JPS62103508A - 物体の外形検査方法及び装置 - Google Patents

物体の外形検査方法及び装置

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JPS62103508A
JPS62103508A JP60244583A JP24458385A JPS62103508A JP S62103508 A JPS62103508 A JP S62103508A JP 60244583 A JP60244583 A JP 60244583A JP 24458385 A JP24458385 A JP 24458385A JP S62103508 A JPS62103508 A JP S62103508A
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axis
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coordinate
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JP60244583A
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Hajime Yoshida
肇 吉田
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Hajime Industries Ltd
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/022Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by means of tv-camera scanning

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は物体の外形検査方法及び装置、特にビデオカメ
ラ等の光電変換センサ及び電子処理機等を使用した物体
の外形検査方法及び装置に関する。
〔従来の技術〕
物体の機能検査に加えて、その外観検査は、生産工程の
中で重要な位置を占める。物体の外観検査項目も多岐に
わたるが、その表面上の傷や色むらを調べる表向検査装
置や、外形の欠陥を検出する外形検査装置等各種の外観
検査装置が市販されている。
1iIl常、物体の外観検査装置とし°ζは、被検査物
体に照明光を投射し、その反射光をビデオカメラ専の光
電変換センサで捉えて、映像を電気信号に変換し、この
電気信号を特定のロジックを有する電子処理回路で処理
して、被検査物体の外観の良否を判別する方法がとられ
る。その方法に種々のものがあるが、その一つは、いわ
ゆる画像回折法を用いるもので、例えば円形の真円度を
測る場合は、円形の中心点を求め°ζ、円形の外周の各
部の中心点よりの距離、即ち半径を測って、真円性を確
かめるものや、他の形状の物体については、例えばその
重心点を求め°ζ、そこから外周の各部までの距離を測
って、それを基準値と比較するもの等がある。或いは、
いわゆるパターンマツチング手法により、被検査物体の
パターンとその基準パターン(標準パターン)とを比較
して、その差異から被検査物体の良否の判定をする方法
等もある。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上述した代表的な従来の外観検査の方法には、次の如き
問題点がある。即ら、まづ第1には、その汎用性或いは
自在性に問題があるということごある。即ち、被検査物
体の形状が変わった場合、或いは検査項目、即ち測定部
分を変更する等の場合は、上記第1の画像回折法につい
ては、CPUのソフトウェアプログラムの変更が必要と
なる。
或いは、又、変更があることを予期し”ζ、ラフ1−ウ
ェア上でそれをバンクアップし、キーボードから変更の
指示を与えるように出来たとしても、その変更にともな
う手間は複雑となり、操作上の特定な訓練が必要となる
。又、同様の変更の場合、第2のパターンマツチングの
方法にしても、基準パターン(標準パターン)を変更し
なければならない手間は、第1の場合と同様である。又
、処理時間の問題があげられる。通當、検査装置は生産
うイン上で用いられる要求が多いことから、1分間数百
個以上の速さでコンベア上を流れる被検査物体を検査し
なければならず、1 (IliIの被検査物体を検査す
るのにり、えられる処理時間には限度がある。
18“ζ、上記第1の問題を解決する為、即ち自在性を
増す為に、精緻なソフトウェアを作成すると、ゾr’J
グラムの長さが増大し、処理時間を増加させねばならな
い。これは、第2の問題の解決に逆行′4−る。
〔間:l!Ω点をIW決するための手段〕本発明は上述
の如き従来技術の問題点をIW決せんとするものご、そ
の一つの手段は、光電変換センサ(1)を用いて対称性
を有する被検査物体(2)を撮像し、これよりの画像信
号を電子処理機(4)により処理して上記被検査物体(
2)の外形の良否を検査する方法に於て、上記光電変換
センサの光電変換面を°XY座標で表し、上記被検査物
体(2)の対称軸(×)がXY座標の一方の軸(Y軸)
と平行となる如く上記被検査物体(2)を上記光電変換
センサ(11で撮像し、その画像信号より、上記被検査
物体(2)の外郭が上記対称軸(Xlと直角な複数(1
ム1の直線と交わる上記対称軸(X)に関し左右の点の
上記XY座標の他方の軸(X軸)に関する座標を求め、
該各ノ、−石の点の中心の上記他方の軸(X軸)に関す
る座標(xn )を求め、上記複数の左右の点の中心の
座標(Xn)のうち最大頻度の座標を求め°(ごれを標
準中心点座標(Xs )と定め、該標準中心点座標(x
s)と上記複数の左右の点の各中心座標(xn)とを比
較することを特徴とする物体の外形検査方法である。
本発明の上述従来技術の問題点を解決する他の手段ば、
光電変換センサ(11を用いご対称性を有する被検査物
体(2)を撮像し、これよりのlL!ll像信号を電子
処理機(4)により処理して上記被検査物体(2)の外
形の良否を検査する装置に於て、」二記光電変換センナ
(1)の光電変換面(5)をXy座標で表し、上記被検
査物体(2)の対称軸(×)がXY座標の一方の軸(Y
軸)と平行となる如く上記被検査物体(2)を上記光電
変換センサ(11で撮像し、その画像信号より、上記被
検査物体(2)の外郭が上記対称軸(X)と直角な環数
個の直線と交わる上記対イ(1、軸(×)に関し左右の
点の上記×Y座標の他方の軸(X軸)に関する座45 
(XLn、  )’n )、 (XRrl、yn)を求
める第1の手13(42)と、該各左右の点の中心の上
記他方の軸(X軸)に関する座標(xn )を求める第
2の手段(43)と、上記複数の左右の点の中心の座標
(xn )のうち最大頻度の座標を求めてこれを標?l
l’a中心点座標(XS )と定める第3の手段(44
) 。
(45)と、該標準中心点座標(Xs)と上記複数の左
右の点の各中心座標(Xn )とを比較する第4の手段
(46)とを有ずそことを特徴とする物体の外形検査装
置である。
〔作用〕
上述した本発明の手段によれば、対称性を有する被検査
物体(2)の対称軸(Xlに垂直な被数個の線と交わる
その外郭の交点のXY座標(xLn、  yn ) 。
(xRn、yn)間の中心点の一方の軸(X軸)に関す
る座標(Xnンを求め(n=1.2,3.  ・・・)
、nのイ]への全てについて、最も高い頻で現れる座標
の値を標準中心点座標(Xs)となし、この座標(Xs
 )と各nの値に就い゛この座標(xn )とを比較し
、被検査物体(2)の外形の良否を検査するものである
〔実施例〕
第1図は、本発明による物体の外形検査装置の一例を全
体としζ示すものである。同図において、(1)は光電
変換センサとしてのビデオカメラ、(2)は被検査物体
で、図示せずも光源よりの通切な照明を受け、その反射
光像をビデオカメラ(11が撮像する。(3)はビデオ
カメラ(1)により撮像された被検査物体(2)の映像
の状態、例えばそれが正しい位置にあるかを目で確認す
る為のビデオモニタである・又、ビデオカメラ(1)か
らの映像電気信号は、電子処理機(4)にも送られ、こ
\で、被検査物体(2)の良fIr力(川)川される。
厨て、本発明は、外形が成る線又は点に関して対称とな
る被検査物体の外形の検査に限定した検存方法及び装置
に係るものであるが、加工品、部品、製品等の11には
、外形が1ユ述の如き対称性を打するものも多いので、
実用価(i+’+ば充分あり、更に非対称のものでも、
その中の対称となるff15分に限定して検査し得るこ
とば勿論である。
次に、第2図を参照して本発明の検’jt方法の基本的
考えを説明しよう。同図に於”ζ、(5)はビデオモニ
タ(3)の画面であり、これはビデオカメラ(1)のI
!! +G内向、即ち光′市変喚面と一致する。この場
合、画面(5)には、被検査物体(2)の像(6)が同
図にボす如く映出されているものとする。即ち、被検査
物体(2)の対称軸(Xlが、画面(5)の縦方向に略
々一致する如く物体(2)を撮像する。この画面(5)
を、図の如く横及び縦軸、即ちXY軸座標を用いて表不
゛」゛るものとする。Y軸上で、上方より−1・方へ適
当な間隔の複数個、例えば6flldの点y1.y2.
  ・・・ygを夫々設定した時、これ等の点を通るX
軸と平行な6本の線と、被検査物体(2)の像(6)の
外郭(6a)とが対称軸(×)の左右で交わる点の夫々
の座標を(XLl、yi )、  (XR1,yt);
  (Xl2.  y2)。
(XR2,y2); ・・・ (XLG、yg)、  
(XR&。
yg)で表す。現実には、ビデオカメラ(1)の走査は
、水平走査線(X軸方向)の車面方向(Y軸方向)への
移動であるから、この水平走査線上で上記各点を捉える
さて、この様な対称線(Xlに関し対をなす点(XLl
yl)、  (XR1,yt)i ・・・ (Xl6.
Yb)。
(xFLs、yg)より% ’A (XLII  yt
 +XR11yl) 。
’A (Xl2.  !2+XR2,y2 )  1 
°′A(Xl6゜y6+XRG、  ys )を求めれ
ば、これ等は各対をなす点間の中心点の座標である。ご
れ等中心点の座標を夫々 (Xt、yよ)、  (X2
.y2)  ・・・ (x6.ys)とし、これ等各点
(xt、yl)・・・ (x6.yg)を結ぶ線は、こ
の(象(6)の中6分割線、即ち対称軸(Xlとなる。
こ\で、対称軸(X)に関して対称な像(6)は、厳密
に耳えば、僅かながらもゆがみがあると考え、上記中心
点のX座標(xl)・・・ (x6)について、第3図
の如きヒストグラムを作成する。このヒストグラムから
最も頻度の多いX座標の値を求めて、それを、X軸の座
標中心点座標(Xs )とし、この点(xs)を通るY
軸に平行な線を標準中心分割線とする。
こ\で、被検査物体(2)の対称軸(×)に関し、対を
なす上記左右の点の座標を、n(=1.2,3゜・・・
)を用いて夫々一般的に表せば となる。
従って、上記対をなす点間の中心点の座標(xn。
yn)は、次式(2)で表される。
’A (XLn、  yn +XRn+  yn ) 
= Xn 、  Vn・・・(2) 従って、上記中心点のX座標(Xn)は、次式%式% こ\で、像(6)が対称軸(Xlに関して対称な形状で
あれば、次式(4)が全てのnに対して成立する。
Xn ”XS                   
  ・ ・ ・ (4)一方、第4図に示す如く、像(
6)の例えば点(X R41y4)近傍に(但し第4図
の場合X R4> X R,l)、対称形の破綻を示す
部分があれば、 (xn ) = ’A (Xl4 + xThJ ≠X
S ・・・(5)となる。従って、この時は、被検査物
体(2)が良品でないことがわかる。
かくして、上記式(4)に於て、nを順次変えて、各n
の値に於て(4)式が成立するか否かを検査することに
より、像(6)、従って被検査物体(2)の対称性を、
その全体に亘って調べることができる。勿論r1を多く
して細かく調べて行けば、細かい変化まで検知できる。
この場合、点(Xs )を通る標4!中心分割線は、@
! ((ilの全体につい゛ζ上述の如き中心点(Xn
)の測定を行った後、ヒストグラムを作って設定される
ので、@! ((ilの全体が画面(5)の中にあり、
その対称軸(W)がY軸に平行でありさえずれば、像(
6)の位置は、画面(5)のどこの場所でも良く、又像
(6)の形状が変化しても、測定方法は同一で変更する
必要がない。又、点(Xs )の値に若干の許容誤差(
±)を与えれば、数多くの被検査像の形状のばらつきは
吸収される。
第5図は上記した検査を行う本発明の電子処理機(4)
の具体例のブロック図で、これを参照して検査装置を説
明する。ビデオカメラ(11からの被検査物体(2)の
映像信号は、電子処理機(4)の入力端子(4I)を介
して、その増幅部(41)に加えられ、増幅される。場
合によっては、増幅部(41)において、映像信号より
不要な1ijtt 音成分を除去したり、画像(6)の
外形に対応する信号のみを通過させる軸郭抽出回路を、
増幅部(41)に内蔵させても良い。
増幅部(41)によって前処理された信号は、座標メモ
リ部(42)に入力される。この座標メモリ部(42)
は、第2図において、説明した同一のY軸−にの点を送
る画像(6)の外形点の座標(XLn、)’n)。
(xun、yn)のみを記憶する。次に、メモリ部(4
2)に記憶された点の座標(X Ln 、)’ n )
 +(xRn、yn)から、X軸中心座標作成部(43
)によって、画点(xLn、  yn ) 、  (X
un、  )’n )のX軸に関する中心座標(Xn 
)を(3)式に従っζ求める。これはIQ純に%(xR
n十XLn)の計算処理を、nを順次変えて行うことに
より求められる。
これらの中心座標(Xn)は、次のヒストクラム作成部
(44)に送られ、座標(Xn )を通Wのブロックに
分割してX軸に関する座標の第3図に示す如きヒストグ
ラムを作成する。次に、X軸棒/′!東座標設定部(4
5)において、作成部(44)よりのヒストグラムの中
から最大頻度のX軸座標を求め、それをX軸の標準中心
点座標(XS)とする。
次に、この座標(Xs )とX軸中心座標作成部(43
)よりの座標(xn )の各値とを、比較部(46)−
におい゛ζ比較する。面、X軸中心座標作成部(43)
には、中心座標(xn )を作成するのみならず、作成
した(Xn )が比較部(46)で比較されるまで、(
xn)を保存しておくメモリ機能も持たせておく。比較
部(46)による比較結果を不一致fit号発生部(4
7)に供給する。発生部(47)は、(Xn )と(X
s )とが不一致の場合、出力端子(40)を介して外
部に不一致信号を出力し、警報器や排除器等を動作させ
る。
以上の動作によっ°ζ、被検査物体(2)の画像(6)
の外形に、対称とならない異常があ−2た場合に、上記
不一致信号を発生し、検査の結果を表示するわけである
」二記各回路部は、通常のマイニIンを使用したCPU
において、簡単なソフトウェアの構成により)+J能で
あり、或いは又メモリ、クロ・ツク、カウンタ、コンパ
レータ等によりハートだけでも容易に構成しi厚ること
は、明白であろう。
尚、上述は(xn )と(Xs )とを比較する場合で
あるが、(Xs XLn)及び(xRn−xs)を求め
、即ち、被検査物体の点(XS )を通る標準の対称軸
から左右の外郭迄の距離を求め、1itl考を比較して
も、同様に被検査物体(2)の外形の検査ができる。
上述の場合を、第6図を参照して説明する。尚、第6図
に於て第5図と同一部分には同一符号を付し、そのi′
を細説明は省略する。
房で、この第6図の例では、X軸中心座標作成(43)
よりの中心座標(Xn )及びX !II+標準座標準
座標器(45)よりの手!メ4μ中心点座標(XS )
を、夫々第1及び第2の距glf作成部(48) 、 
 (4り)に供給する。第1の距翔1作成部(48)は
(Xs  XLn)を計算し、第2の距離作成部(49
)は(xRn  xs)を計算する。これ等計算結果を
、第5図の例と同様に、比較部(46)で比較し、比較
結果を不一致信号発生部(47)に送り、処理する。か
くし°C1第6図1の例も、第5図の例と同様に被検査
物体の外形の検査を行いfJる。
〔発明の効果〕
本発明は対称形状を有する被検査物体の外形の検査に限
定されるが、装置はhめ゛ζ簡単にして操作方法も簡易
なように作成し得るので、一般丁場におけるライン1−
で容易に実施し得る特撓を自−する。
又、被検査物体が、対称である限り、たとえ形状が変わ
ってもソフトを変更するとか、設定をしIllずという
必要がなく、又被検査物体の像が両面の中にあり、その
対称軸が画面の縦軸に略々平行ご1+〕れば、その位置
の限定はないので、実ラインご使用する1−において使
い易い利点がある。
【図面の簡単な説明】
101図は本発明による物体の外形検査装!!’t’の
ブ1」ツク図、第2し1及び第4図1は夫々本発明の方
法のハ;1理の説明に供する路線図、第3図はヒストダ
ラム、第5図及び第6図は夫々第1図にボす本発明の電
子処理機の一例のブロック図である。 図に於て、(1)は光電変換センサ、(2)は被検査物
体、(3)はビデオモニタ、(4)は電子処理機、(4
2)は座標メピリ部、(43)はX軸中心座標作成部、
(44)はヒス)・ダラム作成部、(45)はX軸標準
座標設定部、(46)は比較部、(47)は不一致11
1号発生部、(48)及び(49)は人々距に11作成
部である。 本発明の一クリの10ツク図 第1図 ZJ              Zn第3図 細   ヒ゛デオモニクの画面の僧の例第4図 電3処理機の70ツク図 第5図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、光電変換センサを用いて対称性を有する被検査物体
    を撮像し、これよりの画像信号を電子処理機により処理
    して上記被検査物体の外形の良否を検査する方法に於て
    、上記光電変換センサの光電変換面をXY座標で表し、
    上記被検査物体の対称軸がXY座標の一方の軸と平行と
    なる如く上記被検査物体を上記光電変換センサで撮像し
    、その画像信号より、上記被検査物体の外郭が上記対称
    軸と直角な複数個の直線と交わる上記対称軸に関し左右
    の点の上記XY座標の他方の軸に関する座標を求め、該
    各左右の点の中心の上記他方の軸に関する座標を求め、
    上記複数の左右の点の中心の座標のうち最大頻度の座標
    を求めてこれを標準中心点座標と定め、該標準中心点座
    標と上記複数の左右の点の各中心座標とを比較すること
    を特徴とする物体の外形検査方法。 2、光電変換センサを用いて対称性を有する被検査物体
    を撮像し、これよりの画像信号を電子処理機により処理
    して上記被検査物体の外形の良否を検査する装置に於て
    、上記光電変換センサの光電変換面をXY座標で表し、
    上記被検査物体の対称軸がXY座標の一方の軸と平行と
    なる如く上記被検査物体を上記光電変換センサで撮像し
    、その画像信号より、上記被検査物体の外郭が上記対称
    軸と直角な複数個の直線と交わる上記対称軸に関し左右
    の点の上記XY座標の他方の軸に関する座標を求める第
    1の手段と、該各左右の点の中心の上記他方の軸に関す
    る座標を求める第2の手段と、上記複数の左右の点の中
    心の座標のうち最大頻度の座標を求めてこれを標準中心
    点座標と定める第3の手段と、該標準中心点座標と上記
    複数の左右の点の各中心座標とを比較する第4の手段と
    を有することを特徴とする物体の外形検査装置。
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