JPH04362035A - 高純度多孔質石英母材の加熱透明化装置 - Google Patents
高純度多孔質石英母材の加熱透明化装置Info
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- JPH04362035A JPH04362035A JP13901091A JP13901091A JPH04362035A JP H04362035 A JPH04362035 A JP H04362035A JP 13901091 A JP13901091 A JP 13901091A JP 13901091 A JP13901091 A JP 13901091A JP H04362035 A JPH04362035 A JP H04362035A
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
- C03B37/0146—Furnaces therefor, e.g. muffle tubes, furnace linings
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高純度多孔質石英母材
の加熱透明化装置に関し、特に光ファイバ用プリフォー
ムの製造プロセスに好適に用いられるものである。
の加熱透明化装置に関し、特に光ファイバ用プリフォー
ムの製造プロセスに好適に用いられるものである。
【０００２】
【従来の技術】ＶＡＤ法やＯＶＤ法のような気相合成法
で合成された高純度多孔質母材又はガラスコア材と該ガ
ラスコア材の周囲に気相合成法で合成された石英微粒子
層との複合体である高純度多孔質母材は、一般に、炉芯
管を有する加熱炉内に吊下げられ、約１５００〜１６０
０℃に加熱して透明化される。そして、これにより例え
ば光ファイバ母材が得られ、この光ファイバ母材を線引
きすることによって光ファイバが得られる。
で合成された高純度多孔質母材又はガラスコア材と該ガ
ラスコア材の周囲に気相合成法で合成された石英微粒子
層との複合体である高純度多孔質母材は、一般に、炉芯
管を有する加熱炉内に吊下げられ、約１５００〜１６０
０℃に加熱して透明化される。そして、これにより例え
ば光ファイバ母材が得られ、この光ファイバ母材を線引
きすることによって光ファイバが得られる。
【０００３】上述したように高純度多孔質母材を透明化
する加熱透明化装置は、例えば実開昭６４−１４１７４
１号公報に記載されており、その一例を図４を参照しな
がら詳細に説明する。
する加熱透明化装置は、例えば実開昭６４−１４１７４
１号公報に記載されており、その一例を図４を参照しな
がら詳細に説明する。
【０００４】図４に示すように、炉芯管１はヒータ２及
び断熱材３に囲まれた状態で炉体４に保持されている。 炉芯管１内には多孔質母材５が母材吊下げ用ロッド６を
介して吊下げられており炉芯管１の上側開口１ａは上蓋
７により覆われている。一方、炉体４の上側には、炉芯
管１の上側開口１ａに対応する開口４ａが形成されてお
り、この開口４ａを介して炉芯管１と連通する前室８が
炉体４上に設けられている。この前室８は母材を出し入
れするための扉９を有するものであり、該前室８と炉芯
管１との間には開口４ａを開閉するためのゲート弁１０
が設けられている。
び断熱材３に囲まれた状態で炉体４に保持されている。 炉芯管１内には多孔質母材５が母材吊下げ用ロッド６を
介して吊下げられており炉芯管１の上側開口１ａは上蓋
７により覆われている。一方、炉体４の上側には、炉芯
管１の上側開口１ａに対応する開口４ａが形成されてお
り、この開口４ａを介して炉芯管１と連通する前室８が
炉体４上に設けられている。この前室８は母材を出し入
れするための扉９を有するものであり、該前室８と炉芯
管１との間には開口４ａを開閉するためのゲート弁１０
が設けられている。
【０００５】ここで、炉芯管１は高純度黒鉛又はコーテ
ィングを施した高純度黒鉛製であり、上部１１，中部１
２，下部１３を組立てることにより構成されている。ま
た、多孔質母材５は、母材吊下げ用ロッド６の先端に固
着されてた種棒１４と、この種棒１４の先端に固着され
たガラスコア材１５と、このガラスコア材１５の周囲に
設けられた多孔質ガラス層１６とからなる。なお、図中
１７は前室８に連通される前室排気ポンプ、１８は炉体
排気ポンプ、１９は炉体常圧排気口、２０は炉体ガス導
入口、２１は炉芯管ガス導入口である。
ィングを施した高純度黒鉛製であり、上部１１，中部１
２，下部１３を組立てることにより構成されている。ま
た、多孔質母材５は、母材吊下げ用ロッド６の先端に固
着されてた種棒１４と、この種棒１４の先端に固着され
たガラスコア材１５と、このガラスコア材１５の周囲に
設けられた多孔質ガラス層１６とからなる。なお、図中
１７は前室８に連通される前室排気ポンプ、１８は炉体
排気ポンプ、１９は炉体常圧排気口、２０は炉体ガス導
入口、２１は炉芯管ガス導入口である。
【０００６】このような装置で透明ガラス母材を得るに
は、まず、炉芯管１を５００〜１０００℃に加熱し、こ
の炉芯管１内に前室８を介して多孔質母材５を挿入する
。そして、この多孔質母材５を回転させながら炉体４内
の温度コントロールをし、炉芯管１内を１５００〜１６
００℃まで加熱して多孔質母材１を透明化する。その後
、炉体４内を冷却して適当な温度まで降温したところで
透明化した母材を前室８を介して取り出するようにする
。
は、まず、炉芯管１を５００〜１０００℃に加熱し、こ
の炉芯管１内に前室８を介して多孔質母材５を挿入する
。そして、この多孔質母材５を回転させながら炉体４内
の温度コントロールをし、炉芯管１内を１５００〜１６
００℃まで加熱して多孔質母材１を透明化する。その後
、炉体４内を冷却して適当な温度まで降温したところで
透明化した母材を前室８を介して取り出するようにする
。
【０００７】なお、以上の装置は炉体１内を減圧にする
、いわゆる真空炉であるが、同様に常圧炉，加圧炉もあ
る。
、いわゆる真空炉であるが、同様に常圧炉，加圧炉もあ
る。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】図４に示すような装置
では、一般に種棒１４として石英ロッドを用いる。これ
は、不純物をきらう高純度多孔質ガラス層に用いるもの
として同材料であるのが最適だからである。しかし、か
かる種棒１４が例えば１０ｋｇを超えるような多孔質母
材５を高温下で支えるのは困難である。すなわち、種棒
１４が高温により軟化して多孔質母材５の重量により伸
ばされてしまう問題がある。
では、一般に種棒１４として石英ロッドを用いる。これ
は、不純物をきらう高純度多孔質ガラス層に用いるもの
として同材料であるのが最適だからである。しかし、か
かる種棒１４が例えば１０ｋｇを超えるような多孔質母
材５を高温下で支えるのは困難である。すなわち、種棒
１４が高温により軟化して多孔質母材５の重量により伸
ばされてしまう問題がある。
【０００９】そこで、従来においては、炉体４内のヒー
タ２の有効発熱長を変える又は炉芯管１内の多孔質母材
５の上下方向の位置を変える、というように多孔質母材
５と加熱範囲との相対的位置を変えることにより、種棒
１４が伸びず且つ多孔質母材５には透明化のし残しがな
いという条件を設定するようにしているが、十分に対応
することはできない。
タ２の有効発熱長を変える又は炉芯管１内の多孔質母材
５の上下方向の位置を変える、というように多孔質母材
５と加熱範囲との相対的位置を変えることにより、種棒
１４が伸びず且つ多孔質母材５には透明化のし残しがな
いという条件を設定するようにしているが、十分に対応
することはできない。
【００１０】本発明はこのような事情に鑑み、種棒の変
形を防止すると共に多孔質母材の透明化を完全に行うこ
とができる高純度多孔質石英母材の加熱透明化装置を提
供することを目的とする。
形を防止すると共に多孔質母材の透明化を完全に行うこ
とができる高純度多孔質石英母材の加熱透明化装置を提
供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成する本発
明の高純度多孔質母材の加熱透明化装置は、内方に高純
度多孔質石英母材を保持する炉芯管と、この炉芯管を囲
むヒータを保持する炉体とを有し、上記高純度多孔質石
英母材を加熱して透明ガラス母材を得る高純度多孔質石
英母材の加熱透明化装置において、上記炉芯管の少なく
とも内面を形成する材質が軸方向に変化して該内面の幅
射率が軸方向に変化していることを特徴とする。
明の高純度多孔質母材の加熱透明化装置は、内方に高純
度多孔質石英母材を保持する炉芯管と、この炉芯管を囲
むヒータを保持する炉体とを有し、上記高純度多孔質石
英母材を加熱して透明ガラス母材を得る高純度多孔質石
英母材の加熱透明化装置において、上記炉芯管の少なく
とも内面を形成する材質が軸方向に変化して該内面の幅
射率が軸方向に変化していることを特徴とする。
【００１２】
【作用】上記構成の装置では、炉芯管の内面の輻射率が
軸方向に変化しているので、該炉芯管内の温度分布が変
化する。したがって輻射率の異なる材質の炉芯管内面へ
の配置を適宜設定することにより、炉芯管内の温度分布
を設定することができる。例えば、多孔質ガラス層から
露出した種棒に対応する範囲の内面を低輻射率とし、他
の範囲の内面を高輻射率とすることによ、露出した種棒
の温度のみを相対的に低温とすることができる。
軸方向に変化しているので、該炉芯管内の温度分布が変
化する。したがって輻射率の異なる材質の炉芯管内面へ
の配置を適宜設定することにより、炉芯管内の温度分布
を設定することができる。例えば、多孔質ガラス層から
露出した種棒に対応する範囲の内面を低輻射率とし、他
の範囲の内面を高輻射率とすることによ、露出した種棒
の温度のみを相対的に低温とすることができる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明を好適な実施例に基づいて説明
する。
する。
【００１４】図１に一定例に係る高純度多孔質石英母材
の加熱透明化装置を示す。本装置は炉芯管以外は図４に
示す装置と同じであるので、同一部材に同一符号を付し
て重複する説明は省略する。
の加熱透明化装置を示す。本装置は炉芯管以外は図４に
示す装置と同じであるので、同一部材に同一符号を付し
て重複する説明は省略する。
【００１５】本実施例の炉芯管３０は、最上部３１，上
部３２，中部３３及び下部３４からなり、最上部３１は
種棒１４の多孔質ガラス層１６から露出している部分に
対応する範囲である。そして、最上部３１は輻射率が低
い低輻射率材、他の上部３２，中部３３及び下部３４は
輻射率が高い高輻射率材からなる。
部３２，中部３３及び下部３４からなり、最上部３１は
種棒１４の多孔質ガラス層１６から露出している部分に
対応する範囲である。そして、最上部３１は輻射率が低
い低輻射率材、他の上部３２，中部３３及び下部３４は
輻射率が高い高輻射率材からなる。
【００１６】輻射率は表面の平滑さによっても影響を受
けるが材料による影響が大きいので、低輻射率材と高輻
射率材とするには少なくともその表面の材質を変えれば
よい。一方、炉芯管材料としては石英ガラス，カーボン
，コーティングを施したカーボン等が考えられるが、石
英製の炉芯管では大型になると熱変化を起こし易いので
、本発明にはカーボン系の材質が最適である。
けるが材料による影響が大きいので、低輻射率材と高輻
射率材とするには少なくともその表面の材質を変えれば
よい。一方、炉芯管材料としては石英ガラス，カーボン
，コーティングを施したカーボン等が考えられるが、石
英製の炉芯管では大型になると熱変化を起こし易いので
、本発明にはカーボン系の材質が最適である。
【００１７】したがって、本実施例の低輻射率材として
は、好適には熱分解黒鉛材又は熱分解黒鉛を高純度黒鉛
上にコーティングしたものを挙げることができる。また
、高輻射率材としては、好適には高純度黒鉛材若しくは
ＳｉＣをコーティングした高純度黒鉛材、又はガラス状
黒鉛材若しくはガラス状黒鉛材を高純度黒鉛上にコーテ
ィングしたものを挙げることができる。ここで、石英母
材の透明化温度である１３００〜１６５０℃の範囲で上
記各材料の輻射率を考えると、熱分解黒鉛の輻射率とは
０．６０〜０．６５位である。これに対し、高純度黒鉛
若しくはＳｉＣコーティングの高純度黒鉛の輻射率εは
０．９５位であり、また、ガラス状黒鉛の輻射率はεは
０．８５〜０．９位である。
は、好適には熱分解黒鉛材又は熱分解黒鉛を高純度黒鉛
上にコーティングしたものを挙げることができる。また
、高輻射率材としては、好適には高純度黒鉛材若しくは
ＳｉＣをコーティングした高純度黒鉛材、又はガラス状
黒鉛材若しくはガラス状黒鉛材を高純度黒鉛上にコーテ
ィングしたものを挙げることができる。ここで、石英母
材の透明化温度である１３００〜１６５０℃の範囲で上
記各材料の輻射率を考えると、熱分解黒鉛の輻射率とは
０．６０〜０．６５位である。これに対し、高純度黒鉛
若しくはＳｉＣコーティングの高純度黒鉛の輻射率εは
０．９５位であり、また、ガラス状黒鉛の輻射率はεは
０．８５〜０．９位である。
【００１８】図２には他の実施例に係る高純度多孔質石
英母材の加熱透明化装置の炉芯管を示す。同図に示すよ
うに、炉芯管４０は上部４１，中部４２及び下部４３か
らなり、上部４１の内側で多孔質ガラス層１６から露出
する種棒１４に対応する部分に内筒４４を有するもので
ある。そして、上部４１，中部４２，下部４３は高輻射
率材からなり、内筒４４が低輻射率材からなる。なお、
高輻射率材及び低輻射率材は上述した実施例と同様なも
のである。
英母材の加熱透明化装置の炉芯管を示す。同図に示すよ
うに、炉芯管４０は上部４１，中部４２及び下部４３か
らなり、上部４１の内側で多孔質ガラス層１６から露出
する種棒１４に対応する部分に内筒４４を有するもので
ある。そして、上部４１，中部４２，下部４３は高輻射
率材からなり、内筒４４が低輻射率材からなる。なお、
高輻射率材及び低輻射率材は上述した実施例と同様なも
のである。
【００１９】以上説明した各実施例の装置で多孔質ガラ
ス母材５の透明化を行うと、多孔質ガラス層１６から露
出する種棒１４の温度が他の部分より低くなるので、種
棒１４の変形を防止しつつ多孔質ガラス層１６の透明化
を全体的に確実に行うことができる。
ス母材５の透明化を行うと、多孔質ガラス層１６から露
出する種棒１４の温度が他の部分より低くなるので、種
棒１４の変形を防止しつつ多孔質ガラス層１６の透明化
を全体的に確実に行うことができる。
【００２０】ここで炉芯管３０，４０の内表面積をＡ１
、その温度をＴ１ 均一、種棒１４の外表面積をＡ２
、その温度をＴ２ 均一とし、種棒１４と炉芯管２０
，３０とが同心円柱をなしていると近似すると、炉芯管
３０，４０から種棒１４へ輻射率により伝えられる伝熱
量Ｑは次記数１で表される。なお、数１中、ε１ は炉
芯管内表面の輻射率、ε２ は種棒表面の輻射率、σは
ステファンボルツマン定数である。
、その温度をＴ１ 均一、種棒１４の外表面積をＡ２
、その温度をＴ２ 均一とし、種棒１４と炉芯管２０
，３０とが同心円柱をなしていると近似すると、炉芯管
３０，４０から種棒１４へ輻射率により伝えられる伝熱
量Ｑは次記数１で表される。なお、数１中、ε１ は炉
芯管内表面の輻射率、ε２ は種棒表面の輻射率、σは
ステファンボルツマン定数である。
【００２１】
【数１】
【００２２】数１からも明らかなように、炉芯管の内面
の輻射率を小さくすれば伝熱量Ｑが減少し、その部分の
温度が低下するようになる。なお、このような効果は、
上述した実施例のような真空炉の他、常圧炉や加圧炉で
も同等である。常圧炉や加圧炉ではガスによる熱伝導要
因が生じるが、石英の透明化に用いる温度、例えば１５
００〜１６００℃では輻射による熱伝達が支配的となる
からである。また、輻射については表面の輻射率だけが
問題となるので、図１と図２の装置の効果はほぼ同一で
ある。
の輻射率を小さくすれば伝熱量Ｑが減少し、その部分の
温度が低下するようになる。なお、このような効果は、
上述した実施例のような真空炉の他、常圧炉や加圧炉で
も同等である。常圧炉や加圧炉ではガスによる熱伝導要
因が生じるが、石英の透明化に用いる温度、例えば１５
００〜１６００℃では輻射による熱伝達が支配的となる
からである。また、輻射については表面の輻射率だけが
問題となるので、図１と図２の装置の効果はほぼ同一で
ある。
【００２３】図２に示す炉芯管４０を有する装置を用い
、Ｗ−Ｒｅ５−２６熱電対で炉芯管４０内の中心軸に沿
って温度分布を測定した。この結果を図３の実線で示す
。ここで、上部４１，中部４２及び下部４３並びに上蓋
７として高純度黒鉛を用い、内筒４４として熱分解黒鉛
を高純度黒鉛上にコーティングしたものを用いた。また
、比較のため、内筒４４を除いた装置で同様に温度分布
を測定した結果を図３の破線で示す。
、Ｗ−Ｒｅ５−２６熱電対で炉芯管４０内の中心軸に沿
って温度分布を測定した。この結果を図３の実線で示す
。ここで、上部４１，中部４２及び下部４３並びに上蓋
７として高純度黒鉛を用い、内筒４４として熱分解黒鉛
を高純度黒鉛上にコーティングしたものを用いた。また
、比較のため、内筒４４を除いた装置で同様に温度分布
を測定した結果を図３の破線で示す。
【００２４】図３に示す結果より、実施例の装置では種
棒の部分のみ低温になっているのが判る。なお、図３に
示すのは熱電対の耐熱性のため、炉芯管中心部の温度が
１４００℃のときの測定結果であるが、実際の透明化温
度の１５００〜１６００℃でもほぼ同様な結果が得られ
ると考えられる。
棒の部分のみ低温になっているのが判る。なお、図３に
示すのは熱電対の耐熱性のため、炉芯管中心部の温度が
１４００℃のときの測定結果であるが、実際の透明化温
度の１５００〜１６００℃でもほぼ同様な結果が得られ
ると考えられる。
【００２５】図２に示す炉芯管４０を有する装置により
、外径２００ｍｍ，長さ８００ｍｍ，重量１３ｋｇの多
孔質母材５を直径２２ｍｍの種棒６を用いて透明化を実
施すしたところが、良好に透明化できた。比較のため、
内筒４４を外したもので同様な多孔質母材の透明化を実
施したところ、母材は完全に透明化されたが、種棒が引
き伸ばされてしまい、母材が炉芯管内に落下してしまっ
た。また、落下した母材は円柱状から変形してしまって
いるため、光ファイバ母材として使用できないものであ
り、さらに、この母材は炉を完全に降温しなければ取り
出せないものでった。
、外径２００ｍｍ，長さ８００ｍｍ，重量１３ｋｇの多
孔質母材５を直径２２ｍｍの種棒６を用いて透明化を実
施すしたところが、良好に透明化できた。比較のため、
内筒４４を外したもので同様な多孔質母材の透明化を実
施したところ、母材は完全に透明化されたが、種棒が引
き伸ばされてしまい、母材が炉芯管内に落下してしまっ
た。また、落下した母材は円柱状から変形してしまって
いるため、光ファイバ母材として使用できないものであ
り、さらに、この母材は炉を完全に降温しなければ取り
出せないものでった。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の高純度多
孔質石英母材の加熱透明化装置は、炉芯管の内面の軸方
向の一定範囲の輻射率を変化させているので、炉芯管内
の温度分布を調整できる。したがって、特に高純度多孔
質母材の種棒の部分のみを低温とすることにより、種棒
の変形を防止しつつ高純度多孔質母材の透明化を完全に
実現でき、例えば母材の重量が１０ｋｇを超えるような
大型母材の透明化に用いて特に有効である。
孔質石英母材の加熱透明化装置は、炉芯管の内面の軸方
向の一定範囲の輻射率を変化させているので、炉芯管内
の温度分布を調整できる。したがって、特に高純度多孔
質母材の種棒の部分のみを低温とすることにより、種棒
の変形を防止しつつ高純度多孔質母材の透明化を完全に
実現でき、例えば母材の重量が１０ｋｇを超えるような
大型母材の透明化に用いて特に有効である。
【図１】一実施例に係る高純度多孔質石英母材の加熱透
明化装置の断面図である。
明化装置の断面図である。
【図２】他の実施例の炉芯管を示す断面図である。
【図３】炉芯管内の温度分布の測定結果を示す説明図で
ある。
ある。
【図４】従来技術に係る高純度多孔質石英母材の加熱透
明化装置を示す断面図である。
明化装置を示す断面図である。
１ 炉芯管
２ ヒータ
３ 断熱材
４ 炉体
５ 多孔質母材
６ 母材吊下げ用ロッド
７ 上蓋
８ 前室
９ 扉
１０ ゲート
１１ 上部
１２ 中部
１３ 下部
１４ 種棒
１５ ガラスコア材
１６ 多孔質ガラス層
１７ 前室排気ポンプ
１８ 炉体排気ポンプ
１９ 炉体常圧排気口
２０ 炉体ガス導入口
２１ 炉芯管ガス導入口
３０，４０ 炉芯管
３１ 最上部（低輻射率材）
３２，４１ 上部（高輻射率材）
３３，４２ 中部（高輻射率材）
３４，４３ 下部（高輻射率材）
４４ 内筒（低輻射率材）
Claims (4)
- 【請求項１】 内方に高純度多孔質石英母材を保持す
る炉芯管と、この炉芯管を囲むヒータを保持する炉体と
を有し、上記高純度多孔質石英母材を加熱して透明ガラ
ス母材を得る高純度多孔質石英母材の加熱透明化装置に
おいて、上記炉芯管の少なくとも内面を形成する材質が
軸方向に変化して該内面の幅射率が軸方向に変化してい
ることを特徴とする高純度多孔質石英母材の加熱透明化
装置。 - 【請求項２】 請求項１において、炉芯管がその軸方
向の一定範囲に本体とは少なくとも内面の輻射率が異な
る内筒を有するものであることを特徴とする高純度多孔
質石英母材の加熱透明化装置。 - 【請求項３】 請求項１又は２において、炉芯管がカ
ーボン又はコーティングを施したカーボンであることを
特徴とする高純度多孔質石英母材の加熱透明化装置。 - 【請求項４】 請求項３において、高輻射率を有する
部分に高純度黒鉛、ＳｉＣをコーティングした高純度黒
鉛、ガラス状黒鉛又はガラス状黒鉛をコーティングした
高純度黒鉛を用い、低輻射率を有する部分に熱分解性黒
鉛又は熱分解性黒鉛をコーティングした高純度黒鉛を用
いることを特徴とする高純度多孔質石英母材の加熱透明
化装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13901091A JPH04362035A (ja) | 1991-06-11 | 1991-06-11 | 高純度多孔質石英母材の加熱透明化装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13901091A JPH04362035A (ja) | 1991-06-11 | 1991-06-11 | 高純度多孔質石英母材の加熱透明化装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04362035A true JPH04362035A (ja) | 1992-12-15 |
Family
ID=15235374
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13901091A Withdrawn JPH04362035A (ja) | 1991-06-11 | 1991-06-11 | 高純度多孔質石英母材の加熱透明化装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04362035A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0628521A1 (en) * | 1993-06-08 | 1994-12-14 | Sumitomo Electric Industries, Ltd | Apparatus for vitrifying soot preform for optical fiber |
| JP2015017013A (ja) * | 2013-07-10 | 2015-01-29 | 住友電気工業株式会社 | ガラス母材の製造装置および製造方法 |
-
1991
- 1991-06-11 JP JP13901091A patent/JPH04362035A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0628521A1 (en) * | 1993-06-08 | 1994-12-14 | Sumitomo Electric Industries, Ltd | Apparatus for vitrifying soot preform for optical fiber |
| US5513983A (en) * | 1993-06-08 | 1996-05-07 | Sumitomo Electric Industries, Inc. | Apparatus for vitrifying soot preform for optical fiber |
| CN1051292C (zh) * | 1993-06-08 | 2000-04-12 | 住友电气工业株式会社 | 用于光纤粉尘预件玻璃化的装置 |
| JP2015017013A (ja) * | 2013-07-10 | 2015-01-29 | 住友電気工業株式会社 | ガラス母材の製造装置および製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980903 |