JP2001287922A - 光ファイバプリフォームの製造方法 - Google Patents
光ファイバプリフォームの製造方法Info
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/50—Multiple burner arrangements
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/60—Relationship between burner and deposit, e.g. position
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
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Abstract
(57)【要約】
【課題】光ファイバに誘導される定径部の長い太径な光
ファイバプリフォームを歩留まりよく製造する方法を提
供する。 【解決手段】光ファイバプリフォームの製造方法は、コ
ア用バーナ１０の火炎１１から生成するガラス微粒子を
回転しつつ上昇する始発ガラス棒２の先端へ堆積させコ
ア堆積層６とし、その周囲にコア用バーナ１０よりも高
く配置された複数のクラッド用バーナ１２ａ・・・１２ｂ
の火炎１３ａ・・・１３ｂから生成するガラス微粒子を堆
積させてクラッド堆積層５とした堆積体１を形成後、焼
結する光ファイバプリフォームの製造方法であって、コ
ア堆積層６が所望長に至るまでは一定位置で各堆積をさ
せ、コア堆積層６が所望長となった後は始発ガラス棒２
を上昇させつつ、コア用バーナ１０への原料の供給を停
止し、クラッド用バーナ１２ａ・・・１２ｂの低い順に原
料の供給を停止して堆積体１の形成を終了させるという
ものである。
ファイバプリフォームを歩留まりよく製造する方法を提
供する。 【解決手段】光ファイバプリフォームの製造方法は、コ
ア用バーナ１０の火炎１１から生成するガラス微粒子を
回転しつつ上昇する始発ガラス棒２の先端へ堆積させコ
ア堆積層６とし、その周囲にコア用バーナ１０よりも高
く配置された複数のクラッド用バーナ１２ａ・・・１２ｂ
の火炎１３ａ・・・１３ｂから生成するガラス微粒子を堆
積させてクラッド堆積層５とした堆積体１を形成後、焼
結する光ファイバプリフォームの製造方法であって、コ
ア堆積層６が所望長に至るまでは一定位置で各堆積をさ
せ、コア堆積層６が所望長となった後は始発ガラス棒２
を上昇させつつ、コア用バーナ１０への原料の供給を停
止し、クラッド用バーナ１２ａ・・・１２ｂの低い順に原
料の供給を停止して堆積体１の形成を終了させるという
ものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバを大量
に生産するための原材料として用いられる太径なプリフ
ォームを歩留まりよく製造する方法に関する。
に生産するための原材料として用いられる太径なプリフ
ォームを歩留まりよく製造する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバプリフォームは、ガラス原料
の供給されたコア用バーナから吹き出すガラス微粒子を
上昇する始発ガラス棒の下端へ堆積させたコア堆積層の
周囲に、クラッド用バーナから吹き出す別なガラス微粒
子が一定の厚さで堆積されたクラッド堆積層を形成後、
加熱炉の通過により焼結させ脱水および透明ガラス化し
たものである。
の供給されたコア用バーナから吹き出すガラス微粒子を
上昇する始発ガラス棒の下端へ堆積させたコア堆積層の
周囲に、クラッド用バーナから吹き出す別なガラス微粒
子が一定の厚さで堆積されたクラッド堆積層を形成後、
加熱炉の通過により焼結させ脱水および透明ガラス化し
たものである。
【０００３】光ファイバの生産性を向上させるために、
太径なプリフォームが用いられる。太径なプリフォーム
は、加熱むらや気流の変動を防止したり副生するガス等
を排気することのできる石英ガラス製の容器中で、複数
のクラッド用バーナを用いたりクラッド用バーナの火炎
を大きくしつつそのガラス原料の供給量を増量したりし
て得た太径な堆積体を焼結することにより製造される。
太径なプリフォームが用いられる。太径なプリフォーム
は、加熱むらや気流の変動を防止したり副生するガス等
を排気することのできる石英ガラス製の容器中で、複数
のクラッド用バーナを用いたりクラッド用バーナの火炎
を大きくしつつそのガラス原料の供給量を増量したりし
て得た太径な堆積体を焼結することにより製造される。
【０００４】ガラス微粒子を堆積する際、火炎の干渉に
よって堆積効率が低下しないように、バーナ間には十分
な間隔が設けられる。堆積体の下部で堆積の進行しつつ
ある部位は、上ほどガラス微粒子が多く堆積するため、
コーン状になっている。堆積を終了させたとき堆積体の
下部に残存するコーン部位は、外径が不均一なので光フ
ァイバへ誘導できない。光ファイバへ誘導される定径部
を太くするほど、このコーン部位は大きくなる。
よって堆積効率が低下しないように、バーナ間には十分
な間隔が設けられる。堆積体の下部で堆積の進行しつつ
ある部位は、上ほどガラス微粒子が多く堆積するため、
コーン状になっている。堆積を終了させたとき堆積体の
下部に残存するコーン部位は、外径が不均一なので光フ
ァイバへ誘導できない。光ファイバへ誘導される定径部
を太くするほど、このコーン部位は大きくなる。
【０００５】堆積や焼結を行う容器は、装置上の制限が
あるので大型な成形ができず、内径や長さが制限されて
いる。そのため、堆積体のコーン部位が大きくなると定
径部を長くすることができず、太径な光ファイバプリフ
ォームの歩留まりが悪くなってしまうという問題があっ
た。
あるので大型な成形ができず、内径や長さが制限されて
いる。そのため、堆積体のコーン部位が大きくなると定
径部を長くすることができず、太径な光ファイバプリフ
ォームの歩留まりが悪くなってしまうという問題があっ
た。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は前記の課題を
解決するためなされたもので、光ファイバに誘導される
定径部の長い太径な光ファイバプリフォームを歩留まり
よく製造する方法を提供することを目的とする。
解決するためなされたもので、光ファイバに誘導される
定径部の長い太径な光ファイバプリフォームを歩留まり
よく製造する方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めになされた本発明の光ファイバプリフォームの製造方
法は、光ファイバに誘導される定径部の長い太径な光フ
ァイバプリフォームを製造するためのものである。光フ
ァイバプリフォームの製造方法は、実施例に対応する図
１を参照して説明すると、ガラス原料の供給されたコア
用バーナ１０の火炎１１から生成するガラス微粒子を回
転しつつ上昇する始発ガラス棒２の先端へ堆積させコア
堆積層６とし、その周囲にコア用バーナ１０よりも高く
配置され別なガラス原料の供給された複数のクラッド用
バーナ１２ａ・・・１２ｂの火炎１３ａ・・・１３ｂから生成
するガラス微粒子を堆積させてクラッド堆積層５とした
堆積体１を形成後、堆積体１が加熱炉を通過して脱水お
よび透明ガラス化される光ファイバプリフォームの製造
方法であって、コア堆積層６が所望長に至るまでは一定
位置で各堆積をさせ、コア堆積層６が所望長となった後
は始発ガラス棒２を上昇させつつ、コア用バーナ１０へ
の原料の供給を停止し、クラッド用バーナ１２ａ・・・１
２ｂの低い順に原料の供給を停止して堆積体１の形成を
終了させるというものである。
めになされた本発明の光ファイバプリフォームの製造方
法は、光ファイバに誘導される定径部の長い太径な光フ
ァイバプリフォームを製造するためのものである。光フ
ァイバプリフォームの製造方法は、実施例に対応する図
１を参照して説明すると、ガラス原料の供給されたコア
用バーナ１０の火炎１１から生成するガラス微粒子を回
転しつつ上昇する始発ガラス棒２の先端へ堆積させコア
堆積層６とし、その周囲にコア用バーナ１０よりも高く
配置され別なガラス原料の供給された複数のクラッド用
バーナ１２ａ・・・１２ｂの火炎１３ａ・・・１３ｂから生成
するガラス微粒子を堆積させてクラッド堆積層５とした
堆積体１を形成後、堆積体１が加熱炉を通過して脱水お
よび透明ガラス化される光ファイバプリフォームの製造
方法であって、コア堆積層６が所望長に至るまでは一定
位置で各堆積をさせ、コア堆積層６が所望長となった後
は始発ガラス棒２を上昇させつつ、コア用バーナ１０へ
の原料の供給を停止し、クラッド用バーナ１２ａ・・・１
２ｂの低い順に原料の供給を停止して堆積体１の形成を
終了させるというものである。
【０００８】堆積体１の下部は、コア用バーナ１０から
生成するガラス微粒子が始発ガラス棒の先端に堆積して
いる最中には波線で示すような鋭く長いコーン部位４と
なっているが、コア用バーナ１０およびクラッド用バー
ナ１２ａ・・・１２ｂの低い順に原料の供給を停止するに
つれ、実線で示すような鈍く短いコーン部位３となる。
その結果、堆積体１は、光ファイバへ誘導することがで
きる太径で均質な定径部がより長く形成される。
生成するガラス微粒子が始発ガラス棒の先端に堆積して
いる最中には波線で示すような鋭く長いコーン部位４と
なっているが、コア用バーナ１０およびクラッド用バー
ナ１２ａ・・・１２ｂの低い順に原料の供給を停止するに
つれ、実線で示すような鈍く短いコーン部位３となる。
その結果、堆積体１は、光ファイバへ誘導することがで
きる太径で均質な定径部がより長く形成される。
【０００９】始発ガラス棒２の上昇速度を補正するこ
と、および所定時間ごとの始発ガラス棒２の上昇速度の
平均値と所期上昇速度との差に基づき各原料の供給量を
補正することにより、前記一定位置での各堆積がなされ
ることで好適に実施することができる。例えば、コア堆
積層６が所望長に至るまでは、コア堆積層６の堆積位置
をレーザ測距計や目視により測定し、この堆積位置が一
定となるように始発ガラス棒２の上昇速度を遅速させつ
つ、始発ガラス棒２の上昇速度の平均値と所期上昇速度
との差に基づきコア用バーナ１０とクラッド用バーナ１
２ａ・・・１２ｂとへのガラス原料の供給量を増減させ
る。これにより、一定位置で堆積が進行し、堆積体１の
単位軸長あたりのガラス原料の供給量を一定に維持する
ことができる。このとき、コーン部位４の側面と水平面
とのなす角度θが２５°以上となるように、始発ガラス
棒２の上昇速度を遅速させることが好ましい。２５°未
満であると、クラッド用バーナ１２ａ・・・１２ｂへの原
料の供給を停止するにつれガラス微粒子が堆積し難くな
って、コーン部位３へ不均一に堆積するため、その側面
に同軸心上の畝が形成され、透明ガラス化の際にひび割
れを誘発してしまう。
と、および所定時間ごとの始発ガラス棒２の上昇速度の
平均値と所期上昇速度との差に基づき各原料の供給量を
補正することにより、前記一定位置での各堆積がなされ
ることで好適に実施することができる。例えば、コア堆
積層６が所望長に至るまでは、コア堆積層６の堆積位置
をレーザ測距計や目視により測定し、この堆積位置が一
定となるように始発ガラス棒２の上昇速度を遅速させつ
つ、始発ガラス棒２の上昇速度の平均値と所期上昇速度
との差に基づきコア用バーナ１０とクラッド用バーナ１
２ａ・・・１２ｂとへのガラス原料の供給量を増減させ
る。これにより、一定位置で堆積が進行し、堆積体１の
単位軸長あたりのガラス原料の供給量を一定に維持する
ことができる。このとき、コーン部位４の側面と水平面
とのなす角度θが２５°以上となるように、始発ガラス
棒２の上昇速度を遅速させることが好ましい。２５°未
満であると、クラッド用バーナ１２ａ・・・１２ｂへの原
料の供給を停止するにつれガラス微粒子が堆積し難くな
って、コーン部位３へ不均一に堆積するため、その側面
に同軸心上の畝が形成され、透明ガラス化の際にひび割
れを誘発してしまう。
【００１０】コア堆積層６が所望長となりコア用バーナ
１０への原料の供給を停止した後は、始発ガラス棒２の
上昇速度とクラッド用バーナへのガラス原料ガスの供給
量を一定にすることが好ましい。
１０への原料の供給を停止した後は、始発ガラス棒２の
上昇速度とクラッド用バーナへのガラス原料ガスの供給
量を一定にすることが好ましい。
【００１１】堆積体１がクラッド用バーナ１２ａ・・・の
火炎１３ａ・・・から離れた順に原料の供給を停止してゆ
き、最上のクラッド用バーナ１２ｂはその火炎１３ｂと
堆積体１とが接触している間に原料の供給を停止される
ことが好ましい。クラッド用バーナ１２ｂはほぼ水平方
向に向いて配置されているので、その火炎１３ｂが、鋭
く長いコーン部位４の形成時にはその側面に対し凡そ垂
直に接触し、堆積が進み鈍く短いコーン部位３の形成時
にはその側面に対し凡そ平行に接触する。そのため最上
のクラッド用バーナ１２ｂはその火炎１３ｂが堆積体１
から離れてから原料の供給を停止されると、火炎１３ｂ
の揺らぎや大きさの僅かな変動でガラス微粒子を不均一
に堆積させる結果、透明ガラス化の際にひび割れを誘発
してしまう。
火炎１３ａ・・・から離れた順に原料の供給を停止してゆ
き、最上のクラッド用バーナ１２ｂはその火炎１３ｂと
堆積体１とが接触している間に原料の供給を停止される
ことが好ましい。クラッド用バーナ１２ｂはほぼ水平方
向に向いて配置されているので、その火炎１３ｂが、鋭
く長いコーン部位４の形成時にはその側面に対し凡そ垂
直に接触し、堆積が進み鈍く短いコーン部位３の形成時
にはその側面に対し凡そ平行に接触する。そのため最上
のクラッド用バーナ１２ｂはその火炎１３ｂが堆積体１
から離れてから原料の供給を停止されると、火炎１３ｂ
の揺らぎや大きさの僅かな変動でガラス微粒子を不均一
に堆積させる結果、透明ガラス化の際にひび割れを誘発
してしまう。
【００１２】図２に示すように、ガス導入管２０と排気
管２４とを有する容器２２の周囲に配置された加熱炉２
１を、堆積体１が通過すると焼結され、脱水および透明
ガラス化される。脱水および透明ガラス化は別々に行わ
れることが好ましい。例えば脱水は、ハロゲン系ガスの
雰囲気下、１０００〜１２５０℃で行われ、その後の透
明ガラス化は、不活性ガスの雰囲気下、１３００〜１６
５０℃で行われる。
管２４とを有する容器２２の周囲に配置された加熱炉２
１を、堆積体１が通過すると焼結され、脱水および透明
ガラス化される。脱水および透明ガラス化は別々に行わ
れることが好ましい。例えば脱水は、ハロゲン系ガスの
雰囲気下、１０００〜１２５０℃で行われ、その後の透
明ガラス化は、不活性ガスの雰囲気下、１３００〜１６
５０℃で行われる。
【００１３】堆積体１が、加熱炉２１を通過し脱水した
後、その上端Ａから順次加熱炉を再通過して透明ガラス
化されることが好ましい。この上端Ａは、ガラス微粒子
の堆積開始直後ほど堆積量が少ないので円錐状になって
いる。上端Ａから加熱して透明ガラス化を開始すると、
外周のみならず軸心が徐々に加熱される結果、急激な加
熱が防止され、ひび割れを誘発しない。脱水の際に堆積
体１が、その上端Ａから順次加熱炉を通過すると、堆積
体１の脱水および透明ガラス化される方向が一致し、そ
れぞれ長手方向でほぼ同一な温度条件で加熱されて、均
一に脱水および透明ガラス化するため好ましい。または
脱水の際に堆積体１が、その下端Ｂから順次加熱炉２１
を通過してもよい。これにより脱水および透明ガラス化
が上下の一往復動の簡便な操作で行うことができる。こ
の一往復動の間に、均一に脱水および透明ガラス化する
ように、堆積体１へ供給する熱エネルギーを制御する。
例えば、堆積体１の表面温度を測定し所要の熱エネルギ
ーを算出し、脱水が進行し上端Ａ近傍を加熱するにつれ
加熱温度を下げたり通過速度を上げ、一方透明ガラス化
が進行し下端Ｂを加熱するにつれ加熱温度を上げたり通
過速度を下げる制御をする。
後、その上端Ａから順次加熱炉を再通過して透明ガラス
化されることが好ましい。この上端Ａは、ガラス微粒子
の堆積開始直後ほど堆積量が少ないので円錐状になって
いる。上端Ａから加熱して透明ガラス化を開始すると、
外周のみならず軸心が徐々に加熱される結果、急激な加
熱が防止され、ひび割れを誘発しない。脱水の際に堆積
体１が、その上端Ａから順次加熱炉を通過すると、堆積
体１の脱水および透明ガラス化される方向が一致し、そ
れぞれ長手方向でほぼ同一な温度条件で加熱されて、均
一に脱水および透明ガラス化するため好ましい。または
脱水の際に堆積体１が、その下端Ｂから順次加熱炉２１
を通過してもよい。これにより脱水および透明ガラス化
が上下の一往復動の簡便な操作で行うことができる。こ
の一往復動の間に、均一に脱水および透明ガラス化する
ように、堆積体１へ供給する熱エネルギーを制御する。
例えば、堆積体１の表面温度を測定し所要の熱エネルギ
ーを算出し、脱水が進行し上端Ａ近傍を加熱するにつれ
加熱温度を下げたり通過速度を上げ、一方透明ガラス化
が進行し下端Ｂを加熱するにつれ加熱温度を上げたり通
過速度を下げる制御をする。
【００１４】なお、堆積体１が、その下端Ｂから順次加
熱炉２１を通過して脱水した後、その下端Ｂを予熱し
て、下端Ｂから順次加熱炉２１を再通過して透明ガラス
化されてもよい。予熱することにより、下端Ｂ近傍が万
遍なく加熱されるため、ひび割れを生じない。
熱炉２１を通過して脱水した後、その下端Ｂを予熱し
て、下端Ｂから順次加熱炉２１を再通過して透明ガラス
化されてもよい。予熱することにより、下端Ｂ近傍が万
遍なく加熱されるため、ひび割れを生じない。
【００１５】この光ファイバプリフォームの製造方法に
よれば、大きさの制限された容器内で、定径部の長い太
径な光ファイバプリフォームを歩留まりよく製造するこ
とができる。
よれば、大きさの制限された容器内で、定径部の長い太
径な光ファイバプリフォームを歩留まりよく製造するこ
とができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の光ファイバプリフ
ォームの製造方法を適用する実施例について、詳細に説
明する。
ォームの製造方法を適用する実施例について、詳細に説
明する。
【００１７】本発明の製造方法による光ファイバプリフ
ォームの製造途中を示す図であって、ガラス微粒子が堆
積した堆積体を形成している概要図が図１に、堆積体を
焼結し脱水および透明化した光ファイバプリフォームと
する概要図が図２に各々示されている。
ォームの製造途中を示す図であって、ガラス微粒子が堆
積した堆積体を形成している概要図が図１に、堆積体を
焼結し脱水および透明化した光ファイバプリフォームと
する概要図が図２に各々示されている。
【００１８】図１に示すとおり、コア用バーナ１０と２
本のクラッド用バーナ１２ａ、１２ｂとが挿入され、排
気扇１５を有して外界へ繋がっている排気管１４が側面
に配置され、始発ガラス棒２の挿入された蓋１７が載置
された容器１６内で、ガラス微粒子の堆積体１は形成さ
れる。
本のクラッド用バーナ１２ａ、１２ｂとが挿入され、排
気扇１５を有して外界へ繋がっている排気管１４が側面
に配置され、始発ガラス棒２の挿入された蓋１７が載置
された容器１６内で、ガラス微粒子の堆積体１は形成さ
れる。
【００１９】先ず、始発ガラス棒２に繋がったモータ
（不図示）を駆動すると、始発ガラス棒２が回転しなが
ら上昇する。コア用バーナ１０へ酸素ガスと水素ガスと
の混合ガスを供給し、点火すると酸水素火炎１１が発生
する。コア用バーナ１０へガラス原料であるテトラクロ
ロシランと屈折率増加性ドープ材のテトラクロロゲルマ
ニウムとの混合ガスを供給する。火炎１１中でガラス原
料が加水分解されて生成したガラス微粒子を始発ガラス
棒２の先端に堆積させて、コア堆積層６を形成する。始
発ガラス棒２の上昇速度を遅速させつつ、始発ガラス棒
２の上昇速度の平均値と所期上昇速度との差に基づきコ
ア用バーナ１０とクラッド用バーナ１２ａ、１２ｂとへ
のガラス原料の供給量を増減させ、堆積位置を一定にす
る。同時に排気扇１５を駆動して、浮遊ガラス微粒子や
副生する塩化水素ガスを排出する。
（不図示）を駆動すると、始発ガラス棒２が回転しなが
ら上昇する。コア用バーナ１０へ酸素ガスと水素ガスと
の混合ガスを供給し、点火すると酸水素火炎１１が発生
する。コア用バーナ１０へガラス原料であるテトラクロ
ロシランと屈折率増加性ドープ材のテトラクロロゲルマ
ニウムとの混合ガスを供給する。火炎１１中でガラス原
料が加水分解されて生成したガラス微粒子を始発ガラス
棒２の先端に堆積させて、コア堆積層６を形成する。始
発ガラス棒２の上昇速度を遅速させつつ、始発ガラス棒
２の上昇速度の平均値と所期上昇速度との差に基づきコ
ア用バーナ１０とクラッド用バーナ１２ａ、１２ｂとへ
のガラス原料の供給量を増減させ、堆積位置を一定にす
る。同時に排気扇１５を駆動して、浮遊ガラス微粒子や
副生する塩化水素ガスを排出する。
【００２０】クラッド用バーナ１２ａ、１２ｂに供給し
たテトラクロロシランガスが酸水素火炎１３ａ、１３ｂ
中で加水分解され、生成した別なガラス微粒子を、コア
堆積層６の外周に堆積して、クラッド堆積層５を形成す
る。クラッド堆積層５は、堆積しつつあると、波線で示
すように上ほど太くなった鋭く長いコーン部位４となっ
ている。
たテトラクロロシランガスが酸水素火炎１３ａ、１３ｂ
中で加水分解され、生成した別なガラス微粒子を、コア
堆積層６の外周に堆積して、クラッド堆積層５を形成す
る。クラッド堆積層５は、堆積しつつあると、波線で示
すように上ほど太くなった鋭く長いコーン部位４となっ
ている。
【００２１】コア堆積層６が所望の長さになったところ
で、コア用バーナ１０への原料の供給を停止する。堆積
体１には、下部にコーン部位４が残存し、その上に光フ
ァイバへ誘導される定径部が形成されている。さらに回
転しつつ一定速度で堆積体１を上昇させ、堆積体１のコ
ーン部位４へクラッド用バーナ１２ａ、１２ｂから生成
するガラス微粒子を堆積させる。するとコーン部位４の
クラッド堆積層５の形成が継続され、定径部が伸長す
る。クラッド用バーナ１２ａの火炎１３ａが堆積体１か
ら離れたときに、原料の供給を停止する。最上のクラッ
ド用バーナ１２ｂだけは、その火炎１３ｂと堆積体１と
が接触してガラス微粒子の堆積している間に、原料の供
給が停止される。得られた堆積体の下部のコーン部３
は、実線で示すように、鈍くて短くなっている。この堆
積体１を容器１６から取り出す。
で、コア用バーナ１０への原料の供給を停止する。堆積
体１には、下部にコーン部位４が残存し、その上に光フ
ァイバへ誘導される定径部が形成されている。さらに回
転しつつ一定速度で堆積体１を上昇させ、堆積体１のコ
ーン部位４へクラッド用バーナ１２ａ、１２ｂから生成
するガラス微粒子を堆積させる。するとコーン部位４の
クラッド堆積層５の形成が継続され、定径部が伸長す
る。クラッド用バーナ１２ａの火炎１３ａが堆積体１か
ら離れたときに、原料の供給を停止する。最上のクラッ
ド用バーナ１２ｂだけは、その火炎１３ｂと堆積体１と
が接触してガラス微粒子の堆積している間に、原料の供
給が停止される。得られた堆積体の下部のコーン部３
は、実線で示すように、鈍くて短くなっている。この堆
積体１を容器１６から取り出す。
【００２２】次いで図２に示すとおり、外周に加熱炉２
１、下部側面にガス導入管２０、上部側面に外部と繋が
った排気管２３が各々配置され、始発ガラス棒２の挿入
された蓋２５が載置された容器２２内で、この堆積体１
は焼結されて脱水および透明ガラス化が施される。
１、下部側面にガス導入管２０、上部側面に外部と繋が
った排気管２３が各々配置され、始発ガラス棒２の挿入
された蓋２５が載置された容器２２内で、この堆積体１
は焼結されて脱水および透明ガラス化が施される。
【００２３】先ず堆積体１を、容器２２の底まで挿入す
る。堆積体１の上端Ａは、加熱炉２１よりも深く挿入さ
れている。ガス導入管２０から容器２２内へ塩素ガスを
導入し、同時に排気扇２４を駆動して排気管２３から排
気する。始発ガラス棒２をモータ（不図示）により回転
しつつ上昇させると、堆積体１が、上端Ａから順次１２
５０℃の加熱炉２１を通過し、脱水される。堆積体１の
下端Ｂが加熱炉２１を通過した後、堆積体１を再び容器
１の底まで挿入する。ガス導入管２０から容器２２内へ
ヘリウムガスを導入し、始発ガラス棒２を回転しつつ上
昇させると、堆積体１が、上端Ａから順次１６５０℃の
加熱炉２１を通過し、透明ガラス化されて光ファイバプ
リフォームとなる。
る。堆積体１の上端Ａは、加熱炉２１よりも深く挿入さ
れている。ガス導入管２０から容器２２内へ塩素ガスを
導入し、同時に排気扇２４を駆動して排気管２３から排
気する。始発ガラス棒２をモータ（不図示）により回転
しつつ上昇させると、堆積体１が、上端Ａから順次１２
５０℃の加熱炉２１を通過し、脱水される。堆積体１の
下端Ｂが加熱炉２１を通過した後、堆積体１を再び容器
１の底まで挿入する。ガス導入管２０から容器２２内へ
ヘリウムガスを導入し、始発ガラス棒２を回転しつつ上
昇させると、堆積体１が、上端Ａから順次１６５０℃の
加熱炉２１を通過し、透明ガラス化されて光ファイバプ
リフォームとなる。
【００２４】この太径な光ファイバプリフォームは、定
径部が長くさらにひび割れがない。
径部が長くさらにひび割れがない。
【００２５】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように本発明の光
ファイバプリフォームの製造方法によれば、堆積体のコ
ーン部位を短くすることができるため、大きさの制限さ
れた容器内で、定径部が長い太径なプリフォームを歩留
まりよく製造することができる。さらにこのプリフォー
ムは、ひび割れがなく均質である。さらに定径部が長い
ので歩留まりよく高品質な光ファイバに誘導できる。
ファイバプリフォームの製造方法によれば、堆積体のコ
ーン部位を短くすることができるため、大きさの制限さ
れた容器内で、定径部が長い太径なプリフォームを歩留
まりよく製造することができる。さらにこのプリフォー
ムは、ひび割れがなく均質である。さらに定径部が長い
ので歩留まりよく高品質な光ファイバに誘導できる。
【図１】本発明を適用する光ファイバプリフォームの製
造方法によるプリフォームの製造途中を示す図である。
造方法によるプリフォームの製造途中を示す図である。
【図２】本発明を適用する光ファイバプリフォームの製
造方法によるプリフォームの別な製造途中を示す図であ
る。
造方法によるプリフォームの別な製造途中を示す図であ
る。
１は堆積体、２は始発ガラス棒、３・４はコーン、５は
クラッド堆積層、６はコア堆積層、１０はコア用バー
ナ、１１は火炎、１２ａ・・・１２ｂはクラッド用バー
ナ、１３ａ・・・１３ｂは火炎、１４は排気管、１５は排
気扇、１６は堆積用容器、１７は蓋、２０はガス導入
管、２１は加熱炉、２２は焼結用容器、２３は排気管、
２４は排気扇、２５は蓋、Ａは上端、Ｂは下端、θは角
度である。
クラッド堆積層、６はコア堆積層、１０はコア用バー
ナ、１１は火炎、１２ａ・・・１２ｂはクラッド用バー
ナ、１３ａ・・・１３ｂは火炎、１４は排気管、１５は排
気扇、１６は堆積用容器、１７は蓋、２０はガス導入
管、２１は加熱炉、２２は焼結用容器、２３は排気管、
２４は排気扇、２５は蓋、Ａは上端、Ｂは下端、θは角
度である。
Claims (3)
- 【請求項１】 ガラス原料の供給されたコア用バーナ
の火炎から生成するガラス微粒子を回転しつつ上昇する
始発ガラス棒の先端へ堆積させコア堆積層とし、その周
囲に該コア用バーナよりも高く配置され別なガラス原料
の供給された複数のクラッド用バーナの火炎から生成す
るガラス微粒子を堆積させてクラッド堆積層とした堆積
体を形成後、該堆積体が加熱炉を通過して脱水および透
明ガラス化される光ファイバプリフォームの製造方法で
あって、該コア堆積層が所望長に至るまでは一定位置で
各堆積をさせ、該コア堆積層が所望長となった後は該始
発ガラス棒を上昇させつつ、該コア用バーナへの原料の
供給を停止し、該クラッド用バーナの低い順に原料の供
給を停止して該堆積体の形成を終了させることを特徴と
する定径部の長い太径な光ファイバプリフォームを製造
する方法。 - 【請求項２】 該始発ガラス棒の上昇速度を補正する
こと、および所定時間ごとの該始発ガラス棒の上昇速度
の平均値と所期上昇速度との差に基づき各原料の供給量
を補正することにより、前記一定位置での各堆積がなさ
れていることを特徴とする請求項１に記載の光ファイバ
プリフォームの製造方法。 - 【請求項３】 該堆積体が該クラッド用バーナの火炎
から離れた順に原料の供給を停止してゆき、最上のクラ
ッド用バーナはその火炎と該堆積体とが接触している間
に原料の供給を停止されることを特徴とする請求項１に
記載の光ファイバプリフォームの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000102644A JP2001287922A (ja) | 2000-04-04 | 2000-04-04 | 光ファイバプリフォームの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000102644A JP2001287922A (ja) | 2000-04-04 | 2000-04-04 | 光ファイバプリフォームの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001287922A true JP2001287922A (ja) | 2001-10-16 |
Family
ID=18616487
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000102644A Pending JP2001287922A (ja) | 2000-04-04 | 2000-04-04 | 光ファイバプリフォームの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001287922A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010007799A1 (ja) * | 2008-07-18 | 2010-01-21 | 信越化学工業株式会社 | 光ファイバ用母材の製造方法および光ファイバ用母材の製造装置 |
| CN114735926A (zh) * | 2022-03-31 | 2022-07-12 | 江苏亨芯石英科技有限公司 | 一种用于制备半导体掩膜版用高品质石英的装置和方法 |
-
2000
- 2000-04-04 JP JP2000102644A patent/JP2001287922A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010007799A1 (ja) * | 2008-07-18 | 2010-01-21 | 信越化学工業株式会社 | 光ファイバ用母材の製造方法および光ファイバ用母材の製造装置 |
| JP2010042983A (ja) * | 2008-07-18 | 2010-02-25 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | 光ファイバ用母材の製造方法および光ファイバ用母材の製造装置 |
| CN102099307A (zh) * | 2008-07-18 | 2011-06-15 | 信越化学工业株式会社 | 光纤用母材的制造方法及光纤用母材的制造装置 |
| CN102099307B (zh) * | 2008-07-18 | 2013-06-05 | 信越化学工业株式会社 | 光纤用母材的制造方法及光纤用母材的制造装置 |
| US10501361B2 (en) | 2008-07-18 | 2019-12-10 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Optical fiber preform manufacturing method and optical fiber preform manufacturing device |
| CN114735926A (zh) * | 2022-03-31 | 2022-07-12 | 江苏亨芯石英科技有限公司 | 一种用于制备半导体掩膜版用高品质石英的装置和方法 |
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