JPS62162341A - 複合処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は被処理物のローディング及びアンローディング
を含む複数の処理行程を有する複合処理装置に関する。

〔発明の背景〕

例えば半導体チップの製造などに見られるように被処理
物の一連の加工処理や洗浄処理などを行うためには個々
の処理機能を受は持つ複数の処理装置及びローダ、アン
ローダ−が必要である。更には成る処理装置から次行程
の処理装置に被処理物を自動的移送させるため搬送装置
をそなえることがある。

作されていた。そのために、複合処理装置の設計。

製作、据え付は工事等が面倒であり、時間的にもコスト
的にも問題があり、このようにして作られまった後は、
処理ニーズの変化に対応して新たな処理機能を附加・変
更することは殆ど不可能であった。電子部品の製造分野
においてとりわけ小量多機種生産のニーズが高まってい
る状況下では処理装置の多機能化が求められると共に、
必要に応じて新たな処理機能の追加や変更が望まれるが
従来その対応が困雅があった。

〔発明の目的〕

本発明は、多様な処理ニーズや設置条件に応じて任意且
つ簡単に所望の複合処理装置を構成しうるようにしたも
のである。

〔発明の概要〕

本発明は処理機能の異なった複数処理装置の間に、被処
理物を搬送するための搬送装置を具えてなるものにおい
て、これらの各処理装置及び搬送’Ａ置をユニット化し
、且つ各装置間の組み合わせに際しての取り合い関係を
統一シ、これら各処理装置及び搬送装置を任意に組み合
わせて一体化を可能にすると共に、搬送装置には被処理
物の搬送のための直進機構に加えて搬送方向を任意に変
更するための回転機構を具えてなるものである。

〔発明の実施例〕

本発明を電子部品の洗浄装置に適用した実施例によって
説明する。第１図は本発明の一実施例になる洗浄装置の
全体を示す俯入敞図である。同図で１は被洗浄物である
電子部品を洗浄ラインに供給するローダ、３は湿式洗浄
装置、５は乾式洗浄装置、７は検査装置、８は洗浄後電
子部品をラインから降すためのアンローダ、９は乾式洗
浄装置。

１１はアンローダ、２，４，６，１０は夫々搬送装置で
ある。これらのローダ、アンローダ、各処理装置及び各
搬送装置は何れもユニット化されており、任意の組み合
わせ乃至はレイアウトが可能なように、相互の位置的乃
至寸法的な取り合い関係が統一されている。１２は、相
互の位置関係を規制すると共に、相互を構造的に結合さ
せるための結合接手、１３はこの複合洗浄装置を運転す
るための信号を伝送するためのコネクタを示す。実施例
の複合処理装置は半導体装置のような電子部品の複合的
な洗浄処理を可能にしたものである。ローダ１上に堆積
された多数のトレイには予め洗浄するための電子部品が
載置されており、これらのトレイ１５は順次、搬送装置
２によって湿式洗浄装置３上に運ばれる。湿式洗浄装置
は被洗浄物を洗浄槽の水中に浸し、超音波据動子を作動
させて。

水を振動し、これによって被洗浄物表面の主として無機
質の塵埃を除去する。次に搬送装置４によって乾式洗浄
装置５に搬送される。乾式洗浄製置去する。次に搬送装
置６によって、検査装置７に搬送し、そこで検査が行わ
れ１次いで、搬送装置６によってアンローダ８に搬送さ
れ、一連の洗浄工程を完了する。この複合洗浄装置は被
処理物の相違又は洗浄条件の相違に応じて上述の工程と
異つ なる洗浄処理を行うたヘラインを具えている。

その場合、湿式洗浄装置３で処理された被洗浄物は搬送
装置４によって乾式洗浄装置９に搬送される。ここで、
前述の乾式洗浄装置５の場合とは異なったレベルの洗浄
が行われる。次に搬送装置１０によってアンローダ１１
に搬送されこの場合の洗浄工程を終了する。

゛　本発明装置においては、ユニット化され且つ諸機能
、詣仕様が統一された搬送装置が重要な役割をはたす。

本発明における搬送装置は前後或は左右に隣接する処１
１ｉ装置間における被処理物の任意な搬送を遂行する。

そのためにこの搬送装置は隣接する処理装置に対して被
処理物を移送してセットしたり、リセットして移送した
りする機能を具えており、更に被処理物の移送の方向を
任意に選択変更できる機能を具えている。即ち、第１図
において、例えばローダ１上のトレイ１５を湿式洗浄装
置３に搬送させるには、搬送装置２のトレイ支持用アー
ムは先ずローダ１上のトレイ１５の方向に直進して、ト
レイ１５の下面に到達した所で上動し、１−レイ１５を
持ち上げてローダ１上から転し、次いで反対方向に直進
して、湿式洗浄装置３上に到達した所で下動じトレイ１
５を降してトレイ１５をセットし、しかる後、元の位置
に戻って、次の動作に具えて待機する。乾式洗浄装置３
と２台の乾式洗浄装置５及び９の間に配置された搬送装
置４の働きも上述の搬送装置２の場合と金く同様である
。ただ、例えば湿式洗浄装置３とこれに対して直角に配
置された乾式洗浄装置９の間でトレイの搬送を行う場合
は搬送装置のアームは９０°回転することになるが、搬
送の方向に応じてアームの進行方向を任意に変更し得る
本装置においては当然の機能である。

次に、本発明装置における重要な構成要素である搬送装
置に関し、第２図及び第３図に示した実施例について、
詳しく説明する。

第２図においてテーブル１０１上にボールネジ支持部１
０２，１０３で支持されたボールネジ１０４に、ボール
ネジ可動部１０５を介してアーム支持部１０６が取り付
けられている。アーム支持部１０６からは、トレイ１５
．を受は取るためのアーム１０７が伸びている。

ボールネジ１０４は、プーリー１０８及び１０９ベルト
１１０を介してアーム用モータ１１１に接続されており
アーム用モータ１１１を回転させることにより１回転運
動を直線運動に変化させアーム機構部を前後させる。即
ち、モータ１１１の回転がプーリー１０８，１０９、ベ
ルト１１０を介１０３にて固定されているのでボールネ
ジ１０４が回転することによって、ボールネジ可動部１
０５がボールネジの溝にそって前後に移動する。トレイ
１５を処理装置に対してセット又はリセットさせるため
アーム１０７はテーブル１０１と一体的に上下動を行う
。即ち、テーブル１０１に第３図のクランクシャフト支
持部１１２と上下用ガイドシャフト１１３が固定されて
いる。上下用モータ１１４は、テーブル支持部１１５に
固定されておリプーリ−１１６及び１１７、ベルト１１
８を介してモータの回転をクランクシャフト１１９に伝
達する６クランクシヤフトの左端にはアームの上端、下
端を検知するセンサ１２０が取り付けられている。この
クランクシャフト１１９はテーブル支持部１１５内を通
ってテーブル下面中央にてクランクシャフト支持部にス
ライディングブロック１２１を介してテーブル支持部１
１５に対し、水平に滑動可能に取り付けられている。又
、テーブル１０１に固定しである上下用ガイドシャフト
１１３は、テーブル支持部１１５内のベアリング１２２
によって上下にのみ自由に移動できるようになっている
。上下用モータ１１４を回転させるとその回転はベルト
、プーリーを介してクランクシャフト１１９に伝達され
クランクシャフトが回転して、クランクシャフト支持部
１１２を上下に動作させテーブルが上下動する。これに
よってアームによるトレイのセット、リセットが行われ
る。

テーブル支持部１１５はローラカムギヤユニット１２３
の出力シャフト１２４に固定されておリローラ力ムギャ
ユニットの入力シャフト１２５は、ベルトを介して回転
用モータ１２６と接続されている。ローラカムギヤユニ
ットは、入力１回転に対して出力シャフト側で１．１／
２．１／４などの回転数を正確に出力するものであり内
部は特殊なローラカムギヤ機構となっているものである
。

したがって回転用モータを回すことによりローラカムギ
ヤユニットの入カシャフＩ−１２５が回転しその入力シ
ャフトの回転に応じた回転数が出力シャフト１２４に出
力され、テーブル支持部１１５が回転する。よって回転
用モータに所望の回転数を指示してやることにより搬送
テーブルは自由な方向に回転し、アームの進行方向の任
意な設定を可能にする。

従来の処理装置における被処理物の搬送装置は特許出願
公告昭和５６年４９４５１号「回転塗布機における基板
着脱装置」に見られるように、被処理物を直線方向にの
み搬送するものであるため１本発明における複合処理装
置の場合のような複数の処理装置の間での被処理物の搬
送を行わせることは困難であるが、本実施例装置は、ア
ームの進行方向を任意に選定できる機能を持っているの
で、一つの搬送装置によってそれの前後或いは左右に配
置された複数の処理装置に対して随意に被処理物の搬送
及びセット、リセットを可能にする。これによって本発
明の目的であるユニット化された処理装置及び搬送装置
の任意な組み合わせによる一体化された複合処理装置の
実現が可能になった。

又、本実施例においては、搬送に必要な機能を一体化さ
れた複合処理装置の構成ユニットとして必要最小限なも
のとすることが出来るので、汎用搬送装置に比し、単純
化、ローコスト化を達成することができる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、処理機能の異なった複数の処理装置と
被処理物の搬送装置を組み合わせて一体化することによ
り、任意の処理機能を有する複数の処理工程及び各処理
工程間の被処理物の搬送等を全て自動化した複合処理装
置を容易に得ること＃３図 手続補正書（方式） 昭和６２年　２月３　日

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、ローダ、アンダー等を含む夫々に処理機能を異にし
   た複数の処理装置の間に、被処理物を前記各処理装置の
   間に搬送させるための搬送装置を具えてなるものにおい
   て、予め、夫々ユニット化された複数の処理装置及び搬
   送装置を任意に組み合わせて一体化したことを特徴とす
   る複合処理装置。 ２、特許請求の範囲第１項において、搬送装置に搬送の
   ための直進機構及び搬送方向を任意に変更しうる回転機
   構を具えたことを特徴とする複合処理装置。 ３、特許請求の範囲第２項において搬送装置に被処理物
   のセット及びリセットのための上下動の機構を具えたこ
   とを特徴とする複合処理装置。