JPS62143811A - モリブデン或いはタングステンシリサイドの合成方法 - Google Patents

モリブデン或いはタングステンシリサイドの合成方法

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JPS62143811A JP28446285A JP28446285A JPS62143811A JP S62143811 A JPS62143811 A JP S62143811A JP 28446285 A JP28446285 A JP 28446285A JP 28446285 A JP28446285 A JP 28446285A JP S62143811 A JPS62143811 A JP S62143811A
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Masataka Sugano
菅野　正崇
Ryuichi Nagase
隆一 長瀬
Koji Hosaka
広司 保坂
Akira Kato
晃 加藤
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US5460793A (en) * 1993-05-07 1995-10-24 Japan Energy Corporation Silicide targets for sputtering and method of manufacturing the same
US5618397A (en) * 1993-05-07 1997-04-08 Japan Energy Corporation Silicide targets for sputtering

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