JPS62133303A - アライメント用光学装置 - Google Patents
アライメント用光学装置Info
- Publication number
- JPS62133303A JPS62133303A JP60273674A JP27367485A JPS62133303A JP S62133303 A JPS62133303 A JP S62133303A JP 60273674 A JP60273674 A JP 60273674A JP 27367485 A JP27367485 A JP 27367485A JP S62133303 A JPS62133303 A JP S62133303A
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- JP
- Japan
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- transducers
- aligned
- shutter
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- Granted
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-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/10—Energy storage using batteries
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、アライメント用光学装置、さらに詳しくは、
複数位置でアライメントを要する対象物において、それ
ぞれの位置でより正確にアライメントを行い得る装置に
関する。
複数位置でアライメントを要する対象物において、それ
ぞれの位置でより正確にアライメントを行い得る装置に
関する。
［従来の技術］
従来において、対象物の複数位置で７ライメントが必要
である場合、例えば、光電式エンコーダでの４つの光電
変換素子又は格子板のアライメントを必要とするときは
、その４つの位置を含むようにテレビカメラで撮影し拡
大したモニタ画面を形成する装置を用いてアライメント
を行なっていた。
である場合、例えば、光電式エンコーダでの４つの光電
変換素子又は格子板のアライメントを必要とするときは
、その４つの位置を含むようにテレビカメラで撮影し拡
大したモニタ画面を形成する装置を用いてアライメント
を行なっていた。
［発明が解決しようとする問題点］
従来の装置によると、アライメントを要する位置を全て
含む画面を所定大きさのモニタ画面に収めなければなら
ないため、倍率をあまり高くすることができず、個々の
画面が小さくなり、高精度のアライメントは望めなかっ
た。
含む画面を所定大きさのモニタ画面に収めなければなら
ないため、倍率をあまり高くすることができず、個々の
画面が小さくなり、高精度のアライメントは望めなかっ
た。
本発明は、上記問題点を解決したアライメント用光学装
置の提供をその目的とするものである。
置の提供をその目的とするものである。
［問題点を解決する手段］
本発明は、上記従来技術の問題点を解決するためになさ
れたものであって、対象物上のアライメントを要する複
数位置にそれぞれその位置に焦点がくるように複数の対
物レンズを配置し、この対物レンズから射出される平行
光束を対物レンズ後方に配置された結像レンズがその焦
点位置に対象物の像を形成し、これを観察手段でｗＡ祭
できるようにする。さらに複数の対物レンズのそれぞれ
にシャッタ部を設け、シャッタ制御部が上記シャッタ部
を択一的に選択することにより複数のアライメント位置
の像をｗＡ察手段で択一的に高倍率で観察可能とする。
れたものであって、対象物上のアライメントを要する複
数位置にそれぞれその位置に焦点がくるように複数の対
物レンズを配置し、この対物レンズから射出される平行
光束を対物レンズ後方に配置された結像レンズがその焦
点位置に対象物の像を形成し、これを観察手段でｗＡ祭
できるようにする。さらに複数の対物レンズのそれぞれ
にシャッタ部を設け、シャッタ制御部が上記シャッタ部
を択一的に選択することにより複数のアライメント位置
の像をｗＡ察手段で択一的に高倍率で観察可能とする。
［実施例］
以下、本発明の一実施例について第１図及び第２図を参
照し、対象物として光電式エンコーダの光電変換素子の
アライメントを要する基板を例に挙げ説明する。
照し、対象物として光電式エンコーダの光電変換素子の
アライメントを要する基板を例に挙げ説明する。
第１図はアライメントを要する対象である基板１上の複
数位置に相当する４つの光電変換素子２ａ。
数位置に相当する４つの光電変換素子２ａ。
２ｂ、２ｃ、２ｄの配置を示す。この光電変換素子２ａ
ないし２ｄは図示せぬ固定格子板及び回転格子板を挟ん
で図示せぬ光源と向き合って所定の位置関係に配置する
（以下アライメントという）必要がある。
ないし２ｄは図示せぬ固定格子板及び回転格子板を挟ん
で図示せぬ光源と向き合って所定の位置関係に配置する
（以下アライメントという）必要がある。
アライメント用光学装置は第２図に示すように対物レン
ズ４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄを含む対物光学系６と。
ズ４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄを含む対物光学系６と。
この対物光学系６の後方に配置された結像レンズ８と、
この結像レンズ８が形成する像を観察するためにテレビ
カメラｌＯ及びテレビモニタ１２を有する観察手段１４
と、光路の開閉をするシャッタ部１６とシャッタ制御部
２２とを有する（ただし対物レンズ４ｂ、４ｄの図示は
省略する）。
この結像レンズ８が形成する像を観察するためにテレビ
カメラｌＯ及びテレビモニタ１２を有する観察手段１４
と、光路の開閉をするシャッタ部１６とシャッタ制御部
２２とを有する（ただし対物レンズ４ｂ、４ｄの図示は
省略する）。
対物レンズ４ａないし４ｄは全て同一焦点距離を持ちそ
れらの光軸間隔が対象物のアライメント位置間隔に対応
するように配置される。なお対物レンズ４ａないし４ｄ
の焦点距離は、テレビカメラ１０の撮像面内にアライメ
ント対象となっている光電変換素子が充分おさまる範囲
でなるべく高い倍率となるように選ばれる。
れらの光軸間隔が対象物のアライメント位置間隔に対応
するように配置される。なお対物レンズ４ａないし４ｄ
の焦点距離は、テレビカメラ１０の撮像面内にアライメ
ント対象となっている光電変換素子が充分おさまる範囲
でなるべく高い倍率となるように選ばれる。
従って本例においては光電変換素子２ａないし２ｄに対
応させるため図示しない対物レンズ４ｂ及び４ｄはそれ
ぞれ対物レンズ４ａ及び４ｃと紙面と直角方向に並んで
配置される。
応させるため図示しない対物レンズ４ｂ及び４ｄはそれ
ぞれ対物レンズ４ａ及び４ｃと紙面と直角方向に並んで
配置される。
光電変換素子２ａないし２ｄはそれぞれ対物レンズ４ａ
ないし４ｄの焦点位置に配置されるので対物レンズ４ａ
ないし４ｄから射出する光束は平行光束となる。
ないし４ｄの焦点位置に配置されるので対物レンズ４ａ
ないし４ｄから射出する光束は平行光束となる。
結像レンズ８は、対物レンズ４ａないし４ｄから射出し
た平行光束を入射できる径を有し、テレビカメラ１０の
撮像面１０ａの中心と光軸８ａとを一致させて光電変換
素子２ａないし２ｄの像を結像レンズ８の焦点位置であ
る撮像面１０ａに形成する。
た平行光束を入射できる径を有し、テレビカメラ１０の
撮像面１０ａの中心と光軸８ａとを一致させて光電変換
素子２ａないし２ｄの像を結像レンズ８の焦点位置であ
る撮像面１０ａに形成する。
テレビカメラ１０は撮像面１０ａに形成された像の信号
をテレビモニタ１２に送り、テレビモニタ１２は送られ
た信号に従い像を形成する。
をテレビモニタ１２に送り、テレビモニタ１２は送られ
た信号に従い像を形成する。
シャッタ部１６は対物レンズ４ａないし４ｄの前方にそ
れぞれシャッタ１８ａないし１８ｄを配置するとともに
、シャッタ１８を駆動させるシャッタ駆動部２Ｑａない
し２０ｄ（例えば電磁ソレノイドで構成される）をル１
Ｂえ、シャッタ制御部２２からの信号によってシャッタ
１８ａないし１８ｄを択一に開放し、対物レンズ４ａな
いし４ｄへの入射光を通過させる。ここでシャッタ１８
ｂ、１８ｄ及びシャッタ駆動部２０ｂ 、 ２０ｄの図
示は省略する。
れぞれシャッタ１８ａないし１８ｄを配置するとともに
、シャッタ１８を駆動させるシャッタ駆動部２Ｑａない
し２０ｄ（例えば電磁ソレノイドで構成される）をル１
Ｂえ、シャッタ制御部２２からの信号によってシャッタ
１８ａないし１８ｄを択一に開放し、対物レンズ４ａな
いし４ｄへの入射光を通過させる。ここでシャッタ１８
ｂ、１８ｄ及びシャッタ駆動部２０ｂ 、 ２０ｄの図
示は省略する。
シャッタ制御部２２は、４つのブツシュスイッチ２４ａ
、２４ｂ、２４ｃ、２４ｄを有し、観察者はこの４つの
ブツシュスイッチのいずれかをＯＮすると、これに対応
したシャッタ駆動部２０ａないし２０ｄへ開信号を送り
、選択された位置の光電変換素子２ａないし２ｄの像が
テレビモニタ１２に形成される。
、２４ｂ、２４ｃ、２４ｄを有し、観察者はこの４つの
ブツシュスイッチのいずれかをＯＮすると、これに対応
したシャッタ駆動部２０ａないし２０ｄへ開信号を送り
、選択された位置の光電変換素子２ａないし２ｄの像が
テレビモニタ１２に形成される。
次に、このアライメント用光学装置を用いたアライメン
ト操作について説明する。
ト操作について説明する。
アライメントの対象となる光電変換素子２ａないし２ｄ
がテレビモニタ１２上で明瞭に見えるように対物レンズ
４ａないし４ｄを光軸方向に移動させる。テレビモニタ
１２上で光電変換素子２ａないし２ｄが明瞭に見えると
きに光電変換素子２ａないし２ｄが対物レンズ４ａない
し４ｄの焦点位置に配置されたことになる。
がテレビモニタ１２上で明瞭に見えるように対物レンズ
４ａないし４ｄを光軸方向に移動させる。テレビモニタ
１２上で光電変換素子２ａないし２ｄが明瞭に見えると
きに光電変換素子２ａないし２ｄが対物レンズ４ａない
し４ｄの焦点位置に配置されたことになる。
光電変換素子２ａをアライメントするときは、これに対
応したシャッタ制御部２２のブツシュスイッチ２４ａを
ＯＮとする。シャッタ制御部２２からの信号はシャッタ
駆動部２０ａを介してシャッタ１８ａを開き、シャッタ
１８ｂないし１８ｄを閉じさせている。
応したシャッタ制御部２２のブツシュスイッチ２４ａを
ＯＮとする。シャッタ制御部２２からの信号はシャッタ
駆動部２０ａを介してシャッタ１８ａを開き、シャッタ
１８ｂないし１８ｄを閉じさせている。
これによってテレビモニタ１２は光電変換素子２ａの像
を形成するので、画面上のレチクル２６を利用して光電
変換素子２ａのアライメントを行い、これが終了すれば
同様にして光電変換素子２ｂないし２ｄのアライメント
を行う。
を形成するので、画面上のレチクル２６を利用して光電
変換素子２ａのアライメントを行い、これが終了すれば
同様にして光電変換素子２ｂないし２ｄのアライメント
を行う。
本実施例において、シャッタ部を機械的シャッタの構成
で示したが、本発明はこれに限られるものではなく、液
晶シャッタのようなものでも差し支えない。
で示したが、本発明はこれに限られるものではなく、液
晶シャッタのようなものでも差し支えない。
なお、対物レンズの間隔が拡がると結像レンズの径もそ
れにつれて大きくする必要があるが、２枚のミラーを使
い光束をＺ状に折り曲げ光束の間隔を狭めることによっ
て結像レンズの径の拡大は防止できる。
れにつれて大きくする必要があるが、２枚のミラーを使
い光束をＺ状に折り曲げ光束の間隔を狭めることによっ
て結像レンズの径の拡大は防止できる。
［発明の効果］
本発明によれば、複数位置でアライメントを必要とする
対象物をアライメントする場合でも各アライメント位置
ごとに画面を切換えられ、複数位置を全てカバーする画
面に比ペアライメントの対象物を拡大することができ、
高精度のアライメントが可能となる。
対象物をアライメントする場合でも各アライメント位置
ごとに画面を切換えられ、複数位置を全てカバーする画
面に比ペアライメントの対象物を拡大することができ、
高精度のアライメントが可能となる。
第１図は、アライメントの対象となる光電変換素子の配
置を示した図、第２図は、アライメント用光学装置の構
成を示した図である。
置を示した図、第２図は、アライメント用光学装置の構
成を示した図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 複数位置でアライメントを要する対象物と、前記複数位
置のそれぞれに対面しかつ該複数位置のそれぞれに焦点
がくるように設けられた複数の対物レンズと、 前記複数の対物レンズのそれぞれの近傍に設けられた複
数のシャッタ部と、 前記複数の対物レンズの後方に配置され、該複数の対物
レンズからの光束を入射する結像レンズと、 該結像レンズで形成された像を観察する観察手段と、 前記シャッタ部を択一的に開放するシャッタ制御部とか
らなるアライメント用光学装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60273674A JPS62133303A (ja) | 1985-12-05 | 1985-12-05 | アライメント用光学装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60273674A JPS62133303A (ja) | 1985-12-05 | 1985-12-05 | アライメント用光学装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62133303A true JPS62133303A (ja) | 1987-06-16 |
| JPH0565002B2 JPH0565002B2 (ja) | 1993-09-16 |
Family
ID=17530964
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60273674A Granted JPS62133303A (ja) | 1985-12-05 | 1985-12-05 | アライメント用光学装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62133303A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0249102A (ja) * | 1988-08-10 | 1990-02-19 | Daikin Ind Ltd | 人体位置検出装置 |
-
1985
- 1985-12-05 JP JP60273674A patent/JPS62133303A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0249102A (ja) * | 1988-08-10 | 1990-02-19 | Daikin Ind Ltd | 人体位置検出装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0565002B2 (ja) | 1993-09-16 |
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