JPS62105036A - 波長スキヤン式発光分光分析装置 - Google Patents
波長スキヤン式発光分光分析装置Info
- Publication number
- JPS62105036A JPS62105036A JP24535385A JP24535385A JPS62105036A JP S62105036 A JPS62105036 A JP S62105036A JP 24535385 A JP24535385 A JP 24535385A JP 24535385 A JP24535385 A JP 24535385A JP S62105036 A JPS62105036 A JP S62105036A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wavelength
- scanning
- spectrometer
- internal standard
- spectroscope
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- Pending
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- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、発光分光分析装置に係り、特に２台以上のス
キャン式分光器を用いる波長スキャン式発光分光分析装
置に関する。
キャン式分光器を用いる波長スキャン式発光分光分析装
置に関する。
従来、発光分光分析法における内標準測定法は。
すべて波長固定した測光法に限られる。特に誘導結合プ
ラズマ（以下ＩＣＰと略す）については。
ラズマ（以下ＩＣＰと略す）については。
元素および波長毎の発光強度のふらつきの特性が調べら
れ、分析用および内標準用の波長の組拾わせによる。内
標準効用についての報告がなされているにすぎない。
れ、分析用および内標準用の波長の組拾わせによる。内
標準効用についての報告がなされているにすぎない。
参考文献
（１） Ｒ，Ｍ、Ｂａｌｃｈａｍｂｅｒ ａｎｄ Ｇ、
Ｈｏｒｌｉｃｋ、Ｓｐｅｃｔｒｏｅｈｉｍ。
Ｈｏｒｌｉｃｋ、Ｓｐｅｃｔｒｏｅｈｉｍ。
Ａｃｔａ ３７ Ｂ 、 １０３７ （１９８２）（２
） Ｓ、Ａ、Ｍｙｅｒｓ ａｎｄ Ｄ、Ｈ，Ｔｒａｃｙ
、Ｓｐｅｃｔｒｏｃｈｉｍ、Ａｃｔａ３８ Ｂ 、 １
２２７ （１９８３）すなわち、ＩＣＰにおける発光強
度のふらつきの検討に始まる内標準効果の基礎的検討で
ある。
） Ｓ、Ａ、Ｍｙｅｒｓ ａｎｄ Ｄ、Ｈ，Ｔｒａｃｙ
、Ｓｐｅｃｔｒｏｃｈｉｍ、Ａｃｔａ３８ Ｂ 、 １
２２７ （１９８３）すなわち、ＩＣＰにおける発光強
度のふらつきの検討に始まる内標準効果の基礎的検討で
ある。
これらの従来例においては、２台の分光器を用い、各々
の分光器を希望する組合せの波長に合わせて固定し、両
者の発光強度のふらつきの相関が調べられている６従っ
て、これらの従来例においては、波長スキャン式の分光
器を用い、高速かつ高い内標準効果を得るスキャン法に
ついては考察されていない。
の分光器を希望する組合せの波長に合わせて固定し、両
者の発光強度のふらつきの相関が調べられている６従っ
て、これらの従来例においては、波長スキャン式の分光
器を用い、高速かつ高い内標準効果を得るスキャン法に
ついては考察されていない。
一方、他の従来例として、２台のスキャン式分光器を用
い、特別な配慮を払わず高速スキャン法にて内標準補正
を行う方法を、第２図を用いて説明する。第２図は、２
台のスキャン式分光器を。
い、特別な配慮を払わず高速スキャン法にて内標準補正
を行う方法を、第２図を用いて説明する。第２図は、２
台のスキャン式分光器を。
高速スキャンして、各々の分光器でλ＾とλＢの波長の
発光強度をとらえようとした例である。第２図（ｂ）は
、第１分光器の設定波長の時間変化を示す、第１分光器
はλ＾における発光強度を求めるため、λ＾の付近すな
わちｔｌからλ２までを低速でスキャンしている。同図
（ｂ）において。
発光強度をとらえようとした例である。第２図（ｂ）は
、第１分光器の設定波長の時間変化を示す、第１分光器
はλ＾における発光強度を求めるため、λ＾の付近すな
わちｔｌからλ２までを低速でスキャンしている。同図
（ｂ）において。
時刻１１にて、低速スキャン開始のｔｌに到達しており
、ｔ１以前は高速スキャンしている。第２分光器はλＢ
における発光強度を求めるため、λＢの付近すなわちλ
Ｂからλ番までを低速でスキャンしている。同図（ｄ）
において１時刻ｔｚにて、第２分光器はλ３に到達して
いる。第１分光器は、第２分光器が低速スキャン開始に
なるのをｔｌからｔｚの間待って、同時にｔｚから低速
スキャンを始めている。低速スキャンは、各々の分光器
がλ＾またはλＢを通過し、ｔ４にてλ２またはλ番に
到達することにより終了し、ｔ４以後は再び高速スキャ
ンして、各々の分光器は次の目標波長に向かう。
、ｔ１以前は高速スキャンしている。第２分光器はλＢ
における発光強度を求めるため、λＢの付近すなわちλ
Ｂからλ番までを低速でスキャンしている。同図（ｄ）
において１時刻ｔｚにて、第２分光器はλ３に到達して
いる。第１分光器は、第２分光器が低速スキャン開始に
なるのをｔｌからｔｚの間待って、同時にｔｚから低速
スキャンを始めている。低速スキャンは、各々の分光器
がλ＾またはλＢを通過し、ｔ４にてλ２またはλ番に
到達することにより終了し、ｔ４以後は再び高速スキャ
ンして、各々の分光器は次の目標波長に向かう。
ここで第１分光器がｔｚからｔｚの間待っていたのは、
第１分光器がλ＾を捕らえるのと、第２分光器がλＢを
捕らえるのが同時刻になるように配慮しているためであ
る。ｔｌとλ２は、λ＾を間にしかつλ２−λ＾＝λ＾
−λ１となるように選定される。λ８．λ番とλＢの関
係も同様である。すなわち、第２図（ｂ）においてｔ、
ｇ＝ｔ３’となるようにしているわけである。
第１分光器がλ＾を捕らえるのと、第２分光器がλＢを
捕らえるのが同時刻になるように配慮しているためであ
る。ｔｌとλ２は、λ＾を間にしかつλ２−λ＾＝λ＾
−λ１となるように選定される。λ８．λ番とλＢの関
係も同様である。すなわち、第２図（ｂ）においてｔ、
ｇ＝ｔ３’となるようにしているわけである。
しかし、実際には２分光器スキャンの機構系等の誤差に
より、λ＾での発光強度が得られる時刻ｔ８と、λＢで
の発光強度が得られる時刻ｔａ’とを完全に一致させる
ことは困廻となる。この場合、 （ｔａ’−ｔｓ）の
時間差で、プラズマの発光強度がどの程度変化するかが
問題になる。その具体的な例として、０．０００５ ｎ
ｍ ／ステップの精密波長駆動系を有するスキャン式
分光器において、λ＾とλＢを捕らえる波長に０．００
２５ ｎ ｍの誤差があった場合を考えてみる。機構的
な観点からはこの程度の誤差は避けられずλ＾とλＢの
誤差の極性が逆になっていると、０，００２５ Ｘ ２
１０．０Ｏ０５＝１０ステツプの差が生ずることになる
。従って１０ステップ１秒（＝０．００５ ｎｍ／秒）
でスキャンすれば、ｌ ｔｓ’ −ｔａｌ ＝１秒もの
差がついてしまう、ＩＣＰの発光強度をスペクトルラム
アナライザにて解析するとその周波数成分は１０ Ｈｚ
までは無視できず、１秒の差でλ＾とλＢの発光強度比
を取ることは全く無意味となる。仮に、分光器を２００
ステップ１秒（０，１ｎｍ／秒）でスキャンした場合に
は、ｌ ｔａ’ −ｔｓｌ ＝０．０５秒となり、内標
準により補正効果が期待できるように思えるが、逆にλ
＾またはλＢでの発光強度をとらえる時間が短くなり、
Ｓ／Ｎが低下する。
より、λ＾での発光強度が得られる時刻ｔ８と、λＢで
の発光強度が得られる時刻ｔａ’とを完全に一致させる
ことは困廻となる。この場合、 （ｔａ’−ｔｓ）の
時間差で、プラズマの発光強度がどの程度変化するかが
問題になる。その具体的な例として、０．０００５ ｎ
ｍ ／ステップの精密波長駆動系を有するスキャン式
分光器において、λ＾とλＢを捕らえる波長に０．００
２５ ｎ ｍの誤差があった場合を考えてみる。機構的
な観点からはこの程度の誤差は避けられずλ＾とλＢの
誤差の極性が逆になっていると、０，００２５ Ｘ ２
１０．０Ｏ０５＝１０ステツプの差が生ずることになる
。従って１０ステップ１秒（＝０．００５ ｎｍ／秒）
でスキャンすれば、ｌ ｔｓ’ −ｔａｌ ＝１秒もの
差がついてしまう、ＩＣＰの発光強度をスペクトルラム
アナライザにて解析するとその周波数成分は１０ Ｈｚ
までは無視できず、１秒の差でλ＾とλＢの発光強度比
を取ることは全く無意味となる。仮に、分光器を２００
ステップ１秒（０，１ｎｍ／秒）でスキャンした場合に
は、ｌ ｔａ’ −ｔｓｌ ＝０．０５秒となり、内標
準により補正効果が期待できるように思えるが、逆にλ
＾またはλＢでの発光強度をとらえる時間が短くなり、
Ｓ／Ｎが低下する。
このようなことから、通常の高速スキャン法では、十分
な内標準補正の効果が得られなかった。
な内標準補正の効果が得られなかった。
本発明は、このような事情に基づいてなされたものであ
り、その目的は１分析元素の波長の発光強度と、内標準
元素の波長の発光強度との取り込み比をとるのに完全に
同時刻とすることのできる波長スキャン式発光分光分析
装置を提供するにある。
り、その目的は１分析元素の波長の発光強度と、内標準
元素の波長の発光強度との取り込み比をとるのに完全に
同時刻とすることのできる波長スキャン式発光分光分析
装置を提供するにある。
このような目的を達成するために１本発明は、波長スキ
ャン可能な分光器を少なくとも２つ備え。
ャン可能な分光器を少なくとも２つ備え。
一方の分光器を内標準元素の波長における発光強度の謂
定に用い、他方の分光器を測定元素の波長における発光
強度の測定に用いる波長スキャン式発光分光分析装置に
おいて、前記他方の分光器が測定元素の波長をスキャン
によりとらえられる前に、前記一方の分光器が内標準元
素の波長をスキャンによりとらえ、その波長に固定する
手段を具備させてなるようにしたものである。
定に用い、他方の分光器を測定元素の波長における発光
強度の測定に用いる波長スキャン式発光分光分析装置に
おいて、前記他方の分光器が測定元素の波長をスキャン
によりとらえられる前に、前記一方の分光器が内標準元
素の波長をスキャンによりとらえ、その波長に固定する
手段を具備させてなるようにしたものである。
第１図は、本発明による波長スキャン式発光分光分析装
置の一実施例を示すブロック図である。
置の一実施例を示すブロック図である。
同図は発光源としてＩＣＰを用い、２台のスキャン式分
光器を用いたシステムの一例である。ＩＣＰのプラズマ
１からの光は、ハーフミラ−２で分割され、１つのビー
ムは第１分光器４に、他のビームはミラー３で反射し、
第２分光器５に入射する。
光器を用いたシステムの一例である。ＩＣＰのプラズマ
１からの光は、ハーフミラ−２で分割され、１つのビー
ムは第１分光器４に、他のビームはミラー３で反射し、
第２分光器５に入射する。
各々の分光器４，５は独立に制御および信号処理が可能
となっている。第１分光器４で単色化された光は、ホト
マルチプライヤ６で電気信号に変換され、プリアンプ１
０で増幅した後、マルチプレクサ１２に入る。同様に第
２分光器５で単色化された光は、ホトマルチプライヤ７
で電気信号に変換され、プリアンプ１１で増幅後、前記
マルチプレクサ１２に入る。このマルチプレクサ１２に
よって高速度で切換えられた信号は、高速Ａ／Ｄコンバ
ータ１３に入りディジタル信号に変換され。
となっている。第１分光器４で単色化された光は、ホト
マルチプライヤ６で電気信号に変換され、プリアンプ１
０で増幅した後、マルチプレクサ１２に入る。同様に第
２分光器５で単色化された光は、ホトマルチプライヤ７
で電気信号に変換され、プリアンプ１１で増幅後、前記
マルチプレクサ１２に入る。このマルチプレクサ１２に
よって高速度で切換えられた信号は、高速Ａ／Ｄコンバ
ータ１３に入りディジタル信号に変換され。
ＣＰＵバス１５を通り、初期データ処理を受持つＣＰ０
１６に入る。一方、両方の分光器４と５は。
１６に入る。一方、両方の分光器４と５は。
パルスモータ駆動回路１４とパルスモータ８と９により
波長駆動される。Ｃ：ＰＵｌＧはＧＰＩＢ１７を通して
、データステーション１８、グラフィックプリンタ１９
およびｘＹプロッタ２０と接続されている。データステ
ーション１８には、ＣＲＴ、キーボードおよび大容量メ
モリとしてプロッピディスクが装備されている。信号処
理法および分光器の波長駆動は、データステーション１
８からの指示で決定されるようになっている。
波長駆動される。Ｃ：ＰＵｌＧはＧＰＩＢ１７を通して
、データステーション１８、グラフィックプリンタ１９
およびｘＹプロッタ２０と接続されている。データステ
ーション１８には、ＣＲＴ、キーボードおよび大容量メ
モリとしてプロッピディスクが装備されている。信号処
理法および分光器の波長駆動は、データステーション１
８からの指示で決定されるようになっている。
次に、このように構成した波長スキャン式発光分光分析
装置において、２台の分光器４と５のスキャン方法を示
す、第２分光器５の波長駆動シーケンスを第３図（ｄ）
に示す、内標準元素の波長λ■の前後１８〜１番を低速
スキャンしており、時刻ｔ１にてλδに達し、ｔｚにて
λＩを捕らえ。
装置において、２台の分光器４と５のスキャン方法を示
す、第２分光器５の波長駆動シーケンスを第３図（ｄ）
に示す、内標準元素の波長λ■の前後１８〜１番を低速
スキャンしており、時刻ｔ１にてλδに達し、ｔｚにて
λＩを捕らえ。
ｔａにてλ番に到っている。ｔ１以前はλδを目ざして
高速スキャンして来ており、これにより分析時間の短縮
を計っている。この際のスキャンにて、ｔａからλ夏ま
での駆動に必要なパルスモータ９のステップ数を覚えて
おく、１δからむ４の間に、λ番からλ８に波長を戻し
ておき、ｔａから再び低速スキャンを開始し、ｔ６にて
、ｔｌからｔｚの間で送ってステップだけ駆動後、波長
をλＩに固定する０以上の波長駆動に伴ない、発光強度
は第３図（Ｑ）に示すように変化する。すなわち、ｔｚ
にて最大になった発光強度は、再びｔ５以降は同じ発光
強度に戻っている。一方、第１分光器４は分析元素の波
長λ＾を捕らえるべく、第３図（ｂ）に示すように、λ
＾の前後λｌ〜λ２を低速スキャンする。ｔ６〜ｔ８間
がこの低速スキャンに相当し、ｔｌにてλ＾の波長を捕
らえている。第３図（ａ）ｋニーてこの際の発光強度の
変化を示す。
高速スキャンして来ており、これにより分析時間の短縮
を計っている。この際のスキャンにて、ｔａからλ夏ま
での駆動に必要なパルスモータ９のステップ数を覚えて
おく、１δからむ４の間に、λ番からλ８に波長を戻し
ておき、ｔａから再び低速スキャンを開始し、ｔ６にて
、ｔｌからｔｚの間で送ってステップだけ駆動後、波長
をλＩに固定する０以上の波長駆動に伴ない、発光強度
は第３図（Ｑ）に示すように変化する。すなわち、ｔｚ
にて最大になった発光強度は、再びｔ５以降は同じ発光
強度に戻っている。一方、第１分光器４は分析元素の波
長λ＾を捕らえるべく、第３図（ｂ）に示すように、λ
＾の前後λｌ〜λ２を低速スキャンする。ｔ６〜ｔ８間
がこの低速スキャンに相当し、ｔｌにてλ＾の波長を捕
らえている。第３図（ａ）ｋニーてこの際の発光強度の
変化を示す。
以上のシーケンスにおいて、時刻ｔ７にて、第１分光器
４はλ＾を、第２分光器５はλＩを捕らえていることに
なり、両者の発光強度の比を得ることにより、理想的な
内標準補正が可能となる。
４はλ＾を、第２分光器５はλＩを捕らえていることに
なり、両者の発光強度の比を得ることにより、理想的な
内標準補正が可能となる。
第３図に示した実施例においては、λ＾とλｒの前後を
低速スキャンしているため、λ＾における原子線又はイ
オン線の発生強度工＾は、バックグラウンドの発光強度
ＩＡＢを補正することができる。同様に、バックグラウ
ンドＩＩＢを補正した工！を求めることが可能である。
低速スキャンしているため、λ＾における原子線又はイ
オン線の発生強度工＾は、バックグラウンドの発光強度
ＩＡＢを補正することができる。同様に、バックグラウ
ンドＩＩＢを補正した工！を求めることが可能である。
従って本実施例では、分析元素の波長および内標準元素
の波長の両方において、バックグラウンド補正した発光
強度を用いて、完全に同時間に内標準補正が実行できる
ことになる。
の波長の両方において、バックグラウンド補正した発光
強度を用いて、完全に同時間に内標準補正が実行できる
ことになる。
なお第３図においては、第２分光器５が先にλ■を捕ら
え、第１分光器４がλ＾を捕らえるのを待っていたが、
逆の場合であってもよいことは当然である。この場合は
、第１分光器４がλ１に達するのがｔｏ （ｔｏ Ｓ
ｔｔ ）であり、第１分光器の低速スキャンは、第２分
光器の波長がλｒに固定されるｔａまで待つことになる
。したがってこの場合にあっても、第３図の場合と同じ
内標準補正効果が得られる。
え、第１分光器４がλ＾を捕らえるのを待っていたが、
逆の場合であってもよいことは当然である。この場合は
、第１分光器４がλ１に達するのがｔｏ （ｔｏ Ｓ
ｔｔ ）であり、第１分光器の低速スキャンは、第２分
光器の波長がλｒに固定されるｔａまで待つことになる
。したがってこの場合にあっても、第３図の場合と同じ
内標準補正効果が得られる。
さらに第３図において、ｔ６以後、内標準元素の波長λ
Ｉを別の元素の波長に変更する場合は。
Ｉを別の元素の波長に変更する場合は。
再びｔ１〜ｔ８を繰り返すことになる１次の分析元素の
波長λ＾′ においても、再びλ■にて内標準補正する
場合には、λ＾′ の前後λ１′〜λ２′を低速スキャ
ンする前に、第３図（ｃ）に示したｔｚ”ｔａのスキャ
ンを繰り返すことにより、正確なｘｒ とＩＩｓの値を
求めることができる。
波長λ＾′ においても、再びλ■にて内標準補正する
場合には、λ＾′ の前後λ１′〜λ２′を低速スキャ
ンする前に、第３図（ｃ）に示したｔｚ”ｔａのスキャ
ンを繰り返すことにより、正確なｘｒ とＩＩｓの値を
求めることができる。
第４図に、本発明の一実施例のフローチャートを示す、
測定波長、内標準波長等の条件は次のとおりである。
測定波長、内標準波長等の条件は次のとおりである。
番号 測定波長 スロースキャン域 内標準波長１
λ１，１ λ１！五″λ五、ビ
λｚｓｉ２ λｘ、ｚ λ１９！’ 〜λ１．
！’ λｔ、ｚｎ λ１．ｆｉ λ１．ｎ’
〜λ１．ｎ′ λｚ、ｎＮ λ１ｔＮ λ１
＃Ｎ’ ”’λ１．Ｎ’ λＺ、Ｎ第４図のフロー
チャートでは、第３図のスキャンシーケンスをより一般
化したものであり、各々の測定波長毎に内標準波長が独
立に選択できるようにしている。なお、Ｍｌ、Ｍ２は、
第１および第２分光器の波長の状態を示す、±Ｖ ｘｇ
ｍ龜ｘと±Ｖｓｇｍｈｘは最高速度、Ｖ １ ？ ｘは
あらかじめ入力しておいたスロースキャン速度を示す。
λ１，１ λ１！五″λ五、ビ
λｚｓｉ２ λｘ、ｚ λ１９！’ 〜λ１．
！’ λｔ、ｚｎ λ１．ｆｉ λ１．ｎ’
〜λ１．ｎ′ λｚ、ｎＮ λ１ｔＮ λ１
＃Ｎ’ ”’λ１．Ｎ’ λＺ、Ｎ第４図のフロー
チャートでは、第３図のスキャンシーケンスをより一般
化したものであり、各々の測定波長毎に内標準波長が独
立に選択できるようにしている。なお、Ｍｌ、Ｍ２は、
第１および第２分光器の波長の状態を示す、±Ｖ ｘｇ
ｍ龜ｘと±Ｖｓｇｍｈｘは最高速度、Ｖ １ ？ ｘは
あらかじめ入力しておいたスロースキャン速度を示す。
第５図に、第３図に示した方法で波長スキャンした時の
内標準補正の効果を示す。第５図（ａ）は、工＾と工！
の比の変動Δ（工＾／Ｉりを示す、Δ（Ｉ＾／Ｉ＊）＝
Ｏは、工＾／ Ｉ ！の平均値を示す、測定は１ｏ回繰
返して行っており、Ｃｖ値を求めである。第５図（ｂ）
は工＾の変動ΔＩ＾、第５図（Ｑ）はＩＩの変動ΔＩ！
を示す。
内標準補正の効果を示す。第５図（ａ）は、工＾と工！
の比の変動Δ（工＾／Ｉりを示す、Δ（Ｉ＾／Ｉ＊）＝
Ｏは、工＾／ Ｉ ！の平均値を示す、測定は１ｏ回繰
返して行っており、Ｃｖ値を求めである。第５図（ｂ）
は工＾の変動ΔＩ＾、第５図（Ｑ）はＩＩの変動ΔＩ！
を示す。
なお、分析元素とその波長として、Ｃａ Ｉ［３９３，
３６６ｎｍ、内標準元素とその波長として、５ｅ１１３
６１．３８４ ｎ ｍ を選んでいる。
３６６ｎｍ、内標準元素とその波長として、５ｅ１１３
６１．３８４ ｎ ｍ を選んでいる。
以上、説明したことから明らかなように、波長スキャン
式発光分光分析装置によれば、分析元素の波長の発光強
度と内標準元素の波長の発光強度との取り込み比をとる
のに完全に同時刻とすることができるようになる。この
ことからプラズマの速いノイズによる発光強度のふらつ
きも補正することができる。
式発光分光分析装置によれば、分析元素の波長の発光強
度と内標準元素の波長の発光強度との取り込み比をとる
のに完全に同時刻とすることができるようになる。この
ことからプラズマの速いノイズによる発光強度のふらつ
きも補正することができる。
第１図は１本発明による波長スキャン式発光分光分析装
置の一実施例を示すブロック図、第２図（ａ）ないしく
ｄ）は従来の波長スキャン式発光分光分析装置の各分光
器の波長駆動と発光強度を示すグラフ、第３図（ａ）な
いしくｄ）は本発明による波長スキャン式発光分光分析
装置における各分光器の波長駆動と発光強度を示すグラ
フ、第４図はフローチャート、第５図（ａ）ないしくｃ
）は本発明による波長スキャン式発光分光分析装置の波
動駆動により得られる内標準補正効果を示すグラフであ
る。 １・・・ＩＣＰプラズマ、２，３・・・ミラー、４・・
・第１分光器、５・・・第２分光器、６，７・・・ホト
マルチプラリア、８，９・・・パルスモータ、１０．０
・・・プリアンプ、１２・・・マルチプレクサ、１３・
・・Ａ／Ｄコンバータ、１６・・・ＣＰＵ。
置の一実施例を示すブロック図、第２図（ａ）ないしく
ｄ）は従来の波長スキャン式発光分光分析装置の各分光
器の波長駆動と発光強度を示すグラフ、第３図（ａ）な
いしくｄ）は本発明による波長スキャン式発光分光分析
装置における各分光器の波長駆動と発光強度を示すグラ
フ、第４図はフローチャート、第５図（ａ）ないしくｃ
）は本発明による波長スキャン式発光分光分析装置の波
動駆動により得られる内標準補正効果を示すグラフであ
る。 １・・・ＩＣＰプラズマ、２，３・・・ミラー、４・・
・第１分光器、５・・・第２分光器、６，７・・・ホト
マルチプラリア、８，９・・・パルスモータ、１０．０
・・・プリアンプ、１２・・・マルチプレクサ、１３・
・・Ａ／Ｄコンバータ、１６・・・ＣＰＵ。
Claims (1)
- １、波長スキャン可能な分光器を少なくとも２つ備え、
一方の分光器を内標準元素の波長における発光強度の測
定に用い、他方の分光器を測定元素の波長における発光
強度の測定に用いる波長スキャン式発光分光分析装置に
おいて、前記他方の分光器が測定元素の波長をスキャン
によりとらえる前に、前記一方の分光器が内標準元素の
波長をスキャンによりとらえ、その波長に固定する手段
を具備させてなることを特徴とする波長スキャン式発光
分光分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24535385A JPS62105036A (ja) | 1985-11-01 | 1985-11-01 | 波長スキヤン式発光分光分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24535385A JPS62105036A (ja) | 1985-11-01 | 1985-11-01 | 波長スキヤン式発光分光分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62105036A true JPS62105036A (ja) | 1987-05-15 |
Family
ID=17132411
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24535385A Pending JPS62105036A (ja) | 1985-11-01 | 1985-11-01 | 波長スキヤン式発光分光分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62105036A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01165937A (ja) * | 1987-12-23 | 1989-06-29 | Hitachi Ltd | 蛍光分析方法 |
| JPH034148A (ja) * | 1989-05-31 | 1991-01-10 | Shimadzu Corp | 発光分光分析装置 |
| JPH0376154U (ja) * | 1989-11-27 | 1991-07-30 |
-
1985
- 1985-11-01 JP JP24535385A patent/JPS62105036A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01165937A (ja) * | 1987-12-23 | 1989-06-29 | Hitachi Ltd | 蛍光分析方法 |
| JPH034148A (ja) * | 1989-05-31 | 1991-01-10 | Shimadzu Corp | 発光分光分析装置 |
| JPH0376154U (ja) * | 1989-11-27 | 1991-07-30 |
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