JP2013147379A - 多孔質ガラス母材の遮熱部材および焼結方法 - Google Patents

多孔質ガラス母材の遮熱部材および焼結方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2013147379A
JP2013147379A JP2012009113A JP2012009113A JP2013147379A JP 2013147379 A JP2013147379 A JP 2013147379A JP 2012009113 A JP2012009113 A JP 2012009113A JP 2012009113 A JP2012009113 A JP 2012009113A JP 2013147379 A JP2013147379 A JP 2013147379A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
base material
heat shield
heat
porous glass
glass base
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2012009113A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5701228B2 (ja
Inventor
Makoto Yoshida
真 吉田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Original Assignee
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shin Etsu Chemical Co Ltd filed Critical Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority to JP2012009113A priority Critical patent/JP5701228B2/ja
Priority to CN201310012690.8A priority patent/CN103214180B/zh
Priority to US13/743,355 priority patent/US9382148B2/en
Priority to IN227CH2013 priority patent/IN2013CH00227A/en
Publication of JP2013147379A publication Critical patent/JP2013147379A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5701228B2 publication Critical patent/JP5701228B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/01205Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting from tubes, rods, fibres or filaments
    • C03B37/01225Means for changing or stabilising the shape, e.g. diameter, of tubes or rods in general, e.g. collapsing
    • C03B37/0126Means for supporting, rotating, translating the rod, tube or preform
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01446Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
    • C03B37/0146Furnaces therefor, e.g. muffle tubes, furnace linings
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01486Means for supporting, rotating or translating the preforms being formed, e.g. lathes
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16LPIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L59/00Thermal insulation in general

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Glass Melting And Manufacturing (AREA)

Abstract

【課題】 多孔質ガラス母材を焼結する際、熱による遮熱板の変形を防止することができ、安定して輻射熱の逃散を防止することができる多孔質ガラス母材の遮熱部材および焼結方法を提供する。
【解決手段】 少なくともコアロッドの一端にダミーロッドが接続された出発部材の外側に、ガラス微粒子を堆積して得られた多孔質ガラス母材を加熱して焼結するに際し、該多孔質ガラス母材上方のダミーロッド部に遮熱部材が配設され、該遮熱部材が遮熱上板および遮熱下板を有する遮熱筒からなり、該遮熱筒が補強部材で補強された熱変形防止構造を有することを特徴とする。
【選択図】 図6

Description

本発明は、光ファイバの原材となる多孔質ガラス母材を焼結して脱水および透明ガラス化するのに好適な多孔質ガラス母材の遮熱部材および焼結方法に関する。
光ファイバは、石英ガラスを主成分とする多孔質ガラス母材を原材としている。多孔質ガラス母材を焼結し、この脱水および透明ガラス化した光ファイバ母材を所定の径に延伸したものは、光ファイバプリフォームと呼ばれ、これを線引機で線引きすると光ファイバが得られる。
従来、多孔質ガラス母材を製造するために、各種方法が提案されている。それらの方法の中でも、円柱状のコアロッドの両端部にダミーロッドを溶着した出発部材を軸周りに回転させつつ、出発部材と複数のバーナを相対往復移動させて、出発母材の表面にガラス微粒子を堆積させ、これを電気炉内で脱水、焼結する外付け法(OVD法)は、比較的任意の屈折率分布のものが得られ、しかも、大口径の光ファイバ母材を量産できることから汎用されている。
このようにして得られる多孔質ガラス母材は、中央部が直胴体で、両端部がコーン形状をしている。焼結には、炉心管の周囲に加熱炉を有する焼結装置が用いられ、多孔質ガラス母材を軸方向に回転させ、炉心管の中を鉛直下方に移動させながら、加熱炉の熱源により加熱し、脱水および透明ガラス化が行われる。
多孔質ガラス母材の焼結装置は、図1に示す通りであり、コアロッド1の両端にダミーロッド2を接続した出発部材の外側にガラス微粒子を堆積させた多孔質ガラス母材3が炉心管4の内部に設置されている。多孔質ガラス母材3は、炉心管4の外周に配置され断熱材5で保護されたヒータ6により加熱され焼結される。焼結装置の上部には、多孔質ガラス母材3をヒータ6の加熱領域を通過させるための駆動源7と、駆動源7に接続され降下速度を増減させる速度制御装置8とが設置されている。炉心管4の下方にはガス導入管9が取り付けられ、脱水反応用ガスである塩素ガスの供給源と、不活性ガスであるヘリウムガスの供給源(不図示)に接続されている。炉心管4の上方には排気管10が取り付けられている。
多孔質ガラス母材の焼結は、以下のようにして実施される。
塩素ガスとヘリウムガスがそれぞれの供給源(不図示)から、ガス導入管9を経て混合され炉心管4内に供給される。多孔質ガラス母材3は、速度制御装置8で制御され駆動源7により軸回転しながら低速で降下され、ヒータ6により加熱された加熱領域を通過し、焼結されて脱水および透明ガラス化処理が施される。
このとき、従来の焼結装置では、多孔質ガラス母材両端のコーン形状部からその上下方向に、輻射熱が大きく逃散していた。そのため、母材の両端部近傍では、焼結が不充分になったり、処理にムラが生じていた。また、炉心管内に自然対流が発生して、圧変動が制御できなくなり、水分が炉心管内に浸入して品質を低下させることがあった。
上記問題を解決する方法として、特許文献1は、多孔質ガラス母材上部のコーン形状部にリング状遮熱板を設置することで、輻射熱の逃散を防止する方法を提案している。この方法によって、上記問題は解決されたが、焼結時の熱によって遮熱板が変形し、遮熱板を頻繁に交換しないと充分な能力が発揮できないという、新たな問題が発生した。
特許第3017990号
本発明は、上記課題を解決するためなされたもので、多孔質ガラス母材を焼結する際の、熱による遮熱板の変形を防止することができ、安定して輻射熱の逃散を防止することができる多孔質ガラス母材の遮熱部材および焼結方法を提供することを目的としている。
本発明の多孔質ガラス母材の遮熱部材は、少なくともコアロッドの一端にダミーロッドが接続された出発部材の外側に、ガラス微粒子を堆積して得られた多孔質ガラス母材を加熱して焼結するに際し、該多孔質ガラス母材上方のダミーロッド部に遮熱部材が配設され、該遮熱部材が遮熱上板および遮熱下板を有する遮熱筒からなり、該遮熱筒が補強部材で補強された熱変形防止構造を有することを特徴としている。
前記熱変形防止構造は、前記遮熱筒内に内筒を配置し、該内筒により遮熱上板と遮熱下板とが接続された構造とするか、あるいは、前記遮熱筒内に複数の柱を配置し、これらの柱によって遮熱上板と遮熱下板とが接続された構造を有するようにしても良い。
遮熱上板および又は前記遮熱下板は、その内周部を肉厚として補強しても良い。また、遮熱下板の上面に、複数の補強材を径方向に配設して補強しても良い。
なお、遮熱上板および又は遮熱下板には、透明石英ガラスをサンドブラストしたもの、もしくは、不透明石英材を使用するのが好ましい。
本発明の多孔質ガラス母材の焼結方法は、少なくともコアロッドの一端にダミーロッドが接続された出発部材の外側に、ガラス微粒子を堆積して得られた多孔質ガラス母材を加熱して焼結するに際し、上記遮熱部材を用いて焼結することを特徴とする。
焼結に際して、本発明の熱変形防止構造を有する遮熱部材を使用することにより、遮熱部材を構成する遮熱板が変形することなく、多孔質ガラス母材からの輻射熱の逃散を安定して防止することができ、全長にわたって光学特性の安定した光ファイバ母材が得られる、等の優れた効果を奏する。
焼結装置の一例を示す概略縦断面図である。 従来タイプの遮熱部材を示す概略斜視図である。 従来タイプの遮熱部材を、多孔質ガラス母材上部のダミーロッド部に取り付けた状態を拡大して示す概略断面図である。 焼結後半の状態を示す焼結装置の概略縦断面図である。 従来タイプの遮熱部材が、輻射熱で変形した状態を示す概略断面図である。 本発明の内筒タイプの遮熱部材を示す概略断面図である。 本発明の柱状タイプの遮熱部材を示す概略断面図である。 図7の概略斜視図である。 径方向に伸びる複数の補強材で、遮熱下板上面の補強状態を示す概略断面図である。 図9の概略斜視図である。 遮熱上板の内周部を肉厚として、遮熱上板を補強した状態を示す概略断面図である。
上記課題を解決するため、先ず、図2に示すような遮熱部材11を、図3に示すように、ダミーロッドに設けた凸部を包み込むように取り付け、図1に示した焼結装置の加熱領域を多孔質ガラス母材の下部から順に通過させて焼結を行ったところ、図4に示すような焼結後半では、遮熱部材11がヒ-ター6に接近するため、図5に示すように、特に熱を受ける遮熱下板13全体や遮熱上板12の内周縁部が変形し、短期間の使用で交換しなければならなかった。
そこで、本発明の遮熱部材は、遮熱上板および遮熱下板を有する遮熱筒を熱変形防止構造とすることで、課題を解決している。
以下、本発明の多孔質ガラス母材の熱変形防止機構について、図6〜11に基づいて詳細に説明する。
遮熱部材の熱変形防止構造は、多孔質ガラス母材の上方に、図6に示すような、遮熱上板12と遮熱下板13とを有する遮熱筒14内に内筒15を設けるものであり、内筒15により遮熱上板12と遮熱下板13とを接続し、遮熱部材11を補強する構造となっている。ただし、内筒15を設けたことにより、外筒と上下の遮熱板12,13とで、閉鎖空間が生じる場合は、ガス抜き穴16を設ける必要がある。
上記熱変形防止構造の他の形態として、図7,8に示すように、遮熱筒14の内側に柱状材17を設け、柱状材17によって遮熱上板12と遮熱下板13とを接続する方法が挙げられる。この方法によれば、補強部材が少ないので、重量を大きく増やすことなく補強することができる。
その他、図9、図10に示すように、遮熱下板13の上面に径方向に伸びる復数の補強材18を設けても良い。
さらに、図11に示す方法は、遮熱上板12の内周部に補強板19を配して内周部を肉厚構造とし、遮熱上板12の変形を抑えるようにしても良い。なお、補強板19の外径は遮熱下板13の開口径D以上とすれば良い。
なお、遮熱部材11を構成する各部材の材質は、遮熱効果の有る透明石英ガラスをサンドブラスト処理したものや、不透明石英材を使用することで、軽量かつ効率的な遮熱を行うことができる。
以下、本発明の遮熱部材について、実施例を挙げて詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されず、様々な態様が可能である。
[比較例1]
外径50 mmφ、長さ2000mmのコアロッドの両端にダミーロツドを接続した出発部材の外側に、OVD法によってガラス微粒子を外径が300mmφになるまで堆積した多孔質ガラス母材を用意し、この多孔質ガラス母材の上部に遮熱部材を取り付け、焼結速度1.5(mm/min)、焼結温度1500(℃)で焼結した。
使用した遮熱部材は、中心に多孔質ガラス母材の挿通孔を有する外径270mm、厚さ5mmの透明石英ガラスをサンドブラストした円板を上下の遮熱板とし、外径270mm、高さ100mm、厚さ5mmのサンドブラストした透明石英ガラス製の遮熱筒で上下の遮熱板を接続したものである。
その結果、遮熱部材は、20回の焼結に使用したところで変形が始まり、50回の使用後では、図5のように大きく変形してしまった。
[実施例1]
比較例1で使用したものと同様の多孔質ガラス母材を用意し、遮熱部材を取り付けて焼結した。使用した遮熱部材は、比較例1で使用したものと同様の遮熱部材を用意し、遮熱筒内に、内径120mm、高さ100mm、厚さ5mmの透明石英ガラスをサンドブラストした内筒を配置し、該内筒で遮熱上板と遮熱下板とを溶着して接続した構造とし、さらに、遮熱上板の上面に、図11に示すような、中心に母材の挿通孔を有する外径150mm、厚さ10mmの補強板19を配して遮熱上板の内周部を肉厚構造としたものである。なお、ガス抜き穴として遮熱上板の3箇所に半径5mmの穴を開けた。
その結果、300回の焼結に使用した後も全く変形は認められなかった。
[実施例2]
比較例1で使用したものと同様の多孔質ガラス母材を用意し、遮熱部材を取り付けて焼結した。使用した遮熱部材は、比較例1で使用したものと同様の遮熱部材を用意し、遮熱筒内の半径150mmの位置に、高さ100mm、直径10mmの石英棒を図8に示すような形で、柱として4箇所に設置し、遮熱上板と遮熱下板とに溶着して接続し、さらに、遮熱上板の内径150mmより内側を厚さ10mmに肉厚としたものである。
その結果、300回の焼結に使用した後も全く変形は認められなかった。
[実施例3]
比較例1で使用したものと同様の多孔質ガラス母材を用意し、遮熱部材を取り付けて焼結した。使用した遮熱部材は、比較例1で使用したものと同様の遮熱部材を用意し、遮熱筒内の半径150mmの位置に、高さ100mm、直径10mmの石英棒を図8に示すような形で、柱として4箇所に設置し、遮熱上板と遮熱下板とに溶着して接続し、さらに、遮熱下板の上面に、図10に示すような角材状(5mm角)の補強材を径方向に4本設置したものである。
その結果、300回の焼結に使用した後も全く変形は認められなかった。
1.コアロッド、
2.ダミーロッド、
3.多孔質ガラス母材、
4.炉心管、
5.断熱材、
6.ヒータ、
7.駆動源、
8.速度制御装置、
9.ガス導入管、
10.排気管、
11.遮熱部材、
12.遮熱上板、
13.遮熱下板、
14.遮熱筒、
15.内筒、
16.ガス抜き穴、
17.柱状材、
18.補強材、
19.補強板。

Claims (7)

  1. 少なくともコアロッドの一端にダミーロッドが接続された出発部材の外側に、ガラス微粒子を堆積して得られた多孔質ガラス母材を加熱して焼結するに際し、該多孔質ガラス母材上方のダミーロッド部に遮熱部材が配設され、該遮熱部材が遮熱上板および遮熱下板を有する遮熱筒からなり、該遮熱筒が補強部材で補強された熱変形防止構造を有することを特徴とする多孔質ガラス母材の遮熱部材。
  2. 前記熱変形防止構造が、前記遮熱筒内に内筒を配置し、該内筒により遮熱上板と遮熱下板とが接続された構造を有する請求項1に記載の多孔質ガラス母材の遮熱部材。
  3. 前記熱変形防止構造が、前記遮熱筒内に複数の柱を配置し、これらの柱によって遮熱上板と遮熱下板とが接続された構造を有する請求項1に記載の多孔質ガラス母材の遮熱部材。
  4. 前記遮熱上板および又は前記遮熱下板が、その内周部を肉厚として補強されている請求項2又は3に記載の多孔質ガラス母材の遮熱部材。
  5. 前記遮熱下板が、その上面に径方向に配設された複数の補強材により補強されている請求項3又は4に記載の多孔質ガラス母材の遮熱部材。
  6. 前記遮熱上板および又は遮熱下板が、透明石英ガラスをサンドブラストしたもの、もしくは、不透明石英材からなる請求項1乃至5の何れかに記載の多孔質ガラス母材の遮熱部材。
  7. 少なくともコアロッドの一端にダミーロッドが接続された出発部材の外側に、ガラス微粒子を堆積して得られた多孔質ガラス母材を加熱して焼結するに際し、請求項1乃至6のいずれかに記載の多孔質ガラス母材の遮熱部材を用いて焼結することを特徴とする多孔質ガラス母材の焼結方法。

JP2012009113A 2012-01-19 2012-01-19 多孔質ガラス母材の遮熱部材および焼結方法 Active JP5701228B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012009113A JP5701228B2 (ja) 2012-01-19 2012-01-19 多孔質ガラス母材の遮熱部材および焼結方法
CN201310012690.8A CN103214180B (zh) 2012-01-19 2013-01-14 多孔质玻璃母材的热屏蔽构件及烧结方法
US13/743,355 US9382148B2 (en) 2012-01-19 2013-01-17 Porous glass base material thermal insulating member and sintering method
IN227CH2013 IN2013CH00227A (ja) 2012-01-19 2013-01-17

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012009113A JP5701228B2 (ja) 2012-01-19 2012-01-19 多孔質ガラス母材の遮熱部材および焼結方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2013147379A true JP2013147379A (ja) 2013-08-01
JP5701228B2 JP5701228B2 (ja) 2015-04-15

Family

ID=48796106

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012009113A Active JP5701228B2 (ja) 2012-01-19 2012-01-19 多孔質ガラス母材の遮熱部材および焼結方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US9382148B2 (ja)
JP (1) JP5701228B2 (ja)
CN (1) CN103214180B (ja)
IN (1) IN2013CH00227A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015182946A (ja) * 2014-03-26 2015-10-22 信越化学工業株式会社 光ファイバ用ガラス母材の焼結装置および焼結方法
JP2021178753A (ja) * 2020-05-13 2021-11-18 株式会社フジクラ 光ファイバ母材の製造装置及び製造方法

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106277743B (zh) * 2016-08-17 2019-01-04 长飞光纤光缆股份有限公司 一种用于vad沉积粉棒的脱水烧结装置及方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07223833A (ja) * 1994-02-15 1995-08-22 Fujikura Ltd 光ファイバ母材の製造方法
JP2000044269A (ja) * 1998-05-29 2000-02-15 Furukawa Electric Co Ltd:The 光ファイバ多孔質母材の脱水・透明ガラス化装置
JP2000219519A (ja) * 1999-01-28 2000-08-08 Shin Etsu Chem Co Ltd 多孔質ガラス母材焼結装置
JP2002047014A (ja) * 2000-08-02 2002-02-12 Shin Etsu Chem Co Ltd 遮熱筒、これを備えたガラス母材の製造装置及び製造方法
JP2005008475A (ja) * 2003-06-18 2005-01-13 Shin Etsu Chem Co Ltd 光ファイバ線引き装置
JP2006265029A (ja) * 2005-03-23 2006-10-05 Nikon Corp 合成石英ガラスの製造方法、光学部材、露光装置、及び合成石英ガラスの製造装置
JP2009155157A (ja) * 2007-12-26 2009-07-16 Fujikura Ltd 光ファイバ母材製造装置

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ID26017A (id) * 1998-04-03 2000-11-16 Sumitomo Electric Industries Tanur dan metode untuk penarikan kabel serat optis
JP2005104756A (ja) * 2003-09-29 2005-04-21 Sumitomo Electric Ind Ltd 光ファイバ製造方法及び装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07223833A (ja) * 1994-02-15 1995-08-22 Fujikura Ltd 光ファイバ母材の製造方法
JP2000044269A (ja) * 1998-05-29 2000-02-15 Furukawa Electric Co Ltd:The 光ファイバ多孔質母材の脱水・透明ガラス化装置
JP2000219519A (ja) * 1999-01-28 2000-08-08 Shin Etsu Chem Co Ltd 多孔質ガラス母材焼結装置
JP2002047014A (ja) * 2000-08-02 2002-02-12 Shin Etsu Chem Co Ltd 遮熱筒、これを備えたガラス母材の製造装置及び製造方法
JP2005008475A (ja) * 2003-06-18 2005-01-13 Shin Etsu Chem Co Ltd 光ファイバ線引き装置
JP2006265029A (ja) * 2005-03-23 2006-10-05 Nikon Corp 合成石英ガラスの製造方法、光学部材、露光装置、及び合成石英ガラスの製造装置
JP2009155157A (ja) * 2007-12-26 2009-07-16 Fujikura Ltd 光ファイバ母材製造装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015182946A (ja) * 2014-03-26 2015-10-22 信越化学工業株式会社 光ファイバ用ガラス母材の焼結装置および焼結方法
JP2021178753A (ja) * 2020-05-13 2021-11-18 株式会社フジクラ 光ファイバ母材の製造装置及び製造方法
JP7412270B2 (ja) 2020-05-13 2024-01-12 株式会社フジクラ 光ファイバ母材の製造装置及び製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN103214180B (zh) 2016-03-23
CN103214180A (zh) 2013-07-24
JP5701228B2 (ja) 2015-04-15
US9382148B2 (en) 2016-07-05
US20130186147A1 (en) 2013-07-25
IN2013CH00227A (ja) 2015-08-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2016088821A (ja) 光ファイバ用多孔質ガラス母材の焼結装置及び焼結方法
JP6864641B2 (ja) 光ファイバ用多孔質ガラス母材の焼結方法
JP5701228B2 (ja) 多孔質ガラス母材の遮熱部材および焼結方法
US11325854B2 (en) Method and apparatus for drying and consolidating a preform for optical fibres
KR101426158B1 (ko) 광섬유 모재의 제조 장치
CN105347666A (zh) 一种低损耗光纤预制棒的制造方法
US20060179889A1 (en) Method for dehydrating and consolidating a porous optical fiber preform
US9067815B2 (en) Porous glass base material sintering method
JP5793843B2 (ja) ガラス母材の製造方法
WO2015179485A1 (en) Burner shield to reduce soot buildup
JP6573560B2 (ja) 熱処理装置
JP2014162689A (ja) ガラス母材の製造方法
JP2015202967A (ja) 光ファイバの製造装置および光ファイバの製造方法
JP2005320197A (ja) 光ファイバ母材の製造装置、光ファイバ母材の製造方法
JP2002154838A (ja) 光ファイバ用ガラス母材の製造方法
JP6163923B2 (ja) ガラス母材の製造装置および製造方法
JP5503339B2 (ja) 多孔質ガラス母材の脱水焼結用加熱炉
JP6597177B2 (ja) 光ファイバ用母材の製造方法
JP2003321235A (ja) 光ファイバ多孔質母材の脱水・焼結方法
JP3994840B2 (ja) ガラス母材の製造方法及び製造装置
JP2017100910A (ja) 光ファイバ用母材の製造方法
JP2007223824A (ja) 多孔質ガラス母材の焼結方法
JP5907565B2 (ja) 多孔質ガラス母材製造用のバーナ
JP2020075823A (ja) 光ファイバ用母材の製造方法
JP2001287922A (ja) 光ファイバプリフォームの製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20131224

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20140717

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140827

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20150216

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20150217

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5701228

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150