JPS62167231A - 石英ガラスの製造方法 - Google Patents

石英ガラスの製造方法

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Publication number
JPS62167231A
JPS62167231A JP751586A JP751586A JPS62167231A JP S62167231 A JPS62167231 A JP S62167231A JP 751586 A JP751586 A JP 751586A JP 751586 A JP751586 A JP 751586A JP S62167231 A JPS62167231 A JP S62167231A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sol
thickness
container
wet gel
gel
Prior art date
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Pending
Application number
JP751586A
Other languages
English (en)
Inventor
Hirohito Kitabayashi
北林 宏仁
Sadao Kanbe
貞男 神戸
Motoyuki Toki
元幸 土岐
Satoru Miyashita
悟 宮下
Tetsuhiko Takeuchi
哲彦 竹内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
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Publication of JPS62167231A publication Critical patent/JPS62167231A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B19/00Other methods of shaping glass
    • C03B19/12Other methods of shaping glass by liquid-phase reaction processes

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Glass Melting And Manufacturing (AREA)
  • Silicon Compounds (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はゾル−ゲル法による石英ガラスの製造方法に閃
する。
〔発明の概要〕
本発明はゾル−ゲル法による石英ガラスの製造方法にお
いて、ゾ/l’溶液を円柱形の容器内で円柱軸を中心に
回転させながらゲル化させたことにより、ウェットゲル
の肉厚を2on以上に成型し、乾燥、焼結した後10以
上の厚さのガラスを得たものである。
〔従来の技術〕
従来のゾル−ゲル法による石英ガラスの製造方法におい
て、板状ガラスにおける焼結後の厚さはせいぜい1cn
t以内であった。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかし、前述の従来技術では肉厚状に仕込んだゲルは熟
成中あるいは乾燥中に割れ易いという問題点を有する。
そこで本発明はこのような問題点を解決するもので、そ
の目的とするところはゾル−ゲル法において肉厚ガラス
を提供するところにある。
〔問題を解決するための手段〕
本発明の石英ガラスの製造方法は、ゾル溶液の調製工程
、ゲル化工程、ゲルの乾燥工程、該ゲルの焼結工程より
なる石英ガラスの製造方法のゲル化工程において、PH
5i整後のゾル溶液を円柱形の容器に流入した後該容器
を円柱軸を中心に回転させながらゲル化させウェットゲ
ルの肉厚を2crIM以上に成形することを特徴とする
回転に際しては、円柱形容器の内径、長さによって円柱
軸を鉛直方向あるいは水平方向に保った状態で回転する
ことが望ましい。
〔作用〕
本発明の上記構成によれば、回転させながらゲル化させ
たことにより、微粉末濃度にわずかな変化がつき、また
チェープ形であるため、熟成中あるいは乾燥中に生じる
応力が緩和されて割れることなく形をとどめることがで
きる。
〔実施例1〕 精製した市販のエチルシリフート45tと116の純水
に塩酸11tjを加えた塩酸水清液を激しく攪拌し、無
色透明の均一溶液を得た。そこに超微粉末シリカ(商品
名アエロジルoxso、デグサ社)五75tを徐々に添
加し、充分に攪拌した。さらにこのゾル溶液に超音波を
4時間照射して超微粉末シリカの分散を確実なものとし
た。該ゾル溶液に1500Gの遠心力を15分間かけ、
ゾル溶液中のダマ状物を取り除いて均質度の高いゾル溶
液を得た。
該ゾル溶液を、0.1規定のアンモニア水でPH5−0
に調整してから第1図に示すように円柱形ポリエチレン
製容器1(内径25cIn×高さ14.’5cIn)に
4.5tを仕込み7タ2をした。該ゾル入り容器1を第
1図に示すような平面回転装置3に装着して円柱軸を中
心にして10Gの遠心力で回転させながらゲル化させた
。該ゲル入り容器1を30℃の温度で5日間熟成させた
後、収縮したゲルを乾燥容器に移し0.7%の開孔率を
持つ7タをして55℃の乾燥機内で乾燥させた。約2ケ
月9間で乾燥が終わり、外径17.5crII×内径1
a、5cfft×高さ1[LlcInのチューブ形ドラ
イゲルが得られた。
該ドライゲルをガス置換炉内に入れ、30℃/hrの速
度で900℃まで昇温した。900℃から純ヘリウムガ
スをa、5t7−の流量で炉内に流入しはじめ、30℃
/ h rの速度で1500℃まで昇温し、1500℃
で2時間保持した。
得られた石英ガラスは外径12.5crRX内径z5創
×高さ7.3anの大きさで、2.5鐸の厚さのガラス
が得られた。
〔実施例2〕 実施例1と同じ方法で調整したゾル溶液を、CL1規定
のアンモニア水でPH,5,0に調整してから第2図に
示すように円筒形塩ビ製容器4(内径10α×長さ1 
m )に7.4tを仕込み7タをした、該容器4の円柱
軸を第2図のように水平にして円柱軸のまわりに15G
で回転させながらゲル化させた。該ゲル入り容器4を3
0℃の温度で5日間熟成させた後、収楠したゲルを乾燥
容器に移し[L5%の開孔率を持つ7タをして55℃め
乾燥機内で乾燥させた。約2ケ月間で乾燥が終わり、外
径7 cm X内径1.4cM×長さ70cntの円筒
形ドライゲルが得られた。
該ドライゲルをガス置換炉内に′入れ、30℃/hrの
速度で900℃まで昇温した。900℃かち鈷ヘリウム
ガスをQ、51/−の流量で炉内に流入しはじめ、30
℃/ h rの速度で1500℃まで昇温し、1500
℃で2時間保持した。
得られた石英ガラスは外径5 cm X内径1 cm 
X長さ50crnの大きさで、26Itの厚さのガラス
が得られた。
〔比較例1〕 実施例1と同じ方法で調整したゾル溶液を大量に準備し
、(11規定のアンモニア水でP、H4,8に調整して
から、該ゾル溶液を、容器1:円柱形ぎりエチレン製容
器(内径25 tyn X高さi4.5crn)に4.
5を仕込みフタをして、実施例1と同じ方法で円柱軸を
中心に回転させながらゲル化させた。
また、PH調整したゾル溶液を、容器2:箱型ポリプロ
ピレン製容器(巾50cWIX30crnX高さ10 
an)に5を仕込み7タをして、板状になるよう静置し
てゲル化させた。
容器1.容器2を用いてそれぞれ10個ずつチューブ型
、板状のウェットゲルを得た。各ウェットゲルの肉厚は
ほぼ5創であった。該ウェットゲルを30℃の温度で1
週間熟成させた後、収縮したゲルを乾燥容器(ポリプロ
ピレン製)に移しcL4%の開孔率を持つ7タをして5
5℃の乾燥機内で乾燥させた。約65日で乾燥が終わっ
たが、容器1で作ったチューブ型ゲルは10個中6個が
割れることなく乾燥したのに対して、容器2で作った板
状ゲルは10個中3個が割れなくでき7個が割れた。
該ドライゲルを゛ガス置換炉内に入れ、20℃/hrの
速度で900℃まで昇温した。900℃から純ヘリウム
ガスをa、5t7−の流量で炉内に流入しはじめ、30
℃/ h rの速度で1500℃まで昇温し、1500
℃で2時間保持した。
得られた石英ガラスは、チェープ型のものが外径12.
5cmX内径7.5 cm X高さ7.3 anの大き
さで2.5cIr1の厚さ、板状のものが巾15cnt
X15c!n×厚さ2.5IMであった。
〔発明の効果〕
以上述べたように本発明によれば、PH調整後のゾル溶
液を回転させながらゲル化させウェットゲルの肉厚を2
cm以上に成型したので、肉厚ウェットゲルが熟成中あ
るいは乾燥中に割れることなく、焼結後に1tM以上の
肉厚ガラスが容易に製造できるという効果を有する。
これは肉厚チューブ型石英ガラスを切夛出して肉厚石英
ガラスとして使用することができるだけでなく、炉芯管
用石英ガラス等に幅広い応用が可能となった。
【図面の簡単な説明】
第1図は、円柱軸を鉛直方向に固定して回転させる回転
ゲル化の状態図、第2図は、円柱軸を水平方向に固定し
て回転させる回転ゲル化の状態図を示す。 1・・・・・・ボ、ヅプロピレン製容器2・・・・・・
フタ 3・・・・・・平面回転装置 4・・・・・・円筒型塩ビ製容器 5・・・・・・モーター 6・・・・・・軸受け 7・・・・・・固定治具

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. ゾル溶液の調整工程、ゲル化工程、ゲルの乾燥工程、該
    ゲルの焼結工程よりなる石英ガラスの製造方法のゲル化
    工程において、PH調整後のゾル溶液を円柱形の容器に
    流入した後該容器を円柱軸を中心に回転させながらゲル
    化させウェットゲルの肉厚を2cm以上に成型すること
    を特徴とする石英ガラスの製造方法。
JP751586A 1986-01-17 1986-01-17 石英ガラスの製造方法 Pending JPS62167231A (ja)

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JP751586A JPS62167231A (ja) 1986-01-17 1986-01-17 石英ガラスの製造方法

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JP751586A JPS62167231A (ja) 1986-01-17 1986-01-17 石英ガラスの製造方法

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Publication Number Publication Date
JPS62167231A true JPS62167231A (ja) 1987-07-23

Family

ID=11667910

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JP751586A Pending JPS62167231A (ja) 1986-01-17 1986-01-17 石英ガラスの製造方法

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