JPS62176774A - 研磨用パツドの穿孔兼取付用治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、平面研磨装置の定盤にＭｇ用パッドを取付け
る場合に、該パッドに予め研磨剤供給孔を穿設する際の
孔位置決定用の冶具として、また、該バントを定盤に貼
着する際の貼着用の治具として好適に使用することので
きる研Δ用バンドの穿孔兼取付用治具に関するものであ
る。

［従来の技術］ 従来より公知の平面研磨装置として、第３図に示すよう
に、上下の定盤ｌ、２と太陽歯車３、及び内歯歯車４を
備え、両歯車３，４で遊星歯車状に駆動されるキャリヤ
５に保持させたワーク６を上下の定ｉ１．２で研磨する
ようにしたものがある。

かかる構成の平面研磨装置においては、上下の定盤１．
２の一方または両方の研磨面にパッドを取付け、このパ
ッドによってワークを研磨するようにしているが、該パ
ッドの取付け、特に、パ・ンドに対する研磨材供給孔の
穿設が非常に面倒であった。即ち、従来では、無穿孔の
パッドを定盤に貼着し、このパッドに対し、定盤に設け
られている研磨材供給孔と対応する位置にパッド側から
供給孔を穿設するようにしていたため、供給孔の位置決
めが非常に難しく、その穿設も困難であった・特に、上
定盤にパッドを取付ける場合には、下から見上げるよう
にしながらその貼着及び供給孔の穿設を行わなければな
らないため、姿勢が非常に不安定になって正確な作業を
行いにくいばかりでなく、大ＦｆｉＡの定盤の下での作
業であることから、安全性の面でも大きな問題があった
。

バンドに予め供給孔を設け、その後にこのパッドを定盤
に貼着するようにすると、その取付作業が非常に容易に
なるが、その際には、パッドに対して定盤に設けられて
いる研磨剤供給孔と正確に対応するように供給孔を穿設
しなければならないばかりでなく、該パッドを供給孔同
士を正確に対応させて定盤に貼着しなければならないた
め、それらの位置決めが面倒で多くの手数を必要とする
ことになる。

［発明が解決しようとする問題点］ 本発明の課題は、予め研磨剤供給孔を穿設したパッドを
定盤に取付けるに際し、該パッドに研磨剤供給孔を穿設
するための正確な孔位置の設定を行うことができ、且つ
、穿孔したパッドを供給孔同士を正確に対応させた状態
で定盤へ貼着させることができる穿孔兼取付用冶具を提
供することにある。

［問題点を解決するための手段］ 上記課題を解決するため、本発明の穿孔兼取付用冶具は
、円板状の基板に、定盤に設けられた研磨剤供給孔に対
応する多数の孔位置設定用の貫通孔と、上記供給孔に挿
入可能な複数の位置決め用のビンとを設けたものとして
構成したことを特徴とするものである。

［作　用］ パッドに研磨剤供給孔を穿設する場合には、該パッド上
に治具を重合させ、その孔位置設定用の貫通孔に沿って
孔位置のけかきを行い、ポンチ等の孔開は工具によって
けがきした位８に供給孔を穿設する。

次に、上記パッドを、治具上に設けられている位首決め
用のピンを供給孔に挿通させた状態で該治具上に載置し
、該治具を、定盤の研磨剤供給孔に上記ビンを挿入させ
た状態で定盤の研磨面に押し付け、而して該パッドを定
盤に貼着する。これによって上記パッドは、供給孔同士
が正確に対応する状態で定盤へ貼着されることになる。

［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面を参照しながら詳述する。

第１図及び第２図に示す穿孔兼取付用治具１０は、金属
板や合成樹脂板等により形成した円環状の基板１１に、
定盤に設けられている研磨剤供給孔と対応する多数の孔
位置設定用の貫通孔１２，１２．・番を円周方向に所定
間隔で穿設すると共に、上記定盤の供給孔に挿入可能な
複数の位置決め用のピン１３，１３．・拳を立設するこ
とにより構成したもので、該ビン１３，１３．・・は、
上記貫通孔！２と重合しない位首において、隣接する２
つの工゛Ｅ通孔１２．１２が基板１１の中心に対してな
す角度０の整数倍の角度φで円周方向に配設されている
。

上記ピン１３は、ねじ止めや溶接等の適宜手段によって
基板１１に固定することができ、また、その本数は複数
本であればよいが、２〜３本程度が適当である。

次に、上記構成を有する治具ｌＯの使用方法について説
明する。

第３図に示すように、平面研磨装置の定盤に取付けるた
めの研磨用パッド１４が用意されると、該パッド１４上
に上記治具ｌＯが重合され、貫通孔１２に従って孔位置
のけかきが行われる。このパッド１４には、その−面に
定盤に貼着するための両面接着テープ１５が取付けられ
ており、その接着面には保３Ｃシートが被着されている
。

このようにしてけがさが行われたパッド１４には、ポン
チ等の孔開は工具によって所定の位芒に供給孔ＩＢが穿
設される。

次に、穿孔されたパッド１４は、第４図に示すように、
冶具１０上に設けられた位置決め用のビン１３が供給孔
１６に挿通するように接着面を外にして該治具１０上に
載置され、接着テープ上の保護シートが剥離さ、れた後
、第５図に示すように、上記冶具１０が、定盤１の研磨
剤供給孔１日にビン１３が挿入するように該定盤１の研
磨面に押し付けられ、パット１４の貼着が行われる。こ
の時、上記ビン１３．１３゜・・は、隣接する２つの貫
通孔１２．１２が基板１１の中心に対してなす角度θの
整数倍の角度φで円周方向に配設されているため、これ
らのビン１３が定ｆｉ＋の供給孔１８に嵌入せしめられ
ることにより、上記パット１４は、自動的に定盤１に対
して供給孔１６．１８同士が正確に対応した状態に位置
決めされることになる。

［発明の効果］ このように、本発明の穿孔兼貼着用治具によれば、研磨
用パッドに定盤の研磨剤供給孔に対応する供給孔を正確
に位置決めして穿設することができるばかりでなく、穿
孔したパッドを供給孔同士が正確に対応する状態で定盤
に貼着させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す正面図、第２図はその
断面図、第３図〜第５図は本発明の治具の使用方法につ
いての説明図、第６図は平面研磨装置の構成を示す部分
断面図である。 １０一番治具、　　　１１・・基板、 １２・・貫通孔、　　１３俸・ビン。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、円板状の基板に、定盤に設けられた研磨剤供給孔に
   対応する多数の孔位置設定用の貫通孔と、上記供給孔に
   挿入可能な複数の位置決め用のピンとを設けたことを特
   徴とする研磨用パッドの穿孔兼取付用治具。