JPH0332500Y2 - - Google Patents
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- JPH0332500Y2 JPH0332500Y2 JP1986125521U JP12552186U JPH0332500Y2 JP H0332500 Y2 JPH0332500 Y2 JP H0332500Y2 JP 1986125521 U JP1986125521 U JP 1986125521U JP 12552186 U JP12552186 U JP 12552186U JP H0332500 Y2 JPH0332500 Y2 JP H0332500Y2
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C03B37/01406—Deposition reactors therefor
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- General Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
- Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
この考案は、光フアイバ母材成長用反応容器の
改良に関する。
改良に関する。
〈従来の技術〉
石英系光フアイバ母材の製造方法として、従来
からVAD法、外付け法およびMCVD法などの方
法が知られている。
からVAD法、外付け法およびMCVD法などの方
法が知られている。
このうちVAD法はSiCl4やGeCl4などの光フア
イバ原料を反応容器中の酸水素炎が燃焼している
バーナに送り込み、酸水素炎によつて生じた水蒸
気と加水分解反応を起させてSiO2やGeO2などの
ガラス微粒子を生成し、これを軸方向に成長させ
て、光フアイバ母材を製造させる方法である。
イバ原料を反応容器中の酸水素炎が燃焼している
バーナに送り込み、酸水素炎によつて生じた水蒸
気と加水分解反応を起させてSiO2やGeO2などの
ガラス微粒子を生成し、これを軸方向に成長させ
て、光フアイバ母材を製造させる方法である。
また外付け法においても、同様に反応容器中の
バーナで火焔加水分解を起こさせて光フアイバ母
材を製造するものである。
バーナで火焔加水分解を起こさせて光フアイバ母
材を製造するものである。
ここでVAD法における加水分解反応を化学反
応式で示すと、 2H2＋O2→2H2O SiCl4＋2H2O→SiO2＋4HCl GeCl4＋2H2O→GeO2＋4HCl (1) で表される。
応式で示すと、 2H2＋O2→2H2O SiCl4＋2H2O→SiO2＋4HCl GeCl4＋2H2O→GeO2＋4HCl (1) で表される。
ところが、上述のように火焔加水分解反応の副
生成物としてHClが発生するため、従来から使用
されている光フアイバ母材成長用反応容器の材質
は、主としてパイレツクスガラスを使用してい
た。このようなVAD法による光フアイバ母材成
長用反応容器の例を第３図に示す。
生成物としてHClが発生するため、従来から使用
されている光フアイバ母材成長用反応容器の材質
は、主としてパイレツクスガラスを使用してい
た。このようなVAD法による光フアイバ母材成
長用反応容器の例を第３図に示す。
第３図において、SiCl4やGeCl4などの原料ガス
は、He，O2ガスなどとともにバーナー５に送り
こまれる。バーナーに送りこまれた原料ガスは、
酸水素炎中６で式(1)に示した反応を起こし、
SiO2やGeO2などのガラス微粒子を生成する。そ
して生成するガラス微粒子は、回転しながら軸方
向に引上げられる支持棒８の周囲に付着させる
と、多孔質の光フアイバ母材７となる。これらの
反応は円筒に近いパイレツクスガラスで作られた
反応容器１０で囲われている。反応容器全体は排
気管９を通して排気系で、反応容器内圧を大気圧
より数mmH2O低くなるように排気していた。
は、He，O2ガスなどとともにバーナー５に送り
こまれる。バーナーに送りこまれた原料ガスは、
酸水素炎中６で式(1)に示した反応を起こし、
SiO2やGeO2などのガラス微粒子を生成する。そ
して生成するガラス微粒子は、回転しながら軸方
向に引上げられる支持棒８の周囲に付着させる
と、多孔質の光フアイバ母材７となる。これらの
反応は円筒に近いパイレツクスガラスで作られた
反応容器１０で囲われている。反応容器全体は排
気管９を通して排気系で、反応容器内圧を大気圧
より数mmH2O低くなるように排気していた。
〈考案が解決しようとする問題点〉
ところが、上述した従来の光フアイバ母材成長
用反応容器の材質は、パイレツクスガラスでつく
られてきたが、パイレツクスガラス製の光フアイ
バ母材成長用反応容器は、 酸水素炎の熱歪により割れやすい。
用反応容器の材質は、パイレツクスガラスでつく
られてきたが、パイレツクスガラス製の光フアイ
バ母材成長用反応容器は、 酸水素炎の熱歪により割れやすい。
大型のものが作りにくい。
自由形状で強度のある容器を作ることが難し
く、光フアイバ母材製造に制約がある。
く、光フアイバ母材製造に制約がある。
透明で冷却の難しいパイレツクスマツフルで
は輻射熱や熱伝達により反応容器外側の精密位
置決め装置やセンサへの影響が避けられず、均
一な光フアイバ母材成長が難しい。
は輻射熱や熱伝達により反応容器外側の精密位
置決め装置やセンサへの影響が避けられず、均
一な光フアイバ母材成長が難しい。
などの問題がある。
したがつて、光フアイバ母材成長用反応容器の
材質として金属製のものが好ましい。しかし、酸
水素炎の熱に耐えること、発生する塩化水素ガス
に対する耐食性、更に金属にするとパイレツクス
ガラスと比較し放熱量が多い。すなわち反応容器
内面の温度低下となり、発生する塩化水素ガスが
凝縮するので塩化水素水溶液に対する耐食性も必
要である。さらに反応容器の掃除時、凝縮した塩
化水素に対する安全対策が必要となる。また反応
容器外側の放熱が多いので、パイレツクスガラス
による問題と同様に、輻射熱や熱伝達により反応
容器外側の精密位置決め装置やセンサへの影響が
避けられず、均一な光フアイバ母材の成長が難か
しい。
材質として金属製のものが好ましい。しかし、酸
水素炎の熱に耐えること、発生する塩化水素ガス
に対する耐食性、更に金属にするとパイレツクス
ガラスと比較し放熱量が多い。すなわち反応容器
内面の温度低下となり、発生する塩化水素ガスが
凝縮するので塩化水素水溶液に対する耐食性も必
要である。さらに反応容器の掃除時、凝縮した塩
化水素に対する安全対策が必要となる。また反応
容器外側の放熱が多いので、パイレツクスガラス
による問題と同様に、輻射熱や熱伝達により反応
容器外側の精密位置決め装置やセンサへの影響が
避けられず、均一な光フアイバ母材の成長が難か
しい。
そこで、この考案は上述した従来の光フアイバ
母材成長用反応容器における難点を除去するため
になされたものであつて、反応容器の材質として
金属を使用すると共に、酸水素炎による熱歪によ
つても割れ難く、自由形状で強度の高い容器を容
易に作製でき、さらに、輻射熱や熱伝達により反
応容器外側の精密位置決め装置やセンサに影響を
及ぼさない光フアイバ母材成長用反応容器を提供
しようとするものである。
母材成長用反応容器における難点を除去するため
になされたものであつて、反応容器の材質として
金属を使用すると共に、酸水素炎による熱歪によ
つても割れ難く、自由形状で強度の高い容器を容
易に作製でき、さらに、輻射熱や熱伝達により反
応容器外側の精密位置決め装置やセンサに影響を
及ぼさない光フアイバ母材成長用反応容器を提供
しようとするものである。
〈問題点を解決するための手段〉
上述の目的を達成するためのこの考案の光フア
イバ母材成長用反応容器は、反応容器の壁面を外
壁と内壁とからなる二重構造にするとともに、内
壁を耐酸性金属材料で構成し、外壁には冷却機能
を具備せしめかつ内壁および外壁間間隙を断熱層
にしたことを特徴とするものである。
イバ母材成長用反応容器は、反応容器の壁面を外
壁と内壁とからなる二重構造にするとともに、内
壁を耐酸性金属材料で構成し、外壁には冷却機能
を具備せしめかつ内壁および外壁間間隙を断熱層
にしたことを特徴とするものである。
〈作用〉
以上のように、反応容器を二重構造にし、内壁
を耐酸性の強い金属又は合金で作製するから耐食
性は十分である。また他の金属を利用し、ニツケ
ルめつき等を施すよりは加工性、コスト面で有利
である。また、内壁と外壁間を断熱層を設け、外
壁に冷却機能を与えているから、反応容器外側に
熱を及ぼすこともない。
を耐酸性の強い金属又は合金で作製するから耐食
性は十分である。また他の金属を利用し、ニツケ
ルめつき等を施すよりは加工性、コスト面で有利
である。また、内壁と外壁間を断熱層を設け、外
壁に冷却機能を与えているから、反応容器外側に
熱を及ぼすこともない。
〈実施例〉
つぎに、この考案の代表的な実施例について説
明する。
明する。
第１図に実施例の光フアイバ母材成長用反応容
器の概略構成を示し、第２図は第１図の×部の拡
大図を示す。第１図、第２図において、SiCl4や
GeCl4などの原料ガスは、H2，O2，Arなどとと
もにバーナー５に送りこまれる。酸水素炎６中で
式(1)に示した加水分解を起こしSiO2やGeO2など
のガラス微粒子を生成する。このガラス微粒子は
回転しながら引上げられる支持棒８の周囲に付着
し多孔質の光フアイバ母材７となる。反応容器内
部は排気管９により廃ガス処理装置に排出され
る。
器の概略構成を示し、第２図は第１図の×部の拡
大図を示す。第１図、第２図において、SiCl4や
GeCl4などの原料ガスは、H2，O2，Arなどとと
もにバーナー５に送りこまれる。酸水素炎６中で
式(1)に示した加水分解を起こしSiO2やGeO2など
のガラス微粒子を生成する。このガラス微粒子は
回転しながら引上げられる支持棒８の周囲に付着
し多孔質の光フアイバ母材７となる。反応容器内
部は排気管９により廃ガス処理装置に排出され
る。
光フアイバ母材７は、反応容器内で軸方向に製
造される。その反応容器内壁１はニツケル又はニ
ツケル等の合金であり、外部への放熱を防ぐため
断熱層２が取付けてある。また、反応容器外側に
設置されている精密位置決め装置をセンサへの影
響を防ぐため反応容器外壁３は水冷パイプ４で冷
却されている。さらに断熱材２は反応容器内部の
放熱を防ぐだけでなく、外部からの冷却の影響も
防いでいる。
造される。その反応容器内壁１はニツケル又はニ
ツケル等の合金であり、外部への放熱を防ぐため
断熱層２が取付けてある。また、反応容器外側に
設置されている精密位置決め装置をセンサへの影
響を防ぐため反応容器外壁３は水冷パイプ４で冷
却されている。さらに断熱材２は反応容器内部の
放熱を防ぐだけでなく、外部からの冷却の影響も
防いでいる。
この考案の反応容器を用いて実際に光フアイバ
母材を２ケ月間製造したところ、従来の問題点を
全て解決することができ、高品質の光フアイバが
安定に製造できることが認められた。
母材を２ケ月間製造したところ、従来の問題点を
全て解決することができ、高品質の光フアイバが
安定に製造できることが認められた。
〈考案の効果〉
以上詳述したように、この考案の光フアイバ母
材反応容器は、従来のパイレツクスガラス製反応
容器と比較して割れる心配がない。大型の反
応容器が製造しやすい。自由形状のものが製造
できる。反応容器外側の精密位置決め装置やセ
ンサへの熱の影響がない。の利点があり、また他
の金属製反応容器と比較すると、 ○イ 十分に酸水素炎の発生熱に耐える。
材反応容器は、従来のパイレツクスガラス製反応
容器と比較して割れる心配がない。大型の反
応容器が製造しやすい。自由形状のものが製造
できる。反応容器外側の精密位置決め装置やセ
ンサへの熱の影響がない。の利点があり、また他
の金属製反応容器と比較すると、 ○イ 十分に酸水素炎の発生熱に耐える。
○ロ 発生する塩化水素に対して耐食性を有する。
○ハ 加工が容易であり、コストが低い。
○ニ 内壁で塩化水素ガスが凝縮しない。
などの特徴が認められ、この考案の反応容器が非
常にすぐれていることがわかつた。
常にすぐれていることがわかつた。
第１図は実施例の光フアイバ母材成長用反応容
器の概略構成図、第２図は第１図のＸ部分の拡大
図、第３図はVAD法に使用する光フアイバ母材
成長用反応容器の概略構成図である。
器の概略構成図、第２図は第１図のＸ部分の拡大
図、第３図はVAD法に使用する光フアイバ母材
成長用反応容器の概略構成図である。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 光フアイバ母材成長用反応容器の壁面を外壁
と内壁とからなる二重構造にするとともに、内
壁を耐酸性金属材料で構成し、外壁には冷却機
能を具備せしめかつ内壁および外壁間間隙を断
熱層にしたことを特徴とする光フアイバ母材成
長用反応容器。 (2) 内壁を構成する耐酸性金属材料としてニツケ
ル又はニツケル基合金を使用したことを特徴と
する実用新案登録請求の範囲第(1)項記載の光フ
アイバ母材成長用反応容器。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986125521U JPH0332500Y2 (ja) | 1986-08-19 | 1986-08-19 | |
| AU76883/87A AU597095B2 (en) | 1986-08-19 | 1987-08-14 | Reaction vessel for producing glass preform for optical fiber |
| GB8719271A GB2194529B (en) | 1986-08-19 | 1987-08-14 | Reaction vessel for producing glass preform for optical fiber |
| KR1019870008979A KR900002262B1 (ko) | 1986-08-19 | 1987-08-17 | 광파이버 모재성장용 반응용기 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986125521U JPH0332500Y2 (ja) | 1986-08-19 | 1986-08-19 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6334130U JPS6334130U (ja) | 1988-03-04 |
| JPH0332500Y2 true JPH0332500Y2 (ja) | 1991-07-10 |
Family
ID=14912215
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986125521U Expired JPH0332500Y2 (ja) | 1986-08-19 | 1986-08-19 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0332500Y2 (ja) |
| KR (1) | KR900002262B1 (ja) |
| AU (1) | AU597095B2 (ja) |
| GB (1) | GB2194529B (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4438226B2 (ja) * | 1998-10-21 | 2010-03-24 | 住友電気工業株式会社 | 多孔質ガラス母材製造装置及び製造方法 |
| CN1291935C (zh) * | 2001-06-14 | 2006-12-27 | 住友电气工业株式会社 | 用于制造玻璃颗粒沉积体的装置及方法 |
| DE10240008B4 (de) * | 2002-08-27 | 2004-08-12 | Heraeus Tenevo Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Quarzglas-Rohlings |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57100933A (en) * | 1980-12-12 | 1982-06-23 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Preparation of base material for optical fiber |
| AU546073B2 (en) * | 1982-02-15 | 1985-08-15 | Nippon Telegraph & Telephone Corporation | Regulation of growth of optical fibre preform face |
| JPS6136129A (ja) * | 1984-07-30 | 1986-02-20 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光フアイバ用ガラス母材の製造方法 |
-
1986
- 1986-08-19 JP JP1986125521U patent/JPH0332500Y2/ja not_active Expired
-
1987
- 1987-08-14 AU AU76883/87A patent/AU597095B2/en not_active Ceased
- 1987-08-14 GB GB8719271A patent/GB2194529B/en not_active Expired - Fee Related
- 1987-08-17 KR KR1019870008979A patent/KR900002262B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| AU7688387A (en) | 1988-02-25 |
| GB2194529A (en) | 1988-03-09 |
| GB2194529B (en) | 1990-07-04 |
| KR880002763A (ko) | 1988-05-11 |
| GB8719271D0 (en) | 1987-09-23 |
| AU597095B2 (en) | 1988-02-25 |
| JPS6334130U (ja) | 1988-03-04 |
| KR900002262B1 (ko) | 1990-04-07 |
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