JPS593941B2 - ガラスフアイバ母材の製造法 - Google Patents
ガラスフアイバ母材の製造法Info
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- JPS593941B2 JPS593941B2 JP5537881A JP5537881A JPS593941B2 JP S593941 B2 JPS593941 B2 JP S593941B2 JP 5537881 A JP5537881 A JP 5537881A JP 5537881 A JP5537881 A JP 5537881A JP S593941 B2 JPS593941 B2 JP S593941B2
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Description
【発明の詳細な説明】
この発明は光通信などに用いられる光ファイバのガラス
ファイバ母材の製造法に関する。
ファイバ母材の製造法に関する。
現在、光通信用光ファイバは主に気相化学反応を利用し
たＣＶＤ法、ＭＣＶＤ法、ＶＡＤ法、外付け法などによ
つて製造されている。
たＣＶＤ法、ＭＣＶＤ法、ＶＡＤ法、外付け法などによ
つて製造されている。
これらの製造５ 法は、ＳｉＣｌ４、ＰＯＣｌ３、Ｇｅ
Ｃｌ４、ＢＢｒ３などのガラス原料ガスとなるハロゲン
化物を気化容器に入れて気化せしめ、これらガラス原料
ガスとＨ２ガス、Ｏ２ガス、キャリヤガスなどを多重管
バーナに送り込み火炎中あるいは高温雰囲気中で熱１０
加水分解反応、熱酸化反応などの気相化学反応によつて
ガラス微粉末を生成させ、基材にこのガラス微粉末を付
着、堆積させたのち、透明ガラス化し、紡糸することに
より光ファイバを形成するものである。この時、ＳｉＣ
ｌ４ガスにＰＯＣｌ３ガス１５またはＧｅＣｌ４ガスを
混合すれば、ガラスファイバ母材の屈折率が高くなり、
ＳｉＣｌ４ガスにＢＢｒ３ガスを混合するとガラスファ
イバ母材の屈折率が低下する。ところで、ＧｅＣｌ４は
価格が高く、またＧｅＣｌ４の酸化生成物のＧｅＯ２が
比較的多く含ク０ まれた高Ｎ、Ａ用母材はその熱膨脹
係数が大きいため、それを含むコアと含まないクラッド
との間には熱膨脹係数の差が生じて製造時に光ファイバ
母材が破損したり、あるいはＧｅ０２を含む光ファイバ
は耐放射線性が悪いので、原子炉などの放射フ５ 線施
設では使用できないなどの欠点があつた。このため、Ｇ
ｅＣｌ４以外の金属ハロゲン化物、例えばアルミニウム
ハロゲン化物、ジルコニウムハロゲン化物、鉛ハロゲン
化物などをドーパントとして用いることが考えられたが
、これらの金属ハ口｛０ ゲン化物はその沸点が２００
〜１５００℃と高いため、気化に高温を要し、気化容器
から多重管バーナまでの配管も２００〜１５００℃に保
持することが必要となり、従来のテフロンなどの配管継
手はその使用限界温度が２００℃であるので、こ１５の
目的には使用することができないなどの製造上の問題が
あつた。この発明は上記事情に鑑みてなされたもので、
１ウー気化温度が高い金属ハロゲン化物をドーパントと
して用いることができるガラスフアイバ母材の製造法を
提供することを目的とし、高温に保もたれ、ドーパント
となる高沸点金属ハロゲン化物を収容する加温気化容器
を多重管構造の吹き出しノズル ｊの後部に接して設け
、加温気化容器で発生した高沸点金属ハロゲン化物ガス
をただちに吹き出しノズルに送り込むことを特徴とする
ものである。
Ｃｌ４、ＢＢｒ３などのガラス原料ガスとなるハロゲン
化物を気化容器に入れて気化せしめ、これらガラス原料
ガスとＨ２ガス、Ｏ２ガス、キャリヤガスなどを多重管
バーナに送り込み火炎中あるいは高温雰囲気中で熱１０
加水分解反応、熱酸化反応などの気相化学反応によつて
ガラス微粉末を生成させ、基材にこのガラス微粉末を付
着、堆積させたのち、透明ガラス化し、紡糸することに
より光ファイバを形成するものである。この時、ＳｉＣ
ｌ４ガスにＰＯＣｌ３ガス１５またはＧｅＣｌ４ガスを
混合すれば、ガラスファイバ母材の屈折率が高くなり、
ＳｉＣｌ４ガスにＢＢｒ３ガスを混合するとガラスファ
イバ母材の屈折率が低下する。ところで、ＧｅＣｌ４は
価格が高く、またＧｅＣｌ４の酸化生成物のＧｅＯ２が
比較的多く含ク０ まれた高Ｎ、Ａ用母材はその熱膨脹
係数が大きいため、それを含むコアと含まないクラッド
との間には熱膨脹係数の差が生じて製造時に光ファイバ
母材が破損したり、あるいはＧｅ０２を含む光ファイバ
は耐放射線性が悪いので、原子炉などの放射フ５ 線施
設では使用できないなどの欠点があつた。このため、Ｇ
ｅＣｌ４以外の金属ハロゲン化物、例えばアルミニウム
ハロゲン化物、ジルコニウムハロゲン化物、鉛ハロゲン
化物などをドーパントとして用いることが考えられたが
、これらの金属ハ口｛０ ゲン化物はその沸点が２００
〜１５００℃と高いため、気化に高温を要し、気化容器
から多重管バーナまでの配管も２００〜１５００℃に保
持することが必要となり、従来のテフロンなどの配管継
手はその使用限界温度が２００℃であるので、こ１５の
目的には使用することができないなどの製造上の問題が
あつた。この発明は上記事情に鑑みてなされたもので、
１ウー気化温度が高い金属ハロゲン化物をドーパントと
して用いることができるガラスフアイバ母材の製造法を
提供することを目的とし、高温に保もたれ、ドーパント
となる高沸点金属ハロゲン化物を収容する加温気化容器
を多重管構造の吹き出しノズル ｊの後部に接して設け
、加温気化容器で発生した高沸点金属ハロゲン化物ガス
をただちに吹き出しノズルに送り込むことを特徴とする
ものである。
以下図面を参照して、この発明を詳しく説明する〇第１
図はこの発明のガラスフアイバ母材の製造法を実施する
に好適な製造装置の一例を示すもので、図中符号１は５
重の同心管１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅからなる多重
管バーナのノズルで、この多重管バーナのノズル１はそ
の周囲に設けられたヒータ２および熱電対３，３によつ
て一定温度に保もたれるようになつている。
図はこの発明のガラスフアイバ母材の製造法を実施する
に好適な製造装置の一例を示すもので、図中符号１は５
重の同心管１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅからなる多重
管バーナのノズルで、この多重管バーナのノズル１はそ
の周囲に設けられたヒータ２および熱電対３，３によつ
て一定温度に保もたれるようになつている。
多重管バーナのノズル１の後部には、ドーパントとなる
高沸点金属ハロゲン化物を納める気化容器４が多重管バ
ーナのノズル１に接して設けられ、気化容器４の気化ガ
ス導出管５が多重管バーナのノズル１の第３層の管１ｃ
に直結されている。気化容器４もヒータ２と熱電対３に
よつて一定温度に保もたれるようになつている。そして
、多重管バーナのノズル１と気化容器４は断熱材６によ
つて保温されている。以上のように構成された気化容器
４と多重管バーナのノズル１との一体物には、まず高沸
点金属ハロゲン化物が気化容器４に収められる。
高沸点金属ハロゲン化物を納める気化容器４が多重管バ
ーナのノズル１に接して設けられ、気化容器４の気化ガ
ス導出管５が多重管バーナのノズル１の第３層の管１ｃ
に直結されている。気化容器４もヒータ２と熱電対３に
よつて一定温度に保もたれるようになつている。そして
、多重管バーナのノズル１と気化容器４は断熱材６によ
つて保温されている。以上のように構成された気化容器
４と多重管バーナのノズル１との一体物には、まず高沸
点金属ハロゲン化物が気化容器４に収められる。
ここで用いられる高沸点金属ハロゲン化物としては、，
，Ｖ族の金属ハロゲン化物であつてその沸点もしくは気
化点が１５０〜１５００℃の比較的高いもので、例えば
ＰｂＢｒ２，ＰｂＣ２２，ＰｂＦ２，ＰｂＩ２，ＡｌＢ
ｒ３，Ａ／１Ｃ１３，ＺｒＢｒ４，ＺｒＣ１４，ＺｒＩ
４などである。これら高沸点金属ハロゲン化物は、火炎
中で酸化されて、ＰｂＯ，Ａｌ２Ｏ３，ＺｒＯ２などの
酸化物を生成し、ＳｉＯ２ガラスの屈折率を高める機能
を有している。気化容器４内に入れられた高沸点金属ハ
ロゲン化物はヒータ２，熱電対３によつてその沸点ある
いは気化点以上の一定温度に保もたれ溶融状態あるいは
気化状態となる。この時、キヤリヤガス導入管７からア
ルゴンガスなどの不活性ガスを気化容器４内に送給し、
高沸点金属ハロゲン化物のガスを発生させる。この高ノ
ク 沸点金属ハロゲン化物のガスは気化ガス導出管５を経て
多重管バーナのノズル１の第３層の管１ｃに送られる。
，Ｖ族の金属ハロゲン化物であつてその沸点もしくは気
化点が１５０〜１５００℃の比較的高いもので、例えば
ＰｂＢｒ２，ＰｂＣ２２，ＰｂＦ２，ＰｂＩ２，ＡｌＢ
ｒ３，Ａ／１Ｃ１３，ＺｒＢｒ４，ＺｒＣ１４，ＺｒＩ
４などである。これら高沸点金属ハロゲン化物は、火炎
中で酸化されて、ＰｂＯ，Ａｌ２Ｏ３，ＺｒＯ２などの
酸化物を生成し、ＳｉＯ２ガラスの屈折率を高める機能
を有している。気化容器４内に入れられた高沸点金属ハ
ロゲン化物はヒータ２，熱電対３によつてその沸点ある
いは気化点以上の一定温度に保もたれ溶融状態あるいは
気化状態となる。この時、キヤリヤガス導入管７からア
ルゴンガスなどの不活性ガスを気化容器４内に送給し、
高沸点金属ハロゲン化物のガスを発生させる。この高ノ
ク 沸点金属ハロゲン化物のガスは気化ガス導出管５を経て
多重管バーナのノズル１の第３層の管１ｃに送られる。
一方、多重管バーナのノズル１の最内層の管１ａには管
８よりＳｉＣｌ４，ＰＯＣｌ３ガスなどのガラス原料ガ
スが、第２層の管１ｂには管９よりＨ２ガスなどの燃料
ガスが、第４層の管１ｄには管１０よりＡｒガスなどの
不活性ガスが、最外層の管１ｅには管１１より０２ガス
がそれぞれ供給されるとともに、多重管バーナのノズル
１はヒータ２、熱電対３で気化容器４の温度よりも高め
に加温されている。多重管バーナのノズル１に点火され
ると、火炎中でガラス原料ガス、高沸点金属ハロゲン化
物のガスは熱加水分解、熱酸化反応などの気相化学反応
を受けて、ＳｉＯ２，Ｐ２Ｏ５，ＰｂＯ，Ａｌ２Ｏ３，
ｚｒＯ２などの酸化物からなる煤状ガラス微粉末が生成
する。火炎の先端を棒状基材１２の外周あるいは先端に
あてがい、棒状基材１２を回転させながら移動させるこ
とにより、棒状基材１２の外周あるいは先端に煤状ガラ
ス微粉末が付着堆積し、多孔質のガラスフアイバ母材１
３が形成される。ついで、このようにして形成されたガ
ラスフアイバ母材１３は透明ガラス化され、しかるのち
所定の処理が施こされて光フアイバが形成される。
８よりＳｉＣｌ４，ＰＯＣｌ３ガスなどのガラス原料ガ
スが、第２層の管１ｂには管９よりＨ２ガスなどの燃料
ガスが、第４層の管１ｄには管１０よりＡｒガスなどの
不活性ガスが、最外層の管１ｅには管１１より０２ガス
がそれぞれ供給されるとともに、多重管バーナのノズル
１はヒータ２、熱電対３で気化容器４の温度よりも高め
に加温されている。多重管バーナのノズル１に点火され
ると、火炎中でガラス原料ガス、高沸点金属ハロゲン化
物のガスは熱加水分解、熱酸化反応などの気相化学反応
を受けて、ＳｉＯ２，Ｐ２Ｏ５，ＰｂＯ，Ａｌ２Ｏ３，
ｚｒＯ２などの酸化物からなる煤状ガラス微粉末が生成
する。火炎の先端を棒状基材１２の外周あるいは先端に
あてがい、棒状基材１２を回転させながら移動させるこ
とにより、棒状基材１２の外周あるいは先端に煤状ガラ
ス微粉末が付着堆積し、多孔質のガラスフアイバ母材１
３が形成される。ついで、このようにして形成されたガ
ラスフアイバ母材１３は透明ガラス化され、しかるのち
所定の処理が施こされて光フアイバが形成される。
例えば、コアとなるガラスフアイバ母材１３を形成した
のち、この上にクラツドとなるガラスフアイバ母材１３
を形成し、これを透明ガラス化したのち、延伸して延伸
ロツドを形成し、この延伸口ツドを溶融紡糸することに
より光フアイバを得ることができる。その他、通常の各
種の方法でステツプ型または二乗分布型の光フアイバを
形成することもできる。第２図はこの発明のガラスフア
イバ母材の製造法を実施するに好適な製造装置の他の例
を示すもので、第１図の製造装置と同一構成部分には同
一番号を付してその説明を省略する。
のち、この上にクラツドとなるガラスフアイバ母材１３
を形成し、これを透明ガラス化したのち、延伸して延伸
ロツドを形成し、この延伸口ツドを溶融紡糸することに
より光フアイバを得ることができる。その他、通常の各
種の方法でステツプ型または二乗分布型の光フアイバを
形成することもできる。第２図はこの発明のガラスフア
イバ母材の製造法を実施するに好適な製造装置の他の例
を示すもので、第１図の製造装置と同一構成部分には同
一番号を付してその説明を省略する。
図中１４は同心の５重管１４ａ，１４ｂ，１４ｑ，１４
ｄ，１４ｅからなる多重管ノズルで、この多重管ノズル
１４は周囲に設けられたヒータ２および熱電対３によつ
て一定温度に保もたれるようになつている。多重管ノズ
ル１４の後部には気化容器４が多重管ノズル１４と一体
に設けられている。このように構成された気化容器４と
多重管ノズル１４との一体物の気化容器４には、高沸点
金属ハロゲン化物が入れられてその沸点あるいは気化点
以上に加温されて、前述の例と同様に高沸点金属ハロゲ
ン化物のガスが発生させられ、多重管ノズル１４に送り
こまれる。
ｄ，１４ｅからなる多重管ノズルで、この多重管ノズル
１４は周囲に設けられたヒータ２および熱電対３によつ
て一定温度に保もたれるようになつている。多重管ノズ
ル１４の後部には気化容器４が多重管ノズル１４と一体
に設けられている。このように構成された気化容器４と
多重管ノズル１４との一体物の気化容器４には、高沸点
金属ハロゲン化物が入れられてその沸点あるいは気化点
以上に加温されて、前述の例と同様に高沸点金属ハロゲ
ン化物のガスが発生させられ、多重管ノズル１４に送り
こまれる。
一方、多重管ノズル１４の各管には同様にガラス原料ガ
ス、Ａｒガス、０２ガスが供給されているとともに、ヒ
ータ２、熱電対３で気化容器４の温度よりも高めに加温
されている。多重管ノズル１４の先端には石英ガラスな
どで形成されたガラス管１５が被嵌されている。このガ
ラス管１５はガラス旋盤のチヤツク１６に回転可能に取
りつけられている。なお、１７はガラス管１５内に気相
化学反応を生じさせるための移動バーナ、１７ａはガラ
ス管１５内に送り込まれた高沸点金属ハロゲン化物のガ
スが冷やされて凝縮するのを防止するための弱熱用の固
定スリツトバーナである。多重管ノズル１４よりガラス
管１５内に送り込まれたガラス原料ガス、高沸点金属ハ
ロゲン化物のガス、０２ガスは加熱され、移動バーナ１
７の移動に対応して気相化学反応を受けて、ＳｉＯ２，
Ｐ２Ｏ，，ＰｂＯ２，Ａｌ２Ｏ５，ＺｒＯ２などからな
る煤状ガラス微粉末が生成し、この煤状ガラス微粉末は
ガラス管１５内壁に付着堆積し、ガラスフアイバ母材１
８が形成される。
ス、Ａｒガス、０２ガスが供給されているとともに、ヒ
ータ２、熱電対３で気化容器４の温度よりも高めに加温
されている。多重管ノズル１４の先端には石英ガラスな
どで形成されたガラス管１５が被嵌されている。このガ
ラス管１５はガラス旋盤のチヤツク１６に回転可能に取
りつけられている。なお、１７はガラス管１５内に気相
化学反応を生じさせるための移動バーナ、１７ａはガラ
ス管１５内に送り込まれた高沸点金属ハロゲン化物のガ
スが冷やされて凝縮するのを防止するための弱熱用の固
定スリツトバーナである。多重管ノズル１４よりガラス
管１５内に送り込まれたガラス原料ガス、高沸点金属ハ
ロゲン化物のガス、０２ガスは加熱され、移動バーナ１
７の移動に対応して気相化学反応を受けて、ＳｉＯ２，
Ｐ２Ｏ，，ＰｂＯ２，Ａｌ２Ｏ５，ＺｒＯ２などからな
る煤状ガラス微粉末が生成し、この煤状ガラス微粉末は
ガラス管１５内壁に付着堆積し、ガラスフアイバ母材１
８が形成される。
このようにして得られたガラスフアイバ母材１３は透明
ガラス化されたのち、所定の処理を経て光フアイバが得
られる。
ガラス化されたのち、所定の処理を経て光フアイバが得
られる。
なお、多重管バーナのノズル１あるいは多重管ノズル１
４のＢＢｒ３ガスを供給する場合には、多重管バーナの
ノズル１、多重管ノズル１４が高い温度に保もたれてい
るので、ＢＢｒ，が他のガラス原料ガス、高沸点金属ハ
ロゲン化物ガスと反応することがあり、必ずＢＢｒ３用
の単独の導管を用いることが必要である。
４のＢＢｒ３ガスを供給する場合には、多重管バーナの
ノズル１、多重管ノズル１４が高い温度に保もたれてい
るので、ＢＢｒ，が他のガラス原料ガス、高沸点金属ハ
ロゲン化物ガスと反応することがあり、必ずＢＢｒ３用
の単独の導管を用いることが必要である。
以下、この発明を実施例に基づいて具体的に説明する。
実施例 １
第１図に示した装置を用い、次の条件に従い、ＶＡＤ法
によつて棒状基材下端にガラスフアイバ母材を堆積した
。
によつて棒状基材下端にガラスフアイバ母材を堆積した
。
得られたガラスフアイバ母材を１４００℃で透明がラス
化したのち、溶融紡糸して光フアイバを得た。
化したのち、溶融紡糸して光フアイバを得た。
この光フアイバの屈折率分布図を第３図に示す。実施例
２ 第１図に示した装置を用い、次の条件に従い、外付法に
よつて棒状基材の外周にガラスフアイバ母材を堆積した
。
２ 第１図に示した装置を用い、次の条件に従い、外付法に
よつて棒状基材の外周にガラスフアイバ母材を堆積した
。
Ｚｒｃｌ４およびＰｂＪ２は最初はそれぞれ２０ｃｃ／
分、１０ＣＣ／分より出発し、その後、トラバース１回
毎にそれぞれ、０．４ＣＣ／分、０．２ＣＣ／分づつ減
少させた。
分、１０ＣＣ／分より出発し、その後、トラバース１回
毎にそれぞれ、０．４ＣＣ／分、０．２ＣＣ／分づつ減
少させた。
ガラスフアイバ母材の堆積した棒状基材はついで棒状基
材のみが除去されたのち透明ガラス化され、光フアイバ
が得られた。
材のみが除去されたのち透明ガラス化され、光フアイバ
が得られた。
この光フアイバの屈折率分布図を第４図に示す。実施例
３ 第２図に示す装置を用い、次の条件に従い、内付法によ
つて石英ガラス管内壁にガラスフアイバ母材を堆積した
。
３ 第２図に示す装置を用い、次の条件に従い、内付法によ
つて石英ガラス管内壁にガラスフアイバ母材を堆積した
。
移動バーナ Ｈ２２５ｌ／分、０２１０′／分トラバ
ース（積層）回数 ６０回ＡｌＣ２，およびＰｂＢｒ
２は最初の５回のトラバースまでは０ｃｃ／分、その後
は１回毎にそれぞれ１ＣＣ／分、０．３ＣＣ／分づつ増
加させた。
ース（積層）回数 ６０回ＡｌＣ２，およびＰｂＢｒ
２は最初の５回のトラバースまでは０ｃｃ／分、その後
は１回毎にそれぞれ１ＣＣ／分、０．３ＣＣ／分づつ増
加させた。
得られたガラスフアイバ母材を透明ガラス化したのち、
溶融紡糸して光フアイバを得た。この光フアイバの屈折
率分布図を第５図に示す。以上説明したようにこの発明
のガラスフアイバ母材の製造法は、多重管構造の吹き出
しノズルの後部に加温気化容器を接して設け、加温気化
容器に高沸点金属ハロゲン化物を入れて、発生した高沸
点金属ハロゲン化物ガスをただちに多重管構造の吹き出
しノズルにガラス原料ガスとともに送り込むものである
ので、アルミニウムハロゲン化物、ジルコニウムハロゲ
ン化物、鉛ハロゲン化物などの高沸点の金属ハロゲン化
物をドーパントとして使用することが確実に可能となる
。
溶融紡糸して光フアイバを得た。この光フアイバの屈折
率分布図を第５図に示す。以上説明したようにこの発明
のガラスフアイバ母材の製造法は、多重管構造の吹き出
しノズルの後部に加温気化容器を接して設け、加温気化
容器に高沸点金属ハロゲン化物を入れて、発生した高沸
点金属ハロゲン化物ガスをただちに多重管構造の吹き出
しノズルにガラス原料ガスとともに送り込むものである
ので、アルミニウムハロゲン化物、ジルコニウムハロゲ
ン化物、鉛ハロゲン化物などの高沸点の金属ハロゲン化
物をドーパントとして使用することが確実に可能となる
。
また、これら金属ハロゲン化物は安価であるので得られ
る光フアイバは安価に製造できるとともに、耐放射線性
にすぐれまた高Ｎ．Ａ．フアイバの作製において熱膨脹
率の増加が少ないため製造時に破損しにくいなどの利点
を有する。
る光フアイバは安価に製造できるとともに、耐放射線性
にすぐれまた高Ｎ．Ａ．フアイバの作製において熱膨脹
率の増加が少ないため製造時に破損しにくいなどの利点
を有する。
第１図はこの発明を実施するに用いられる装置の概略構
成図、第２図は同じく別の装置の概略構成図、第３図な
いし第５図はこの発明で得られた光フアイバの屈折率分
布図である。 １・・・・・・多重管バーナのノズル、２・・・・・・
ヒータ、３・・・・・・熱電対、４・・・・・・気化容
器、５・・・・・・気化ガス導出管、１２・・・・・・
棒状基材、１３・・・・・・ガラスフアイバ母材、１４
・・・・・・多重管ノズル、１５・・・・・・ガラス管
、１７・・・・・・移動バーナ、１８・・・・・・ガラ
スフアイバ母材。
成図、第２図は同じく別の装置の概略構成図、第３図な
いし第５図はこの発明で得られた光フアイバの屈折率分
布図である。 １・・・・・・多重管バーナのノズル、２・・・・・・
ヒータ、３・・・・・・熱電対、４・・・・・・気化容
器、５・・・・・・気化ガス導出管、１２・・・・・・
棒状基材、１３・・・・・・ガラスフアイバ母材、１４
・・・・・・多重管ノズル、１５・・・・・・ガラス管
、１７・・・・・・移動バーナ、１８・・・・・・ガラ
スフアイバ母材。
Claims (1)
- １ 気相化学反応によつてガラス原料ガスからガラス微
粉末を形成し、このガラス微粉末を基材に付着、堆積さ
せてガラスファイバ母材を製造するに際して、高温に保
もたれ、ドーパントとなる高沸点金属ハロゲン化物を収
容する加温気化容器を前記ガラス原料を吹き出す多重管
構造の吹き出しノズルの後部に接して設け、加温気化容
器で発生した高沸点金属ハロゲン化物ガスをただちに吹
き出しノズルに送り込むことを特徴とするガラスファイ
バ母材の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5537881A JPS593941B2 (ja) | 1981-04-13 | 1981-04-13 | ガラスフアイバ母材の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5537881A JPS593941B2 (ja) | 1981-04-13 | 1981-04-13 | ガラスフアイバ母材の製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57170834A JPS57170834A (en) | 1982-10-21 |
| JPS593941B2 true JPS593941B2 (ja) | 1984-01-26 |
Family
ID=12996814
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5537881A Expired JPS593941B2 (ja) | 1981-04-13 | 1981-04-13 | ガラスフアイバ母材の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS593941B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0330487Y2 (ja) * | 1986-02-21 | 1991-06-27 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6236866B2 (ja) | 2013-05-15 | 2017-11-29 | 住友電気工業株式会社 | ガラス微粒子堆積体の製造方法およびガラス微粒子堆積体製造用バーナー |
| CN108046583A (zh) * | 2017-12-14 | 2018-05-18 | 长飞光纤光缆股份有限公司 | 一种提高pcvd工艺沉积均匀性的方法 |
-
1981
- 1981-04-13 JP JP5537881A patent/JPS593941B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0330487Y2 (ja) * | 1986-02-21 | 1991-06-27 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57170834A (en) | 1982-10-21 |
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