外周に、ボルト２ａから成る固定手段
２により着脱自在にフランジ３，３を夫々取付
け、該真空配管１，１の外周と該固定手段２の間
に割リング９を設け、両真空配管１，１間に環状
のガスケツト４を介在させ、両真空配管１，１及
び中間のガスケツト４を両フランジ３，３の外周
に螺合させたナツト５の旋回で互に締付けして成
る。
置を提供することを目的としたもので、互に接続
されるべき真空配管１，１の各接続側の端部１
ａ，１ａの外周に、ボルト２ａから成る固定手段
２により着脱自在にフランジ３，３を夫々取付
け、該真空配管１，１の外周と該固定手段２の間
に割リング９を設け、両真空配管１，１間に環状
のガスケツト４を介在させ、両真空配管１，１及
び中間のガスケツト４を両フランジ３，３の外周
に螺合させたナツト５の旋回で互に締付けして成
る。
第２図はその１例を示すもので、同図に於いて
は２本の略同径の真空配管１，１の各端部１ａ，
１ａに割リング９を当てると共にガスケツト４の
進入可能な凹入部３ａを備えたフランジ３，３を
挿通させ、各フランジ３をこれに設けたボルト２
ａで該割リング９を締付けすることにより各端部
１ａに固定し、ナツト５を旋回させることにより
逆ねじ関係に形成したねじ部６，７をもつフラン
ジ３，３が互いに接近して真空配管１，１の端面
間に介在させた環状のガスケツト４を締付け、両
配管１，１を気密に接続する。８はスペーサ、１
０はHeガス等を注入し配管接続部のリークをテ
ストするリークテスト孔である。
は２本の略同径の真空配管１，１の各端部１ａ，
１ａに割リング９を当てると共にガスケツト４の
進入可能な凹入部３ａを備えたフランジ３，３を
挿通させ、各フランジ３をこれに設けたボルト２
ａで該割リング９を締付けすることにより各端部
１ａに固定し、ナツト５を旋回させることにより
逆ねじ関係に形成したねじ部６，７をもつフラン
ジ３，３が互いに接近して真空配管１，１の端面
間に介在させた環状のガスケツト４を締付け、両
配管１，１を気密に接続する。８はスペーサ、１
０はHeガス等を注入し配管接続部のリークをテ
ストするリークテスト孔である。
第３図は管径の異なる真空配管１，１を接続す
る場合を示し、この場合、各配管１，１の内径に
相当する開孔を備えた２枚のガスケツト４，４を
中間のスペーサ８の両側に設け、前記の場合と同
様に接続される。
る場合を示し、この場合、各配管１，１の内径に
相当する開孔を備えた２枚のガスケツト４，４を
中間のスペーサ８の両側に設け、前記の場合と同
様に接続される。
また、真空配管１，１の接続と同時に第４図或
いは第５図示のように仕切弁１１ａ、ゲージポー
ト或いはガス導入ポート１１ｂ等の真空機器１１
を介在させて接続することも可能である。これら
の場合には、真空機器１１を予めナツト５内に組
込み、その左右にガスケツト４，４を介して真空
配管１，１を当接させ、真空機器１１と共にナツ
ト５を旋回させて接続される。１２は弁体、１３
はバルブシヤフト、１４は圧力抽出孔である。
いは第５図示のように仕切弁１１ａ、ゲージポー
ト或いはガス導入ポート１１ｂ等の真空機器１１
を介在させて接続することも可能である。これら
の場合には、真空機器１１を予めナツト５内に組
込み、その左右にガスケツト４，４を介して真空
配管１，１を当接させ、真空機器１１と共にナツ
ト５を旋回させて接続される。１２は弁体、１３
はバルブシヤフト、１４は圧力抽出孔である。
本考案の接続装置は、真空配管１，１の端部１
ａ，１ａに割リング９を当てたのちフランジ３を
嵌め、ボルト２ａで割リング９を締付けることに
よりフランジ３を該端部１ａに固定し、各フラン
ジ３を、その外周に嵌めたナツト５を旋回させる
ことにより互いに接近させ、真空配管１，１の端
面でその間に介在させたガスケツト４を狭圧し、
気密に接続するので、真空配管１に特別の加工を
旋すことなく気密な接続を行え、例えば金属製真
空配管とセラミツク製或いは合成樹脂製真空配管
との異種の真空配管同士の接続が可能になり、ま
た、管径の異なる真空配管同士を接続出来、バル
ブ、ゲージポート、ガス導入ポートなどを真空配
管の接続時に組込める等の効果がある。
ａ，１ａに割リング９を当てたのちフランジ３を
嵌め、ボルト２ａで割リング９を締付けることに
よりフランジ３を該端部１ａに固定し、各フラン
ジ３を、その外周に嵌めたナツト５を旋回させる
ことにより互いに接近させ、真空配管１，１の端
面でその間に介在させたガスケツト４を狭圧し、
気密に接続するので、真空配管１に特別の加工を
旋すことなく気密な接続を行え、例えば金属製真
空配管とセラミツク製或いは合成樹脂製真空配管
との異種の真空配管同士の接続が可能になり、ま
た、管径の異なる真空配管同士を接続出来、バル
ブ、ゲージポート、ガス導入ポートなどを真空配
管の接続時に組込める等の効果がある。
第１図は従来例の截断側面図、第２図は本考案
の実施例の截断側面図、第３図乃至第５図は本考
案の他の実施例の截断側面図である。 １，１……真空配管、１ａ，１ａ……端部、２
……固定手段、２ａ……ボルト、３，３……フラ
ンジ、４……ガスケツト、５……ナツト、９……
割リング。
の実施例の截断側面図、第３図乃至第５図は本考
案の他の実施例の截断側面図である。 １，１……真空配管、１ａ，１ａ……端部、２
……固定手段、２ａ……ボルト、３，３……フラ
ンジ、４……ガスケツト、５……ナツト、９……
割リング。
Claims (1)
- 互に接続されるべき真空配管１，１の各接続側
の端部１ａ，１ａの外周に、ボルト２ａから成る
固定手段２により着脱自在にフランジ３，３を
夫々取付け、該真空配管１，１の外周と該固定手
段２の間に割リング９を設け、両真空配管１，１
間に環状のガスケツト４を介在させ、両真空配管
１，１及び中間のガスケツト４を両フランジ３，
３の外周に螺合させたナツト５の旋回で互に締付
けして成る真空配管接続装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10525083U JPS6014381U (ja) | 1983-07-08 | 1983-07-08 | 真空配管接続装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10525083U JPS6014381U (ja) | 1983-07-08 | 1983-07-08 | 真空配管接続装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6014381U JPS6014381U (ja) | 1985-01-31 |
| JPH0217264Y2 true JPH0217264Y2 (ja) | 1990-05-14 |
Family
ID=30246787
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10525083U Granted JPS6014381U (ja) | 1983-07-08 | 1983-07-08 | 真空配管接続装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6014381U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5483116A (en) * | 1977-12-16 | 1979-07-03 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Quick attachment and detachment joint |
-
1983
- 1983-07-08 JP JP10525083U patent/JPS6014381U/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5483116A (en) * | 1977-12-16 | 1979-07-03 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Quick attachment and detachment joint |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6014381U (ja) | 1985-01-31 |
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