JPS6193618A - 半導体集積回路装置 - Google Patents
半導体集積回路装置Info
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- JPS6193618A JPS6193618A JP21561184A JP21561184A JPS6193618A JP S6193618 A JPS6193618 A JP S6193618A JP 21561184 A JP21561184 A JP 21561184A JP 21561184 A JP21561184 A JP 21561184A JP S6193618 A JPS6193618 A JP S6193618A
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- Japan
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- silicon film
- film
- amorphous silicon
- hole
- silicon substrate
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02367—Substrates
- H01L21/0237—Materials
- H01L21/02373—Group 14 semiconducting materials
- H01L21/02381—Silicon, silicon germanium, germanium
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- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/02104—Forming layers
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明は、半導体集積回路装置に係り、特に選択的エピ
タキシャル成長層を有する、半導体集積回路装置に関す
るものである。
タキシャル成長層を有する、半導体集積回路装置に関す
るものである。
（従来技術）
エピタキシャル成長層を使用したトランジスタを高密度
に集積する為には、絶縁分離領域を狭くする必要がある
。またトランジスタの性能向上にはエピタキシャル成長
層を薄くするとともに、埋込層のせり上リヲ出来る限り
少なくする必要がある。前者に対しては、アイソプレー
ナー技術が現在、主に用いられているが、今後、トレン
チアイソレーション技術が主流になろうとしている。し
かし、絶縁分離技術だけを改善しても、エピタキシャル
成長層の形成に伴う１０５０℃以上の高温熱処理による
％埋込み層からの不純物のせり上りを少なくする事はで
きない。埋込み層のせり上１−小さくシ、絶縁分離領域
をできるだけ小さくするには、１０００℃以下の低温に
よる１選択的エピタキシャル成長が有効である。しかし
、選択的エピタキシャル成長において、単結晶シリコン
上では単結晶シリコン膜が成長するが、絶縁膜に接する
部分では多結晶シリコ／膜が成長する。この為。
に集積する為には、絶縁分離領域を狭くする必要がある
。またトランジスタの性能向上にはエピタキシャル成長
層を薄くするとともに、埋込層のせり上リヲ出来る限り
少なくする必要がある。前者に対しては、アイソプレー
ナー技術が現在、主に用いられているが、今後、トレン
チアイソレーション技術が主流になろうとしている。し
かし、絶縁分離技術だけを改善しても、エピタキシャル
成長層の形成に伴う１０５０℃以上の高温熱処理による
％埋込み層からの不純物のせり上りを少なくする事はで
きない。埋込み層のせり上１−小さくシ、絶縁分離領域
をできるだけ小さくするには、１０００℃以下の低温に
よる１選択的エピタキシャル成長が有効である。しかし
、選択的エピタキシャル成長において、単結晶シリコン
上では単結晶シリコン膜が成長するが、絶縁膜に接する
部分では多結晶シリコ／膜が成長する。この為。
絶縁膜で分離された、エピタキシャル成長層の領域は、
周辺が多結晶シリコン膜となり、この多結晶シリコ／膜
の膜厚は、通常、エピタキシャル成長層と同程度から約
１／２の厚ζになってしまう。
周辺が多結晶シリコン膜となり、この多結晶シリコ／膜
の膜厚は、通常、エピタキシャル成長層と同程度から約
１／２の厚ζになってしまう。
この多結晶シリコン膜の領域はトランジスタの活性領域
としては使用できず、実質的に微細なトランジスタの形
成の障害となってしまう。
としては使用できず、実質的に微細なトランジスタの形
成の障害となってしまう。
（発明の概要）
本発明は、上述の選択的エビタキンヤル成長での問題点
である絶縁膜に接する所の多結晶シリコ／膜の形成に対
する解決策として、選択的エピタキシャル成長前に、こ
の部分に非晶質シリコン膜を友とえば、スパッタ被着法
や蒸着被着法で形成し、この非晶質シリコン膜の表面と
７リコ７基板に接する箇所をレーザーアニール、または
う／プアニール処理により単結晶シリコン膜とし、選択
的エピタキシャル成長で、多結晶シリコン膜が成長しな
い様にする事を目的としている。
である絶縁膜に接する所の多結晶シリコ／膜の形成に対
する解決策として、選択的エピタキシャル成長前に、こ
の部分に非晶質シリコン膜を友とえば、スパッタ被着法
や蒸着被着法で形成し、この非晶質シリコン膜の表面と
７リコ７基板に接する箇所をレーザーアニール、または
う／プアニール処理により単結晶シリコン膜とし、選択
的エピタキシャル成長で、多結晶シリコン膜が成長しな
い様にする事を目的としている。
すなわち、本発明の構成を得るには、たとえば第一導電
型シリコン基板上に、絶縁膜を形成し、該絶縁膜を選択
的に開孔する工程を有し、前記開孔部に５ｏｏｏÅ以下
の膜厚の非晶質シリコン膜を化学的気相成長法を使用し
形成し、該非晶質シリコン膜を異方性エツチング法によ
り、前記開孔部の側壁に声は残る様に形成する工程を有
し、レーザーアニール法またはランプアニール法を使用
し、前記開孔部の側壁の非晶質シリコン膜を単結晶シリ
コン膜にする工程を有し、その後、選択的エピタキシャ
ル成長法により、前記開孔部を埋没せしめる様に、単結
晶シリコン膜を形成する工程を有することができる。又
、上記、第一導電型シリコン基板が、第二導電型の不純
物を選択的に拡散した、第一導電型シリコノ基板である
ことができる。
型シリコン基板上に、絶縁膜を形成し、該絶縁膜を選択
的に開孔する工程を有し、前記開孔部に５ｏｏｏÅ以下
の膜厚の非晶質シリコン膜を化学的気相成長法を使用し
形成し、該非晶質シリコン膜を異方性エツチング法によ
り、前記開孔部の側壁に声は残る様に形成する工程を有
し、レーザーアニール法またはランプアニール法を使用
し、前記開孔部の側壁の非晶質シリコン膜を単結晶シリ
コン膜にする工程を有し、その後、選択的エピタキシャ
ル成長法により、前記開孔部を埋没せしめる様に、単結
晶シリコン膜を形成する工程を有することができる。又
、上記、第一導電型シリコン基板が、第二導電型の不純
物を選択的に拡散した、第一導電型シリコノ基板である
ことができる。
ここで非晶質シリコン膜の形成はスパッタ被着法や蒸着
被着法であることが好ましい、 （発明の効果） 本発明を使用すれば、選択的エピタキシャル成長での前
述の多結晶シリコン膜の領域を極めて小さくでき、トラ
ンジスタの微細化をより容易にする事ができる。
被着法であることが好ましい、 （発明の効果） 本発明を使用すれば、選択的エピタキシャル成長での前
述の多結晶シリコン膜の領域を極めて小さくでき、トラ
ンジスタの微細化をより容易にする事ができる。
（実施例）
本発明をより良く理解する為に、実施例をもって説明す
る。
る。
第１図乃至第３図は本発明を実施した時の主な工程の断
面図である。まず第１図において、Ｐ型シリコン基板ｌ
上に、Ｎ型の埋込層２を形成し、その上に１，０μｍの
膜厚の酸化膜３を気相成長嘔せ、選択的に開孔し、開孔
部に膜厚が３０００人の非晶質シリコン膜４を化学的気
相成長する。伏いて、第２図において示す様に、異方性
エツチングにより、非晶質シリコン膜４を開孔部の側壁
にだけ残し、Ｎｄ：ＹＡＧＬ／−ジーを使用し、１００
ｎｓのパルス幅で、約Ｉ Ｊ ／ｃｔＡのエネルギー
のレーザー元を照射し、非晶質シリコン膜４０表面、並
びにシリコン基板１に接した部分を単結晶シリコン膜５
にする。嘔らに、第３図に示す様に、前述の開孔部を埋
没せしめる様に、選択的に９５０°Ｃでエピタキシャル
成長層６を形成する。ここでは非晶質シリコン膜を化学
的気相成長で形成したが、スパッタ被着、蒸着により行
なっても同様の効果が得られる。またシリコン基板に対
して埋込層のない場合も同様の効果が得られる。
面図である。まず第１図において、Ｐ型シリコン基板ｌ
上に、Ｎ型の埋込層２を形成し、その上に１，０μｍの
膜厚の酸化膜３を気相成長嘔せ、選択的に開孔し、開孔
部に膜厚が３０００人の非晶質シリコン膜４を化学的気
相成長する。伏いて、第２図において示す様に、異方性
エツチングにより、非晶質シリコン膜４を開孔部の側壁
にだけ残し、Ｎｄ：ＹＡＧＬ／−ジーを使用し、１００
ｎｓのパルス幅で、約Ｉ Ｊ ／ｃｔＡのエネルギー
のレーザー元を照射し、非晶質シリコン膜４０表面、並
びにシリコン基板１に接した部分を単結晶シリコン膜５
にする。嘔らに、第３図に示す様に、前述の開孔部を埋
没せしめる様に、選択的に９５０°Ｃでエピタキシャル
成長層６を形成する。ここでは非晶質シリコン膜を化学
的気相成長で形成したが、スパッタ被着、蒸着により行
なっても同様の効果が得られる。またシリコン基板に対
して埋込層のない場合も同様の効果が得られる。
第１図乃至第３図は本発明の実施例の主工程の断面図で
ある。 １・・・・・・シリコン基板、２・旧・・埋込み層、３
・・・・・・酸化膜、４・・・・・・非晶質シリコン膜
、５・・・・・・単結晶シリコン膜、６・・・・・・エ
ピタキシャル成長層。 ；−ミ、−２、
ある。 １・・・・・・シリコン基板、２・旧・・埋込み層、３
・・・・・・酸化膜、４・・・・・・非晶質シリコン膜
、５・・・・・・単結晶シリコン膜、６・・・・・・エ
ピタキシャル成長層。 ；−ミ、−２、
Claims (1)
- シリコン基板上に設けられた絶縁膜に開孔部を有し、
該開孔部の内側面上には非晶質シリコン膜から変換され
た単結晶シリコン膜を有し、該開孔部は選択的エピタキ
シャル成長法により得られた単結晶シリコン膜が充填さ
れていることを特徴とする半導体集積回路装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21561184A JPS6193618A (ja) | 1984-10-15 | 1984-10-15 | 半導体集積回路装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21561184A JPS6193618A (ja) | 1984-10-15 | 1984-10-15 | 半導体集積回路装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6193618A true JPS6193618A (ja) | 1986-05-12 |
Family
ID=16675284
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21561184A Pending JPS6193618A (ja) | 1984-10-15 | 1984-10-15 | 半導体集積回路装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6193618A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6060388A (en) * | 1997-10-29 | 2000-05-09 | International Business Machines Corporation | Conductors for microelectronic circuits and method of manufacture |
| KR100278276B1 (ko) * | 1998-06-29 | 2001-02-01 | 김영환 | 선택성장법을이용한콘택플러그형성방법 |
-
1984
- 1984-10-15 JP JP21561184A patent/JPS6193618A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6060388A (en) * | 1997-10-29 | 2000-05-09 | International Business Machines Corporation | Conductors for microelectronic circuits and method of manufacture |
| KR100278276B1 (ko) * | 1998-06-29 | 2001-02-01 | 김영환 | 선택성장법을이용한콘택플러그형성방법 |
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