JPH0253378B2 - - Google Patents
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- JPH0253378B2 JPH0253378B2 JP20859184A JP20859184A JPH0253378B2 JP H0253378 B2 JPH0253378 B2 JP H0253378B2 JP 20859184 A JP20859184 A JP 20859184A JP 20859184 A JP20859184 A JP 20859184A JP H0253378 B2 JPH0253378 B2 JP H0253378B2
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- flange
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- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 35
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
- C03B37/0146—Furnaces therefor, e.g. muffle tubes, furnace linings
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- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の背景と目的］
本発明は、気相軸付法で作成した光フアイバ多
孔質母材を加熱して透明ガラス化する光フアイバ
母材製造用加熱炉に関するものである。
孔質母材を加熱して透明ガラス化する光フアイバ
母材製造用加熱炉に関するものである。
気相軸付化法（VAD法）で作製した多孔質母
材は、不純物の混入を防ぐと共に多孔質母材中の
OH基を除くため、気密性のある石英ガラス炉心
管内でHeガスやCl2ガスを流しながら約1800℃に
加熱して焼結・透明ガラス化される。
材は、不純物の混入を防ぐと共に多孔質母材中の
OH基を除くため、気密性のある石英ガラス炉心
管内でHeガスやCl2ガスを流しながら約1800℃に
加熱して焼結・透明ガラス化される。
この場合、炉心管の外側に環状に配置されたカ
ーボンヒーターの表面温度が2000℃にもなるた
め、軟化温度が1400℃である石英ガラス炉心管は
軟化してしまう。
ーボンヒーターの表面温度が2000℃にもなるた
め、軟化温度が1400℃である石英ガラス炉心管は
軟化してしまう。
従つて、石英ガラス炉心管をその上部で吊つて
支持するだけでは、加熱により軟化した部分がそ
れより下の部分の重さで伸びてしまい、石英ガラ
ス炉心管の内径が小さくなり、１回しか使用でき
ない。また、石英ガラス炉心管をその下部で支持
した場合には、加熱により軟化した部分がそれよ
り上の部分の重みで変形してしまう。また、石英
ガラス炉心管の上下を支持・固定してしまうと、
炉心管は軟化温度までの昇温時には伸び、かつ軟
化温度を越えると変形するが、その後降温すると
収縮して元の長さよりも短くなつて、炉心管の端
部にフランジ結合させたチヤンバとの間に間〓が
発生したり或いはクラツクが発生して気密性を低
下させ、光フアイバ母材中に不純物が混入するの
みならず、石英炉心管は１回しか使用できないと
いう問題があつた。
支持するだけでは、加熱により軟化した部分がそ
れより下の部分の重さで伸びてしまい、石英ガラ
ス炉心管の内径が小さくなり、１回しか使用でき
ない。また、石英ガラス炉心管をその下部で支持
した場合には、加熱により軟化した部分がそれよ
り上の部分の重みで変形してしまう。また、石英
ガラス炉心管の上下を支持・固定してしまうと、
炉心管は軟化温度までの昇温時には伸び、かつ軟
化温度を越えると変形するが、その後降温すると
収縮して元の長さよりも短くなつて、炉心管の端
部にフランジ結合させたチヤンバとの間に間〓が
発生したり或いはクラツクが発生して気密性を低
下させ、光フアイバ母材中に不純物が混入するの
みならず、石英炉心管は１回しか使用できないと
いう問題があつた。
本発明は、以上の点に鑑みなされたものであ
り、石英ガラスの軟化温度以上の温度と常温の間
で昇温、降温を繰り返しても石英ガラス炉心管に
クラツクが発生することがなく、石英ガラス炉心
管の複数回の連続使用を可能とした光フアイバ母
材製造用加熱炉を提供することを目的とするもの
である。
り、石英ガラスの軟化温度以上の温度と常温の間
で昇温、降温を繰り返しても石英ガラス炉心管に
クラツクが発生することがなく、石英ガラス炉心
管の複数回の連続使用を可能とした光フアイバ母
材製造用加熱炉を提供することを目的とするもの
である。
［発明の概要］
すなわち本発明は、気相軸付法で作成した光フ
アイバ多孔質母材をヘリウムガス雰囲気中で加
熱・透明ガラス化する加熱炉が、その上端及び下
端にそれぞれフランジを有する石英ガラス炉心管
と、該炉心管の各フランジとフランジ結合される
上部チヤンバ及び下部チヤンバとを備え、前記炉
心管の外周には発熱体が環状に配置されている光
フアイバ母材製造用加熱炉において、前記炉心管
の上部がその上端のフランジ部で吊り治具により
支持され、前記炉心管の下端のフランジがクツシ
ヨン材を介してフランジ押え治具により支持され
ていることを特徴とするものであり、これによつ
て石英ガラス炉心管が石英ガラスの軟化温度以上
に加熱され、その後降温されることにより伸縮し
ても、炉心管の下端のフランジとフランジ押え治
具との間に設けたクツシヨン材が炉心管の長さの
変化を吸収することができる。
アイバ多孔質母材をヘリウムガス雰囲気中で加
熱・透明ガラス化する加熱炉が、その上端及び下
端にそれぞれフランジを有する石英ガラス炉心管
と、該炉心管の各フランジとフランジ結合される
上部チヤンバ及び下部チヤンバとを備え、前記炉
心管の外周には発熱体が環状に配置されている光
フアイバ母材製造用加熱炉において、前記炉心管
の上部がその上端のフランジ部で吊り治具により
支持され、前記炉心管の下端のフランジがクツシ
ヨン材を介してフランジ押え治具により支持され
ていることを特徴とするものであり、これによつ
て石英ガラス炉心管が石英ガラスの軟化温度以上
に加熱され、その後降温されることにより伸縮し
ても、炉心管の下端のフランジとフランジ押え治
具との間に設けたクツシヨン材が炉心管の長さの
変化を吸収することができる。
［実施例］
以下、図示した実施例に基づいて本発明を説明
する。第１図には本発明の一実施例が示されてい
る。同図に示されているように気相軸付法で作成
し、ターゲツト１に推積させた多孔質母材２を図
中矢印のようにHeガスまたはHeとCl2との混合
ガスを流しながら加熱して透明ガラス３を得るよ
うにした本実施例の加熱炉は、上端及び下端に上
部フランジ６ａ、下部フランジ６ｂを有する石英
ガラス炉心管７と、上部フランジ６ａ、下部フラ
ンジ６ｂのそれぞれとフランジ結合される上部チ
ヤンバー４、下部チヤンバー５を備えている。炉
心管７の外周にはカーボンフエルト８およびカー
ボン炉心管９を介して発熱体例えばカーボンヒー
ター１０が環状に配置され、かつこれらを囲んで
炉カバー１１が設けられている。このように構成
された加熱炉で本実施例では、石英ガラス炉心管
７は、その上部において上部フランジ６ａ部が吊
り治具である吊り金具１４により支持され、か
つ、その下端面部にフランジ１３及び下部フラン
ジ６ｂが順次設けられて下部フランジ１２がクツ
シヨン材１２を介して押え治具であるフランジ押
え金具１５により支持されている。このようにし
て、炉心管７を支持することにより、クツシヨン
材１２が炉心管７の長さの変化を吸収することが
でき、石英ガラス炉心管７の複数回の連続使用を
可能とした光フアイバ母材製造用加熱炉を得るこ
とができる。
する。第１図には本発明の一実施例が示されてい
る。同図に示されているように気相軸付法で作成
し、ターゲツト１に推積させた多孔質母材２を図
中矢印のようにHeガスまたはHeとCl2との混合
ガスを流しながら加熱して透明ガラス３を得るよ
うにした本実施例の加熱炉は、上端及び下端に上
部フランジ６ａ、下部フランジ６ｂを有する石英
ガラス炉心管７と、上部フランジ６ａ、下部フラ
ンジ６ｂのそれぞれとフランジ結合される上部チ
ヤンバー４、下部チヤンバー５を備えている。炉
心管７の外周にはカーボンフエルト８およびカー
ボン炉心管９を介して発熱体例えばカーボンヒー
ター１０が環状に配置され、かつこれらを囲んで
炉カバー１１が設けられている。このように構成
された加熱炉で本実施例では、石英ガラス炉心管
７は、その上部において上部フランジ６ａ部が吊
り治具である吊り金具１４により支持され、か
つ、その下端面部にフランジ１３及び下部フラン
ジ６ｂが順次設けられて下部フランジ１２がクツ
シヨン材１２を介して押え治具であるフランジ押
え金具１５により支持されている。このようにし
て、炉心管７を支持することにより、クツシヨン
材１２が炉心管７の長さの変化を吸収することが
でき、石英ガラス炉心管７の複数回の連続使用を
可能とした光フアイバ母材製造用加熱炉を得るこ
とができる。
すなわち、石英ガラス炉心管（外径80mm、内径
70mm、長さ540mm）７は上、下部フランジ６ａ，
６ｂ付とし、加熱部付近にカーボンフエルト８を
巻き付け固定する。これをカーボン炉心管９内に
入れ、上部フランジ６ａ部を吊り金具１４にのせ
て吊る。そして石英ガラス炉心管７の下端面部は
下部フランジ６ｂに乗置した例えば石英ガラス板
のフランジ１３を当て、このフランジ１３をフラ
ンジ押え金具１５で例えばカーボンフエルト等の
クツシヨン材１２（厚さ８mm）を挟んで吊り、さ
らにフランジ押え金具１５をフランジ取付ボルト
１６で炉カバー１１のフランジ取付ボルト用金具
１７に固定する。この際に石英ガラス炉心管７の
下端面と石英ガラス板のフランジ１３との間に〓
間がないように両面をすり合せとし、フランジ取
付ボルト１６の締め具合で調整する。なお、同図
において１８はガスカーテンである。
70mm、長さ540mm）７は上、下部フランジ６ａ，
６ｂ付とし、加熱部付近にカーボンフエルト８を
巻き付け固定する。これをカーボン炉心管９内に
入れ、上部フランジ６ａ部を吊り金具１４にのせ
て吊る。そして石英ガラス炉心管７の下端面部は
下部フランジ６ｂに乗置した例えば石英ガラス板
のフランジ１３を当て、このフランジ１３をフラ
ンジ押え金具１５で例えばカーボンフエルト等の
クツシヨン材１２（厚さ８mm）を挟んで吊り、さ
らにフランジ押え金具１５をフランジ取付ボルト
１６で炉カバー１１のフランジ取付ボルト用金具
１７に固定する。この際に石英ガラス炉心管７の
下端面と石英ガラス板のフランジ１３との間に〓
間がないように両面をすり合せとし、フランジ取
付ボルト１６の締め具合で調整する。なお、同図
において１８はガスカーテンである。
このように構成した加熱炉で、カーボンヒータ
１０の表面温度を1950℃にし、石英ガラス炉心管
７内にHeガス15／minあるいはHeガス15／
minとCl2ガス180c.c.／minとの混合ガスを図中矢
印のように下から上へ流してその内圧を＋２mm
H2Oの状態に設定し、直径60mmの多孔質母材２
を0.5rpmで回転させながら上から下へ３〜５
mm／minの速度で移動させ透明ガラス化する。
１０の表面温度を1950℃にし、石英ガラス炉心管
７内にHeガス15／minあるいはHeガス15／
minとCl2ガス180c.c.／minとの混合ガスを図中矢
印のように下から上へ流してその内圧を＋２mm
H2Oの状態に設定し、直径60mmの多孔質母材２
を0.5rpmで回転させながら上から下へ３〜５
mm／minの速度で移動させ透明ガラス化する。
このように、透明ガラス化する場合に、多孔質
母材２をカーボンヒータ１０の上方にセツトして
昇温すると熱膨張により石英ガラス炉心管７が伸
びるが、この伸びた分はクツシヨン材１２で吸収
されるようになつて、石英ガラス炉心管７が割れ
たりすることがなくなる。さらに昇温し石英ガラ
スの軟化温度を越えると加熱部が軟くなつて変形
し始めるが、クツシヨン材１２がフランジ１３を
押し上げるように作用し、このフランジ１３と下
部フランジ６ｂとの間に間〓を発生させないのみ
ならず、僅かの力でフランジ１３を押し上げるよ
うにしてあるので変形の程度も小さい。一定の温
度になつたら多孔質母材２を移動させて透明ガラ
ス３を得るが、透明ガラス化後に降温して石英ガ
ラスの軟化温度以下になると熱収縮により石英ガ
ラス炉心管７が収縮する。収縮すると石英ガラス
炉心管７の下端面部とフランジ１３との間に間〓
が生じようとするが、クツシヨン材１２が元の状
態に戻ろうとしてフランジ１３を持ち上げている
ので間〓は生じない。
母材２をカーボンヒータ１０の上方にセツトして
昇温すると熱膨張により石英ガラス炉心管７が伸
びるが、この伸びた分はクツシヨン材１２で吸収
されるようになつて、石英ガラス炉心管７が割れ
たりすることがなくなる。さらに昇温し石英ガラ
スの軟化温度を越えると加熱部が軟くなつて変形
し始めるが、クツシヨン材１２がフランジ１３を
押し上げるように作用し、このフランジ１３と下
部フランジ６ｂとの間に間〓を発生させないのみ
ならず、僅かの力でフランジ１３を押し上げるよ
うにしてあるので変形の程度も小さい。一定の温
度になつたら多孔質母材２を移動させて透明ガラ
ス３を得るが、透明ガラス化後に降温して石英ガ
ラスの軟化温度以下になると熱収縮により石英ガ
ラス炉心管７が収縮する。収縮すると石英ガラス
炉心管７の下端面部とフランジ１３との間に間〓
が生じようとするが、クツシヨン材１２が元の状
態に戻ろうとしてフランジ１３を持ち上げている
ので間〓は生じない。
このように本実施例によれば、石英ガラス炉心
管７の長さが軟化温度以上の温度に加熱された後
常温まで降温される過程中に変化しても、石英ガ
ラス炉心管７が従来のように割れたり、気密性を
悪くしたり、あるいは大きく変形したりすること
なく、数十回連続して使用できるようになり、石
英ガラス炉心管７の寿命が長くなる。また石英ガ
ラス炉心管７内の気密性がよくなるので外部から
不純物を含んだガスなどが混入しなくなり、製作
される光フアイバの伝送損失が増加することがな
く、また伝送帯域特性の再現性を良好にすること
ができる。
管７の長さが軟化温度以上の温度に加熱された後
常温まで降温される過程中に変化しても、石英ガ
ラス炉心管７が従来のように割れたり、気密性を
悪くしたり、あるいは大きく変形したりすること
なく、数十回連続して使用できるようになり、石
英ガラス炉心管７の寿命が長くなる。また石英ガ
ラス炉心管７内の気密性がよくなるので外部から
不純物を含んだガスなどが混入しなくなり、製作
される光フアイバの伝送損失が増加することがな
く、また伝送帯域特性の再現性を良好にすること
ができる。
［発明の効果］
上述のように本発明は、石英ガラスの軟化温度
以上の温度と常温の間で昇温、降温を繰り返して
も石英ガラス炉心管にクラツクが発生することが
なく、石英ガラス炉心管が連続して複数回使用で
きる、という従来にない顕著な効果を奏すること
ができる。
以上の温度と常温の間で昇温、降温を繰り返して
も石英ガラス炉心管にクラツクが発生することが
なく、石英ガラス炉心管が連続して複数回使用で
きる、という従来にない顕著な効果を奏すること
ができる。
第１図は、本発明の光フアイバ母材製造用加熱
炉の一実施例の横断面図である。 ２……多孔質母材、３……透明ガラス、４……
上部チヤンバ、５……下部チヤンバ、６ａ……上
部フランジ、６ｂ……下部フランジ、７……石英
ガラス炉心管、８……カーボンフエルト、１０…
…カーボンヒータ（発熱体）、１１……炉カバー、
１２……クツシヨン材、１３……フランジ、１４
……吊り金具、１５……フランジ押え金具、１８
……ガスカーテン。
炉の一実施例の横断面図である。 ２……多孔質母材、３……透明ガラス、４……
上部チヤンバ、５……下部チヤンバ、６ａ……上
部フランジ、６ｂ……下部フランジ、７……石英
ガラス炉心管、８……カーボンフエルト、１０…
…カーボンヒータ（発熱体）、１１……炉カバー、
１２……クツシヨン材、１３……フランジ、１４
……吊り金具、１５……フランジ押え金具、１８
……ガスカーテン。
Claims (1)
- １ 気相軸付法で作成した光フアイバ多孔質母材
をヘリウムガス雰囲気中で加熱・透明ガラス化す
る加熱炉が、その上端及び下端にそれぞれフラン
ジを有する石英ガラス炉心管と、該炉心管の各フ
ランジとフランジ結合される上部チヤンバ及び下
部チヤンバとを備え、前記炉心管の外周には発熱
体が環状に配置されている光フアイバ母材製造用
加熱炉において、前記炉心管の上部がその上端の
フランジ部で吊り治具により支持され、前記炉心
管の下端のフランジがクツシヨン材を介してフラ
ンジ押え治具により支持されていることを特徴と
する光フアイバ母材製造用加熱炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20859184A JPS6186434A (ja) | 1984-10-04 | 1984-10-04 | 光フアイバ母材製造用加熱炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20859184A JPS6186434A (ja) | 1984-10-04 | 1984-10-04 | 光フアイバ母材製造用加熱炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6186434A JPS6186434A (ja) | 1986-05-01 |
| JPH0253378B2 true JPH0253378B2 (ja) | 1990-11-16 |
Family
ID=16558726
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20859184A Granted JPS6186434A (ja) | 1984-10-04 | 1984-10-04 | 光フアイバ母材製造用加熱炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6186434A (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6330338A (ja) * | 1986-07-21 | 1988-02-09 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 多孔質光フアイバ母材の脱水焼結方法 |
| JPS6355134A (ja) * | 1986-08-22 | 1988-03-09 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 多孔質ガラス母材の焼結方法 |
| KR0140210B1 (ko) * | 1989-03-30 | 1998-06-01 | 추네오 나카하라 | 석영모재 제조용 소결로 |
| JP5503339B2 (ja) * | 2009-03-16 | 2014-05-28 | 古河電気工業株式会社 | 多孔質ガラス母材の脱水焼結用加熱炉 |
| JP5778080B2 (ja) * | 2011-06-27 | 2015-09-16 | 古河電気工業株式会社 | 多孔質ガラス母材の熱処理装置 |
| JP5639113B2 (ja) * | 2012-05-22 | 2014-12-10 | 古河電気工業株式会社 | 光ファイバ用母材の製造方法 |
-
1984
- 1984-10-04 JP JP20859184A patent/JPS6186434A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6186434A (ja) | 1986-05-01 |
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