JPS6186434A - 光フアイバ母材製造用加熱炉 - Google Patents
光フアイバ母材製造用加熱炉Info
- Publication number
- JPS6186434A JPS6186434A JP20859184A JP20859184A JPS6186434A JP S6186434 A JPS6186434 A JP S6186434A JP 20859184 A JP20859184 A JP 20859184A JP 20859184 A JP20859184 A JP 20859184A JP S6186434 A JPS6186434 A JP S6186434A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flange
- core tube
- furnace
- furnace core
- tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
- C03B37/0146—Furnaces therefor, e.g. muffle tubes, furnace linings
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- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の背景と目的１
本発明は、光フン・イム母材製造用加熱炉に関するｂの
である。
である。
気相軸付化法（ＶＡＤ法）で作製した多孔質母材は透明
ガラス化し、かつ、不純物の混入を防ぐと共に多孔質母
材中のＯＨ基を除くため、気密性のある石英ガラス炉心
管でトＩＣガスやｃＪ２ガスを流しながら約１，８００
℃に加熱１ノで焼結される。
ガラス化し、かつ、不純物の混入を防ぐと共に多孔質母
材中のＯＨ基を除くため、気密性のある石英ガラス炉心
管でトＩＣガスやｃＪ２ガスを流しながら約１，８００
℃に加熱１ノで焼結される。
この場合に石英ガラス炉心管が石英ガラスの軟化温度が
１，４００℃であり、その外側に環状に配置されたカー
ボンヒータの表面４１２が２，０００℃にもなるため、
加熱されて軟化変化する。
１，４００℃であり、その外側に環状に配置されたカー
ボンヒータの表面４１２が２，０００℃にもなるため、
加熱されて軟化変化する。
すなわち、石英ガラス炉心管を、［一部で吊るだけでは
加熱部が軟化し、軟化した部分より下の部分の重さで伸
びてしまい、石英ガラス炉心管の内径が小ざくなり、１
回しか使用できない。また、石英ガラス炉心管の下部で
支持した場合に、加熱部より上の部分の重みで加熱部が
変形してくる。石英ガラス炉心管の上下を固定すると炉
心管は背部時に伸び、かつ軟化温度を越えると変形する
が、このままの状態で降温すると収縮し、間隙やクラッ
クが発生して気密性を低下させ、光フンフィバ母材中に
不純物が混入するのみならず、石英炉心管は１回しか使
用できない。
加熱部が軟化し、軟化した部分より下の部分の重さで伸
びてしまい、石英ガラス炉心管の内径が小ざくなり、１
回しか使用できない。また、石英ガラス炉心管の下部で
支持した場合に、加熱部より上の部分の重みで加熱部が
変形してくる。石英ガラス炉心管の上下を固定すると炉
心管は背部時に伸び、かつ軟化温度を越えると変形する
が、このままの状態で降温すると収縮し、間隙やクラッ
クが発生して気密性を低下させ、光フンフィバ母材中に
不純物が混入するのみならず、石英炉心管は１回しか使
用できない。
本発明は、以上の点に鑑みなされた乙のであり、石英ガ
ラス炉心管の複数回の連続使用を可能とした光フＩイバ
母材ＦＪ Ｗ用加熱炉を提供することを目的とするもの
である。
ラス炉心管の複数回の連続使用を可能とした光フＩイバ
母材ＦＪ Ｗ用加熱炉を提供することを目的とするもの
である。
［発明の概要］
すなわち本発明は、気相軸付法で作成した光ファイバの
多孔質母材をヘリウムガス雰囲気中で加熱・透明ガラス
化する加熱炉が、その上、下部に上、下部ヂｔ／ンバと
フランジ結合される上、下部フランジを有する石英ガラ
ス炉心管を備え、この炉心管の外部には発熱体が環状に
配置されている光フアイバ母材製造用加熱炉において、
前記炉心管をその上部は、前記上部フランジ部で吊り、
その下端面部は、前記下部フランジでクッション材に乗
置したフランジで支持するようにしたことを特徴とする
ものであり、これによって石英ガラス炉心管は、その上
部は上部のフランジ部で吊られ、下端面部はクツシコン
材を介したフランジで支持されるようになる。
多孔質母材をヘリウムガス雰囲気中で加熱・透明ガラス
化する加熱炉が、その上、下部に上、下部ヂｔ／ンバと
フランジ結合される上、下部フランジを有する石英ガラ
ス炉心管を備え、この炉心管の外部には発熱体が環状に
配置されている光フアイバ母材製造用加熱炉において、
前記炉心管をその上部は、前記上部フランジ部で吊り、
その下端面部は、前記下部フランジでクッション材に乗
置したフランジで支持するようにしたことを特徴とする
ものであり、これによって石英ガラス炉心管は、その上
部は上部のフランジ部で吊られ、下端面部はクツシコン
材を介したフランジで支持されるようになる。
［実施例］
以下、図丞した実施例に基づいて本発明を説明する。第
１図には本発明の一実施例が示されている。同図に示さ
れているように気相軸付法で作成し、ターゲット１に堆
積させた多孔質母材２を図中矢印のように１−（ｅガス
または１−（ｅとＣ１２との混合ガスを流しながら加熱
し透明ガラス３化する加熱炉は、その上、下部に上、ド
部チャンバー４゜５とフランジ結合される上、下部フラ
ンジ６ａ。
１図には本発明の一実施例が示されている。同図に示さ
れているように気相軸付法で作成し、ターゲット１に堆
積させた多孔質母材２を図中矢印のように１−（ｅガス
または１−（ｅとＣ１２との混合ガスを流しながら加熱
し透明ガラス３化する加熱炉は、その上、下部に上、ド
部チャンバー４゜５とフランジ結合される上、下部フラ
ンジ６ａ。
６ｂを有する石英ガラス炉心管７を備えている。
この炉心管７の外部にはカーボンフェルト８およびカー
ボン炉心管９を介して発熱体例えばカーボンヒータ１０
が環状に配置され、かつこれらを囲んで炉カバー１１が
設けられている。このように構成された加熱炉で本実施
例では石英ガラス炉心管７をその上部は上部フランジ６
ａ部で吊り、かつ、その下端面部は下部フランジ６ｂで
クッション材１２に乗置したフランジ１３で支持するよ
うにした。このようにすることにより石英ガラス炉心管
７はその上部は上部フランジ６ａ部で吊られ、下端面部
はクッション材１２を介したフランジ１３で支持される
ようになって、石英ガラス炉心管７の複数回の連続使用
を可能とした光フアイバ母材ｊｌｌ ｉ１９用加熱炉を
１ｎることができる。
ボン炉心管９を介して発熱体例えばカーボンヒータ１０
が環状に配置され、かつこれらを囲んで炉カバー１１が
設けられている。このように構成された加熱炉で本実施
例では石英ガラス炉心管７をその上部は上部フランジ６
ａ部で吊り、かつ、その下端面部は下部フランジ６ｂで
クッション材１２に乗置したフランジ１３で支持するよ
うにした。このようにすることにより石英ガラス炉心管
７はその上部は上部フランジ６ａ部で吊られ、下端面部
はクッション材１２を介したフランジ１３で支持される
ようになって、石英ガラス炉心管７の複数回の連続使用
を可能とした光フアイバ母材ｊｌｌ ｉ１９用加熱炉を
１ｎることができる。
号なわら、石英ガラス炉心管（外径８０ ｍｍ 、内径
７０ｍｍ、長さ５４０ｍｍ）７は土、下部フランジ６ａ
、６ｂ（’ｌとし、加熱部付近にカーボンフェル１−８
を巻きイ・１け固定する。これをカーボン炉心管９内に
入れ、上部フランジ６ａ部を金属製吊り金具１４にのせ
て吊る。そして石英ガラス炉心管７の下端面部は下部フ
ランジ６ｂに乗置した例えば石英ガラス板のフランジ１
３を当て、このフランジ１３をフランジ押え金具１５′
Ｃ″例えばカーボンフェル１〜等のクツシコン材１２（
厚さ８ ｒｒｙｒ ）を挟んでｈｌす、さらにフランジ
押え金具１５をフランジ取付ボルト１６で炉カバー１１
のフランジ取付ボルト用金具１７に固定する。この際に
石英ガラス炉心管７の下端面と石英ガラス板のフランジ
１３との間に隙間がないように両面をすり合せとし、フ
ランジ取付ボルト１６の締め具合で調整する。
７０ｍｍ、長さ５４０ｍｍ）７は土、下部フランジ６ａ
、６ｂ（’ｌとし、加熱部付近にカーボンフェル１−８
を巻きイ・１け固定する。これをカーボン炉心管９内に
入れ、上部フランジ６ａ部を金属製吊り金具１４にのせ
て吊る。そして石英ガラス炉心管７の下端面部は下部フ
ランジ６ｂに乗置した例えば石英ガラス板のフランジ１
３を当て、このフランジ１３をフランジ押え金具１５′
Ｃ″例えばカーボンフェル１〜等のクツシコン材１２（
厚さ８ ｒｒｙｒ ）を挟んでｈｌす、さらにフランジ
押え金具１５をフランジ取付ボルト１６で炉カバー１１
のフランジ取付ボルト用金具１７に固定する。この際に
石英ガラス炉心管７の下端面と石英ガラス板のフランジ
１３との間に隙間がないように両面をすり合せとし、フ
ランジ取付ボルト１６の締め具合で調整する。
なＪ５、同図において１８はガスカーテンである。
このように構成した加熱炉で直径６０ｍｍの多孔質母材
２を０，５ｒｐｍで回転さＵながら上から下へ３から５
ｍＩＲ／ｍｉｎの速度で移動させ、カーボンヒータ１０
表面温度を１ 、９５０℃にし、石英ガラス炉心管７内
にト１ｅガス１５Ｊ／ｍｉｎあるいは、ＨＣガス１５ｆ
７／ｍｉｎとＣｌ１ｚガス１８０ｃｃ／ｍｉｎとの混合
ガスを図中矢印のように下から上へ流し、その内圧を＋
２ｍｌ−１ｚｏの状態で透明ガラス３化する。
２を０，５ｒｐｍで回転さＵながら上から下へ３から５
ｍＩＲ／ｍｉｎの速度で移動させ、カーボンヒータ１０
表面温度を１ 、９５０℃にし、石英ガラス炉心管７内
にト１ｅガス１５Ｊ／ｍｉｎあるいは、ＨＣガス１５ｆ
７／ｍｉｎとＣｌ１ｚガス１８０ｃｃ／ｍｉｎとの混合
ガスを図中矢印のように下から上へ流し、その内圧を＋
２ｍｌ−１ｚｏの状態で透明ガラス３化する。
このように、透明ガラス３化する場合に、多孔質母材２
をカーボンヒータ１０上方にレットしｎ渇すると熱膨張
により石英ガラス炉心管７が伸びるが、この伸びた分は
クッション材１２部で吸収されるようになって、石英ガ
ラス炉心管７が割れたりすることがなくなる。ざらに昇
温ｌノ石英ガラスの軟化ＷＩＲを越えると加熱部が軟く
なって変形し始めるが、クッション材１２部でフランジ
１３を押し１げるようになって、このフランジ１３と下
部フランジ６ｂとの間に間隙を発生させないのみならず
、僅かの力でフランジ１３を押し上げるようにしである
ので変形の程度も小さい。一定の温度になったら多孔′
δ１母材２を移動させて透明ガラス３化するが、透明ガ
ラス３化侵に昇温して石英ガラスの軟化温度以下になる
と熱収縮により石英ガラス炉心管７が収縮する。収縮す
ると石英ガラス炉心管７の下端面部とフランジ１３との
間に間隙が生じようとするが、クツシコン材１２でフラ
ンジ１３を持ち上げているので間隙は生じない。
をカーボンヒータ１０上方にレットしｎ渇すると熱膨張
により石英ガラス炉心管７が伸びるが、この伸びた分は
クッション材１２部で吸収されるようになって、石英ガ
ラス炉心管７が割れたりすることがなくなる。ざらに昇
温ｌノ石英ガラスの軟化ＷＩＲを越えると加熱部が軟く
なって変形し始めるが、クッション材１２部でフランジ
１３を押し１げるようになって、このフランジ１３と下
部フランジ６ｂとの間に間隙を発生させないのみならず
、僅かの力でフランジ１３を押し上げるようにしである
ので変形の程度も小さい。一定の温度になったら多孔′
δ１母材２を移動させて透明ガラス３化するが、透明ガ
ラス３化侵に昇温して石英ガラスの軟化温度以下になる
と熱収縮により石英ガラス炉心管７が収縮する。収縮す
ると石英ガラス炉心管７の下端面部とフランジ１３との
間に間隙が生じようとするが、クツシコン材１２でフラ
ンジ１３を持ち上げているので間隙は生じない。
このように昇温時に石英ガラス炉心管７が従来のように
割れたり、気密性を悪くしたり、変形したりすることが
なくなって、数十回連続して使用できるようになり、石
英ガラス炉心管７の寿命が長くなる。また石英ガラス炉
心管７内の気密性がよくなるのひ外部から不純物を含ん
だガスなどが況入しなくなり、製作される光ファイバの
伝送損失か、伝送帯域特性の再現性を良好にすることが
できる。
割れたり、気密性を悪くしたり、変形したりすることが
なくなって、数十回連続して使用できるようになり、石
英ガラス炉心管７の寿命が長くなる。また石英ガラス炉
心管７内の気密性がよくなるのひ外部から不純物を含ん
だガスなどが況入しなくなり、製作される光ファイバの
伝送損失か、伝送帯域特性の再現性を良好にすることが
できる。
１発明の効果］
１述のように本発明は、石英ガラス炉心管が連続して複
数回使用できるようになって、石英ガラス炉心管の少数
回の連続使用をＩ１１能とした光ファイバ母材製造用加
熱炉を得ることができる。
数回使用できるようになって、石英ガラス炉心管の少数
回の連続使用をＩ１１能とした光ファイバ母材製造用加
熱炉を得ることができる。
第１図は、本発明の光ファイバは材製造用加熱炉の一実
施例の横断面図である。 ２・・・多孔質母材、 ３・・・透明ガラス。 ４・・・上部チャンバ、 ５・・・下部チャンバ。 ６ａ・・・上部フランジ、 ６ｂ・・・下部アフラン
ジ。 ７・・・石英ガラス炉心管、８・・・カーボンフェルト
。 １０・・・カーボンヒータ（発熱体）。 １１・・・類カバー、 １２・・・クッション材。 １３・・・フランジ、 １４・・・金属製品吊り金
具。
施例の横断面図である。 ２・・・多孔質母材、 ３・・・透明ガラス。 ４・・・上部チャンバ、 ５・・・下部チャンバ。 ６ａ・・・上部フランジ、 ６ｂ・・・下部アフラン
ジ。 ７・・・石英ガラス炉心管、８・・・カーボンフェルト
。 １０・・・カーボンヒータ（発熱体）。 １１・・・類カバー、 １２・・・クッション材。 １３・・・フランジ、 １４・・・金属製品吊り金
具。
Claims (1)
- （１）気相軸付法で作成した光ファイバの多孔質母材を
ヘリウムガス雰囲気中で加熱・透明ガラス化する加熱炉
が、その上、下部に上、下部チャンバとフランジ結合さ
れる上、下部フランジを有する石英ガラス炉心管を備え
、この炉心管の外部には発熱体が環状に配置されている
光ファイバ母材製造用加熱炉において、前記炉心管をそ
の上部は、前記上部フランジ部で吊り、その下端面部は
、前記下部フランジ部でクッション材に常置したフラン
ジで支持するようにしたことを特徴とする光ファイバ母
材製造用加熱炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20859184A JPS6186434A (ja) | 1984-10-04 | 1984-10-04 | 光フアイバ母材製造用加熱炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20859184A JPS6186434A (ja) | 1984-10-04 | 1984-10-04 | 光フアイバ母材製造用加熱炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6186434A true JPS6186434A (ja) | 1986-05-01 |
| JPH0253378B2 JPH0253378B2 (ja) | 1990-11-16 |
Family
ID=16558726
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20859184A Granted JPS6186434A (ja) | 1984-10-04 | 1984-10-04 | 光フアイバ母材製造用加熱炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6186434A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6330338A (ja) * | 1986-07-21 | 1988-02-09 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 多孔質光フアイバ母材の脱水焼結方法 |
| JPS6355134A (ja) * | 1986-08-22 | 1988-03-09 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 多孔質ガラス母材の焼結方法 |
| US5133796A (en) * | 1989-03-30 | 1992-07-28 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Air-tight sintering furnace for the production of a quartz preform |
| JP2010241674A (ja) * | 2009-03-16 | 2010-10-28 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 多孔質ガラス母材の脱水焼結用加熱炉 |
| JP2013032266A (ja) * | 2011-06-27 | 2013-02-14 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 多孔質ガラス母材の熱処理装置 |
| JP2013241309A (ja) * | 2012-05-22 | 2013-12-05 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光ファイバ用母材の製造方法 |
-
1984
- 1984-10-04 JP JP20859184A patent/JPS6186434A/ja active Granted
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6330338A (ja) * | 1986-07-21 | 1988-02-09 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 多孔質光フアイバ母材の脱水焼結方法 |
| JPS6355134A (ja) * | 1986-08-22 | 1988-03-09 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 多孔質ガラス母材の焼結方法 |
| US5133796A (en) * | 1989-03-30 | 1992-07-28 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Air-tight sintering furnace for the production of a quartz preform |
| JP2010241674A (ja) * | 2009-03-16 | 2010-10-28 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 多孔質ガラス母材の脱水焼結用加熱炉 |
| JP2013032266A (ja) * | 2011-06-27 | 2013-02-14 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 多孔質ガラス母材の熱処理装置 |
| JP2013241309A (ja) * | 2012-05-22 | 2013-12-05 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光ファイバ用母材の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0253378B2 (ja) | 1990-11-16 |
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