JPH01107188A - 微細移動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔１既要〕 粗動Ｘ−Ｙステージ上に搭載する微動Ｘ−Ｙステージに
関し、 Ｘ軸、Ｙ軸方向の動作特性が一致し、且つＸ軸方向にず
れる恐れがなく、小形の微動Ｘ−Ｙステージを提供する
ことを目的とし、 正方形の４隅を構成するように、粗動ｘ−ｙステージ上
に植立した４本の脚柱と、Ｙ軸弾性板を介して、それぞ
れの両端部が、隣接した一対の該脚柱、または該一対の
脚柱に対向する一対の脚柱に、それぞれ支持されてなる
Ｙ軸副ステージと、前記Ｙ軸副ステージに直交すべく、
Ｘ軸弾性板を介して、それぞれの両端部が前記組合わせ
とは異なる組合わせの一対の該脚柱にそれぞれ支持され
てなるＸ軸副ステージと、該Ｙ軸副ステージに対向する
側面の両端部が、Ｘ軸弾性板を介して、該Ｙ軸副ステー
ジのそれぞれに連結し、該Ｘ軸副ステージに対向する側
面の両端部が、Ｙ軸弾性板を介して、ｇＢ軸副副ステー
ジそれぞれに連結して、４つの前記副ステージが構成す
る枠内に水平に支持された正方形板状のステージ本体板
と、電圧を印加することにより、一方の該Ｙ軸副ステー
ジを介して、該ステージ本体板をＹ軸方向に所望量移動
する、該粗動Ｘ−Ｙステージ上に装着されたＹ軸圧電素
子アクチュエーターと、一方の該Ｘ軸副ステージを介し
て、該ステージ本体板をＸ軸方向に所望量移動する、Ｘ
軸圧電素子アクチュエーターとよりなる構成とする。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、粗動Ｘ−Ｙステージ上に搭載する微動Ｘ−Ｙ
ステージに関する。

半寡体製造装置等に用いられる位置決め手段は、半導体
の集積度の高密度化、パターン幅の微細化等に伴い、よ
り厳しい位置決め精度（例えば±０゜０２μｍ）が要求
されている。

〔従来の技術〕

第５図は従来の微動ｘ−ｙステージの斜視図、第６図は
従来例の要部側面図である。

第５図において、■は、例えばステップモーター等の駆
動手段により、Ｘ軸方向、及びＹ軸方向に比較的長い長
さを移行可能とする粗動Ｘ−Ｙステージであって、その
位置決めの精度は、例えば±０．０１１鳳である。

粗動Ｘ−Ｙステージ１の上面に、側板２Ａを有するし形
のＹ軸副基板２を設置しである。Ｙ軸副基板２上部には
、例えば薄い燐青銅板よりなる角形の弾性板４Ａを、所
望の間隔（後述するＹ　ａｈ　？ｈ動ステージ７の幅に
等しい）を隔てて並行させ、底板部材の上面に垂直に固
着しである。−弾性板４Ａは側板２Ａに並行である。

この一対の弾性板４への上側縁に架橋するように、側板
議を有するし形のＹ軸副基板２を、Ｙ軸副基板２に直交
するように水平にｉ置し、Ｘ軸副基板３の底板部材の上
平面に、正方形板のＹ軸ステージ７を水平に固着しであ
る。

Ｙ軸ステージ７のＸ軸方向の両側縁に、弾性板４Ａとは
同形状、同材質の弾性板４Ｂを、垂直に固着しである。

弾性板４Ｂは弾性板４八に直交する。　この一対の弾性
板４Ｂの上側縁に架橋するように、角板状のＸ軸ステー
ジ８を水平にＳ！置しである。

５．６は、多数の圧電素子を積層し、一方の端面に固定
側端板を設けたそれぞれ同形状の圧電素子アクチュエー
ターであって、電圧を印加するごとにより、その電圧に
比例して軸方向に伸長する。

圧電素子アクチュエーターの最大伸長量は、例えば圧電
素子数が１００枚程度の場合、５００　Ｖの印加電圧で
ほぼ４０μｍであり、その伸び精度は、±０．０１μｍ
程度である。

Ｙ軸圧電素子アクチュエーター５を、Ｙ軸副基板２の側
板録とＹ！１ｌｈｉ動ステージ７の側面との間に水平に
挿入し、固定側端板を側板２Ａに固着し、他方の端板を
ＹＩｌｉＩｉｌ微動ステージ７の側面に当接させて装着
しである。

一方、Ｘ軸圧電素子アクチュエーター６を、Ｘ軸副基板
３の側板３ＡとＸ軸ステージ８の側面との間に水平に挿
入し、固定側端板を側板３Ａに固着し、他方の端板をＸ
軸ステージ８の側面に当接させて装着しである。

さらに図示してないが、Ｘ軸ステージ８のＹ軸方向の移
動量を検出する検出器、及びその移動量をＹ軸圧電素子
アクチュエーター５に、Ｘ軸ステージ８のＸ軸方向の移
動量を移動量を検出する検出器、及びその移動量をＸ軸
圧電素子アクチュエーター６に、それぞれフィードバッ
クする閉ループ制御回路を設けである。

したがって、Ｙ軸圧電素子アクチュエーター５を作動さ
せることにより、弾性板４＾が撓み、水平状態を保持し
たまま、Ｙ軸ステージ７（即ちＹ軸ステージ７の上部に
支持されたＸ軸ステージ８）を、Ｙ軸方向に所望の微細
量ΔＹだけ移動させることができる。

また、Ｘ軸圧電素子アクチュエーター６を作動させるこ
とにより、弾性板４Ｂが撓み、水平状態を保持したまま
、Ｘ軸ステージ８をＸ軸方向に所望の微細量ΔＸだけ移
動させることができる。

したがって、Ｘ軸ステージ８を移動させる目標位置を、
閉ループ制御回路にＸ−Ｙ座標でインプットすることに
より、Ｘ軸ステージ８を所定の位置に、検出器の検出精
度で、位置決めすることができる 〔発明が解決しようとする問題点〕 しかしながら上記従来の微動Ｘ−Ｙステージは、Ｘ軸ス
テージ８がＹ軸ステージ７上に搭載されているため、Ｘ
軸ステージ８の全体がＹ軸ステージ７の負荷となり、Ｘ
軸、Ｙ軸方向の動作特性が揃わず、Ｘ軸方向とＹ軸方向
とでは位置決め特性が異なる恐れがあった。

また、Ｙ軸ステージ７とＸ軸ステージ８とが２段構成で
あるため、微動Ｘ−Ｙステージの搭載高さが大きくなり
、装置が大形になるという問題点があった。

さらにまた、第６図に示すように、弾性板４Ａの上部が
Ｙ軸方向に変位すると、Ｙ軸ステージ７が下方にΔＺ変
位し、弾性板４Ｂの上部がＸ軸方向に変位すると、Ｘ軸
ステージ８が下方にΔＺ変位するので、Ｘ軸ステージ８
が高さが変動する。即ち、Ｚ軸方向にずれるという問題
点があった。

本発明はこのような点に鑑みて創作されたもので、Ｘ軸
、Ｙ軸方向の動作特性が一致し、且つＺ軸方向にずれる
恐れがなく、小形の微動Ｘ−Ｙステージを提供すること
を目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

上記の問題点を解決するために本発明は、第１図に例示
したように、正方形の４隅を構成するように、粗動Ｘ−
Ｙステージ１上に４本の脚柱１１−１゜１１−２．１１
−３．１１−４を植立する。

細長い直方体状のＹ軸副ステージ１２Ｙ−１を水平にし
て、一対の脚柱１１−１と脚柱１１−２の間に挿入し、
それぞれの両端部を、Ｙ軸方向に可撓性あるＹ軸弾性板
１５Ｙを介して、脚柱１１−１または脚柱１１−２に支
持させる。

Ｙ軸副ステージ１２Ｙ−１に対向して、脚柱１１−３と
脚柱１１−４の間に前述と同様な方法で、Ｙ軸副ステー
ジ１２Ｙ−２を装着する。

細長い直方体状のＸ軸副ステージ１２Ｘ−１を水平にし
て、一対の脚柱１１−１と脚柱１１−４の・間に挿入し
、それぞれの両端部を、Ｘ軸方向に可撓性あるＸ軸弾性
板１５Ｘを介して、脚柱１１−１または脚柱１１−４に
支持させる。

Ｘ軸副ステージ１２Ｘ−１に対向して、脚柱１１−２と
脚柱１１−３の間に前述と同様な方法で、Ｘ軸副ステー
ジ１２Ｘ−２を装着する。

Ｙ軸副ステージ１２Ｙ−１，Ｘ軸副ステージ１２Ｘ−２
。

Ｙ軸副ステージ１２Ｙ−２，Ｘ軸副ステージ１２Ｘ−１
の４つ副ステージが構成する枠内に、正方形板状のステ
ージ本体板１０を水平に挿入する。そして、ステージ本
体板１０のＹ軸副ステージ１２Ｙ−１，１２Ｙ−２に対
向す、る側面の隅近傍を、Ｘ軸方向に可撓性あるＸ軸弾
性板１６Ｘを介して、Ｙ軸副ステージ１２Ｙ−１，また
は１２Ｙ−２に連結し、Ｘ軸副ステージ１２Ｘ−１，１
２χ−２に対向する側面の隅近傍を、Ｙ軸方向に可撓性
あるＹ軸弾性板１６Ｙを介して、Ｘ軸副ステージ１２Ｘ
−１，または１２Ｘ−２に連結して、ステージ本体板１
０を４本の脚柱の中心部に水平に保持させる。

電圧を印加することにより、一方のＹ軸副ステ−ジ１２
Ｙ−１を介して、ステージ本体板１０をＹ軸方向に所望
量移動せしめるＹ軸圧電素子アクチュエーター５を配設
する。また、電圧を印加することにより、一方のＸ軸副
ステージ１２Ｘ−１を介して、ステージ本体板１０をＸ
軸方向に所望量移動せしめるＸ軸圧電素子アクチュエー
ターを配設する。

上述のように構成し、ステージ本体板１０のＹ軸。

Ｘ軸方向の微細な移動量を検出する検出器、並びにその
移動量を、Ｙ輔圧電素子アクチュエーター５、及びＸ軸
圧電素子アクチュエーター６にフィードバックする閉ル
ープ制御回路を設けた構成とする。

〔作用〕

本発明の微動Ｘ−Ｙステージの、Ｙ軸圧電素子アクチュ
エーター５に所望の電圧を印加すると、Ｙ軸副ステージ
１２Ｙ−１の両端を支持しているＹ軸弾性板１５Ｙが撓
んで、Ｙ軸副ス・テージ１２Ｙ−１がＹ軸方向に所望量
移動する。この際Ｙ軸副ステージ１２Ｙ−１とステージ
本体板１０とを連結しているＸ軸弾性板１６Ｘは、Ｙ軸
方向の力では撓むことがないので、ステージ本体板１０
はＹ軸方向に移動し、その移動量は、Ｙ軸副ステージ１
２Ｙ−１の移動量に等しい。

また、Ｘ軸圧電素子アクチュエーター６に所望の電圧を
印加すると、Ｘ軸副ステージ１２Ｘ−１の両端を支持し
ているＸ軸弾性板１５Ｘが撓んで、Ｘ軸副ステージ１２
Ｘ−１がＸ軸方向に所望量移動する。

このａＸＸ側副ステージ１２Ｘ１　とステージ本体板工
０とを連結しているＹ輔弾性板１６Ｙは、Ｘ軸方向の力
では撓むことがないので、ステージ本体板１０はＸ軸方
向に移動し、その移動量は、Ｘ軸副ステージ１２Ｘ−１
の移動量に等しい。

なおこの際、Ｘ軸弾性板１５Ｘ、　Ｙ軸弾性板１５Ｙ、
　Ｘ軸弾性板１６Ｘ、　Ｙ軸弾性板１６Ｙは、Ｘ軸、Ｙ
軸方向の力に対して、Ｘ軸方向に歪むことがない。

即ち、本発明のステージ本体板１０の移動位置の精度は
移動量の検出器の検出精度に等しくて、Ｘ−Ｙ座標の所
望の位置に高精度に位置決めすることができ、且つ、Ｘ
軸方向に位置ずれする恐れがない。

さらに、それぞれの脚柱、副ステージ、Ｘ軸弾性板、Ｙ
軸弾性板が、ステージ本体板１０の中心に対して対称に
配設されているので、Ｘ軸、Ｙ軸方向の動作特性が一致
している。

〔実施例〕

以下図を参照しながら、本発明を具体的に説明する。な
お、企図を通じて同一符号は同一対象物を示す。

第１図は本発明の一実施例の斜視図、第２図は本発明の
要部断面図、第３図は本発明の詳細な説明する図、第４
図は本発明のブロック図である。

第１図において、例えばステップモーター等の駆動手段
により、Ｘ軸方向、及びＹ軸方向に比較的長い長さを移
行可能とする粗動Ｘ−Ｙステージ１の上部に、副基板９
を設置し、副基板９のＹ軸に並行する。一方の側縁に沿
って、垂直に側板９Ｘを設け、この側縁に直交する側縁
に沿って垂直に側板９Ｙを設けである。

Ｙ軸圧電素子アクチュエーター５とＸ軸圧電素子アクチ
ュエーター６とは、全く同構造でその動作特性が等しい
。圧電素子アクチュエーターは、詳細を第２図に示すよ
うに、中心部に孔を有する多数（例えば１００枚前後）
の圧電素子２１を絶縁片を介して積層し、軸心孔に例え
ば鋼等の８棒２３を貫通させである。そして、一方の端
面固定側端板２５．他方の端面に端板２４を密着させ、
８棒２３の両端を端板２４．固定側端板２５のそれぞれ
の中心孔に通し、その端部をかしめる等して、一体止さ
せである。

そしてそれぞれの圧電素子２１の対向する端面に設けた
電極より、リード線２６を引きだし並列に接続し、図示
してない制御装置に接続して、各圧電素子に所望に電圧
を、印加するように構成しである。

圧電素子アクチュエーターの最大伸長量は、圧電素子の
積層枚数や、印加電圧により異なるが例えば４０μｍで
ある。

例えば−辺が１００１の正方形・の４隅を構成するよう
に、副基板９上に４本の高さが例えば２０１−前後の角
形の脚柱１１−１．１１−２．１１−３．１１−４を植
立しである。それぞれの脚柱は、燐青銅、アルミニウム
等の金属材より構成されている。

１２Ｙ−１，１２Ｙ−２，１２Ｘ−１，１２Ｘ−２は、
燐青銅、アルミニウム等の脚柱と同一金属よりなり、例
えば長さが６０ｍｍ、上下幅が２０鶴の直方体状の副ス
テージである。

、Ｘ軸弾性板１５Ｘ　、　Ｙ軸弾性板１５Ｙ　、　Ｘ軸
押性板１６ｘ、及びＹ軸弾性板１６Ｙは、副ステージ、
ステージ本体板１０と同じ弾性ある金属、例えば燐青銅
。

アルミニウム等よりなり、例えば板厚が０．３−■で、
−辺が２０鶴の正方形である。

Ｙ軸副ステージ１２Ｙ−１を水平にして一対の脚柱１１
−１と脚柱１１−２の間に挿入した状態で、その両端部
を、粗動Ｘ−Ｙステージ１の上面に垂直で、Ｙ軸に直交
する如くに配設したＹ軸弾性板１５Ｙを介して、脚柱１
１−１または脚柱１１−２に固着しである。

また、Ｙ軸副ステージ１２Ｙ−１に対向して、脚柱１１
−３と脚柱１１−４の間に前述と同様な方法で、Ｙ軸副
ステージ１２Ｙ−２を装着しである。

Ｘ軸副ステージ１２Ｘ−１を水平にして一対の脚柱１１
−１と脚柱１１−４の間に挿入した状態で、その両端部
を、粗動Ｘ−Ｙステージ１の上面に垂直で、Ｘ軸に直交
する如くに配設したＸ軸弾性板１５Ｘを介して、脚柱１
１−１または脚柱１１−４に固着しである。

また、Ｘ軸副ステージ１２Ｘ−１に対向して、脚柱ＩＬ
２と脚柱１１−３の間に前述と同様な方法で、Ｘ軸副ス
テージ１２Ｘ−２を装着しである。

１０は、板厚が例えば２０龍、−辺が６０鶴前後の正方
形の金属板である。ステージ本体板１ｏは、Ｙ軸副ステ
ージ１２Ｙ−１，Ｘ軸副ステージ１２Ｘ−２，Ｙ軸副ス
テージ１２Ｙ−２，Ｘ軸副ステージ１２Ｘ−１（７）　
４　”）副ステージが構成する枠内に、水平に挿入され
装着され°（いる。

詳述すると、ステージ本体板１０のＹ軸副ステージ１２
Ｙ−１，１２Ｙ−２に対向する側面のそれぞれの隅近傍
を、粗動Ｘ−Ｙステージｌの上面に垂直で、Ｘ軸に直交
する如くに配設したＸ軸弾性板１６Ｘを介し°ζ、Ｙ軸
副ステージ１２Ｙ−１，または１２Ｙ−２に連結しであ
る。また、ステージ本体板１０のＸ軸副ステージ１２Ｘ
−１，１２Ｘ−２に対向する側面のそれぞれの隅近傍を
、粗動Ｘ−Ｙステージｌの上面に垂直で、Ｙ軸に直交す
る如くに配設したＹ軸弾性板１６Ｙを介して、Ｘ軸副ス
テージ１２Ｘ−１または１２Ｘ−２に連結しである。

したがって、ステージ本体板１０は４隅のそれぞれが、
直角に突出したＸ軸弾性板１６Ｘ、　Ｙ軸弾性板１６Ｙ
を介して、副ステージに連結しているので、副基板９の
上面とは所望の間隙を保持して、水平状態で、脚柱の中
心部に支えられている。

なお、大きい１枚の金属板を放電加工して、それぞれの
脚柱、副ステージ、弾性板及びステージ本体板１０が一
体化した状態に形成すると、高い寸法精度のものが容易
に得られる。

Ｙ軸圧電素子アクチュエーター５は、側板９ＹとＹ軸副
ステージ１２Ｙ−１との間に水平に挿入され、固定側端
板２５を側板９Ｙに固着し、他方の端板２４側をＹ軸副
ステージ１２Ｙ−１の側面の中心部に当接させである。

一方、Ｘ軸圧電素子アクチュエーター６は、側板９Ｘと
Ｘ軸副ステージ１２Ｘ−１との間に水平に挿入され、固
定側端板２５を側板９Ｘに固着し、他方の端板２４側を
Ｘ軸副ステージ１２Ｘ−１の側面の中心部に当接させで
ある。

なお圧電素子アクチュエーターの端板２４とそれぞれ副
ステージとは、鋼球を介して当接させるようにして、圧
電素子アクチュエーターに曲げ応力が付加されないよう
にし、圧電素子アクチュエーターの損傷防止措置を施し
である。

上述の構成されたステージ本体板１ｏは、作動前は第３
図（ａ）に示すように、それぞれの同形状のＸ軸弾性板
１６Ｘ、　Ｙ軸弾性板１６Ｙ、　　Ｘ軸副ステージ１２
Ｘ−１，１２Ｘ−２、Ｙ軸副ステージ１２Ｙ−１，１２
Ｙ−２、及びＸ軸弾性板１５Ｘ、　Ｙ軸弾性板１５Ｙを
介して、４本の脚柱の中心部に支持されている。

いま、Ｙ軸圧電素子アクチュエーター５に所望の電圧を
印加すると、第３図（ｂ）のように、Ｙ軸副ステージ１
２Ｙ−１の両端を支持しているＹ軸弾性板１５Ｙが撓み
、Ｙ軸副ステージ１２Ｙ−１がＹ軸方向に所望量移動す
る。そしてＹ軸副ステージ１２Ｙ−２側のＹ軸押性板１
５Ｙ及びＹ軸押性板１６Ｙの総てがＹ軸方向に撓み、且
つＹ軸副ステージ１２Ｙ−１とステージ本体板１０とを
連結しているＸ軸押性板１６×は、撓むことがない。し
たがって、ステージ本体板１０はＹ軸方向に移動し、そ
の移動量ΔＹは、Ｙ軸副ステージ１２Ｙ−１の移動量に
等しい。

この状態で、Ｘ軸圧電素子アクチュエーター６に所望の
電圧を印加すると、第３図（Ｃ）のように、Ｘ軸副ステ
ージ１２Ｘ−１の両端を支持しているＸ軸押性Ｆｉ１５
Ｘが撓み、Ｘ軸副ステージ１２Ｘ−１がＸ軸方向に所望
量移動する。そしてＹ軸副ステージ１２Ｙ−２側のＸ軸
押性板１５Ｘ及びＸ軸押性板１６Ｘの総てがＸ軸方向に
撓む。しかし、Ｘ軸副ステージ１２Ｘ−１とステージ本
体板１０とを連結しているＹ軸弾性ＪＮ１６Ｙは、第３
図（ｂ）の状態以上に撓むことがない。したがって、ス
テージ本体板１０はＸ軸方向に移動し、その移動量ΔＸ
は、Ｘ軸副ステージ１２Ｘ−１の移動量に等しい。

この結果、ステージ本体板１０は、Ｙ軸圧電素子アクチ
ュエーター５の伸長量に等しいΔＹだけＹ軸方向に微細
に移動し、さらにＸ軸圧電素子アクチュエーター６の伸
長量に等しいΔＸだけＸ軸方向に微細に移動する。

なお、この際、Ｘ軸押性板１５Ｘ、　Ｙ軸押性板１５Ｙ
。

Ｘ軸押性板１６Ｘ、　Ｙ軸押性板１６Ｙは、Ｘ軸方向、
Ｙ軸方向の力に対しては、Ｘ軸方向に歪むことがない。

即ち、ステージ本体板１０は、Ｘ軸方向にずれない。

また、それぞれの脚柱、副ステージ、Ｘ軸押性板、Ｙ軸
押性板が、ステージ本体板１０の中心に対して対称に配
設されているので、Ｘ軸、Ｙ軸方向の動作特性が一致し
ている。

さらにまた、ステージ本体板１０１脚柱、副ステージ、
弾性板はの上面は、総て同一平面を形成しているので、
微動Ｘ−Ｙステージの搭載品が低くて、小形化が容易で
ある。

なお、上述のようにステージ本体板１０を構成し、ステ
ージ本体板１０を駆動するＹ軸圧電素子アクチュエータ
ー５．Ｘ軸圧電素子アクチュエーター６を装着したうえ
、さらに位置決めを容易とするために、第４図に示すよ
うな、閉ループ制御回路を設けである。

第４図においてステージ本体板１０には、Ｘ軸。

Ｙ軸方向の変位量を、レーザー測長器で計測するために
、反射鏡３１を設置しである。レーザー測長器はレーザ
ー発振器３３と、反射ｖｉ３１とレーザー発振器３３と
の間に挿入する光干渉器３２とよりなり、ステージ本体
板１０の変位量をレーザー測長器で検出し、位置パルス
変換回路３４に送出し、位置パルス変換回路３４でＵＰ
　／ＤＯＵＮ　　パルスに変換する。

このＵＰ　／ＤＯＵＮ　　パルスを現在位置カウンタ３
５でカウントすると、ステージ本体板１０の現在位置が
判明する。

一方目標位置は予め制御用コンピュータ４０にインプッ
トし、制御用コンピュータ４０に接続した目標位置カウ
ンタ４１にメモリーしておく、そして、目標位置カウン
タ４１と現在位置カウンタ３５　　とを比較し、演算回
路４５で引算した後に、Ｄ／Ａコンバータ４６　　でア
ナログ電圧に変換し、その信号情報を補償回路４７に伝
送して、比例積分制御等の制御情報に変換する。そして
高電圧アンプ４８を介して、Ｙ軸圧電素子アクチュエー
ター５にフィードバックしている。

また、Ｘ軸に関しても同様の制御回路を設けである。

上述のような閉ループ制御回路を設けることにより、自
動的に且つ速やかに、ステージ本体板１０を、所定の目
標位置に、位置決めすることができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、水平面上に配設した副ス
テージ、Ｘ軸押性板、Ｙ軸押性板を介してステージ本体
板を、圧電素子アクチュエーターで、微小に移動させる
ものであって、Ｘ軸、Ｙ軸方向の動作特性が一致して、
Ｘ軸、Ｙ軸方向による精度の差がなく、かつＸ軸方向に
ずれる恐れがなくて高精度であり、また小形化が容易で
、操作性が良い等、実用上で優れた効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の斜視図、 第２図は本発明の要部断面図、 第３図は本発明の詳細な説明する図、 第４図は本発明のブロック図、 第５図は従来例の斜視図、 第６図は従来例の要部側面図である。 図において、 ｌは粗動Ｘ−Ｙステージ、 ５はＹ軸圧電素子アクチュエーター、 ６はＸ軸圧電素子アクチュエーター、 １０はステージ本体板、 １１−１．１１−２．１１−３．１１−４は脚柱、１２
Ｙ４．１２Ｙ−２はＹ軸副ステージ、１２Ｘ−１，１２
Ｘ−２はＸ軸副ステージ、１５Ｙ、　１６ＹはＹ軸押性
板、 １５Ｘ、　１６ＸはＸ軸押性板をそれぞれ示す。 第　　１　　口 第　２　日 第　３　口

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　正方形の４隅を構成するように、粗動Ｘ−Ｙステージ
   （１）上に植立した４本の脚柱と、 Ｙ軸方向に可撓性あるＹ軸弾性板（１５Ｙ）を介して、
   それぞれの両端部が、隣接した一対の該脚柱、または該
   一対の脚柱に対向する一対の脚柱に、それぞれ支持され
   てなるＹ軸副ステージ（１２Ｙ−１、１２Ｙ−２）と、 前記Ｙ軸副ステージ（１２Ｙ−１、１２Ｙ−２）に直交
   すべく、Ｘ軸方向に可撓性あるＸ軸弾性板（１５Ｘ）を
   介して、それぞれの両端部が前記組合わせとは異なる組
   合わせの一対の該脚柱にそれぞれ支持されてなるＸ軸副
   ステージ（１２Ｘ−１、１２Ｘ−２）と、該Ｙ軸副ステ
   ージ（１２Ｙ−１、１２Ｙ−２）に対向する側面の両端
   部が、Ｘ軸方向に可撓性ある他のＸ軸弾性板（１６Ｘ）
   を介して、該Ｙ軸副ステージ（１２Ｙ−１、１２Ｙ−２
   ）のそれぞれに連結し、該Ｘ軸副ステージ（１２Ｘ−１
   、１２Ｘ−２）に対向する側面の両端部が、Ｙ軸方向に
   可撓性ある他のＹ軸弾性板（１６Ｙ）を介して、該Ｘ軸
   副ステージ（１２Ｘ−１、１２Ｘ−２）のそれぞれに連
   結して、４つの前記副ステージが構成する枠内に水平に
   支持された正方形板状のステージ本体板（１０）と、 電圧を印加することにより、一方の該Ｙ軸副ステージ（
   １２Ｙ−１）を介して、該ステージ本体板（１０）をＹ
   軸方向に所望量移動する、該粗動Ｘ−Ｙステージ（１）
   上に装着されたＹ軸圧電素子アクチュエーター（５）と
   、一方の該Ｘ軸副ステージ（１２Ｘ−１）を介して、該
   ステージ本体板（１０）をＸ軸方向に所望量移動する、
   Ｘ軸圧電素子アクチュエーター（６）と、 該ステージ本体板（１０）のＹ軸、Ｘ軸方向の微細な移
   動量を、該Ｙ軸圧電素子アクチュエーター（５）、及び
   Ｘ軸圧電素子アクチュエーター（６）にフィードバック
   する閉ループ制御回路と、を備えたことを特徴とする微
   動Ｘ−Ｙステージ。