JPS62150755A - 電子装置およびその製造方法 - Google Patents

電子装置およびその製造方法

Info

Publication number
JPS62150755A
JPS62150755A JP29051085A JP29051085A JPS62150755A JP S62150755 A JPS62150755 A JP S62150755A JP 29051085 A JP29051085 A JP 29051085A JP 29051085 A JP29051085 A JP 29051085A JP S62150755 A JPS62150755 A JP S62150755A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resin
resin part
molded
lead frame
electronic device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP29051085A
Other languages
English (en)
Inventor
Usuke Enomoto
榎本 宇佑
Akira Muto
晃 武藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP29051085A priority Critical patent/JPS62150755A/ja
Publication of JPS62150755A publication Critical patent/JPS62150755A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/28Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
    • H01L23/31Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape
    • H01L23/3107Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/484Connecting portions
    • H01L2224/48463Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond
    • H01L2224/48465Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond the other connecting portion not on the bonding area being a wedge bond, i.e. ball-to-wedge, regular stitch

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は、電子装置およびその製造技術、特に、樹脂封
止型パッケージの改良に関し、例えば、樹脂絶縁型パワ
ートランジスタに利用して有効な技術に関する。
〔背景技術〕
樹脂絶縁型パワートランジスタにおいてるよ放!′ハ作
用を確保するために、樹脂封止型バソう−ジにおけるヘ
ッダの下面に対応する部分を可及的に薄くする必要があ
る。
しかし、樹脂封止型パッケージをトランスファ成形する
際、成形材料としての液状樹脂(以下、レジンという。
)をヘッダ下面の薄肉部分に他の部分と同時に充填させ
ることはきわめて困難であり、これを克服するのに種々
の工夫が必要になり、その結果、新パッケージの開発に
手間がかかるという問題点があることが、本発明者によ
って明らかにされた。
なお、樹脂絶縁型パワートランジスタを述べである例と
しては、株式会社工業調査会発行「電子材料1981年
11月号」昭和56年11月1日発行 P42〜P46
、がある。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、新パンケージの開発を簡単化すること
ができる電子装置およびその製造技術を提供することに
ある。
本発明のII:1記ならびにその他の目的と新規な特徴
は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるで
あろう。
〔発明の概要〕
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。
封止型樹脂部をリードフレームの一部を露出させた状態
で成形し、その後、別の成形工程において、絶縁樹脂部
をリードフレームの露出部分を被覆するように成形する
ことにより、薄肉の絶縁樹脂部であってもレジンの充填
速度にわずられされずに成形し得るようにしたものであ
る。
〔実施例〕
第1図は本発明の一実施例である樹脂絶縁型パワートラ
ンジスタを示す縦断面図、第2図は第1図の■−■線に
沿う断面図、第3図はそのパワう一部の成形途中を示す
縦断面図、第4図は同じく縦断面図、第5図は第4図の
V−V線に沿う断面図である。
本実施例において、電子装置としての樹脂絶縁型パワー
トランジスタlはリードフレーム2を備えており、リー
ドフレーム2には3本のインナリード3と、これに一体
的に連結されているアウタリード4とが形成されている
(但し、後記するヘッダとしてのインナリードとこれに
連結されたアウタリードのみが図示されている。)。中
央に配されたインナリード3には放熱板としての役割を
果たすヘッダ5が大きく形成されており、ヘッダ5の一
端面(以下、上面とする。)上にはトランジスタ回路を
形成されたペレット6がボンディングされている。左右
両脇に配されたインナリード(図示せず)とペレット6
との間にはボンディングワイヤ7がそれぞれボンディン
グされており、ペレット6の回路は各インナリードを経
てアウタリード4にそれぞれ電気的に引き出されている
樹脂絶縁型パワートランジスタ1は樹脂封止型のパッケ
ージ8を備えており、パッケージ8は封止樹脂部9と絶
縁樹脂10とから構成されている。
封止樹脂部9はヘッダ5の下面を除く部分、インナリー
ト3 ぺ【ノット6およびボンディングワイヤ7を非気
出封止J°るように形成されており、封止樹脂部9は弾
性係数が小さく、耐温度性の良い低応力樹脂や矩キュア
樹脂等を用いて成形されている。
絶縁樹脂部10はヘッダ5の下面を被覆するように薄い
肉厚をもって、封止樹脂部9と確実に一体化するように
形成されており、所定の絶縁性を維持しつつ良好な放熱
性を発揮するように熱伝導率のよい絶縁性樹脂を用いて
成形されている。
なお、樹脂絶縁型パワートランジスタ1には取付孔11
がパンケージ8およびヘッダ5を上下方向に貫通して開
設されており、この取付孔11はこの樹脂絶縁型パワー
トランジスタlをプリント基板等に実装する際にボルト
挿通孔等として使用し得るように構成されている。
次に、本発明にかかる製造方法の一実施例である前記構
成にかかるパッケージの成形方法を説明する。
この成形方法においては、まず、封止樹脂部9を成形す
るための第1成形型12が使用される。
第3図に示されているように、第1成形型12は互いに
最中合わせにされて型開閉シリンダ装置(図示せず)に
より型締めされる上型13と下型14とを備えており、
上型13と下型14との合わせ面には上型凹所15と下
型凹所16とが前記封止樹脂部9と略同形の中空室であ
るキャビティー17をIn Ifhして構成するように
それぞれ没設されている。上型凹所15内には取付孔1
1を成形するための円柱部18が所定位置に配されて垂
直下向きに突設されている。上型15にはゲート19が
合わせ面における円柱部18寄り(以下、前側とする。
)に配置されてキャビティー17に連通ずるように切設
されており、ゲート19はランナ(図示せず)を通じて
ボットに接続されることにより、レジンをキャビティー
17内へ効果的に圧入させるように構成されている。
このように構成されている第1成形型12を使用してパ
ッケージ8の封止樹脂部9を成形する際、第3図に示さ
れているように、前記構成にかかるリードフレーム2は
ペレット6を上に向けて、ヘッダ5、ペレット6および
インナリード3が下型凹所16内に収容されるように下
型14上にセットされる。このとき、ヘッダ5の下面は
下型凹所16の底面上に当接され、アウタリード4は下
型14の反ゲート側における合わせ面上に載置される。
続いて、上型13と下型14とが合わせられて型締めさ
れると、上型凹所15と下型凹所16とによりキャビテ
ィー17が形成されとともに、アウタリード4が上下型
13.14の合わせ面間にt央み込まれる。
その後、低応力樹脂や矩キュア樹脂等のような所定のレ
ジンがゲート19からキャビティー17内へ圧入充堰さ
れる。このレジン注入時、ヘッダ5の下面には狭小空間
が形成されていないため、第3図に破線矢印で示されて
いるように、ゲーi・19からキャビティー17内に注
入されたレジンはキャビティー17の上型凹所15内を
後方に向かって均一に流れて行く。このとき、レジンの
流れは一方向になり、キャビティー17内の空気は効果
的に全て排出されるため、封止樹脂部9に残留空気によ
る巣等が発生することはない。
所定の注入が完了し、レジンが硬化すると、上下型13
.14により前記構成にがかるパ・ノケージ8の封止樹
脂部9が成形され、離型される。
次に、絶縁樹脂部10を成形するための第2成形型20
が使用される。第4図および第5図に示されているよう
に、第2成形型20は互いに最中合わせされてシリンダ
装置(図示せず)により型締めされる上型2と下型22
とを備えており、上型21と下型22との合わせ面に上
型凹所23と下型凹所24とが、絶縁樹脂部IOと略同
形の中空室であるキャビティー25を協働して構成する
ようにそれぞれ没設されている。上型凹所23は第1成
形型12によって成形された封止樹脂部9を収容すると
ともに、封止樹脂部9から露出したヘッダ5の上面を上
方から取り囲むように形成されており、上型凹所23内
には前記取付孔11を成形するための円柱部26が突設
されている。下型口1’Ji 24 J−1・1−面上
には保持部としての支柱27が複数個(本実施例では4
個)、外周辺部に配されて前記封止樹脂部9の下面に当
接して支持し得るように構成されている。上型21には
ゲート28が合わせ面における前側端辺における左寄り
位置に配されてキャビティー25に連通ずるように切設
されており、ゲート28はランナ(図示せず)を通じて
ボットに接続されることにより成形材料としてのレジン
をキャビティー25内に効果的に注入充填させるように
構成されている。
このように構成されている第2成形型20を使用してパ
ンケージ8の絶縁樹脂部lOを成形する際、第4図およ
び第5図に示されているように、封止樹脂部9が成形さ
れているリードフレーム2はへラダ5を下に向けて、封
止樹脂部9の一部およびヘッダ5が下型凹所24内に収
容されるように下型22上にセントされる。このとき、
封止樹脂部9下面における外周辺部は下型凹所24内の
支柱27上に当接されて載置され、アウタリード4は下
面22の反ゲート側における合わせ面上に載置される。
続いて、上型21と下型22とが合わせられて型締めさ
れると、上型凹所23と下型凹所24とによりキャビテ
ィー25が形成されるとともに、封止樹脂部9が支柱2
7で支持されることによりヘッダ5の下方に狭小空間2
つが形成され、アウクリード4が上下型2I、22の合
わせ面間に挟み込まれる。
その後、熱伝導率および絶縁性のよい樹脂等のような所
定のレジンがゲート28からキャビティー25内へ工大
充填される。このレジン注入時、下型凹所24の底部に
おいてヘッダ5の下面に形成された狭小空間29におけ
る流路抵抗は小さいが、他所における流路抵抗もそれと
均等になるように小さく設定されているため、レジンは
各所に略均−に流れて行く。したがって、キャビティー
25内の空気は効果的に全て排出されるため、絶縁樹脂
部10に残留空気による巣等が発生することはない。
所定の注入が完了し、レジンが硬化すると、上下型21
.22により前記構成にかかるパッケージの絶縁樹脂部
10が成形され、離型される。すなわち、パッケージ8
にはヘッダ5の下面に絶縁樹脂部10が薄い板形状に成
形されており、この薄い)月脂部が樹脂絶縁型パワート
ランジスタにおいて、所定の放熱を確保しつつ、ヘッダ
5とプリント基板等との間の絶縁を維持することになる
ここで、このパッケージ8には支柱27の痕跡である小
穴27Aが残ることになるが、前記第2成形型において
リードフレームをキャビティー内で浮かすだめの支柱が
ヘッダの下面に当接するように構成されている場合、ヘ
ッダ下面の表面が小穴の底において露出することになる
。ヘッダの表面が露出すると、放電事故等の原因になる
危険があるため、レジン等のような絶縁材料を用いたポ
ツティング作業等により埋める必要がある。しかし、こ
の作業は面倒であるため、生産性を低下させる。
本実施例においては、絶縁樹脂部の成形工程以前に成形
された封止樹脂部が支柱によって支持されるため、成形
後におけるポツティング作業等は省略することができる
ずなわち、ヘッダ5下面の絶縁樹脂部10の成形時にお
いて、リードフレーム2は封止樹脂部9に支柱27を当
接されて支持されるため、支柱27の痕跡としての小穴
27Aの底には封止樹脂部9の表面が露出することにな
る。つまり、ヘッダ5の表面は露出しないため、放電事
故等の原因になる危険性はない。その結果、この危険性
を回避するために小穴27Aをボッティング作業等によ
り埋める必要はなくなり、作業を省略することにより、
生産性を高めることができる。
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施1f11に限定さ
れるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変
更可能であることはいうまでもない。
例えば、封止樹脂部を先に成形するに限らず、絶縁樹脂
を先に成形した後、封止樹脂部を成形してもよい。
パッケージを成形するための成形型は、封止樹脂部41
1川の成形型および絶縁樹脂部専用の成形型をそれぞれ
使用するに限らず、兼用の成形型にゲートをそれぞれ開
設して封止樹脂部および絶縁樹脂部を同時的に成形する
ように構成してもよい。
絶縁樹脂部は薄板形状に形成するに限らず、実装相手方
の取付部の形状等のような条件に応じて適宜変形しても
よい。
〔効果〕
(11パッケージを封止樹脂部と絶縁樹脂部とから構成
することにより、絶縁樹脂部に十分な放熱性を付与する
ことができるため、電子装置の放熱性能を高めてその能
力、耐久性等を向上させることができる。
(2)  封止樹脂部と絶縁樹脂部とを相異なる種類の
樹脂をそれぞれ用いて成形することにより、両樹脂部が
それぞれ発揮すべき機能を高めることができるため、パ
ンケージの性能を高めるごとにより、電子装置の性能を
向上させることができる。
(3)  封止樹脂部と絶縁樹脂部とに分けて成形する
ことにより、両者にそれぞれ対応する成形空間における
流路抵抗に関する制約を緩[口することができるため、
他所(非気密封止領域)の流路抵抗の大小如何にかかわ
らず絶縁樹脂部を十分に薄くすることができるとともに
、パッケージ全体についての設計の自由度を拡大化させ
てパッケージの開発を簡単化させることができる。
(4)封止樹脂部を低応力樹脂を用いて成形することに
より、発熱により発生した応力を吸収することができる
ため、発熱により電子素子等に加わる応力を減少させる
ことができる。
(5)絶縁樹脂部を熱伝導率の良い樹脂を用いて成形す
ることにより、熱伝導により発熱を放散させることがで
きるため、放熱性を一層向上させることができる。
〔利用分野〕
以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野である樹脂絶縁型パワート
ランジスタに適用した場合について説明したが、それに
限定されるものではなく、本発明は少なくとも樹脂封止
型パッケージを有する電子装置に適用することができる
【図面の簡単な説明】
第1[i!!Iは不発+y1の一実施例である樹IBM
絶縁型パワートランジスタを示す縦断面図、 第2図は第1図のn−n線に沿う断面図、第3図はその
パッケージの成形途中を示す紺断面図、 第4図は同じく縦断面図、 °第5図は第4図のV−V線に沿う断面図である。 ■・・・樹脂絶縁型パワートランジスタ(電子装置) 
、2・・・リードフレーム、3・・・インナリード、4
・・・アウタリード、5・・・ヘッダ、6・・・ペレッ
ト、7・・・ボンディングワイヤ、8・・・パンケージ
、9・・・封止樹脂部、】0・・・絶縁樹脂部、11・
・・取付孔、12・・・第1成形型、13・・・上型、
14・・・下型、15・・・下型凹所、16・・・下型
凹所、17・・・キャビティー、18・・・円柱部、I
9・・・ゲート、20・・・第2成形型、21・・・上
型、22・・・下型、23・・・上型凹所、24・・・
下型凹所、25・・・キャビティー、26・・・円柱部
、27・・・支柱(保持部)、28・・・ゲート、29
・・・狭小空間。 代理人  弁理士   小 川 勝 男、。 第  4  図 第  5  図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、パッケージが非気密封止を行う封止樹脂部と、放熱
    性を確保しつつ絶縁を行う絶縁樹脂部とを備えているこ
    とを特徴とする電子装置。 2、封止樹脂部と絶縁樹脂部とが、相異なる種類の樹脂
    から構成されていることを特徴とする特許請求の範囲第
    1項記載の電子装置。 3、封止樹脂部が、低応力樹脂を用いて成形されている
    ことを特徴とする特許請求の範囲第2項記載の電子装置
    。 4、絶縁樹脂部が、熱伝導率および絶縁性の良い樹脂を
    用いて成形されていることを特徴とする特許請求の範囲
    第2項記載の電子装置。 5、成形型にリードフレームをペレットがキャビティー
    内に収容されるようにセットし、樹脂によりペレットを
    非気密封止する工程と、成形型にリードフレームをその
    一部がキャビティー内に収容されるようにセットし、樹
    脂によりリードフレームの一部を被覆する工程とを備え
    ている電子装置の製造方法。 6、リードフレームにおける絶縁樹脂で被覆すべき部分
    を露出させた状態で封止樹脂部を成形した後、露出させ
    た部分に絶縁樹脂部を成形することを特徴とする特許請
    求の範囲第5項記載の電子装置の製造方法。 7、絶縁樹脂部を成形する工程において、樹脂封止部に
    保持部を当接させることにより、リードフレームの露出
    面に隣接した隙間を構成させるようにしたことを特徴と
    する特許請求の範囲第6項記載の電子装置の製造方法。
JP29051085A 1985-12-25 1985-12-25 電子装置およびその製造方法 Pending JPS62150755A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP29051085A JPS62150755A (ja) 1985-12-25 1985-12-25 電子装置およびその製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP29051085A JPS62150755A (ja) 1985-12-25 1985-12-25 電子装置およびその製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS62150755A true JPS62150755A (ja) 1987-07-04

Family

ID=17756948

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP29051085A Pending JPS62150755A (ja) 1985-12-25 1985-12-25 電子装置およびその製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS62150755A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001094019A (ja) * 1999-09-24 2001-04-06 Sharp Corp 半導体装置およびその製造方法
US6667547B2 (en) 1998-05-05 2003-12-23 International Rectifier Corporation High current capacity semiconductor device package and lead frame with large area connection posts and modified outline
CN106463417A (zh) * 2014-05-14 2017-02-22 三菱电机株式会社 半导体装置的制造方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6667547B2 (en) 1998-05-05 2003-12-23 International Rectifier Corporation High current capacity semiconductor device package and lead frame with large area connection posts and modified outline
JP2001094019A (ja) * 1999-09-24 2001-04-06 Sharp Corp 半導体装置およびその製造方法
CN106463417A (zh) * 2014-05-14 2017-02-22 三菱电机株式会社 半导体装置的制造方法
JPWO2015173906A1 (ja) * 2014-05-14 2017-04-20 三菱電機株式会社 半導体装置の製造方法
US10043680B2 (en) 2014-05-14 2018-08-07 Mitsubishi Electric Corporation Method for manufacturing semiconductor device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4855868A (en) Preformed packaging arrangement for energy dissipating devices
US4829403A (en) Packaging arrangement for energy dissipating devices
KR100889422B1 (ko) 반도체 장치의 제조 방법 및 반도체 장치
JP2008004570A (ja) 樹脂封止型半導体装置の製造方法、樹脂封止型半導体装置の製造装置、および樹脂封止型半導体装置
JP3479121B2 (ja) Bgaパッケージの樹脂モールド方法
JPS62150755A (ja) 電子装置およびその製造方法
JPH1022309A (ja) 半導体素子の樹脂封止金型
KR20040087924A (ko) 반도체 장치를 수지 밀봉하는 방법, 수지-밀봉형 반도체장치 및 반도체 장치를 수지 밀봉하기 위한 성형 다이
JP3317346B2 (ja) 樹脂封止型半導体装置の製造方法
JP2759523B2 (ja) 半導体装置の製造方法
JPH02184040A (ja) 半導体装置の製造方法
JP2555931B2 (ja) 半導体装置の製造方法
CN116435201B (zh) 一种塑封封装方法以及器件封装结构
TWI236716B (en) Window ball grid array semiconductor package with substrate having opening and method for fabricating the same
JP2858690B2 (ja) 樹脂封止型電子部品の製造方法
JPH0445563A (ja) 半導体装置の製造方法
JPS63110645A (ja) 半導体装置の製造方法
JPS638130Y2 (ja)
JPS5966128A (ja) 樹脂封止型半導体装置の製造方法
JPH0687468B2 (ja) 半導体装置の製造方法
JPH09148354A (ja) 半導体樹脂封止用金型
JPH06244352A (ja) リードフレーム及び半導体装置の製造方法
JPS5978537A (ja) 樹脂封止型半導体装置の製造方法
JP2003203935A (ja) 半導体装置の封止方法およびそれに用いる封止装置
JPH06244312A (ja) 半導体装置及びその製造方法