JPH0626930A - 分光スペクトル測定器 - Google Patents
分光スペクトル測定器Info
- Publication number
- JPH0626930A JPH0626930A JP6557192A JP6557192A JPH0626930A JP H0626930 A JPH0626930 A JP H0626930A JP 6557192 A JP6557192 A JP 6557192A JP 6557192 A JP6557192 A JP 6557192A JP H0626930 A JPH0626930 A JP H0626930A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- image sensor
- measured
- spectral
- prism
- Prior art date
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- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】分光スペクトル測定器で、機械的角度変化機構
を持たない分光プリズムとＣＣＤラインイメージセンサ
を用いて分光スペクトル分布特性を測定する。 【構成】被測定光を光学レンズ系１にて平行光に変換
し、固定された定偏角の分光プリズム２に入射させる。
分光プリズム２に分光された被測定光ａはＣＣＤライン
イメージセンサ３にて全ての波長同時に電気信号に変換
され、補正回路４にて、ＣＣＤイメージセンサ３の波長
−感度特性を補正した後に出力として被測定光ａの分光
スペクトル分布特性を得る。
を持たない分光プリズムとＣＣＤラインイメージセンサ
を用いて分光スペクトル分布特性を測定する。 【構成】被測定光を光学レンズ系１にて平行光に変換
し、固定された定偏角の分光プリズム２に入射させる。
分光プリズム２に分光された被測定光ａはＣＣＤライン
イメージセンサ３にて全ての波長同時に電気信号に変換
され、補正回路４にて、ＣＣＤイメージセンサ３の波長
−感度特性を補正した後に出力として被測定光ａの分光
スペクトル分布特性を得る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は測定する光を分光プリズ
ムにより分光スペクトルの測定を行う分光スペクトル測
定器に関する。
ムにより分光スペクトルの測定を行う分光スペクトル測
定器に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の分光スペクトル測定器では、分光
プリズムまたは回折格子の角度を機械的に変えて一個の
センサにより入射する分光の波長を変化させて、測定す
る光の分光スペクトルを測定している。
プリズムまたは回折格子の角度を機械的に変えて一個の
センサにより入射する分光の波長を変化させて、測定す
る光の分光スペクトルを測定している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の分光ス
ペクトル測定器では、各分光をセンサに入射させる機械
的角度変化機構が存在するため、測定器の外形が大きく
なり、測定精度も機械的工作精度によって決定されてい
た。また、機械的に分光の波長を走査するため、全ての
波長を走査する時間が長時間必要となり、この間被測定
光を一定に保つ必要があった。
ペクトル測定器では、各分光をセンサに入射させる機械
的角度変化機構が存在するため、測定器の外形が大きく
なり、測定精度も機械的工作精度によって決定されてい
た。また、機械的に分光の波長を走査するため、全ての
波長を走査する時間が長時間必要となり、この間被測定
光を一定に保つ必要があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の分光スペクトル
測定器は、測定する光を平行な光にして出力する光学レ
ンズ系と、前記平行な光を分光して出力する定偏角の分
光プリズムと、前記分光された全波長を直線に配列され
た複数の受光素子で走査し電気信号として出力するイメ
ージセンサと、このイメージセンサの波長感度特性に応
じて前記電気信号を補正し出力する補正回路とを有す
る。
測定器は、測定する光を平行な光にして出力する光学レ
ンズ系と、前記平行な光を分光して出力する定偏角の分
光プリズムと、前記分光された全波長を直線に配列され
た複数の受光素子で走査し電気信号として出力するイメ
ージセンサと、このイメージセンサの波長感度特性に応
じて前記電気信号を補正し出力する補正回路とを有す
る。
【０００５】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。図１は本発明の一実施例のブロック図、図２は本実
施例を説明するための図である。
る。図１は本発明の一実施例のブロック図、図２は本実
施例を説明するための図である。
【０００６】本実施例は、測定する被測定光ａを平行な
光ｂにして出力する光学レンズ系１と、平行な光Ｂを分
光して出力する定偏角の分光プリズム２と、分光された
全波長を直線に配列された複数の受光素子で走査し電気
信号ｃとして出力するＣＣＤラインイメージセンサ３
と、このイメージセンサ３の波長感度特性に応じて電気
信号ｃを補正し出力する補正回路とを有して構成され
る。
光ｂにして出力する光学レンズ系１と、平行な光Ｂを分
光して出力する定偏角の分光プリズム２と、分光された
全波長を直線に配列された複数の受光素子で走査し電気
信号ｃとして出力するＣＣＤラインイメージセンサ３
と、このイメージセンサ３の波長感度特性に応じて電気
信号ｃを補正し出力する補正回路とを有して構成され
る。
【０００７】次に本実施例の動作について説明する。光
学レンズ系１に入射した被測定光ａは、光学レンズ系１
によって平行光ｂに変換され、定偏角分光プリズム２に
入射する。定偏角分光プリズム２により分光した被測定
光は、ＣＣＤラインイメージセンサ３により全ての波長
同時に波長ごとに光強度に比例した電気信号ｃに変換さ
れる。
学レンズ系１に入射した被測定光ａは、光学レンズ系１
によって平行光ｂに変換され、定偏角分光プリズム２に
入射する。定偏角分光プリズム２により分光した被測定
光は、ＣＣＤラインイメージセンサ３により全ての波長
同時に波長ごとに光強度に比例した電気信号ｃに変換さ
れる。
【０００８】ＣＣＤラインイメージセンサ３から出力さ
れた電気信号ｃは、補正回路４においてＣＣＤラインイ
メージセンサ３の波長−感度特性の補正を受け、被測定
光ａの分光スペクトル分布特性として図２に示すように
出力される。
れた電気信号ｃは、補正回路４においてＣＣＤラインイ
メージセンサ３の波長−感度特性の補正を受け、被測定
光ａの分光スペクトル分布特性として図２に示すように
出力される。
【０００９】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、測定する
光を平行な光にして出力する光学レンズ系と、平行な光
を分光して出力する定偏角の分光プリズムと、分光され
た全波長を直線に配列された複数の受光素子で走査し電
気信号として出力するイメージセンサと、このイメージ
センサの波長感度特性に応じて電気信号を補正し出力す
る補正回路とを有することにより、機械的な角度変化機
構により制限されていた測定器の外形の小型化が可能に
なり、測定精度が機械的工作精度に影響されない。ま
た、ＣＣＤイメージセンサにて同時に全ての波長を測定
するため短時間で測定が完了し、被測定光を長時間一定
に保つ必要がないので変化する被測定光も測定可能とな
る。
光を平行な光にして出力する光学レンズ系と、平行な光
を分光して出力する定偏角の分光プリズムと、分光され
た全波長を直線に配列された複数の受光素子で走査し電
気信号として出力するイメージセンサと、このイメージ
センサの波長感度特性に応じて電気信号を補正し出力す
る補正回路とを有することにより、機械的な角度変化機
構により制限されていた測定器の外形の小型化が可能に
なり、測定精度が機械的工作精度に影響されない。ま
た、ＣＣＤイメージセンサにて同時に全ての波長を測定
するため短時間で測定が完了し、被測定光を長時間一定
に保つ必要がないので変化する被測定光も測定可能とな
る。
【図１】本発明の一実施例を示すブロック図である。
【図２】本実施例の動作を説明するための図である。
１ 光学レンズ系 ２ 定偏角の分光プリズム ３ ＣＣＤラインイメージセンサ ４ 補正回路
Claims (1)
- 【請求項１】 測定する光を平行な光にして出力する光
学レンズ系と、前記平行な光を分光して出力する定偏角
の分光プリズムと、前記分光された全波長を直線に配列
された複数の受光素子で走査し電気信号として出力する
イメージセンサと、このイメージセンサの波長感度特性
に応じて前記電気信号を補正し出力する補正回路とを有
することを特徴とする分光スペクトル測定器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6557192A JPH0626930A (ja) | 1992-03-24 | 1992-03-24 | 分光スペクトル測定器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6557192A JPH0626930A (ja) | 1992-03-24 | 1992-03-24 | 分光スペクトル測定器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0626930A true JPH0626930A (ja) | 1994-02-04 |
Family
ID=13290833
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6557192A Withdrawn JPH0626930A (ja) | 1992-03-24 | 1992-03-24 | 分光スペクトル測定器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0626930A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0727610A (ja) * | 1993-07-13 | 1995-01-31 | Hioki Ee Corp | 分光光度計 |
| JP2005504313A (ja) * | 2001-10-01 | 2005-02-10 | ユーディー テクノロジー コーポレーション | 実時間ｉｒ分光法の装置および方法 |
| JP2005504980A (ja) * | 2001-10-01 | 2005-02-17 | ユーディー テクノロジー コーポレーション | 同時マルチビーム平面アレイｉｒ（ｐａｉｒ）分光法 |
| KR100814279B1 (ko) * | 2007-01-08 | 2008-03-18 | 한국과학기술원 | 렌즈 어셈블리의 정렬 측정 장치 |
| JP2009075073A (ja) * | 2007-08-31 | 2009-04-09 | Canon Inc | 電磁波の分析装置 |
| US7869036B2 (en) | 2007-08-31 | 2011-01-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Analysis apparatus for analyzing a specimen by obtaining electromagnetic spectrum information |
-
1992
- 1992-03-24 JP JP6557192A patent/JPH0626930A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0727610A (ja) * | 1993-07-13 | 1995-01-31 | Hioki Ee Corp | 分光光度計 |
| JP2005504313A (ja) * | 2001-10-01 | 2005-02-10 | ユーディー テクノロジー コーポレーション | 実時間ｉｒ分光法の装置および方法 |
| JP2005504980A (ja) * | 2001-10-01 | 2005-02-17 | ユーディー テクノロジー コーポレーション | 同時マルチビーム平面アレイｉｒ（ｐａｉｒ）分光法 |
| KR100814279B1 (ko) * | 2007-01-08 | 2008-03-18 | 한국과학기술원 | 렌즈 어셈블리의 정렬 측정 장치 |
| JP2009075073A (ja) * | 2007-08-31 | 2009-04-09 | Canon Inc | 電磁波の分析装置 |
| US7869036B2 (en) | 2007-08-31 | 2011-01-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Analysis apparatus for analyzing a specimen by obtaining electromagnetic spectrum information |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990608 |