JPS6214105A - カラ−フイルタの製造方法 - Google Patents
カラ−フイルタの製造方法Info
- Publication number
- JPS6214105A JPS6214105A JP60153237A JP15323785A JPS6214105A JP S6214105 A JPS6214105 A JP S6214105A JP 60153237 A JP60153237 A JP 60153237A JP 15323785 A JP15323785 A JP 15323785A JP S6214105 A JPS6214105 A JP S6214105A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dyed
- resist
- color
- dyeing
- photoresist
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は、液晶を用いたカラーＴＶや固体撮像管等に
用いられるカラーフィルタの製造方法に関するものであ
る。
用いられるカラーフィルタの製造方法に関するものであ
る。
（従来の技術）
従来のカラーフィルタの製造方法として、ガラス基板な
どにゼラチン等の可染性樹脂を塗布し、これをフォトレ
ジストの窓を通して部分的に染め分けるという方法が知
られている（特公昭５２−１７３７６、特開昭５７−１
３９７１２）。
どにゼラチン等の可染性樹脂を塗布し、これをフォトレ
ジストの窓を通して部分的に染め分けるという方法が知
られている（特公昭５２−１７３７６、特開昭５７−１
３９７１２）。
（発明が解決しようとする問題点）
上記従来方法によって製造したカラーフィルタは、マス
ク合せの誤差により、隣接する染色部間に非染色の間隙
ができたり、染色部の中にもゴミ、ホコリや現像残り等
で染色されない欠陥ができ、これらの非染色部は染色さ
れていないため、光をよく通し、輝いて見えるのでその
欠点が目立っていた。また透過した白色光のために、カ
ラーフィルタの色度を低下させてしまうという問題もあ
った。
ク合せの誤差により、隣接する染色部間に非染色の間隙
ができたり、染色部の中にもゴミ、ホコリや現像残り等
で染色されない欠陥ができ、これらの非染色部は染色さ
れていないため、光をよく通し、輝いて見えるのでその
欠点が目立っていた。また透過した白色光のために、カ
ラーフィルタの色度を低下させてしまうという問題もあ
った。
（問題点を解決するための手段）
この発明は上記従来例により発生する非染色部を黒色に
染めることにより、上記欠点をなくしたカラーフィルタ
の製造方法を提供するものである。
染めることにより、上記欠点をなくしたカラーフィルタ
の製造方法を提供するものである。
（実施例）
第２図において、ガラスなどの透明な基板１上にゼラチ
ンなどの可染性樹脂層２が設けられている。−その上に
ホトレジスト３を塗布する。
ンなどの可染性樹脂層２が設けられている。−その上に
ホトレジスト３を塗布する。
そして所定のホトマスク４を用いて露光する（第３図）
。現像してレジスト３に窓明けしここを所定の色、たと
えば赤色にて染めて染色部Ｒとし、ついでこの染色部Ｒ
に防染処理をほどこす（第４図）。防染処理としては、
たとえば、タンニン酸含有酢酸水溶液および酒石酸アン
チモニルカリウム水溶液などによりおこなう。つぎに別
のホトマスク５を用いて露光する（第５図）。現像して
窓明けした所に二番目の色たとえば緑色に染めて染色部
Ｇとし、ついで防染処理をほどこす（第６図）。さらに
別のフォトマスク６を用いて露光する（第７図）。現像
した後三番目の色たとえば青色に染めて染色部Ｂとし、
ついでその部分に防染処理をほどこす（第８図）。その
後残ったレジスト３を剥離する。剥離したままの状態で
は染色部Ｒ，Ｇ、Ｂ間の間隙７、あるいは各染色部の中
における欠陥８は非染色部として残っている。
。現像してレジスト３に窓明けしここを所定の色、たと
えば赤色にて染めて染色部Ｒとし、ついでこの染色部Ｒ
に防染処理をほどこす（第４図）。防染処理としては、
たとえば、タンニン酸含有酢酸水溶液および酒石酸アン
チモニルカリウム水溶液などによりおこなう。つぎに別
のホトマスク５を用いて露光する（第５図）。現像して
窓明けした所に二番目の色たとえば緑色に染めて染色部
Ｇとし、ついで防染処理をほどこす（第６図）。さらに
別のフォトマスク６を用いて露光する（第７図）。現像
した後三番目の色たとえば青色に染めて染色部Ｂとし、
ついでその部分に防染処理をほどこす（第８図）。その
後残ったレジスト３を剥離する。剥離したままの状態で
は染色部Ｒ，Ｇ、Ｂ間の間隙７、あるいは各染色部の中
における欠陥８は非染色部として残っている。
そこでつぎにこの基板１全体を黒色染色浴に入れて上記
間隙７と欠陥８とを黒色に染色する（第１図）。
間隙７と欠陥８とを黒色に染色する（第１図）。
（発明の効果）
本発明によれば、カラーフィルタにおける隣接する染色
部の間の間隙および染色部における欠陥を黒色に染色す
ることにより、白く光が抜ける部分がなく、各染色部の
色度が低下するのを防止することができる。また防染処
理を各色を染色する毎におこなっていることにより、隣
接する染色部間の混色が生じることがない。
部の間の間隙および染色部における欠陥を黒色に染色す
ることにより、白く光が抜ける部分がなく、各染色部の
色度が低下するのを防止することができる。また防染処
理を各色を染色する毎におこなっていることにより、隣
接する染色部間の混色が生じることがない。
図面は本発明の実施例を示し、第１図は本発明により製
造したカラーフィルタの断面図、第２図〜第８図は製造
工程を追って示す断面図である。 １・・・・・・基板、 ２・・・・・・可染性
樹脂層３・・・・・・ホトレジスト、４．５．６・・・
ホトマスクＲ・・・・・・赤色染色部、 Ｇ・・・・
・・緑色染色部Ｂ・・・・・・青色染色部、 ７・・
・・・・間隙８・・・・・・欠陥− 以 上
造したカラーフィルタの断面図、第２図〜第８図は製造
工程を追って示す断面図である。 １・・・・・・基板、 ２・・・・・・可染性
樹脂層３・・・・・・ホトレジスト、４．５．６・・・
ホトマスクＲ・・・・・・赤色染色部、 Ｇ・・・・
・・緑色染色部Ｂ・・・・・・青色染色部、 ７・・
・・・・間隙８・・・・・・欠陥− 以 上
Claims (1)
- 基板上に可染性樹脂層を設けた上にホトレジストを塗布
し、上記ホトレジストをパターニングして染色後防染す
る工程をくり返しておこない、最後に残存するホトレジ
ストを剥離した後、未染色部を黒色に染色することを特
徴とするカラーフィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60153237A JPH0690326B2 (ja) | 1985-07-11 | 1985-07-11 | カラ−フイルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60153237A JPH0690326B2 (ja) | 1985-07-11 | 1985-07-11 | カラ−フイルタの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6214105A true JPS6214105A (ja) | 1987-01-22 |
| JPH0690326B2 JPH0690326B2 (ja) | 1994-11-14 |
Family
ID=15558050
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60153237A Expired - Fee Related JPH0690326B2 (ja) | 1985-07-11 | 1985-07-11 | カラ−フイルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0690326B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05173015A (ja) * | 1991-12-25 | 1993-07-13 | Stanley Electric Co Ltd | カラーフィルターの製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5675606A (en) * | 1979-11-26 | 1981-06-22 | Fuji Photo Film Co Ltd | Production of polychromic optical filter |
| JPS5950411A (ja) * | 1982-09-17 | 1984-03-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 色フイルタの製造方法 |
-
1985
- 1985-07-11 JP JP60153237A patent/JPH0690326B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5675606A (en) * | 1979-11-26 | 1981-06-22 | Fuji Photo Film Co Ltd | Production of polychromic optical filter |
| JPS5950411A (ja) * | 1982-09-17 | 1984-03-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 色フイルタの製造方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05173015A (ja) * | 1991-12-25 | 1993-07-13 | Stanley Electric Co Ltd | カラーフィルターの製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0690326B2 (ja) | 1994-11-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6177014A (ja) | カラ−フイルタの製造方法 | |
| JPS6111703A (ja) | カラ−フイルタ−の製造方法 | |
| US5053299A (en) | Method of making color filter arrays | |
| JPH0443562B2 (ja) | ||
| JPS6214105A (ja) | カラ−フイルタの製造方法 | |
| JPS6242105A (ja) | カラ−フイルタの製造方法 | |
| JPS6214103A (ja) | カラ−フイルタの製造方法 | |
| JPS6333681B2 (ja) | ||
| JPS61295505A (ja) | カラ−フイルタの製造方法 | |
| JPS61295507A (ja) | カラ−フイルタの製造方法 | |
| JPS6259901A (ja) | 液晶表示装置用カラ−フイルタ−の製造方法 | |
| JPS6214104A (ja) | カラ−フイルタの製造方法 | |
| JP3254798B2 (ja) | カラーフィルタ遮光膜の再生方法 | |
| JPS5525068A (en) | Surface modifying method of organic color filter | |
| JPS61295502A (ja) | カラ−フイルタの製法 | |
| JPS61295506A (ja) | カラ−フイルタの製造方法 | |
| JPS6219805A (ja) | カラ−フイルタの製造方法 | |
| JPS62164002A (ja) | カラ−フイルタ−の製造方法 | |
| JPH0746612A (ja) | カラー固体撮像装置の製造方法 | |
| JPS6242104A (ja) | カラ−フイルタの製造方法 | |
| JPS63159810A (ja) | カラ−フイルタの製造方法 | |
| JPS61295508A (ja) | カラ−フイルタの製造方法 | |
| JPH0443563B2 (ja) | ||
| JPH04111354A (ja) | カラーフィルターの製造方法 | |
| JPS6370803A (ja) | カラ−フイルタの形成方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |