JPS62146436A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPS62146436A JPS62146436A JP28845585A JP28845585A JPS62146436A JP S62146436 A JPS62146436 A JP S62146436A JP 28845585 A JP28845585 A JP 28845585A JP 28845585 A JP28845585 A JP 28845585A JP S62146436 A JPS62146436 A JP S62146436A
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- JP
- Japan
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- film
- sputtering
- magnetic recording
- recording medium
- polyethylene terephthalate
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、高密度磁気記録に利用できる強磁性金属薄膜
を磁気記録層とする磁気記録媒体の製造方法に関する。
を磁気記録層とする磁気記録媒体の製造方法に関する。
従来の技術
テープ状、ディスク状の如何を問わず、高密度記録は機
器の小型化を一層前進させる上で不可欠の要求であり、
媒体、ヘッド、信号処理等の各要素の改良が日々続けら
れている。とりわけ、磁気記録媒体は、近年、強磁性金
属薄膜を磁気記録層とする磁気記録媒体が、高密度化の
点で最も有望と考えられ開発が活発化してきている。〔
外国論文誌、アイ・イー・イー・イー磁気学会報；ＩＥ
ＥＥ ＴＲＡＮＳＡＣＴＩ○Ｎ ＯＮ ＭＡＧ−ＮＥＴ
ＩＣ８ＶＯＬＳＭＡＧ−２１、Ｎｏ、 ３ 、 ＰＰ、
１２１７〜１２２０（１９８５）：１ 強磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁気記録媒体は、磁
化容易軸方向が、磁気記録層を支える基板面に対して垂
直方向にある、いわゆる垂直磁化膜を利用したものと、
磁化容易軸が垂直方向以外にある、いわゆる長手磁化膜
を利用したものがあるが、いずれも現状では、ＣＯの結
晶配向性の良さと、飽和磁化の大きさに着目し、Ｃｏ−
Ｃｒ 、Ｃｏ−Ｎｉ 。
器の小型化を一層前進させる上で不可欠の要求であり、
媒体、ヘッド、信号処理等の各要素の改良が日々続けら
れている。とりわけ、磁気記録媒体は、近年、強磁性金
属薄膜を磁気記録層とする磁気記録媒体が、高密度化の
点で最も有望と考えられ開発が活発化してきている。〔
外国論文誌、アイ・イー・イー・イー磁気学会報；ＩＥ
ＥＥ ＴＲＡＮＳＡＣＴＩ○Ｎ ＯＮ ＭＡＧ−ＮＥＴ
ＩＣ８ＶＯＬＳＭＡＧ−２１、Ｎｏ、 ３ 、 ＰＰ、
１２１７〜１２２０（１９８５）：１ 強磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁気記録媒体は、磁
化容易軸方向が、磁気記録層を支える基板面に対して垂
直方向にある、いわゆる垂直磁化膜を利用したものと、
磁化容易軸が垂直方向以外にある、いわゆる長手磁化膜
を利用したものがあるが、いずれも現状では、ＣＯの結
晶配向性の良さと、飽和磁化の大きさに着目し、Ｃｏ−
Ｃｒ 、Ｃｏ−Ｎｉ 。
Ｃｏ−Ｃｔ−Ｎｂ、Ｃｏ−Ｎｉ−０等（７）Ｃｏ系合金
が主に検討され、一部実用に供されている。
が主に検討され、一部実用に供されている。
それらの群の中にあって、ＣＯ又はＣｏ−Ｎｉの微細結
晶表面近くにＢｉ を拡散させた強磁性金属薄膜が飽
和磁化を大きくでき、膜厚を小さくすることで厚み損失
を少なくできるので、短波長特性を更に改良できるもの
として注目されている０この磁気記録媒体を製造する方
法は、ポリイミド等の耐熱フィルム上にＢｉミラ着し、
その上にＣＯ又はＣｏ−Ｎｉを１００°Ｃ以上で蒸着す
るか、蒸着時の温度は１００′Ｃ以下とし後処理として
熱処理を施すのが一般的である。
晶表面近くにＢｉ を拡散させた強磁性金属薄膜が飽
和磁化を大きくでき、膜厚を小さくすることで厚み損失
を少なくできるので、短波長特性を更に改良できるもの
として注目されている０この磁気記録媒体を製造する方
法は、ポリイミド等の耐熱フィルム上にＢｉミラ着し、
その上にＣＯ又はＣｏ−Ｎｉを１００°Ｃ以上で蒸着す
るか、蒸着時の温度は１００′Ｃ以下とし後処理として
熱処理を施すのが一般的である。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら上記した構成では、蒸着時の潜熱が加算さ
れることや熱処理温度を１６０°Ｃ以上にしないと良好
な特性が得られないため、使用できる基板が、高分子フ
ィルムでは特殊な耐熱フィルムに限定される問題があり
、更に、テープ状磁気記録媒体を量産するには広幅のフ
ィルムで処理する必要があるが、１５０°Ｃ以上の熱処
理をロール状で行う時、形状転写により、ノイズが大き
くなる問題があった。本発明は上記した事情に鑑みなさ
れたもので、汎用性の高いポリエステルフィルムを用い
て、ノイズの低い高密度磁気記録に適する白丸記録媒体
の量産を可能にする製造方法の提供を目的とするもので
ある。
れることや熱処理温度を１６０°Ｃ以上にしないと良好
な特性が得られないため、使用できる基板が、高分子フ
ィルムでは特殊な耐熱フィルムに限定される問題があり
、更に、テープ状磁気記録媒体を量産するには広幅のフ
ィルムで処理する必要があるが、１５０°Ｃ以上の熱処
理をロール状で行う時、形状転写により、ノイズが大き
くなる問題があった。本発明は上記した事情に鑑みなさ
れたもので、汎用性の高いポリエステルフィルムを用い
て、ノイズの低い高密度磁気記録に適する白丸記録媒体
の量産を可能にする製造方法の提供を目的とするもので
ある。
問題点を解決するための手段
上記した問題点を解決するため、本発明の磁気記録媒体
の製造方法は、高分子フィルム上にＣｏ。
の製造方法は、高分子フィルム上にＣｏ。
又はＣｏ−Ｎ１ｆ、（電子ビーム蒸着し、その上に、Ｂ
ｉ又はｓｂをスパッタ蒸着する際、該Ｃｏ 又はＣｏ
−Ｎｉ 膜を超音波振動下に置くように構成したもの
である。
ｉ又はｓｂをスパッタ蒸着する際、該Ｃｏ 又はＣｏ
−Ｎｉ 膜を超音波振動下に置くように構成したもの
である。
作 用
本発明の磁気記録媒体の製造方法は、上記した構成によ
り、磁気記録層全構成するＣＯ又はＣｏ−Ｎｉ 微粒子
の表面に殆んどＢｉ又はｓｂ が表面拡散と、直接超音
波振動下でできる微粒子間のすき間を通して、スパッタ
されたＢｉ又はｓｂが付着するのとで、被覆されるため
、スパッタ時に基板フィルムをｅＯ°Ｃ〜８０°Ｃ程度
加熱するか、後でほぼ同じ程度の熱処理を加えることで
粒界拡散が完了するので、ポリエステルフィルムを用い
ることができるし、形状転写も殆んどなくせるのでノイ
ズも吐くできることになる。
り、磁気記録層全構成するＣＯ又はＣｏ−Ｎｉ 微粒子
の表面に殆んどＢｉ又はｓｂ が表面拡散と、直接超音
波振動下でできる微粒子間のすき間を通して、スパッタ
されたＢｉ又はｓｂが付着するのとで、被覆されるため
、スパッタ時に基板フィルムをｅＯ°Ｃ〜８０°Ｃ程度
加熱するか、後でほぼ同じ程度の熱処理を加えることで
粒界拡散が完了するので、ポリエステルフィルムを用い
ることができるし、形状転写も殆んどなくせるのでノイ
ズも吐くできることになる。
実施例
以下、図面を参照しながら、本発明の実施例について説
明する０ 第１図は本発明の方法により得られる磁気記録媒体の拡
大断面図である。
明する０ 第１図は本発明の方法により得られる磁気記録媒体の拡
大断面図である。
第１図において、１は高分子フィルムであり、ここでは
厚みが１２μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム
を用いている。２は粒界拡散層（拡散元素はＢｉ 又は
ｓｂのいずれかである。）３を有するＣ或はＣｏ−Ｎｉ
斜め蒸着膜を構成する微粒子である。
厚みが１２μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム
を用いている。２は粒界拡散層（拡散元素はＢｉ 又は
ｓｂのいずれかである。）３を有するＣ或はＣｏ−Ｎｉ
斜め蒸着膜を構成する微粒子である。
第２図は本発明を実施するために用いたスノク・ンタ装
置の一例の要部構成図である。
置の一例の要部構成図である。
第２図において、４はスパッタカソード（Ｂｉ又はｓｂ
）で６はあらかじめ、直径１ｒｎの円筒キャンに沿わせ
て巻き取りながら、ｃｏ又はＣｏ−Ｎｉ ｆ最小入射角
４６度で斜め蒸着して、０．１−の斜め蒸着膜を形成し
たポリエチレンテレフタレートフィルムである。６は送
り出し軸、アは巻取り軸である０８，９．１０は超音波
振動ローラーで、１１は加熱ヒーターで輻射熱で、斜め
蒸着膜の加熱目的で配されるものである。１１はスノ＜
、フタ速度を加速するための磁界発生器である。１２は
真空槽、１３は真空配管、１４は排気系、１６は遮へい
板である。
）で６はあらかじめ、直径１ｒｎの円筒キャンに沿わせ
て巻き取りながら、ｃｏ又はＣｏ−Ｎｉ ｆ最小入射角
４６度で斜め蒸着して、０．１−の斜め蒸着膜を形成し
たポリエチレンテレフタレートフィルムである。６は送
り出し軸、アは巻取り軸である０８，９．１０は超音波
振動ローラーで、１１は加熱ヒーターで輻射熱で、斜め
蒸着膜の加熱目的で配されるものである。１１はスノ＜
、フタ速度を加速するための磁界発生器である。１２は
真空槽、１３は真空配管、１４は排気系、１６は遮へい
板である。
いくつかの条件の組み合わせで磁気記録媒体を製造し評
価した。評価はノイズについて比較し、周波数帯域１０
Ｍの媒体ノイズの相対値である。
価した。評価はノイズについて比較し、周波数帯域１０
Ｍの媒体ノイズの相対値である。
Ｌ表より明らかなように、本発明により得られる磁気記
録媒体の性能は、媒体ノイズが全帯域に渡り、約３ ｄ
Ｂ改良されていることがわかる。又、スパッタ条件とし
て示したように膜厚が％で済み、このことは生産性が２
倍になることを示すものである。
録媒体の性能は、媒体ノイズが全帯域に渡り、約３ ｄ
Ｂ改良されていることがわかる。又、スパッタ条件とし
て示したように膜厚が％で済み、このことは生産性が２
倍になることを示すものである。
本発明の実施例でポリエチレンテレフタレートフィルム
を用いた例を示したが、他のフィルムも必要に応じて使
いわけることができる。
を用いた例を示したが、他のフィルムも必要に応じて使
いわけることができる。
又、強磁性金属薄膜の形成については斜め蒸着について
示したが、垂直蒸着でも良いし、本発明の要旨を逸脱し
ない範囲で、多層化するように、ＣＯ又はＣｏ−Ｎｉの
電子ビーム蒸着と、Ｂｉ又はｓｂのスパッタ蒸着をくり
返しても良いのは勿論である。
示したが、垂直蒸着でも良いし、本発明の要旨を逸脱し
ない範囲で、多層化するように、ＣＯ又はＣｏ−Ｎｉの
電子ビーム蒸着と、Ｂｉ又はｓｂのスパッタ蒸着をくり
返しても良いのは勿論である。
発明の効果
以上のように本発明によれば、汎用性の高いポリエステ
ルフィルムを用いて、ノイズの改良された高密度磁気記
録媒体を大量に得ることができるといったすぐれた効果
がある０
ルフィルムを用いて、ノイズの改良された高密度磁気記
録媒体を大量に得ることができるといったすぐれた効果
がある０
第１図は本発明により製造する磁気記録媒体の一例の拡
大断面図、第２図は本発明の方法を実施するために用い
たスパッタ装置の一例の要部構成図である。 １・・・・・・高分子フィルム、２・・・・・・Ｃｏ
（又はＣｏ −Ｎｉ）微粒子、３・・・・・・粒界拡
散層、４・・・・・・スパブタカンード、８，９，１０
・・・・・・超音波振動ローラー。
大断面図、第２図は本発明の方法を実施するために用い
たスパッタ装置の一例の要部構成図である。 １・・・・・・高分子フィルム、２・・・・・・Ｃｏ
（又はＣｏ −Ｎｉ）微粒子、３・・・・・・粒界拡
散層、４・・・・・・スパブタカンード、８，９，１０
・・・・・・超音波振動ローラー。
Claims (1)
- 高分子フィルム上にＣｏ又はＣｏ−Ｎｉを電子ビーム蒸
着し、その上に、Ｂｉ又はＳｂをスパッタ蒸着する際、
前記Ｃｏ又はＣｏ−Ｎｉ膜を超音波振動下に置くことを
特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28845585A JPS62146436A (ja) | 1985-12-20 | 1985-12-20 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28845585A JPS62146436A (ja) | 1985-12-20 | 1985-12-20 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62146436A true JPS62146436A (ja) | 1987-06-30 |
Family
ID=17730430
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28845585A Pending JPS62146436A (ja) | 1985-12-20 | 1985-12-20 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62146436A (ja) |
-
1985
- 1985-12-20 JP JP28845585A patent/JPS62146436A/ja active Pending
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