JPS6193073A - 薄板片収納用ケ−ス - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の利用分野］ 本発明は薄板片収納用ケースに関し、特にごみや手指に
よる汚れの付着を嫌う薄板片、例えば半導体装″”１２
　！ｊｊＪ　過用のフォトマスクやレチクル、さらには
半導体ウェハなどを一枚ずつ収納するための専用ケース
に関する。

［従来の技術］ ＬＳＩなどの半導体装置の製造において、半導体ウェハ
やその上に回路パターンの焼付をするためのフォトマス
ク或いはレチクル等は、ゴミや汚れの付着を避けるため
専用のケース内に１枚ずつ収納されて取扱われる。この
目的に使用されているケースは、例えばマスク用のもの
を例にとると、マスクを載置した受皿状の本体に着；悦
自在な土着をかぶせてなるものが一般的であり、上蓋を
外し°【内部のマスクの取り出し又は収納を行なうよう
になっている。このような構造はレチクル或いはウェハ
用のケースでも同様であり、上蓋を外してからの内部の
マスク等の取扱いは、その外周部を半径方向両側から手
指或いは治具で挾むか空気吸引により吸着するかなどで
行なっている。

ところで近年では半導体ウェハの直径が所謂４インチや
５インチのものから８インｆ・さらには１０インチもの
へと大径化する傾向にあり、マスクやレチクルの外形寸
法もこれに応じで大きくなリ、片丁の手指↓こよるこれ
ら・の取扱いが困ガな状況になりつつある。

また従来はケースの上着を外した後の取扱い中にマスク
等が露出状態になることと直接手指で触れることからそ
の汚染が問題となっていた。

［発明の目的と概要ｊ 本発明は前述のような従来技術の諸問題点を解決づべく
なされたもので、薄板片収納用ケース、特にマスク、レ
チクル或いはウェハの如き汚れを嫌う薄板片の収納用ケ
ースにおいて、ケースから薄板片を取り出し或いは逆に
ケース内へ戻す際に、薄板片に手指を直接触れることな
く、またゴミ等の付着の恐れも極力少なくなるように、
薄板片を上着内に保持させたまま上蓋ごと移動でき、し
かも薄板片の外形寸法にかかわらずにこれらの操作を片
手で行なえるようにしたケースを提供するものである。

すなわら本発明のケースにおいては、着脱自在な上蓋側
に、外部操作によって内部の薄板片を保持する保持手段
を設↓ｆＣありヤこれにより外形の大きい薄板片でも片
手で取扱うことを可能にづると共にゴミや汚れの付着も
防止できるようにし、さらには自動搬送装置によるハン
ドリングにも容易に整合できるようにしたものである。

本発明において前記保持手段は例えば薄板片の外周部を
掴むレバー機構を備えたもの、或いは薄板片を吸着する
吸着手段を備えたものなどで構成でき、その操作部はケ
ース外部においてケース上或いはケースから離れたとこ
ろに配置され、上着の外部で薄板片の保持とその解除が
操作される。

本発明の構成と作用の一層明確な理解のために実施例を
示せば以下の通りである。

［発明の実施例］゛ 第１図は本発明をマスク収納用ケースに適用した場合の
実施例を一部切欠いて示す平面図、第２図は第１図ｌｌ
−ｆｆ線矢視断面図で、ケース１は、受皿状本体２と、
この本体２の上にかぶさる上蓋３とからなり、上Ｍ３を
かぶせた゛状態においては、本体２の台座４上に載置さ
れたフォトマスク５がケース外から遮蔽されるようにな
されている。

上Ｍ３にはそのほぼ中央ル二四角の窓６が設けうれ、窓
６の一方の対向辺に垂直壁面７．ａ、７ｂを形成すると
共に他方の対向辺にスリット筒口８ａ。

８ｂを形成するように、この窓６の表面において上Ｎ３
にスライドガイド９が一体成形等により設けられている
。スライドガイド９は樋状のものであって、スリット筒
口９ａ、８ｂからケース両側面へ向う適当な長さのガイ
ド孔１０ａ、１０ｂを上Ｍ裏面の窓６の両脇に形成して
おり、これらのｎイド孔１０ａ、１０ｂによって支持案
内されているのがマスク保持レバー１１ａ、１１ｂであ
る。

このレバー１１ａ、１１ｂは、窓６から上Ｍ３上に突出
した操作把手部１２ａ、１２ｂと、上着内部で下方へ折
り曲げられた爪部１３ａ、１３ｂとをそれぞれ有してお
り、図示の例では各レバーは二叉状となっている。

各レバー１１ａ、１１ｂはスライドガイド９に沿ってス
ライド可能であり、本体２上に上Ｍ３をかぶせた状態に
おいて、内部の台座４Ｆに載置されたマスク５の対向側
縁を丁度挾むことができるような垂下長さに爪１３ａ、
１３ｂが折り曲げられている。

第２図を参照すると、マスク保持レバー１１８゜１１ｂ
は非保持装置、すなわち互いに離反した（Ｑ置にあり、
マスク５を載置した本体２に対してこの状態で上Ｍ３が
かぶせられる。

上蓋３を本体２上にかぶせたまま、両マスク保持レバー
１１８．１１ｂをその操作把手１２ａ。

１２ｂの手指又は機械手段による操作で互いに近づける
ようにスライドさせると、両レバーの冬瓜１３ａ、１３
ｂがマスク５の両側縁を挾みつけ、従って第３図に示す
ようにマスク５を上蓋３内に保持したまま上蓋ごとマス
クを移動することができるようになる。従ってこのよう
にしてマスクを別の場所へ搬送して先方で両レバーを互
いに離反するようにスライドさせればマスクはその場所
へ置かれることになり、また別の場所でレバー操作によ
り上蓋内に掴んだマスクを本体２の台座４上へ戻す際に
も同様にマスクを保持したままの上蓋を本体上にかぶせ
てから両レバーをスライドさせればよく、マスクの搬送
に際してマスクに直接触れることなく、しかもマスクを
上蓋で覆ったまま移動リ−ることか可能である。

ｌｌａ述の実施例では、保持手段としてのマスク保持レ
バーの操作部を把手１２ａ、１２ｂによって構成した例
を示したが、これは例えばレバーの開閉操作および上蓋
とマスクの移動を自動機械によって行なう場合にはその
操作マニュピレータに整合した種々の構造に変形可能で
あり、またレバー構造も図示のものに限らず、リンク機
構を応用したもの、或いは操作部を上蓋上面ではなく前
後左右の側端部などに位置させたもの、操作部の開口を
弾性材製の袋で覆ったものなど、種々の変形が可能であ
る。

第４図は、マスク５を載置した本体２に、マスクを空気
吸引によって吸着する吸５１１？１４を有する上蓋１５
をかぶせた例を示し、吸盤１４内は上蓋内に設けた通路
１６を介してボート１７に通じており、この上蓋のポー
ト１７にポンプ（図示せず）の吸入口を接続するように
しである。この実施例では保持手段が空気吸引によるも
のであり、マスクに疵をつけることが少ないという利点
があるう以上の各実施例はマスク以外にもレブクルやつ
１ハの収納用ケースにも同様に適用できることは述べる
までもない。特につ■ハに適用する場合、その外形がほ
ぼ円形状であることから、第１図の実施例の変形例とし
て両レバーを第５図に示づ如く３点支持のレバー１１ｃ
、ｌｉｄとしてもよい。

またつ１〕八に対して第１図の実施例の変形例として土
着側に静電吸着電極を取付けて保持手段としてもよい。

［発明の効果］ 以上に述べたように、本発明によれば、本体、Ｆに着脱
自在にかぶされる上蓋に、ケース内の薄板ハを保持する
ための保持手段を設置ノで、その操作を上蓋外部で行な
えるようにしたから、汚れを嬉う薄板片を直接手指等で
触れることなく取扱いでき、又、移動中に薄板片を上蓋
内に納めたままの状態に保持して汚染とゴミの付着を避
けることができ、薄板片の外形寸法にかかわらず、これ
らの操作を片手で行なうことが可能となると共に、自動
搬送機械との整合も容易となるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を一部切欠いて示す平面図、
第２図は第１図■−■線矢視断面図、第３図は保持レバ
ー操作状況を示す前回と同様の断面図、第４図は本発明
の別の実施例を示す断面図、第５図はレバーの変形例を
示す部分切欠平面図である。 １：ケース、２：本体、３：上蓋、５：マスク、６：窓
、９ニスライドガイド、ｌｌａ、ｌｌｂ　　：マスク保
持レバー、１４：吸盤。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　着脱自在な上蓋を備えた薄板片収納用ケースにおい
   て、外部操作によって内部の薄板片を保持する保持手段
   を上蓋側に設けたことを特徴とする薄板片収納用ケース
   。 ２　保持手段が、薄板片の外周部を掴むレバー機構を備
   えている特許請求の範囲第１項に記載の薄板片収納用ケ
   ース。 ３　保持手段が、薄板片を吸着する吸着手段を備えてい
   る特許請求の範囲第１項に記載の薄板片収納用ケース。