JPS62154603A - 機能トリミング方法 - Google Patents
機能トリミング方法Info
- Publication number
- JPS62154603A JPS62154603A JP60293851A JP29385185A JPS62154603A JP S62154603 A JPS62154603 A JP S62154603A JP 60293851 A JP60293851 A JP 60293851A JP 29385185 A JP29385185 A JP 29385185A JP S62154603 A JPS62154603 A JP S62154603A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- trimming
- measurement
- adjustment
- resistor
- value
- Prior art date
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- Pending
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- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は抵抗体をトリミングして電子回路の特性を所望
の値に調整する機能トリミング方法に関するものである
。
の値に調整する機能トリミング方法に関するものである
。
従来の技術
一般に機能トリミングは、回路の特性（電圧とか周波数
）が所望の値になるまで、回路特性の計測と抵抗体のト
リミングを交互に繰り返すことで行なわれる。高い調整
精度（以下、トリミング精度という。）を得るためには
、抵抗体のトリミング量を微少に設定することが必要で
ある。また、トリミング速度の向上のためには、計測と
抵抗体トリミングの繰り返し回数を減らすことが必要で
例えば、トリミング量を所望特性値に至たるまでの間に
複数段階設定した調整範囲毎に対応したトリミング定数
より決定するなどの方法が用いられていた（例えば、特
開昭５９−２９４４６号公報）。
）が所望の値になるまで、回路特性の計測と抵抗体のト
リミングを交互に繰り返すことで行なわれる。高い調整
精度（以下、トリミング精度という。）を得るためには
、抵抗体のトリミング量を微少に設定することが必要で
ある。また、トリミング速度の向上のためには、計測と
抵抗体トリミングの繰り返し回数を減らすことが必要で
例えば、トリミング量を所望特性値に至たるまでの間に
複数段階設定した調整範囲毎に対応したトリミング定数
より決定するなどの方法が用いられていた（例えば、特
開昭５９−２９４４６号公報）。
発明が解決しようとする問題点
このような従来の方法では、トリミング精度を上げるた
めに高精度な回路特性の計測と抵抗体の微少トリミング
が必要になり、計測及び抵抗体トリミングの繰り返し回
数が増大してトリミングに長い時間を要していた。高精
度計測は一般に時間がかかり、さらにトリミングに長時
間を要していた。また、抵抗体のトリミング量をある定
数から決定しトリミングするのは、抵抗体の膜厚分布状
態の不均一などからおのずとトリミング不良を招くこと
になり、結局、高速かつ高精度の機能トリミングが困難
であり、いたって生産性の悪いものであった。
めに高精度な回路特性の計測と抵抗体の微少トリミング
が必要になり、計測及び抵抗体トリミングの繰り返し回
数が増大してトリミングに長い時間を要していた。高精
度計測は一般に時間がかかり、さらにトリミングに長時
間を要していた。また、抵抗体のトリミング量をある定
数から決定しトリミングするのは、抵抗体の膜厚分布状
態の不均一などからおのずとトリミング不良を招くこと
になり、結局、高速かつ高精度の機能トリミングが困難
であり、いたって生産性の悪いものであった。
本発明はこれら従来の問題点を排除した、高速かつ高精
度の機能トリミング方法を提供することを目的としてい
る。
度の機能トリミング方法を提供することを目的としてい
る。
問題点を解決するための手段
上記問題点を解決するために本発明の機能トリミング方
法は、所望特性値に至らしめるのに二回にわたる調整を
行い、最初に所望の特性値を下まわる特性値を第一の調
整目標値として特性計測に於ける計測分解能を下げた状
態で粗調整を行い、次に所望の特性値を第二の調整目標
値として特性計測に於ける計測分解能を」二げた状態で
微調整するものである。
法は、所望特性値に至らしめるのに二回にわたる調整を
行い、最初に所望の特性値を下まわる特性値を第一の調
整目標値として特性計測に於ける計測分解能を下げた状
態で粗調整を行い、次に所望の特性値を第二の調整目標
値として特性計測に於ける計測分解能を」二げた状態で
微調整するものである。
作用
本発明は上記した方法により、計測と抵抗体トリミング
の操り返し周期に関係する計測分解能を制御することで
、高速に粗調整、また、高精度で微調整が可能となり、
総合して高速かつ高精度の機能トリミングが行えるもの
である。
の操り返し周期に関係する計測分解能を制御することで
、高速に粗調整、また、高精度で微調整が可能となり、
総合して高速かつ高精度の機能トリミングが行えるもの
である。
実施例
以下本発明の機能トリミング方法について、図面を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
第１図は、本発明の機能トリミング方法の一実施例であ
る機能トリミング装置を示すブロック図である。第１図
において、ｌは計測分解能を制御可能な計測手段（例え
ば周波数カウンタ）、２は所定の速度でレーザビームを
走査可能なレーザビーム走査手段、３は外部からの制御
信号でパルス状のレーザを出力するレーザパルス制御手
段、４は前記各手段を制御するコンピュータ等の制御手
段である。
る機能トリミング装置を示すブロック図である。第１図
において、ｌは計測分解能を制御可能な計測手段（例え
ば周波数カウンタ）、２は所定の速度でレーザビームを
走査可能なレーザビーム走査手段、３は外部からの制御
信号でパルス状のレーザを出力するレーザパルス制御手
段、４は前記各手段を制御するコンピュータ等の制御手
段である。
ここで、回路の調整対象Ｆｘは周波数、計測手段は周波
数カウンタとする。また、所望特性値は１０ Ｍｔｌｚ
で、その許容誤差は±１０ Ｋ）ｌｚ （±０．１％）
とする。したがって、微調整に於ける計測分解能は±１
旧ＩＺ％すなわち周波数カウンタのカウントゲート時間
幅は１ｍｓ以上にする必要がある。しかし、調整を開始
してから常時±Ｉ ＫＨｚの分解能にする必要はなく、
粗調整に於ける計測分解能は土１０ Ｋｔｌｚ （カウ
ントゲート時間幅は０．１ｍ５）程度で十分である。
数カウンタとする。また、所望特性値は１０ Ｍｔｌｚ
で、その許容誤差は±１０ Ｋ）ｌｚ （±０．１％）
とする。したがって、微調整に於ける計測分解能は±１
旧ＩＺ％すなわち周波数カウンタのカウントゲート時間
幅は１ｍｓ以上にする必要がある。しかし、調整を開始
してから常時±Ｉ ＫＨｚの分解能にする必要はなく、
粗調整に於ける計測分解能は土１０ Ｋｔｌｚ （カウ
ントゲート時間幅は０．１ｍ５）程度で十分である。
以上のように構成された機能トリミング装置について、
第２図を用いてその動作を説明する。
第２図を用いてその動作を説明する。
第２図は前記制御手段の動作を示すフロー図である。
まず、１１でトリミング回数ｉ （ここでｉの初期値は
１である）を判定（ｉ＝１の時は粗調整、ｉ＝２の時は
微調整）し、ｉ−１の時には１２で粗調整用計測分解能
Ｒ１を、ｉ＝２の時には１３で微調整用計測分解能Ｒ２
を、計測手段１にセットする。
１である）を判定（ｉ＝１の時は粗調整、ｉ＝２の時は
微調整）し、ｉ−１の時には１２で粗調整用計測分解能
Ｒ１を、ｉ＝２の時には１３で微調整用計測分解能Ｒ２
を、計測手段１にセットする。
次に、１４でレーザビーム走査手段２にビーム走査速度
Ｓｉ （ｉ＝１．２）をセットしビームの走査を開始
せしめる。次に、１５で前記計測手段ｌに計測開始指令
を与え、計測手段１からの計測終了信号を１６で待つ。
Ｓｉ （ｉ＝１．２）をセットしビームの走査を開始
せしめる。次に、１５で前記計測手段ｌに計測開始指令
を与え、計測手段１からの計測終了信号を１６で待つ。
前記計測終了信号が検出されたならば、１７で計測結果
Ｆｘを計測手段１より読み取り、さらに１８で計測結果
Ｆｘが調整目標値Ｆｔｉ（ｉ＝１．２、Ｆｔｌは粗調整
用、Ｆｔ２は微調整用）以上になったかどうかを判定す
る。前記１８に於けるＦｘ≧Ｆｔｉの条件か満たされな
かった時には、１９でレーザパルス制御手段３にて抵抗
体を微少距離トリミングし１５に戻る。逆に、１８にお
けるＦｘ≧Ｆｔｉの条件が満たされたならば、２０でレ
ーザビーム走査手段２にビーム走査停止指令を出した後
、２１でトリミング回数ｉを判定し、ｉ−１の時には、
ｉ＝ｉ＋ｌを２２で演算して１１に戻り微調整に移る。
Ｆｘを計測手段１より読み取り、さらに１８で計測結果
Ｆｘが調整目標値Ｆｔｉ（ｉ＝１．２、Ｆｔｌは粗調整
用、Ｆｔ２は微調整用）以上になったかどうかを判定す
る。前記１８に於けるＦｘ≧Ｆｔｉの条件か満たされな
かった時には、１９でレーザパルス制御手段３にて抵抗
体を微少距離トリミングし１５に戻る。逆に、１８にお
けるＦｘ≧Ｆｔｉの条件が満たされたならば、２０でレ
ーザビーム走査手段２にビーム走査停止指令を出した後
、２１でトリミング回数ｉを判定し、ｉ−１の時には、
ｉ＝ｉ＋ｌを２２で演算して１１に戻り微調整に移る。
前記２１の条件（ｉ＝２）が満たせば機能トリミングが
終了したことになる。
終了したことになる。
ここで、前記調整目標値Ｆｔｉのうち、粗調整用の目標
値Ｆｔｌは所望特性（Ｉｉｌ！Ｆｒの９５％に、微調整
用の目標値Ｆｔ２は所望特性値Ｆｆにそれぞれ設定する
。また、前記レーザビーム走査速度Ｓｉのうち、粗調整
時のビーム走査速度Ｓ１は計測時間（カウンタのゲート
時間幅）が０．ｉｎ＋ｓであるので５０關／ ｓ 、微
調整時のビーム走査速度Ｓ２は計測時間が１ｍｓである
ので５ 龍／ ｓをそれぞれ設定する。
値Ｆｔｌは所望特性（Ｉｉｌ！Ｆｒの９５％に、微調整
用の目標値Ｆｔ２は所望特性値Ｆｆにそれぞれ設定する
。また、前記レーザビーム走査速度Ｓｉのうち、粗調整
時のビーム走査速度Ｓ１は計測時間（カウンタのゲート
時間幅）が０．ｉｎ＋ｓであるので５０關／ ｓ 、微
調整時のビーム走査速度Ｓ２は計測時間が１ｍｓである
ので５ 龍／ ｓをそれぞれ設定する。
したがって、抵抗体の全カット距離を３ ｍｓとすると
、粗調整時における抵抗体のトリミング距離は２．８１
程度になり、そのトリミング時間は、２．８１５０＝
０．０５６ （秒）、また、微調整時における抵抗体の
トリミング距離は０ 、２ ｖ＊程度になり、そのトリ
ミング時間は、０．２／ ５ ＝０．０４ （秒）、す
なわち、０．１秒程度で機能トリミングを行うことが可
能である。
、粗調整時における抵抗体のトリミング距離は２．８１
程度になり、そのトリミング時間は、２．８１５０＝
０．０５６ （秒）、また、微調整時における抵抗体の
トリミング距離は０ 、２ ｖ＊程度になり、そのトリ
ミング時間は、０．２／ ５ ＝０．０４ （秒）、す
なわち、０．１秒程度で機能トリミングを行うことが可
能である。
発明の効果
以上のように、本発明は所望特性値を得るのに粗調整と
微調整に分けて、さらに特性計測における計測分解能の
制御を行ったことにより、高速かつ高精度に機能トリミ
ングが行え、その生産性に与える効果は大きい。
微調整に分けて、さらに特性計測における計測分解能の
制御を行ったことにより、高速かつ高精度に機能トリミ
ングが行え、その生産性に与える効果は大きい。
第１図は本発明の一実施例の機能トリミング装置のブロ
ック図、第２図は動作フロー図である。 １・・・・・・計測手段、２・・・・・・レーザビーム
走査手段、３・・・・・・レーザパルス制御手段、４・
・・・・・制御手段。 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 はか１名第１図
ック図、第２図は動作フロー図である。 １・・・・・・計測手段、２・・・・・・レーザビーム
走査手段、３・・・・・・レーザパルス制御手段、４・
・・・・・制御手段。 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 はか１名第１図
Claims (1)
- 回路特性の計測と抵抗体のトリミングを交互に繰り返
して回路の特性を所望の特性値に調整する機能トリミン
グ方法であって、最初に所望の特性値を下回る特性値を
第一の調整目標値として特性計測における計測分解能を
下げた状態で粗調整を行い、次に所望の特性値を第二の
調整目標値として特性計測における計測分解能を上げた
状態で微調整することを特徴とする機能トリミング方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60293851A JPS62154603A (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 | 機能トリミング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60293851A JPS62154603A (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 | 機能トリミング方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62154603A true JPS62154603A (ja) | 1987-07-09 |
Family
ID=17799976
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60293851A Pending JPS62154603A (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 | 機能トリミング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62154603A (ja) |
-
1985
- 1985-12-26 JP JP60293851A patent/JPS62154603A/ja active Pending
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