JPS62174811A - 微細位置決め装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、μｍオーダの微細な変位制御を行なう微細位
置決め装ｍに関する。

〔従来の技術〕

近年、各洩技術分野においては１μｍオーダーの微細な
変位ｖ８節が可能である装置が要望され℃いる。その典
型的な例がＬＳＩ（大規模集積回路入超ＬＳＩの製造工
程におい℃使用されるマスクアライナ、電子線描画装置
等の半帰体製造装置である。これらの装置においては、
μｍオーダーの倣細な位置決めが必快であり、位置決め
の積度が向上するにしたがってその集積度も増大し、高
性能の製品を製造することができる。このような倣細な
位置決めは上記半導体装ｔｌＩＫ限らず、電子顕微鏡を
はじめとする各種の高倍率光学装置等においても必要と
される。

従来、このような微細位置決め装置とじ工、第７図に示
す装置が提案されている。即ち、第７図は従来の微細位
置決め装置の側面図である。図で、１は１１ｉｉ１１体
の支持台、２ａ、２ｂは支持台１上に互いに平行に固定
された板状σン平行ばね、３は平行ばね２ａ　、２ｂ上
に固定された剛性の高い微動テーブルである。４は支持
台１と微動テーブル３との間に装架された微動アクチュ
エータである。この微動アクチュエータ４には、圧電素
子、電磁ソレノイド等が用いられ、これを励起すること
により、微動テーブル３Ｖｃ図中に示す座標軸のＸ軸方
向の力が加えられる。５は微動アクチュエータの電源を
示す。

ここで、平行はね２ａ　、２ｂはその構造上、Ｘ軸方向
の剛性は低（、これに対して２＠方向、ｙ軸方向（紙面
に垂直な方向）の剛性が高いので、微動アクチュエータ
が励起されると、微動テーブル３はほぼＸ軸方向にのみ
変位し、他方向の変位はほとんど発生しない。したがっ
て、微動アクチュエータ４を励起することにより、図示
破籾に示すように微動テーブル３をＸ軸方向に距離ε１
だけ微小変位させることができる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記のように、微細位置決め装置のアクチュエータ４と
しては、圧電素子より成る圧電アクチュエータや１！電
磁ソレノイド適宜のものが用いられるが、小型化の可能
な圧電アクチュエータが最適であり、又、近年、材料技
術の進歩により特性の良い圧電素子が開発され℃いるこ
とと相俟って、アクチュエータ４には、はとんど圧電ア
クチュエータが採用されている。

ここで、圧電素子の特性について述べる。第８図は圧電
素子の特性図であり、横軸に印加電圧Ｖが、又、縦軸に
変位εがとっである０図から明らかなように、その変位
は印加電圧Ｖの極性により異なり、正側の変位に比べて
負側の変位が可成り小さくなる。このような特性から、
アクチュエータ４として圧電素子を用いる場合、制御の
し易さや可動範囲の大きさを考慮し℃、圧電素子の特性
の正の部分を利用するのが通常である。

一方、微細位置決め装置とじ又は、その微動テーブル３
を正および負の両方向に変位せしめる機能を有すること
が望ましく、特に、電子顕微鏡等における標本の位置合
わせには、一方向のみの変位ではその位置合わせ操作が
困難となり、両方向の変位が必要とされる。

従来の微細位置決め装置ＩＬにおいて圧電アクチュエー
タを用いる場合、圧′−素子の正の部分を利用し１両方
向の変位を可能とするため、圧電アクチュエータに予め
所定のバイアス電圧を印加しχおき、そのときの微動テ
ーブル３０所定点の位置を変位の原点とする手段が採用
されていた。例えは、第７図において、圧電アクチュエ
ータ４に最大電圧ＶｆｆｌａＸを加えたとき発生する最
大変位をε□□とすると、圧電アクチュエータ４には、
常時１／２　Ｖ、ｎ□の電圧（バイアス電圧）を印加し
℃おき、そのときの変位１／２　’ｗａｘを変位の原点
とするものである。

この場合、第７図に示す微細位置決め装置は変位範囲±
１７２　ｌ、ｌ、。の機能を有することになる。

ところで、位置決め装置では変位範囲が広い方が望まし
いのは当然であり、微細位置決め装置も又同様である。

ところが、上記従来の微細位置決め装置では、その一方
向の変位をみると、圧電素子の特性から得られる変位の
１／２を利用するにとどまり、その変位範囲が狭いとい
う問題点がある。

本発明は、このような事情に緬み℃なされたものであり
、その目的は、上記従来技術の問題点を解決し、両方向
の変位範囲を広くすることができる微細位置決め装置を
提供するにある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記の目的を達成するため、本発明は、３つの剛体部を
順次複数の弾性部材で連結し、隣接する剛体間に圧電ア
クチュエータを設けたことを特頒とする。

〔作　用〕

１つの圧電アクチュエータに電圧（大きな変位を生じる
方向の電圧）を印加すると、第１のＩＳｕ体部に対して
第２の剛体部を、その間の弾性部材をたわませて所定方
向に変位させ、これとともＩＩＲ３の剛体部も同一変位
を生じる。又、他の圧電アクチュエータに電圧（大きな
変位を生じる方向の電圧）？：印加すると、第２の剛体
部に対して第３の剛体部を、その間の弾性部材をたわま
せて前記所定方向と逆の方向に変位させる。これにより
、第３の剛体部は、第１の剛体部に対して、一方向およ
びその逆方向にミそれぞれ圧電アクチュエータのもつ最
大変位以内の範囲で変位せしめられる。

〔″＃施例〕

以下１本発明を図示の実施例に基づい℃説明する。

第１図は本発明の第１の実施ｆＩＩＫ係る微細位置決め
装置の側面自である。図で、１０は剛性の高い構造体、
１１は構造体１０に固定さ２した剛体部、１１ａは剛体
部ＩＯの直立部である。１２は他の剛体部、１２ａは剛
体部１２の直立部であり、剛体部１１の直立部１１　ａ
と反対側［設けられ℃いる。１３　ａ　、　１３　ｂは
剛体部１１　、１２間を連結する平行な板ばねであり、
同一寸法、同一剛性を有する。剛体部１２は板ばね１３
ａ、１３ｂＫより剛体部１１に支持されることになる。

１４　ａは剛体部１１の直立部１１　ａ　Ｋ支持された
圧電アクチュエータであり、複数の圧１！素子を積層し
℃構成されている。圧電アクチュエータ１４　ａの先端
は剛体部１２の端部に固定又は当接され℃いる。１５ａ
は圧電アクチュエータ１４　ａに電圧を供給する電源を
示す。圧′亀アクチュエータ１４　ａは、第８図に示す
正の電圧が印加されたときの変位の方向が剛体部１２の
方向であるように設けられている。

１６は剛体の微動テーブルであり、通常、この微動テー
ブル１６上忙位置決め対象となるワークが載置される。

１７　ａ　、　１７　ｂは剛体部１２と微動テーブル１
６との間を連結する平行な板はねであり、同一寸法、同
一剛性を有する。微動テーブル１６は剛体部１２に仮ば
ね１７　ａ　、　１７　ｂ　Ｋより支持されることにな
り、結局、微動テーブル１６は板はね１３ａ、１３ｂ、
剛体部１２）板ばね１７　ａ　、　１７　ｂを介し℃剛
体部１１Ｖｃ支持されていることＫもなる。１４　ｂは
Ｍｔ１体部１２の直立部１２３　Ｋ支持された圧電アク
チュエータであり、圧電アクチュエータ１４　ａと同一
の構成を有する。圧′亀アクチュエータ１４　ｂの先端
は剛体部１６の端部に固定又は当接されている。１５　
ｂは圧電アクチュエータ１４　ｂ　Ｋ電圧を供給する電
源を示す。圧電アクチュエータ１４　ｂは、正の電圧を
印加されたときの変位の方向が圧電アクチュエータ１４
　ａと逆方向になるように設けられ℃いる。

なお、０，６は倣動テーブル１６上の一点を示し、又、
ＯＩｏは、圧鑞アクチ３．Ｚ−夕１４　ａ　、　１４　
ｂに電源１５　ａ　、　１５　ｂの電圧が印加され℃い
ないとき、構造体１０　Ｋ　Ｍける点０．＠かう下ろし
た垂線が交わる点を示し、この点０１ｏを変位の基準点
と考える。

そして、図で、点０．。の右方を（Ａ　）　ＩＩ、左゛
方を（Ｂ）側とする。

次に、本笑施例の動作を＠２図（ａ）、（ｂ）に示す第
１図と同様の側面図により説明する。第２図（ａ）、（
ｂ）で第１図に示す部分と同一部分には同一符号が付し
である。今、圧電アクチュエータ１４　ａ　Ｋ任意の電
圧を印加すると、圧電アクチュエータ１４　ａは′ｍ８
図に示す特性にしたがい、（Ａ）方向に当該電圧に応じ
℃伸長する。これにより剛体部１２が押圧され、板ばね
１３ａ、１３ｂは第２図ＣＢ）に示すように変形し、剛
体部１２を図で（Ａ）方向に変位せしめる。微動テーブ
ル１６は剛体部１２に支持され℃いるので、この変位に
より微動テーブル１６も（したがって点０，６も）剛体
部１２と同量変位せしめられる。この変位量が（す）で
示されている。印加された電圧を除去すると、剛体部１
２と微動テーブル１６は第１図に示す位ｒｉｔＫ戻る。

一方、第１図忙示す状態におい″′Ｃ，圧電アクチュエ
ータ１４　ｂ　Ｋ任意の電圧を印加すると、圧電アクチ
ュエータは当該電圧に応じ１図で（Ｂ）方向Ｋ　＋ｌｌ
’長し、微動テーブル１６が押圧され、板はね１７ａ、
１７ｂは第２図（ｂ）ＶＣ示すようＶＣ変形し、倣動テ
ーブル１６（点０＋ａ　）は（Ｂ）方向にｅ、たけ変位
せしめられる。印加電圧の除去により、微動テーブル１
６は第１図に示す位ＶＶＣ仮帰する。

このよ５に、本尖施例では、微動テーブルを直接又はこ
れを支持する剛体部を介し１両方向に変位できるように
し、これら両方向の変位をそれぞれ別個の圧電アクチュ
エータでそれぞれその最大変位量発生方向に行なうよう
にしたので、微動テーブルを各方向に圧電アクチュエー
タの最大変位量以内の範囲内で変位させることができ、
予めバイアス電圧を印加してお（従来装置ｆＫ比収し、
両方向の変位の範囲を大きく拡大することができる。

第３図は本発明の第２の実施例に係る微細位置決め装置
の側面図である。図で、第１図に示す部分と同一部分に
は同一符号を付して説明を省略する。１１　ｂは剛体１
１σ〕直立部であり、圧電アクチュエータ１４　ａを支
持する。この直立部１１　ｂは板はね１３　ａ　、　ｌ
ａ　ｂ間に設けられる。１２　ｂは剛体部１２０作用部
であり、板はね１３　ａ　、　１３　ｂ間において剛体
部１２から下方に延ばして設けられ、圧電アクチュエー
タ１４　ａの先端に当接又は固定される。１２　ｃは剛
体部１２の直立部であり、板ばね１７　ａ　、　１７　
ｂ　ｔｓ４１に設けられ、圧電アクチュエータ１４　ｂ
を支持する。１６ａはｇ、動テーブル１６の作用部であ
り、板ばね１７ａ。

１７　ｂ　Ｉ′ｉＪ１において微動テーブル１６から下
方［煽はして設げられ、圧電アクチュエータ１４　ｂの
先端に当接又は固定される。

圧電アクチュエータ１４　ａ　Ｋ任意ｃＩ）電圧が印加
されると、（ロ）り体ｍ　１２の作用部１２　ｂが押圧
され、さぎの実施？ｌＩ　ｖｃおい′１：両１ｊ体部１
２が押圧されたときの動作と同様の動ｆ′Ｉ：ｖｃより
微動テーブル１６が左方へ変位する。又、圧電アクチュ
エータ１４　ｂ　Ｖｃ任意の電圧が印加されると、微動
テーブル１６０作用部１６　ｂが押圧され、倣動テーブ
ル１６は上方へ変位する。

このように、本実施例では、内方の圧電アクチュエータ
を板ばねの１１ＶＣおいて支持するようにしたので、さ
きの実施例と同じ効果を委するとともに、圧電アクチュ
エータが外部に突出することはなく、微細位置決め装置
を小型に構成することかできる。

第４図は本発明の第３の実施例ＶＣ係る倣細位１に決め
装護り）側面図である。図で、加は中央σ）ｒ剛体部で
あり、位置決め対象となるワークが械蘭される倣動テー
ブルである。２１　ａ　、　２１　ｂは剛体部加を通る
而Ｋに対し１互いに対称位置にある剛体部、２２ａ、２
２ｂは面Ｋに対して互いに対称位置にある１両η体部で
ある。２３　ａ　、　Ｚ３　ｂはそれぞれ剛体部２２ａ
。

２２ｂが連結される他の剛体徊造である。、２４ａは剛
体部器、　２１　ａ　ｉｈ’１を連結する互いに平行な
平行たわみ梁である。同じく、２４　ｂ　、　２５　ａ
　、　２５　ｂも、それぞれ剛体部器、２１ｂ間、剛体
部２１ａ、ηａ間、剛体部２ｉ、２２ｂ＋ｌ！ｌを連結
する互いに平行な平行たわみ梁である。谷平行たわみ梁
２４　ａ　、　２４ｂ　ｓ　２５　ａ。

′、５ｂは子板形状に形成さ°れており、図で上下方向
に作用する力に対しては容易ＶＣ変形するρ）、他の方
向の力およびすべてのモーメントに対しては大きな剛性
を有する。

２６　ａは−り体部Ｗの突出部と１−１ｊ体部２１　ａ
の突出部とび）間に装架された圧電アクチュエータであ
る。

同じく、２６　ｂ　、　２７　ａ　、　２７　ｂも、そ
ｉｔ　ソｔｔ、　剛Ｋ　Ｍ　’ａＪ　＋２１　ｂの医用
部間、剛体部２１ａ、Ｏａの突出ｔ、’Ｎ　ｔｕｌ　。

角用体部２１ｂ、四ｂ　ａ）突出部間に装架された圧電
アクチュエータである。これら圧′（資）アクチュエー
タはいずれも圧電集子を積層した構成を有し、圧電アク
チュエータ２６　ａ　、　２６　ｂは正方向の電圧を印
加したとき図で上方に伸長し、圧電アクチュエータ２７
　ａ　、　２７　ｂは正方向の′電圧を印加したとき図
で下方に伸長するよ５［装架され工いる。部は各剛体部
と各平行たわみ呆との連結部分に貼着されたストレング
ージであり、平行たわみ梁のたわみに応じてその抵抗１
Ｉｌｌを変化させる。

２９ａ　、　２９ｂ　、　３０ａ　、　３０ｂ＋！それ
ぞれ平行たわみ梁変位寮構を示す。平行たわみ米変位憎
傳四ａは剛体部２０　、２１　ａ　、平行たわみ梁２４
ａ、圧電アクチュエータ２６ａおよび４つσンストレン
ゲージあで構成されている。他の平行たわみ梁変位機ｓ
ｙｂ。

３０ａ、３０ｂの警戒もこれに準じる。平行たわみ柔変
位ｒＺｋ　摘２９　ａ　＋　２９ｂ　＊　３０　ａ　ｅ
　３０　ｂ　ｉｃより本実施例の微細位置決め装置３１
が構成される。この匝細位置決め装置３１の装造におい
又、各剛体部加Ｈ２１ａ　Ｈ２１ｂ、ρａ、乙すおよび
谷平行たわみ梁必ａ、２４ｂ　、　２５　ａ　、　２５
　ｂは、１つのＩｎ１１体ブｏ７りに、ｉＫに対象に４
つの貫通孔を形成することにより偏成される。そして、
これら貫通孔は、各剛体部からσ）前記突出部を形成す
ることによりほぼＳ字状の貫通孔となる。

上記微細位置決め装置３１は、後述するよつＶＣ両方向
（図で、上下方向）の変位の範囲を拡大することができ
るはかりでなく、第７図に示す従来の＠着および第１、
第２ヴ）実施例におい１生じる好ましくない現象をも解
消することができる。この現象とは次の現象をいう。即
ち、第７囚において圧電アクチュエータ４に電圧が印加
されると、板はね２ａ、２ｂの変形により微動テーブル
には変位ε１が生じる。ところが、この変位と同時に、
板はね２ａ　、２ｂがたわむことによる２＠方回の変位
およびｙ軸まわりの変位（これらの変位を横変位と称す
る）も生じるのは明らかである。このような横変位の変
位置は極めて減小であり、通常はほとんど問題にならな
い。しかし、極く微細な位置決めを行なう場合、これら
横変位を無視することはできなくなり、横変位により位
置決め精度が低下するという欠点を招ぐ。以下の上記微
細位置決め装置ｊｔ、３１　ｃｌ＞動作の説明において
は、このような好ましくない現象を解消し得ることをも
含めて説明する。

本実施例の動作の説明を容易にするため、まず、平行た
わみ梁変位搬構３０ａ、３０ｂを除いた構成の動作を第
５図（ａ）、（ｂ）により説明する。

第５図（ａ）、（ｂ）は第４図に示す平行たわみ梁変位
機傳３０ａ、３０ｂを除いた場合の平行変位機構の側面
図である。図で、′ａ＆４図に示す部分と同一部分には
同一符号を付して説明を省略する。

ここで、座標軸を図示のように定める（ｙ軸は紙面に垂
直な方向）。今、圧電アクチュエータ２６ａ。

２６ｂＶｃ同時Ｋｍ圧を印加して同一大きさの２＠方向
（上方向）の力ｆを発生させる。このとき、一方の平行
たわみ条変位機構、例えは平行たわみ呆変位機＠　２９
　ａ　Ｋ生じる変位について考える。圧電アクチュエー
タ２６　ａ　ＴｔＣ′＆Ｌ圧が印加されることにより、
剛体部美は力ｆｖｃより２軸方向に押圧されることにな
る。このため、平行たわみ梁２４ａは第７図に示す平行
ばね２ａ　、２ｂと同じように曲げ変形を生じ、剛体部
加は第５図（ｂ）ＶＣ示すように２軸方向に変位する。

このとき、仮に他方の平行たわみ梁変位機ｗ２９ｂが存
在しないとすると、−１ｊ体部２０には極めて微小では
あるが前述の横変位をも同時に生じるはずである。

又、平行たわみ采変位機構２９ａが存在しない場合、他
方の平行たわみ梁変位機１１ｉ２９ｂＫ生じる変位につ
い又考えると、平行たわみ業変位機構２ｇｂは基準面Ｋ
ｖｃ対して平行たわみ梁変位機＄　２９　ａと面対称に
構成されているところから、基準面ＫＫ関して面対称な
力ｆを°受けると上記と同様に、剛体部加には２一方向
の変位と同時に上起債変位が生じ、その大きさ平方１８
０ま、平行たわみ梁質位機構四ａのそれと基準面ＫＩＣ
関し℃面対称となる。

すなわち、上記横変位についてみると、平行たわみ梁変
位磯傳四ａに生じる横変位は、Ｘ軸方向の変位について
は図で左向き、ｙ軸まわりの回転変位については図で反
時計方向に生じ、一方、平行たわみ梁変位磯慣四すに生
じる横変位は、Ｘ軸方向変位につい℃は図で右向き、ｙ
軸まわりの回転変位につい℃は図で時計方向に生じる。

そし℃、それら各）Ｃ４１１方向変位の大きさおよびｙ
軸まわりの回転変位の大きさは等しく゛。したがって、
両者に生じる横変位は互いにキャンセルされる。この結
果、力ｆが加わったことにより、各平行たわみ梁２４　
ａ　、　２４　ｂにその長手方向の伸びＫよる僅かな内
部応力の増大が生じるだけで、剛体ｓ２ｏはＸ軸方向の
みの変位（主変位）ε４を生じる。

又、上記のよ５に、平行たわみ梁２４ａ、２４ｂが伸長
してたわむと、ストレンゲージ都のそれぞれには、その
配置位置により圧縮歪および伸長歪を生じる。そこで、
この歪をストレンゲージあで侠出し、この検出ＩＮＫ基
づき圧電アクチュエータ房ａ、２６ｂの印加電圧を制＠
する、いわゆるフィードバック制御系をＶｔ成すれは、
より一鳩正確な主変位ε４を得ることができる。

圧電アクチュエータ２６ａ、２６ｂに印加されてし・る
電圧が除かれると、各平行たわみ采２４　ａ　、　２４
　ｂは変形前の状態Ｋ　ｖ！−ＩＩ＃　ｔ、、平行変位
機構は第５図（ａ）Ｋ示す状態に戻り、変位はＯとなる
。

以上、平行たわみ梁変位機構四ａ、四すのみで構成され
る平行変位機構の動作について述べたが、平行たわみ梁
変位機構３０　ａ　、　３０　ｂのみの場合の動作もこ
れと全く同じである。

ここで、本実施例の動作を第６図（ａ）、（ｂ）Ｋより
説明する。第６図（ａ）、（ｂ）は第４図に示す平行変
位磯１３１の変位時の側面図である。なお、ストレンゲ
ージ四の図示は省略し又ある。今、圧電アクチュエータ
２７　ａ　、　２７　ｂ　ＩｔＣ同時に任意の電圧を印
加すると、図で下向きの力ｆが発生し、平行たわみ５Ｊ
：２Ｓ　ａ　、　２５　ｂ’は第６図（ａ）Ｋ示すよう
に曲げ変形を生じ、平行たわみ梁変位機＄２９１゜２９
ｂを含み剛体部Ｗを下向きに距離ε、だけ変位せしめる
。この変位はストレンゲージを用いたフィードバック制
御を採用すること忙より、より精度良く行なうことがで
きる。圧電アクチュエータｄａ、２７ｂＫ印加された電
圧が除かれると、平行たわみ％４６ａ、２５ｂは変形前
の状Ｉ＠に復帰し、平行変位機構３１は第４図に示す状
態に戻る。

一方、圧電アクチュエータ２６　ａ　、　２６　ｂに同
時に任意の電圧を印加すると、第５図Ｃａ’）、（ｂ）
で説明したように、平行たわみ梁２４　ａ　、　２４　
ｂが変形し、第６図（ｂ）ｉｃ示すように剛体部Ｗを上
向きに距離ε、たけ変位せしめ、電圧を除くと第４図に
示す状態に復帰する。勿論、ストレングージによるフィ
ードバックｆ’！ＩＩ御を用いれは精度は同上する。

このように１本実施例では、変位の特性が逆になるよう
に圧電アクチュエータを２組設け、これら圧電アクチュ
エータによりそれぞれ別個の平行たわみ梁を変形するよ
うにし、さらに、各圧電アクチュエータを平行たわみ梁
σ）間に設けたり）で、第１の実施例および第２の実施
例と同じ効果を奏する。これら効果に加えて、本実施例
では、変位方向の１つσ）面に対称に平行たわみ梁およ
び剛体部を配置したので、横変位を防止することができ
、位置決め積置を向上せしめることができるとともに、
ストレンゲージを用いたフィードバック１ｔｉｌＪ御に
よってもその精度な向上せしめることができる。

さらに、剛体部および平行たわみ梁は、１つの剛体ブロ
ックＫｊＫ通孔を作ることにより形成されるので、製造
容易である。

〔発明の効果〕

以上述べたように、本発明では、３つの剛体部を弾性部
材で連結し、１つの剛体部に対して他の２つの剛体部を
変位せしめる圧電アクチュエータをそれぞれ、その変位
の特性が逆になるように設けたので、所定方向とその逆
の方向のに位置を拡・　　　犬することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図（ａ゛）、（ｂ）は本発明の第１の実施
例に係る砿細位置決め装置１／’）側面図、第３図は本
発明の弟２の実施？ｌＪに係る倣細位直決め装置の側面
図、第４図は本発明の第３の実施例に係る鍛Ｉｌｌ１１
位置決め装置の側面図、第５図（ａ）、（ｂ）は弟４図
に示す装置の動作を説明する側面図、弟第８図は圧電ア
クチュエータの変位の特性図，である。 １１　、　１２　、　１６　＋　２０　＊　２１　ａ　
、　２ｌ　ｂ　、　２２　ａ　、　２２　ｂ　−・−　
・−％ｌｉｌ体部、１３　ａ　、　１３　ｂ　、　１７
　ａ　、　１７　ｂ−＝−＠はね、２４ａ　、　２４ｂ
　、　２５ａ　、　Ｚ５ｂ−−−−・−平行たわみ梁、
１４ａ。 １４ｂ　、２６ａ　、２６ｂ　、２７ａ　、２７ｂ−・
−・−・圧電アクテユエータ 第１図 １５ｂ 〈 １４ａ、１４ｂ−−−ａｆｉ７７＋、エータ第３図 ］１ｂ 第４図 第５図 （ａ） （ｂ） 第６図 （ａ） （ｂ） 第７図 第８図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）第１の剛体部と、第２の剛体部と、第３の剛体部
   と、前記第１の剛体部と前記第２の剛体部とを連結する
   複数の弾性部材と、前記第２の剛体部と前記第３の剛体
   部とを連結する複数の弾性部材と、前記第１の剛体部と
   前記第２の剛体部の間に設けられ前記第２の剛体部を所
   定方向に変位させる圧電アクチユエータと、前記第２の
   剛体部と前記第３の剛体部の間に設けられ前記第３の剛
   体部を前記所定方向と反対の方向に変位させる圧電アク
   チユエータとを備えたことを特徴とする微細位置決め装
   置。
2. （２）特許請求の範囲第（１）項において、前記各圧電
   アクチユエータは、隣接する前記剛体部およびこれら剛
   体部を連結する前記複数の弾性部材で形成される領域内
   に装架されることを特徴とする微細位置決め装置。
3. （３）特許請求の範囲第（１）項において、前記各剛体
   部および前記各たわみ梁は、１つのブロック体により構
   成されていることを特徴とする微細位置決め装置。