JPS62154445A - イオン注入装置 - Google Patents
イオン注入装置Info
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- JPS62154445A JPS62154445A JP29513485A JP29513485A JPS62154445A JP S62154445 A JPS62154445 A JP S62154445A JP 29513485 A JP29513485 A JP 29513485A JP 29513485 A JP29513485 A JP 29513485A JP S62154445 A JPS62154445 A JP S62154445A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、イオン注入装置の特に監視および制御に関
するものである。
するものである。
通常、イオン注入装置では本体側のイオンｇ電源、加速
電源、引出電源、ガス流量調整器などの制御対象となる
被制御機器の大部分が高電位部に設置されるため、これ
ら被制御機器の監視および制御を行なうための高電位部
と大地電位部間信号伝送は光ファイバを介して行なわれ
る。したがって従来では、第２図に示すような構成とな
っている。つまりこのイオン注入装置１９は、被制御機
器２０の監視用アナログ信号発生源２１が出力するガス
流量・アーク電流値・フィラメント電流値などを示す監
視用アナログ信号をＡ／Ｐ （アナログ／パルス）変換
器２２でパルス信号に変換し、そのパルス信号をＥｌｏ
（電／光）変換器２３で光信号に変換し、その光信号
を光ファイバ２４で大地電位部の処理装置２５へ伝送し
て監視動作を行なう。そして、処理装置２５から光ファ
イバ２６を介して制御光信号を高電位部へ伝送し、その
制御光信号をＯ／Ｅ （光／電）変換器２７で制御信号
に変換して被制御機器２０に与え、被制御機器２０から
出力される制御応答信号をＥ１０変換意２８で制御応答
光信号に変換して光ファイバ２９を介して処理装置２５
へ伝送し、制御動作を行なう。
電源、引出電源、ガス流量調整器などの制御対象となる
被制御機器の大部分が高電位部に設置されるため、これ
ら被制御機器の監視および制御を行なうための高電位部
と大地電位部間信号伝送は光ファイバを介して行なわれ
る。したがって従来では、第２図に示すような構成とな
っている。つまりこのイオン注入装置１９は、被制御機
器２０の監視用アナログ信号発生源２１が出力するガス
流量・アーク電流値・フィラメント電流値などを示す監
視用アナログ信号をＡ／Ｐ （アナログ／パルス）変換
器２２でパルス信号に変換し、そのパルス信号をＥｌｏ
（電／光）変換器２３で光信号に変換し、その光信号
を光ファイバ２４で大地電位部の処理装置２５へ伝送し
て監視動作を行なう。そして、処理装置２５から光ファ
イバ２６を介して制御光信号を高電位部へ伝送し、その
制御光信号をＯ／Ｅ （光／電）変換器２７で制御信号
に変換して被制御機器２０に与え、被制御機器２０から
出力される制御応答信号をＥ１０変換意２８で制御応答
光信号に変換して光ファイバ２９を介して処理装置２５
へ伝送し、制御動作を行なう。
上述のようなイオン注入装置１９では、被制御機器２０
の監視および制御動作で異常が発生した場合、被制御機
器２０側で故障が発生したのか、それ以外の伝送経路で
故障が発生したのかを判定することができないため、故
障発生箇所の発見に長時間を要する問題がある。
の監視および制御動作で異常が発生した場合、被制御機
器２０側で故障が発生したのか、それ以外の伝送経路で
故障が発生したのかを判定することができないため、故
障発生箇所の発見に長時間を要する問題がある。
この発明の目的は、故障発生箇所の発見を早く行なうこ
とができるイオン注入装置を提供することである。
とができるイオン注入装置を提供することである。
この発明のイオン注入装置は、被制御機器の監視用アナ
ログ信号発生源に接続した第１個別接点と、基準値発生
回路に接続した第２個別接点と、前記第１および第２個
別接点に切り替え接続される共通接点とを有する入力切
替スイッチと、この入力切替スイッチの切り替え動作を
行なう入力切替回路と、 前記共通接点に現れるアナログ信号をパルス信号に変換
するアナログ／パルス変換器と、前記パルス信号を光信
号に変換する電／光変換器と、 前記光信号を伝送する第１光ファイバと、この第１光フ
ァイバから監視用アナログ信号による前記光信号に基づ
く監視データの演算と、基準値信号による前記光信号に
基づく監視故障診断と、前記被制御機器に与える制御信
号と前記入力切替回路に与える切替制御信号と制御故障
診断信号とを直列ビット制御光信号として出力し前記制
御故障診断信号および前記被制御機器から出力される制
御応答信号に基づ（直列ビット応答光信号を入力する制
御とを行なう処理装置と、前記直列ビット制御光信号と
前記直列ビット応答光信号とを伝送する第２光ファイバ
と、この第２光ファイバから出力される前記直列ビット
制御光信号を並列ビット信号に光／を変換し、前記制御
信号と切替制御信号と制御故障診断信号とを出力すると
ともに折り返し入力した前記制御故障診断信号および制
御応答信号を前記直列ビット応答光信号に電／光変換す
る双方向光伝送モジュールとを備えたものである。
ログ信号発生源に接続した第１個別接点と、基準値発生
回路に接続した第２個別接点と、前記第１および第２個
別接点に切り替え接続される共通接点とを有する入力切
替スイッチと、この入力切替スイッチの切り替え動作を
行なう入力切替回路と、 前記共通接点に現れるアナログ信号をパルス信号に変換
するアナログ／パルス変換器と、前記パルス信号を光信
号に変換する電／光変換器と、 前記光信号を伝送する第１光ファイバと、この第１光フ
ァイバから監視用アナログ信号による前記光信号に基づ
く監視データの演算と、基準値信号による前記光信号に
基づく監視故障診断と、前記被制御機器に与える制御信
号と前記入力切替回路に与える切替制御信号と制御故障
診断信号とを直列ビット制御光信号として出力し前記制
御故障診断信号および前記被制御機器から出力される制
御応答信号に基づ（直列ビット応答光信号を入力する制
御とを行なう処理装置と、前記直列ビット制御光信号と
前記直列ビット応答光信号とを伝送する第２光ファイバ
と、この第２光ファイバから出力される前記直列ビット
制御光信号を並列ビット信号に光／を変換し、前記制御
信号と切替制御信号と制御故障診断信号とを出力すると
ともに折り返し入力した前記制御故障診断信号および制
御応答信号を前記直列ビット応答光信号に電／光変換す
る双方向光伝送モジュールとを備えたものである。
この発明の構成によれば、イオン注入装置の被制御機器
の監視制御動作で異常が発生した場合、故障診断指示を
与えると処理装置は、入力切替スイッチの第２個別接点
と共通接点を接続するように切替制御信号を出力して基
準値信号をアナログ／パルス変換器に与え第１光ファイ
バから出力される光信号を取り込んで得られるデータか
ら監視用アナログ信号の伝送経路に故障があるか否かを
判断する。また処理装置は、第２光ファイバと双方向光
伝送モジュールを介する制御故障診断信号の折り返し送
受信動作によって制御用信号伝送経路に故障があるか否
かを判断する。この２つの故障診断によって、故障発生
箇所が被制御機器側にあるのか、それ以外の伝送経路側
にあるのかを判定することが可能となる。
の監視制御動作で異常が発生した場合、故障診断指示を
与えると処理装置は、入力切替スイッチの第２個別接点
と共通接点を接続するように切替制御信号を出力して基
準値信号をアナログ／パルス変換器に与え第１光ファイ
バから出力される光信号を取り込んで得られるデータか
ら監視用アナログ信号の伝送経路に故障があるか否かを
判断する。また処理装置は、第２光ファイバと双方向光
伝送モジュールを介する制御故障診断信号の折り返し送
受信動作によって制御用信号伝送経路に故障があるか否
かを判断する。この２つの故障診断によって、故障発生
箇所が被制御機器側にあるのか、それ以外の伝送経路側
にあるのかを判定することが可能となる。
第１図は、この発明の一実施例の構成を示すブロック図
である。このイオン注入装置１は、被制御機器２の監視
用アナログ信号発生源３に接続した第１個別接点Ｐ１と
、基準値発生回路４に接続した第２個別接点Ｐ２と、前
記第１および第２個別接点ＰＬ、Ｐ２に切り替え接続さ
れる共通接点Ｃとを有する入力切替スイッチ５と、 この入力切替スイッチ５の切り替え動作を行なう入力切
替回路６と、 前記共通接点Ｃに現れるアナログ信号をパルス信号Ｓ３
に変換するＡ／Ｐ （アナログ／パルス）変換器７と、 前記パルス信号Ｓ３を光信号Ｓ４に変換するＥｌｏ（電
／光）変換器８と、 前記光信号Ｓ４を伝送する第１光ファイバ９と、この第
１光ファイバ９から監視用アナログ信号Ｓ１による前記
光信号Ｓ４に基づく監視データの演算と、基準値信号Ｓ
２による前記光信号Ｓ４に基づく監視故障診断と、前記
被制御機器２に与える制御信号Ｓ８と前記入力切替回路
６に与える切替制御信号Ｓ７と制御故障診断信号Ｓ９と
を直列ビット制御光信号Ｓ５として出力し前記制御故障
診断信号Ｓ９および前記被制御機器２から出力される制
御応答信号３１０に基づく直列ビット応答光信号Ｓ６を
入力する制御とを行なう処理装置１０と、 前記直列ビット制御光信号Ｓ５と前記直列ビット応答光
信号Ｓ６とを伝送する第２光ファイバ１１と、 この第２光ファイバ１１から出力される前記直列ビット
制御光信号Ｓ５を並列ビット信号に光／電変換し、前記
制御信号Ｓ８と切替制御信号Ｓ７と制御故障診断信号Ｓ
９とを出力するとともに折り返し入力した前記制御故障
診断信号Ｓ、および制御応答信号Ｓ、。を前記直列ビッ
ト応答光１３号Ｓ６に電／光変換する双方向光伝送モジ
エール１３とを備えている。
である。このイオン注入装置１は、被制御機器２の監視
用アナログ信号発生源３に接続した第１個別接点Ｐ１と
、基準値発生回路４に接続した第２個別接点Ｐ２と、前
記第１および第２個別接点ＰＬ、Ｐ２に切り替え接続さ
れる共通接点Ｃとを有する入力切替スイッチ５と、 この入力切替スイッチ５の切り替え動作を行なう入力切
替回路６と、 前記共通接点Ｃに現れるアナログ信号をパルス信号Ｓ３
に変換するＡ／Ｐ （アナログ／パルス）変換器７と、 前記パルス信号Ｓ３を光信号Ｓ４に変換するＥｌｏ（電
／光）変換器８と、 前記光信号Ｓ４を伝送する第１光ファイバ９と、この第
１光ファイバ９から監視用アナログ信号Ｓ１による前記
光信号Ｓ４に基づく監視データの演算と、基準値信号Ｓ
２による前記光信号Ｓ４に基づく監視故障診断と、前記
被制御機器２に与える制御信号Ｓ８と前記入力切替回路
６に与える切替制御信号Ｓ７と制御故障診断信号Ｓ９と
を直列ビット制御光信号Ｓ５として出力し前記制御故障
診断信号Ｓ９および前記被制御機器２から出力される制
御応答信号３１０に基づく直列ビット応答光信号Ｓ６を
入力する制御とを行なう処理装置１０と、 前記直列ビット制御光信号Ｓ５と前記直列ビット応答光
信号Ｓ６とを伝送する第２光ファイバ１１と、 この第２光ファイバ１１から出力される前記直列ビット
制御光信号Ｓ５を並列ビット信号に光／電変換し、前記
制御信号Ｓ８と切替制御信号Ｓ７と制御故障診断信号Ｓ
９とを出力するとともに折り返し入力した前記制御故障
診断信号Ｓ、および制御応答信号Ｓ、。を前記直列ビッ
ト応答光１３号Ｓ６に電／光変換する双方向光伝送モジ
エール１３とを備えている。
入力切替スイッチ５、Ａ／Ｐ変換器７、Ｅ１０変換器８
および双方向光伝送モジュール１３は高電位部に配置さ
れ、処理装置ＩＯは大地電位部に配置され、その高電位
部と大地電位部との間は第１光ファイバ９および第２光
ファイバ１１で絶縁されている。
および双方向光伝送モジュール１３は高電位部に配置さ
れ、処理装置ＩＯは大地電位部に配置され、その高電位
部と大地電位部との間は第１光ファイバ９および第２光
ファイバ１１で絶縁されている。
双方向光伝送モジュール１３から出力される前記制御信
号Ｓ８は出力インクフェイス１４を介して被制御機器２
に入力され、この制御信号Ｓ８に応答して被制御機器２
から出力される制御応答信号Ｓ１゜は入力インクフェイ
ス１５を介して双方向光伝送モジュール１３に与えられ
る。
号Ｓ８は出力インクフェイス１４を介して被制御機器２
に入力され、この制御信号Ｓ８に応答して被制御機器２
から出力される制御応答信号Ｓ１゜は入力インクフェイ
ス１５を介して双方向光伝送モジュール１３に与えられ
る。
ここでいう被制御機器２は、発生したイオンをエンドス
テーションに配置したウェハに注入する機能を備え、イ
オン源電源、加速電源、引出電源。
テーションに配置したウェハに注入する機能を備え、イ
オン源電源、加速電源、引出電源。
ガス流量調整器などを含むものである。
この実施例のイオン注入装置１では、次のように被制御
機器２の監視制御動作が行なわれる。処理装置１０から
切替制御信号が出力されない場合は、入力切替スイッチ
５の第１個別接点Ｐ１と共通接点Ｃとが接続されており
監視用アナログ信号発生源３から出力される監視用アナ
ログ信号Ｓ１がＡ／Ｐ変換器７の入力端に与えられる。
機器２の監視制御動作が行なわれる。処理装置１０から
切替制御信号が出力されない場合は、入力切替スイッチ
５の第１個別接点Ｐ１と共通接点Ｃとが接続されており
監視用アナログ信号発生源３から出力される監視用アナ
ログ信号Ｓ１がＡ／Ｐ変換器７の入力端に与えられる。
この状態で処理装置１０は、第１光ファイバ９がら出力
される光信号Ｓ４を定期的に入力し監視データを演算す
る。また処理装置１０は、前記直列ビット制御光信号Ｓ
５を第２光ファイバ１１に出力して双方向光伝送モジュ
ール１３から出力インクフェイス１４を介して出力され
る制御信号Ｓ７によって被制御機器２を制御し、被制御
機器２から入力インタフェイス１５を介して与えられる
制御応答信号ＳＩＯに基づいて双方向光伝送モジュール
１３から出力される直列ビット応答光信号Ｓ６によって
制御動作を６１！認する。
される光信号Ｓ４を定期的に入力し監視データを演算す
る。また処理装置１０は、前記直列ビット制御光信号Ｓ
５を第２光ファイバ１１に出力して双方向光伝送モジュ
ール１３から出力インクフェイス１４を介して出力され
る制御信号Ｓ７によって被制御機器２を制御し、被制御
機器２から入力インタフェイス１５を介して与えられる
制御応答信号ＳＩＯに基づいて双方向光伝送モジュール
１３から出力される直列ビット応答光信号Ｓ６によって
制御動作を６１！認する。
そして、上述のような被制御ａ器２の監視制御動作で異
常が発生した場合、次の動作によって故障診断を行なう
。すなわち、人為的に故障診断指令を与えられるか、あ
るいは自ら判断によって、処理装置１０は切替制御信号
Ｓ７ど制御故障診断信号Ｓ９に割り当てた直列ビット制
御光信号Ｓ５の各とノドを「１」にして、直列ビット制
御光１３号Ｓ５を双方向光伝送モジュール１３に伝送す
る。
常が発生した場合、次の動作によって故障診断を行なう
。すなわち、人為的に故障診断指令を与えられるか、あ
るいは自ら判断によって、処理装置１０は切替制御信号
Ｓ７ど制御故障診断信号Ｓ９に割り当てた直列ビット制
御光信号Ｓ５の各とノドを「１」にして、直列ビット制
御光１３号Ｓ５を双方向光伝送モジュール１３に伝送す
る。
入力切替回路６に切替制御信号Ｓ７が与えられると、切
替スイッチ５の第２個別接点Ｐ２と共通接′点Ｃとが接
続され、Ａ／Ｐ変換器７の入力端に基準値発生回路４か
ら発生される基準値信号Ｓ２が与えられる。この状態で
処理装置ｌＯは、第１光ファイバ９から出力される光信
号Ｓ４に基づくアナログ値と、予め記憶されている基準
アナログ値とを比較し、前記アナログ値が所定誤差範囲
内にあるか否かを判断する。前記アナログ値が所定誤差
範囲内にあれば、監視用アナログ信号Ｓ１の伝送経路に
故障がなく被制御機器２の監視用アナログ信号発生＃３
に故障があると判定される。また処理装置１０は、第２
光ファイバ１２から出力される直列ビット応答光信号Ｓ
６の制御故障診断信号Ｓ９に割り当てられたビットが「
０」であるかｒｌＪであるかを検出して、前記ビットが
「０」であると、制御用信号伝送経路に故障があると判
定する。
替スイッチ５の第２個別接点Ｐ２と共通接′点Ｃとが接
続され、Ａ／Ｐ変換器７の入力端に基準値発生回路４か
ら発生される基準値信号Ｓ２が与えられる。この状態で
処理装置ｌＯは、第１光ファイバ９から出力される光信
号Ｓ４に基づくアナログ値と、予め記憶されている基準
アナログ値とを比較し、前記アナログ値が所定誤差範囲
内にあるか否かを判断する。前記アナログ値が所定誤差
範囲内にあれば、監視用アナログ信号Ｓ１の伝送経路に
故障がなく被制御機器２の監視用アナログ信号発生＃３
に故障があると判定される。また処理装置１０は、第２
光ファイバ１２から出力される直列ビット応答光信号Ｓ
６の制御故障診断信号Ｓ９に割り当てられたビットが「
０」であるかｒｌＪであるかを検出して、前記ビットが
「０」であると、制御用信号伝送経路に故障があると判
定する。
以上のようにこの実施例では、処理装置１０が２つの故
障診断を行なうことによって、故障発生箇所が被制御機
器側にあるのか、それ以外の伝送経路側にあるのかを判
定することができ、従来例に比較して故障発生箇所を早
く発見することができるので、イオン注入装置１の運転
停止期間を短縮することができる効果がある。
障診断を行なうことによって、故障発生箇所が被制御機
器側にあるのか、それ以外の伝送経路側にあるのかを判
定することができ、従来例に比較して故障発生箇所を早
く発見することができるので、イオン注入装置１の運転
停止期間を短縮することができる効果がある。
この発明のイオン注入装置によれば、その監視制御動作
で異常が発生した場合、故障診断指示を与えると、処理
装置が監視用アナログ信号の伝送経路および制御用信号
伝送経路の故障診断動作を行なうように構成したので、
故障発生箇所が被制御機器側にあるか、それ以外の伝送
経路側にあるのかを速やかに判定することが可能となり
、従来例に比較して故障発生箇所を早く発見することが
できるようになる。
で異常が発生した場合、故障診断指示を与えると、処理
装置が監視用アナログ信号の伝送経路および制御用信号
伝送経路の故障診断動作を行なうように構成したので、
故障発生箇所が被制御機器側にあるか、それ以外の伝送
経路側にあるのかを速やかに判定することが可能となり
、従来例に比較して故障発生箇所を早く発見することが
できるようになる。
第１図はこの発明の一実施例の構成を示すブロック図、
第２図は従来例の構成を示すブロック図である。
第２図は従来例の構成を示すブロック図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 被制御機器の監視用アナログ信号発生源に接続した第１
個別接点と、基準値発生回路に接続した第２個別接点と
、前記第１および第２個別接点に切り替え接続される共
通接点とを有する入力切替スイッチと、 この入力切替スイッチの切り替え動作を行なう入力切替
回路と、 前記共通接点に現れるアナログをパルス信号に変換する
アナログ／パルス変換器と、 前記パルス信号を光信号に変換する電／光変換器と、 前記光信号を伝送する第１光ファイバと、 この第１光ファイバから監視用アナログ信号による前記
光信号に基づく監視データの演算と、基準値信号による
前記光信号基づく監視故障診断と、前記被制御機器に与
える制御信号と前記入力切替回路に与える切替制御信号
と制御故障診断信号とを直列ビット制御光信号として出
力し前記制御故障診断信号および前記被制御機器から出
力される制御応答信号に基づく直列ビット応答光信号を
入力する制御とを行なう処理装置と、 前記直列ビット制御光信号と前記直列ビット応答光信号
とを伝送する第２光ファイバと、 この第２光ファイバから出力される前記直列ビット制御
光信号を並列ビット信号に光／電変換し、前記制御信号
と切替制御信号と制御故障診断信号とを出力するととも
に折り返し入力した前記制御故障診断信号および制御応
答信号を前記直列ビット応答光信号に電／光変換する双
方向光伝送モジュールとを備えたイオン注入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29513485A JPS62154445A (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 | イオン注入装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29513485A JPS62154445A (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 | イオン注入装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62154445A true JPS62154445A (ja) | 1987-07-09 |
Family
ID=17816721
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29513485A Pending JPS62154445A (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 | イオン注入装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62154445A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6634633B1 (en) | 1998-08-25 | 2003-10-21 | Minolta Co., Ltd. | Binding member removing apparatus, automatic document feeder, sheet processing apparatus, and image forming apparatus |
-
1985
- 1985-12-26 JP JP29513485A patent/JPS62154445A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6634633B1 (en) | 1998-08-25 | 2003-10-21 | Minolta Co., Ltd. | Binding member removing apparatus, automatic document feeder, sheet processing apparatus, and image forming apparatus |
| US6886824B2 (en) | 1998-08-25 | 2005-05-03 | Minolta Co., Ltd. | Binding member removing apparatus, automatic document feeder, sheet processing apparatus, and image forming apparatus |
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