JPS62100423A - 石英ガラスの製造方法 - Google Patents

石英ガラスの製造方法

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JPS62100423A
JPS62100423A JP23792785A JP23792785A JPS62100423A JP S62100423 A JPS62100423 A JP S62100423A JP 23792785 A JP23792785 A JP 23792785A JP 23792785 A JP23792785 A JP 23792785A JP S62100423 A JPS62100423 A JP S62100423A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gel
drying
sol solution
quartz glass
thick
Prior art date
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Pending
Application number
JP23792785A
Other languages
English (en)
Inventor
Hirohito Kitabayashi
北林 宏仁
Sadao Kanbe
貞男 神戸
Motoyuki Toki
元幸 土岐
Satoru Miyashita
悟 宮下
Tetsuhiko Takeuchi
哲彦 竹内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
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Publication of JPS62100423A publication Critical patent/JPS62100423A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B19/00Other methods of shaping glass
    • C03B19/12Other methods of shaping glass by liquid-phase reaction processes

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Glass Melting And Manufacturing (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はゾル−ゲル法による石英ガラスの製造方法に関
する。
〔発明の概要〕
本発明はゾル−ゲル法による石英ガラスの製造方法にお
いて、超微粉末シリカ濃度の高いゾル溶液を用いて、ゲ
ル化容器への仕込み深さを2cm以上にして肉厚のウェ
ットゲルを得、乾燥に際してはゲルと浸出した離しよう
水とを分離した状態で行なうことにより、肉厚で大型の
石英カラスを得られるようにしたものである。
〔従来の技術〕
従来のゾル−ゲル法による石英カラスの製造方法は、ガ
ラスの面積的には大きくても、厚さにおいてぜいぜい1
α以内であった。
〔発明が解決しようとする問題点及び目的〕しかし、前
述の従来技術ではゾルm液の仕込み深さf 2 cm以
上にして肉厚に仕込んでも、熟成中あるいは乾燥中に割
れ、肉厚の石英ガラスが得られなかった。
そこで本発明はこのような問題点を解決するもので、そ
の目的とするところは肉厚で大型の石英ガラスを提供す
るところにある。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明の石英ガラスの製造方法は、ゾル溶液の調製工程
、ゲル化工程、ゲルの乾燥工程、該ゲルの焼結工程より
なる石英ガラスの製造方法において、超微粉末ノリ力の
割合がフルキルシリケートの刃口水分解からなるシリカ
に対して55wt’6以上90wt4以下であるゾル#
液を、ゲル化容器への仕込み深さを2crn以上にして
ゲル化させ、該ウェットゲルを穴のあいたフタを有する
乾燥容器中でゲルと浸出した離しよう水とを分離した状
態で乾燥を行なうことを特徴とする。
煙微粉末シリカの割合がフルキルシリケートの加水分解
からなるシリカに対して55wt%未満のゾル溶液を厚
さ2ω以上に仕込んだ場合、ゲル化後の熟成中のゲルに
クランクが入り割れてしまう@超微粉末シリカの割合が
フルキルシリケートの加水分解からなるクリ力に対して
55wt%以上90wt4以下のゾル溶液全厚さ2m以
上に仕込んだ肉厚ウェットゲルの場合は、ゲル化陵の熟
成中にクランクが入って割れることなく、また乾燥も容
易に行なうことができる。超微粉末シリカの割合が90
wt%以上になると、乾燥中にゲルが割れ易く肉厚のバ
ルクが出来ない。
ウェットゲルから浸出した離しよう水をゲルと分離した
状態で乾燥させるため、乾燥容器内の底面に外径が同じ
で表面の滑らかなプラスチックロールを敷きつめ、その
上に醇のウェットゲルを置き、離しよう水が直接ゲルに
触れない様にした。
このよりにゲルヲ離しよう水から分離した状態で乾燥さ
せることにより、肉厚ゲル内部から外側へ回っての離し
よう水の拡散が全方向に向かって起こるため、離しよう
水に浸った状態での乾燥に比べると、肉厚ゲル内外の歪
差はより小さくなり、ゲルが嗣れ碓く矛った。
また、乾燥容器のフタの開孔率は5qb以下、好′まし
くは1壬以下にする。開孔率が大きすぎると、乾燥容器
内の湿式の急激な低下、それだ伴うゲル表面からの著し
い速度での水分の逸散でゲル内部からの水の拡散が伴わ
ずにゲル内外で歪が生じて割れてしまう。
〔作用〕
本発明の上記の構成によれば、超微粉末シリカの割合を
多くすることにより、肉厚ゲルの割れを防止することが
できる。熟成中はゲル内部から離しよう水が浸出するに
伴いゲルが収縮するが、超微粉末量が多くなると水の浸
出が容易になりゲルに歪がかからなくなシ割れ1a(な
る。また乾燥においても、ゲル内部からの水の拡散が容
易にな、り歪が生じることなく割れ難くなる。
ゲルと浸出した離しよう水とを分離した状態で乾燥させ
るのも、肉厚ゲル内部から外側に向っての離しよう水の
拡散が全方向に向って起こるようにして肉厚ゲル内外の
歪差を小さくしてゲルを割れ難くしたものである◎ 〔実施例1〕 精製した市阪のエチルシリケート4.54と11jの純
水に塩酸11−を加えた塩酸水溶液を激しく攪拌し、無
色透明の均一溶液を得た。そこに超微粉末シリカ(商品
名アエロジル0X50.デグサ社)五75Kf’e徐々
に添加し、充分に攪拌1〜た。
さらにこのゾル溶液に超音波を4時間照射して超微粉末
シリカの分散を確実なものとした。該ゾル溶液に150
0Gの遠心力を15分間かけ、ゾル溶液中のダマ状物を
取り除いて均’J[の高いゾル溶液を得た。
該ゾル溶液金、0.1規定のアンモニ丁水でPI(5,
2に調整してからポリプロピレン製容器(幅20 ry
n X 20(1)X高さ10−)に深さが7副になる
量全仕込みフタをした。6日間、30℃の熟成室内で放
置したかゲルは割れることなく少し収縮していた。該ゲ
ル■を第1図に示すように、乾燥容器■の底面に外径が
同じで表面の滑らかなプラスチックロール■を敷きつめ
た上に置き、0.54の開孔率を持つフタ■をして、5
5℃の乾燥機内で乾燥させた。約2ケ月間で乾フ栗が終
わり、幅14cIn×14cn1×厚さ4,9−のドラ
イゲルが割れることなく出来上った。
該ドライゲルをガス11換炉内に入れ、50℃/hrの
速度で900℃まで昇温した。900℃から純ヘリウム
ガスを[1L51/l11Mの流量で炉内に流入りはじ
め、30℃/hrの連間で1500℃まで昇温し、15
00℃で2時間保持した。
得られた石英ガラスは幅10.5 cm X 1α5 
cm X厚さA5mの大きさであった。
〔比較例1〕 精製した市販のエチルシリケート74と44の純水に塩
酸4ゴを加えた塩酸水溶液を激しく攪拌し、無色透明の
均一溶液を得た。そこに超微粉末シリカ(商品名了エロ
ジルoxso、デグサ社〕t 9 Kgを徐々に添加し
、充分に攪拌した。さらにこのゾル溶液に超音波を4時
間照射して超微粉末シリカの分散を確実なものとした。
該ゾル溶液に1500()の遠心力を15分間かけ、ゾ
ル溶液中のダマ状物を嘔り除いて均質■の高いゾル溶液
を得た。
該ゾル溶液−1,a1規だのアンモニア水でPH5,2
に調整してからポリプロピレン製容器(幅20 cm 
X 20 tyn X高さ10m)に深さが7(7)に
なる量を仕込みフタをした。該ゾル溶液入りポリプロピ
レン製容器を50℃の熟成室内に静置しておいたところ
、ケル化後2日目にクランクが入り割れた。
本ゾル溶液のアエロジル微粉末の割合はアルキルシリケ
ートの加水分解から成るノリ力に対して50wt%で、
この濃度での肉厚ゲルは熟成中に割れた。
〔実施例2〕 超微粉末シリカの割合が、アルキルシリケートの刃口水
分解から成るシリカに対して、55wt#。
65wt%となる2種類のゾル溶液を実施例1と同方法
で調整した。該ゾル溶液を[1,1硯足のアンモニア水
でPH5,0にxtしてからポリプロピレン製容器(g
 20 cm X 20 cm X高さ10−]に深さ
が7備になるようそれぞれ10枚ずつ仕込みフタ分して
、60℃の熟成室内で静置ゲル化、熟成させた。熟成5
日後に、55wt%肉厚ゲルは6枚が、 65Wtl肉
厚ゲルは1枚が割れた。割れなかった肉厚ゲルを実施例
1と同方法で乾燥させたが、55wt96肉厚ゲルは乾
燥中に1枚が割れたが% 65wt1肉厚ゲルは割れず
に乾燥できた。
〔実施例5〕 超微粉末シリカの割合が、アルキルシリケートの加水分
解から成るシリカに対して55wt1lとなるゾル溶液
を実施例1と同方法で調整した。該ゾル溶液全0.1規
定のアンモニア水でP H4,8に調整してからポリプ
ロピレン製容器(幅20m×20tM×高さ10α)に
深さが2mになる量を仕込みフタをしてゲル化させた。
該ゲルを30℃の熟成室内に5日間静置したが、ゲルに
クランクは入らなかった。
該ゲルを実施例1と同様に乾燥容器に入れ55℃の乾燥
機内で乾燥させた。約5週間で乾燥が終わり、幅14m
X14(7)×厚さ1.4−のドライゲルが割れること
なく出来上った。
該ドライゲルをガス置換炉内に入れ、30℃/hrの速
度で900℃まで昇温した。900℃から純ヘリウムガ
スf0.51/―の流量で炉内に流入しはじめ、30℃
/hrの速度で1450℃まで昇温し、1450℃で1
時間保持した。
得られた石英ガラスは幅10crn×10LM×厚さ1
6nの大きさであった。
〔比較例〕
実施例5で14整した同じゾル溶液fPHaQに調整し
てポリプロピレン製容器(幅25ryy+X25α×高
さ10 cm )に深さが5副になる肴を仕込みフタを
してゲル化させた。該ゲルを50℃の熟成室内で5日熟
成した後、乾燥用のポリプロピレン製容器内の底面に直
接置き0.5%の開孔率を持つフタをして55℃の乾燥
室内で乾燥しはじめた。
6週間後ゲルにクランクが入り2つに割れた。
〔実施例4〕 実施例1と同様の方法で、エチルシリケート1、4 B
 6と12.4gの純水に塩酸j2.4mZ”i加えた
塩酸水溶液を激しく攪拌し無色透明の均一溶液を得た。
そこに超微粉末クリカ五6匂を徐々に添加し光分に攪拌
した。さらにこのゾル溶液に超音−1〇− 波f5時間照射して超微粉末ノリ力の分散を確実なもの
とした該ゾル溶液に1500Gの遠心力を30分間かけ
、ゾル溶液中のダマ状物を14!2#)除いて均質度の
高いゾル溶液を得た。
該ゾル溶液を、α1規定のアンモニア水でPH5,3に
g@整してからポリプロピレン製容器(幅206n×2
0cIn×高さ10 cm )に深さが3−になる槍を
仕込みフタをした。ゲル化後、50℃の熟成室で5日間
熟成した。該ゲルを実施例1と同様の方法で55℃の乾
燥機で乾燥させた後、焼結して透明石英ガラスを得た。
〔発明の効果〕
以上述べたように、本発明によれば、超微粉末シリカ濃
吐の高いゾル溶液を用いて肉厚状にゲル化させ、乾燥に
際してはゲルと浸出した離しよう水とを分離した状態で
行うことにより、肉厚の石英ガラスが容易に得られるよ
うになシ、大型レンズやプリズム等光学ガラスに応用で
きるようになった。
【図面の簡単な説明】
第1図は肉1ダゲルの乾燥状態図であり、■は肉厚ゲル
、(2)は乾燥容器、■はプラスチックロール、■は孔
のあいたフタを示す。 以   上

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 ゾル溶液の調整工程、ゲル化工程、ゲルの乾燥工程、該
    ゲルの焼結工程よりなる石英ガラスの製造方法において
    、以下の構成を有することを特徴とする石英ガラスの製
    造方法。 (a)ゾル溶液の調製工程において、超微粉末シリカの
    割合がアルキルシリケートの加水分解からなるシリカに
    対して55wt%以上90wt%以下となるゾル溶液。 (b)ゲル化工程において、ゾル溶液のゲル化容器への
    仕込み深さを2cm以上にしてゲル化させる。 (c)ゲルの乾燥工程において、穴のあいたフタを有す
    る乾燥容器中で、ゲルと浸出した離しよう水とを分離し
    た状態で乾燥を行なう。
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