JPS6211244A - 恒温槽の循環装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、ＩＣハンドラの恒温槽内における空気の循環
装置に関するものである。

〔発明の背景〕

ＩＣハンドラは、多数のＩＣを順次に搬送してＩＣ測定
機構部に供給し、測定済みＩＣを測定成績に従って分類
、搬出する自動機器である。

上記の測定に際しては所定の測定温度で行わねばならな
いので、ＩＣ搬送ラインの途中に恒温槽が設けられる。

ＩＣ測定機構部は恒温槽の搬出端付近に設けられている
。ＩＣは恒温槽内を比較的低速で通過し、その間に所定
温度になって測定機構部に供給されて検査される。

第２図は上記恒温槽の概要的な構成を示す模式ｒｃｔａ
は矢印Ａ、Ｂの如く恒温槽２内を搬送さ札矢印Ａの搬送
中に所定温度となシ、測定機構部３に供給され、ｌｂ位
置で測定された後、矢印Ｂの如く搬出される。

前記の恒温槽２内を所定温度にするため、該恒温槽の搬
入口付近に７アン４の吸入口４ａを開口せしめである。

一方、恒温槽２の搬出口付近に送気口５が設けられ、該
送気口５と７アン吐出口４ｂとの間をダクト６で接続し
である。このダクト６の中にヒータ７（若しくはクーラ
）が設けられる。

恒温槽内の空気はファンの吐出口４ｂから矢印イの如く
吐出され、ダクト６７で予熱（又は予冷）されて矢印口
の如く送られ、矢印ノ・の如く測定位置１ｂのＩＣを加
熱（若しくは冷却）する。その後空気は矢印二、ホの如
く流動し、搬送中のＩＣを予熱（又は予冷）シ、矢印へ
の如くファン吸気口４ａに吸入されて循環する。

上記のように構成された循環装置！第２図）においては
、恒温槽内の循環流路矢印イ０ロ、ノ・。

二、ホ、へが長距離となるので、この流動経路に沿った
循環流動が１巡するのに長時間を要する。

この１巡時間が長いと、恒温槽内の温度を上げ。

下げして制御しようとしたとき応答時間が永くかかる。

上記の応答時間を短縮しようとすると、空気循環の流速
を上げて、循環空気の１巡時間を短縮しなければならな
い。

ところが、ファン４の吐出圧や吐出量を上げて矢印・・
、二の流速を上げると、矢印Ａ　Ｋ　Ｇつて搬送されて
いるＩＣを吹き飛ばしてしまう（吹き飛ばすに至らない
までも円滑な搬送を妨げる）。

〔発明の目的〕 本発明は上述の事情に鑑みて為されたもので恒温槽内に
おけるＩＣの円滑な搬送を妨げることなく、空気の循環
の１巡時間を短縮して温度制御の応答性を早くした恒温
槽用の空気循環装置を提供しようとするものである。

〔考案の概要〕

上記の目的を達成する為、本考案の循環装置は、ＩＣ搬
送ラインを設けた恒温槽のＩＣ搬入側の端部付近にファ
ンの吸入口を設けるとともに、ＩＣ搬出側の端部付近に
設けた送風口と前記ファンの吐出口とをダクトで接続し
た恒温槽の循環装置において、前記送風口とファン吸入
口とを結ぶ空気流路の途中に横流式のファンを設置した
ことを特徴とする。

ただし、本発明において横流式ファンとは、例えばシロ
ッコファンなどのように回転軸を含む面に沿って多数の
平板状の羽根を放射状に設けたファンであって、その直
径に比して軸長が長い（３倍以上）ものを言う。この形
のファンは軸長方向に関して均一に分布した送風が得ら
れるという特性を有し、かつ、長い回転軸に対してほぼ
直角方向に送風するに適している。

〔発明の実施例〕

次に、本発明の１実施例を第１図について説明する。こ
の実施例は、前述の従来装置（第２図）に本発明を適用
して改良した１例であって、第２図と同一の図面参照番
号を付して示した恒温槽２゜測定機構部３、ファン４、
送風口５、ダクト６、およびヒータ（又はクーラ）７は
従来装置におけると同様乃至は類似の構成部分である。

送風口５から矢印ハの如く送シ出された空気が矢印への
如くファン吸入口４ａに流入するまでの流路の途中に、
横流式ファン８を設け、矢印二′の如く空気を吸入し、
矢印ホ′の如く加速して送出する。

前述した横流式ファンの特性によシ、矢印ホ′方向の送
風は紙面と直角方向（ＩＣ搬送方向と直角な水平方向）
Ｋ均一に分布し、ＩＣの温度制御効果を均一ならしめる
。また、局部的に流速の大きい個所を生じないのでＩＣ
を吹き飛ばしたシ、搬通状態を乱したシする虞れが無い
。その上、横流式ファンの形状的な特性（細長い円柱状
）の故に。

恒温槽２内の余裕空間に配設することが容易である。

以上のようにして、循環空気流を途中で加速すると、循
環空気が１巡するための所要時間が短縮され、従って温
度制御の応答性が早くなる。

〔発明の効果〕

以上詳述したように１本発明の循環装置によれば、ＩＣ
ハンドラ用恒温槽内におけるＩＣの搬送を妨げることな
く、循環空気の１巡所要時間を短縮して温度制御の応答
性を向上することができるという優れた実用的効果を奏
する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る恒温槽の循環装置の１実施例を模
式的に描いた説明図、第２図は従来の恒温槽の循環装置
の１例を模式的に描いた説明図である。 ｌａ、ｌｂ・・・ＩＣ，２・・・恒温槽、３・・・測定
機構部、４°°゛７アン、４ａ・・・吸入口、４ｂ・・
・吐出口、　５・・・送風口、６・・・ダクト、７・・
・ヒータ（又はクーラ）、８・・・横流式ファン

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ＩＣ搬送ラインを設けた恒温槽のＩＣ搬入側の端部付近
   にファンの吸入口を設けるとともに、ＩＣ搬出側の端部
   付近に設けた送風口と前記ファンの吐出口とをダクトで
   接続した恒温槽の循環装置において、前記送風口とファ
   ン吸入口とを結ぶ空気流路の途中に横流式のファンを設
   置したことを特徴とする恒温槽の循環装置。